JP2010002361A - 振動ジャイロ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入力バッファ21,31は圧電振動子11,12の検出用電極Edに現れる電圧信号を入力する。加算回路22は、入力バッファ21,31の出力電圧をそれぞれ加算し、振幅制御回路23は加算回路22の出力電圧が一定振幅になるようにしてループゲインを自動利得制御する。移相回路24は正帰還によって発振動作するように圧電振動子11,12へ与える駆動電圧の位相を制御する。差動増幅回路25,35は軸回りの角速度に応じて現れる電圧差を増幅し、同期検波回路28,38は発振信号から生成した同期信号で検波を行い、角速度に応じた電圧信号を検出する。
【選択図】図4
Description
このような角速度センサは、圧電振動子を駆動するとともに、コリオリ力に起因する圧電振動子の振動によって生じる起電圧を検出して、角速度に応じた電圧信号を出力するものである。
同期検波回路41cには発振回路41aからの発振信号が同期検波用信号として与えられ、同期検波回路41cは同期検波用信号に同期して差動増幅信号を検波して検波信号として出力する。この検波信号は整流回路41dで整流され第1の検出電圧信号として出力端子41eから出力される。
(1)圧電振動子と、該圧電振動子の検出電圧信号を入力するとともに駆動電圧信号を前記圧電振動子に帰還する帰還信号処理回路(入力バッファ21,31、加算回路22、振幅制御回路23、移相回路24)と、を含んで発振回路が構成され、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号(差動信号)を検出する検出回路(差動増幅回路25,35、同期検波回路28,38)を備えた振動ジャイロにおいて、
前記圧電振動子は、互いの検知軸が異なるように複数個配置され、
前記検出回路は前記圧電振動子毎に備えられ、
前記帰還信号処理回路は、前記複数の圧電振動子の前記検出電圧信号を入力し、前記複数の圧電振動子に対して共通の駆動電圧信号を印加するように設けられたことを特徴とする。
前記帰還信号処理回路から取り出した前記発振回路の発振信号の位相に応じて前記同期検波の基準位相信号を生成して前記同期検波回路へそれぞれ与える基準位相信号生成回路(検波タイミング生成回路26、位相シフト回路27)を設ける。
図6は圧電振動子11の斜視図である。この圧電振動子11は、分極処理が施された2枚の圧電体基板を、その分極方向が対向するように貼り合わせた後、音叉型に形成した圧電振動子であって、音叉型の圧電振動子11の、対をなす脚部の図に示す底面部分に電極Ed,Eaを形成している。なお、圧電振動子11は、厚み方向の内部に金属膜を有する積層構造の圧電体を一体焼成することにより形成してもよい。この電極Edと電極Eaとの間に駆動電圧を印加することによって、圧電振動子11の対をなす脚部は左右開閉方向に基本振動する。
基準電圧回路50は回路各部に必要な基準電圧を与える。
このようにして、干渉の問題の無い、安価で高性能な2軸の振動ジャイロが構成できる。
21,31…入力バッファ
22…加算回路
23…振幅制御回路
24…移相回路
25,35…差動増幅回路
25…差動増幅回路
25,35…差動増幅回路
26…検波タイミング生成回路
27…位相シフト回路
28,38…同期検波回路
29,39…直流増幅フィルタ
30,40…特性補正回路
50…基準電圧回路
60…基板
61…ICチップ
62…チップ部品
63…キャップ
100…ジャイロ信号処理回路
101…振動ジャイロ
Ea…駆動用電極
Ed…検出用電極
Es…中間金属膜
Claims (4)
- 圧電振動子と、該圧電振動子の検出電圧信号を入力するとともに駆動電圧信号を前記圧電振動子に帰還する帰還信号処理回路と、を含んで発振回路が構成され、
コリオリ力に起因する前記圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号を検出する検出回路を備えた振動ジャイロにおいて、
前記圧電振動子は、互いの検知軸が異なるように複数個配置され、
前記検出回路は前記圧電振動子毎に備えられ、
前記帰還信号処理回路は、前記複数の圧電振動子の前記検出電圧信号を入力し、前記複数の圧電振動子に対して共通の駆動電圧信号を印加するように設けられたことを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記検出回路は、前記検出電圧信号を差動増幅する差動増幅回路と、前記差動増幅された信号を前記発振回路の発振周期に同期して検波する同期検波回路と、を備え、
前記帰還信号処理回路から取り出した前記発振回路の発振信号の位相に応じて前記同期検波の基準位相信号を生成して前記同期検波回路へそれぞれ与える基準位相信号生成回路を設けた、請求項1に記載の振動ジャイロ。 - 前記複数の圧電振動子の共振周波数は、それぞれの共振周波数と反共振周波数との差(ΔF値)以内に近接している、請求項1または2に記載の振動ジャイロ。
- 前記同期検波回路の出力信号に対して角速度に対する出力電圧の特性カーブを補正する直流増幅フィルタと、当該直流増幅フィルタに対する補正データを設定する特性補正回路とを前記圧電振動子毎に設けた、請求項1〜3のいずれかに記載の振動ジャイロ。
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