JP2010237137A - 角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】音叉型振動子からなる角速度センサの検出感度を安定化する。
【解決手段】角速度検出素子0と、当該角速度検出素子0に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部1とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部1は、角速度検出素子0から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子0から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路30を備える。このノイズキャンセル回路30中の振幅調整回路4にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するNMOSFETとPMOSFETとの各々の基板電位をソース又はGND・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・GNDにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。
【選択図】図1
【解決手段】角速度検出素子0と、当該角速度検出素子0に与えられた角速度を検出する角速度検出回路部1とで角速度センサを構成する、角速度検出回路部1は、角速度検出素子0から得られるモニタ信号を用いて当該角速度検出素子0から得られるセンス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路30を備える。このノイズキャンセル回路30中の振幅調整回路4にて、加算切り替え用アナログスイッチを構成するNMOSFETとPMOSFETとの各々の基板電位をソース又はGND・電源に切り替えるスイッチ回路を設け、アナログスイッチがオンの場合には基板電位を信号ラインに、オフの場合には電源・GNDにそれぞれ切り替えることで、当該アナログスイッチのオン抵抗増加を抑える。
【選択図】図1
Description
本発明は、航空機、船舶、車両、ロボット等の移動体の姿勢制御、ナビゲーション等に用いる角速度センサに関するものである。
被測定物に角速度検出素子として圧電素子を取り付け、この圧電素子に働くコリオリ力を測定することで、被測定物に発生した角速度を検出するように構成された角速度センサが知られている。具体的には、角速度検出素子と、当該角速度検出素子をドライブ信号で駆動して当該角速度検出素子に与えられた角速度成分を検出する角速度検出回路部とを備えた角速度センサであって、角速度検出回路部は、モニタ部とセンス部とにそれぞれ入力される電荷を電圧に変換する増幅器と、モニタ信号の位相を調整する位相調整回路と、モニタ信号の振幅を調整する振幅調整回路と、センス信号とモニタ信号とを加算する加算回路と、モニタ信号からクロック信号を生成するクロック生成器と、クロック信号を基準信号として加算回路の出力信号を切り替えて検波する検波回路と、当該検波回路の出力信号をDC成分に変換する平滑回路とを備えたものである(特許文献1参照)。
特開2005−233811号公報
センス信号側からのノイズ成分は、角速度検出素子毎に振幅が異なり、またモニタ信号に対し、増幅器に入力するセンス信号の極性もランダムである。モニタ信号を用いてノイズ成分をキャンセルする際、モニタ信号の振幅を振幅調整回路で調整し、位相が反転しているセンス信号側に加算する。その際、入力電圧が変動したり、電源電圧又は制御信号電圧が下がったりすると、基準電位付近で加算回路の出力波形が歪み、検出感度が変動する課題があった。
電源電圧又は制御信号電圧が下がると、基準電位付近にてMOSFETのバックゲート効果により、アナログスイッチを構成しているNMOSFETとPMOSFETとが共に十分にはオンできなくなり、当該アナログスイッチのオン抵抗(インピーダンス)が増加することが、加算回路の出力波形に歪みが発生する要因である。
本発明の目的は、角速度センサ中のアナログスイッチのインピーダンス増加を抑制し、以て角速度成分の検出感度を安定化することにある。
本発明によれば、振幅調整回路のアナログスイッチを構成しているNMOSFET及びPMOSFETの基板電位を入力電圧と等しくすることにより、どちらのMOSFETのバックゲート効果も抑制し、入力電圧の変動があった場合や、電源電圧又は制御信号電圧が下がってきた場合でのアナログスイッチのオン抵抗の変動を抑制する。
本発明の角速度センサによれば、アナログスイッチの基板電位を切り替えることにより、MOSFETのバックゲート効果低減で、アナログスイッチのオン抵抗増加を低減し、オン抵抗増加によるゲイン変動をなくすことが可能になり、電源電圧又は制御信号電圧の低下による加算後の振幅歪みが改善でき、角速度成分の検出感度を安定化することが可能になる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら、具体的に説明する。
図1は、本発明に係る角速度センサの構成例を示している。図1に示す角速度センサは、角速度検出素子0と、角速度検出回路部1とから構成される。角速度検出素子0は、例えば圧電素子からなる音叉型振動子で構成されている。角速度検出回路部1は、角速度検出素子0をドライブ信号で駆動し、角速度検出素子0に与えられた角速度に応じて当該角速度検出素子0から得られるモニタ電荷信号及びセンス電荷信号をもとに角速度を検出する回路であって、モニタ側増幅器2と、センス側増幅器3A,3Bと、振幅調整回路4と、位相調整回路5と、加算回路6と、検波回路7と、クロック生成器8と、平滑回路9とから構成されている。位相調整回路5の出力は、不図示のAGC回路を介してドライブ信号となって角速度検出素子0に与えられる。振幅調整回路4及び加算回路6は、ノイズキャンセル回路30を構成する。
図2は、図1中の振幅調整回路4と加算回路6とを含むノイズキャンセル回路30の内部構成例を示している。振幅調整回路4は、モニタ信号の入力端子16と、モニタ側入力可変抵抗(R3)14と、基準電位11と、加算切り替えスイッチ10とから構成されている。加算回路6は、+センス信号及び−センス信号の入力端子16と、センス側入力抵抗(R1)12と、オペアンプ17と、帰還抵抗(R2)13と、基準電位11と、出力端子15とから構成されている。
図3(a)及び図3(b)は、図2中の加算切り替えスイッチ10を構成するアナログスイッチの構成例を示す回路図であって、図3(a)は当該アナログスイッチのオフ状態を、図3(b)は当該アナログスイッチのオン状態をそれぞれ示している。図3(a)及び図3(b)によれば、加算切り替えスイッチ10を構成するアナログスイッチは、制御信号22を受け取るインバータ18と、NMOSFET19と、PMOSFET20と、NMOSFET19の基板電位を電源へ、PMOSFET20の基板電位をGNDへそれぞれ接続するスイッチ回路21とから構成されている。
図4は、図1の角速度センサの動作を説明するための信号波形図である。角速度検出素子0に角速度が発生している場合、特定周波数の正弦波からなるドライブ信号に対して、振動に起因した振動周波数の正弦波からなるモニタ信号が、ドライブ信号と同位相で出力され、角速度検出素子0に与えられる角速度に応じてドライブ信号に同期した位相の90度又は270度ずれた正弦波からなるセンス信号が出力される。センス信号は、ノイズ成分及び角速度成分からなっており、ノイズ成分はモニタ信号に対して、+センス信号と−センス信号の各位相は正転か又は反転して入力される。また、角速度成分はモニタ信号に対して位相が90度ずれて入力される。このノイズ成分をキャンセルし、角速度成分のみを検出する。
図5は、図1中の加算回路6の動作を説明するための信号波形図である。加算回路6は、モニタ信号と+センス信号と−センス信号とを入力とし、モニタ信号と位相が反転しているセンス信号とを加算することで、ノイズ成分をキャンセルする。
図2を参照すると、加算回路6にてモニタ信号を+センス信号と−センス信号とのいずれかに加算して、加算回路6の出力信号振幅が最小になるように、モニタ信号は入力可変抵抗(R3)14と加算切り替えスイッチ10のオン抵抗との合成インピーダンスと、帰還抵抗(R2)13とで決まるゲインで振幅調整を行い、このモニタ信号に対して逆相のセンス信号側に、振幅調整後のモニタ信号を加算する。これにより、センス信号に含まれるノイズ成分を定常的にキャンセルすることで、角速度センサの動作状態において、定常的に角速度の検出が可能になる。
しかも、本発明によれば、アナログスイッチを構成するNMOSFET19及びPMOSFET20のバックゲート効果を抑制することで、当該アナログスイッチのインピーダンスを下げることが可能になる。
具体的には、図3(a)のように、制御信号22が低電圧(L)であれば、NMOSFET19のゲートが低電圧になり、PMOSFET20のゲートはインバータ18を介して高電圧になり、アナログスイッチはオフ状態になる。NMOSFET19及びPMOSFET20のオフ状態では、これらNMOSFET19及びPMOSFET20の基板電位は、それぞれ低電位であるGND及び高電位である電源電位になるように、スイッチ回路21で切り替える。
また、図3(b)のように、制御信号22が高電圧(H)であれば、NMOSFET19のゲートが高電圧になり、PMOSFET20のゲートはインバータ18を介して低電圧になり、アナログスイッチはオン状態になる。NMOSFET19及びPMOSFET20のオン状態では、NMOSFET19及びPMOSFET20の基板電位がそれぞれ入力電圧と等しくなるように、スイッチ回路21で切り替える。入力側をソースと考えれば、入力変動によるソースと基板との間の電位差がなくなり、NMOSFET19及びPMOSFET20のバックゲート効果を抑制することで、アナログスイッチのインピーダンスを下げることが可能になる。また、モニタ信号振幅レベルはNMOSFET19及びPMOSFET20の非飽和領域まで入ってこないので、スイッチ回路21のバックバイアス効果を考慮する必要はない。
本発明によれば、振幅調整回路4のアナログスイッチを構成しているNMOSFET19及びPMOSFET20の基板電位を入力電圧と等しくすることにより、どちらのバックゲート効果も抑制し、入力電圧の変動があった場合や、電源電圧又は制御信号電圧が下がってきた場合でのオン抵抗の変動を抑制する。したがって、当該アナログスイッチを含むノイズキャンセル回路30のゲイン変動を抑制することが可能になる。これにより、加算回路6の基準電位付近での出力波形歪みがなくなり、検出感度の向上が可能になる。
図6は、図1中の振幅調整回路4の他の構成例を示している。図6によれば、振幅調整回路4は、R−2R用抵抗23と抵抗切り替え用スイッチ24との組み合わせによるR−2Rラダー構成をとり、かつ抵抗切り替えでゲイン可変する回路である。図6中の抵抗切り替え用スイッチ24も、図2中の加算切り替えスイッチ10と同様に図3(a)及び図3(b)に示したスイッチ回路21を持つ。したがって、加算切り替えスイッチ10の場合と同様の効果が得られる。
なお、アナログスイッチを構成する各MOSFETの基板バイアス電位を、振幅調整回路4のゲイン設定に応じて、最適なバイアス値に切り替えることとしてもよい。
本発明は、アナログスイッチの基板電位切り替えにより、電源電圧又は制御信号電圧の低下によるMOSFETのバックゲート効果を抑え、当該アナログスイッチのオン抵抗値変動をなくすことで、角速度センサにおけるモニタ信号とセンス信号との加算後の振幅歪みをなくし、角速度成分の検出感度の向上に有効である。
0 角速度検出素子
1 角速度検出回路部
2 モニタ側増幅器
3A,3B センス側増幅器
4 振幅調整回路
5 位相調整回路
6 加算回路
7 検波回路
8 クロック生成器
9 平滑回路
10 加算切り替えスイッチ
11 基準電位
12 センス側入力抵抗
13 帰還抵抗
14 モニタ側入力可変抵抗
15 出力端子
16 入力端子
17 オペアンプ
18 インバータ
19 NMOSFET
20 PMOSFET
21 スイッチ回路
22 制御信号
23 R−2R用抵抗
24 抵抗切り替え用スイッチ
30 ノイズキャンセル回路
1 角速度検出回路部
2 モニタ側増幅器
3A,3B センス側増幅器
4 振幅調整回路
5 位相調整回路
6 加算回路
7 検波回路
8 クロック生成器
9 平滑回路
10 加算切り替えスイッチ
11 基準電位
12 センス側入力抵抗
13 帰還抵抗
14 モニタ側入力可変抵抗
15 出力端子
16 入力端子
17 オペアンプ
18 インバータ
19 NMOSFET
20 PMOSFET
21 スイッチ回路
22 制御信号
23 R−2R用抵抗
24 抵抗切り替え用スイッチ
30 ノイズキャンセル回路
Claims (2)
- 角速度検出素子と、前記角速度検出素子をドライブ信号で駆動し、前記角速度検出素子に与えられた角速度に応じて前記角速度検出素子から得られるモニタ信号及びセンス信号をもとに角速度を検出する角速度検出回路部とを備えた角速度センサであって、
前記角速度検出回路部は、前記モニタ信号を用いて前記センス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路を備え、
前記ノイズキャンセル回路は、アナログスイッチを用いて加算入力を切り替える振幅調整回路を有し、かつ前記加算切り替え用アナログスイッチのNMOSFETとPMOSFETとの各々の基板電位をソース又はGND・電源に切り替えるスイッチ回路を有することを特徴とする角速度センサ。 - 角速度検出素子と、前記角速度検出素子をドライブ信号で駆動し、前記角速度検出素子に与えられた角速度に応じて前記角速度検出素子から得られるモニタ信号及びセンス信号をもとに角速度を検出する角速度検出回路部とを備えた角速度センサであって、
前記角速度検出回路部は、前記モニタ信号を用いて前記センス信号のノイズ成分をキャンセルするノイズキャンセル回路を備え、
前記ノイズキャンセル回路は、アナログスイッチを用いて抵抗切り替えでゲイン可変する振幅調整回路を有し、かつ前記抵抗切り替え用アナログスイッチのNMOSFETとPMOSFETとの各々の基板電位をソース又はGND・電源に切り替えるスイッチ回路を有することを特徴とする角速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009087346A JP2010237137A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009087346A JP2010237137A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 角速度センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010237137A true JP2010237137A (ja) | 2010-10-21 |
Family
ID=43091577
Family Applications (1)
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JP2009087346A Pending JP2010237137A (ja) | 2009-03-31 | 2009-03-31 | 角速度センサ |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010237137A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015080110A1 (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009087346A patent/JP2010237137A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2015080110A1 (ja) * | 2013-11-26 | 2015-06-04 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
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