JPH04259738A - マイクロ波管用出力部構体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波管用出力部構
体に関し、特に導波管と出力窓セラミックスを用いたマ
イクロ波管用出力部構体に関する。

【０００２】

【従来の技術】マイクロ波管用出力部構体に用いられる
出力窓セラミックスは、真空封止とマイクロ波の透過と
いう２つの役割を持っている。

【０００３】しかしながら、高出力マイクロ波管では、
図３に示すように、出力窓セラミックス１１と金属部品
のろう付部４において、ろう材の結晶成長による微細な
突起部に電界が集中し、電界方向に高周波放電が発生し
てマイクロ波の導出が行なわれなくなることがある。こ
の高周波放電は、特に、出力窓セラミックス１１の大気
圧側で起こりやすい。

【０００４】更には、放電時の発熱により出力窓セラミ
ックス１１が破損してしまう場合もある。

【０００５】この放電を起こりにくくするため、従来の
出力窓セラミックス１１は、大気圧側の端部に面取り部
６を設けていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来のマイク
ロ波管用出力部構体では、使用する出力窓セラミックス
の端部を面取りしてろう付部のろう材の突起部に生ずる
電界を小さくし、放電が起こりにくくしてある。

【０００７】しかし、突起部の程度によっては高周波放
電が生じるためろう付部より電界にそって出力窓セラミ
ックス沿面の放電が起こりやすいという欠点がある。

【０００８】また、放電防止効果を高めるために、さら
に、出力窓セラミックスの端部を大きく面取りした場合
、出力窓セラミックスと金属との接合面積が非常に小さ
くなり、ろう付時の温度及びろう材の量を厳しくコント
ロールしないと真空漏洩が発生する欠点がある。

【０００９】さらに、近年、マイクロ波管の使用周波数
域が高くなってきているのに伴い、出力窓セラミックス
の厚さが小さくなり、出力窓セラミックス端部の加工等
が困難になってきているという欠点がある。

【００１０】本発明の目的は、出力窓セラミックス沿面
の放電と、この放電に起因する真空漏洩がなく、出力窓
セラミックス部の加工工程を削減できるマイクロ波管用
出力部構体を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、金属性の円筒
体と、該円筒体の中心軸と垂直に該円筒体に接合された
円板状の出力窓セラミックスと、前記円筒体に接続する
円筒支持体とを有するマイクロ波管用出力部構体におい
て、前記円筒体の端面に前記出力窓セラミックスの板面
を接合し、前記円筒体の前記出力窓セラミックスとの接
合部近傍の外周面に前記円筒体の外径よりも大きい径の
前記円筒支持体を同軸上に接合したことを特徴とする。

【００１２】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１３】図１は本発明の第１の実施例の断面図であ
る。

【００１４】第１の実施例は、図１に示すように、直径
３０ｍｍ，厚さ０．２ｍｍの円板状の出力窓セラミッス
（材質：アルミナ，純度９５％）１の真空側の外周部の
板面の外周から中心に向って外径３０ｍｍ，内径２９ｍ
ｍのリング状にメタライズが施されている。

【００１５】出力窓セラミックス１を固定するための外
径３０ｍｍ，内径２８ｍｍ，高さ１５ｍｍの銅製円筒体
２を固定するための外径３５ｍｍ，内径３３ｍｍ，高さ
２０ｍｍの銅製円筒支持体３は、円筒体５とのろう付部
５の先端が外径３１．５ｍｍ，内径３０．５ｍｍ，長さ
５ｍｍに絞り込まれている。

【００１６】アルミナ製の出力窓セラミックス１と円筒
体２は、ろう付部４で金ろう（ＪＩＳＢＡｕ−１Ｖ）を
用いてろう付されている。ろう付後、円筒体２と円筒支
持体３は、ろう付部５で、金ろう（ＪＩＳＢＡｕ−１Ｖ
）より融点の低い金ろう（ＪＩＳＢＡｕ−１２Ｖ）でろ
う付され、第１の実施例のマイクロ波管用出力部構体が
得られる。

【００１７】このマイクロ波管用出力部構体を周波数約
１０ＧＨｚ，出力３０ｋＷでパルス動作させても全く高
周波放電は発生しなかった。

【００１８】円筒体２と円筒支持体３とのろう付部４に
、たとえ突起部が存在しても、ろう付面を通る電気力線
は大気側の出力窓セラミックス１の沿面を通らないので
、高周波沿面放電は起こらない。

【００１９】また、出力窓セラミックス１と円筒体２の
ろう付が出力窓セラミックス１の外周端面で行なわれて
いないため、厚みの小さい出力窓セラミックス１におい
ても高周波放電を防止することができる。

【００２０】図２は本発明の第２の実施例の断面図であ
る。

【００２１】第２の実施例は、図２に示すように、円筒
体１２，円筒支持体１３の形状を除き構造は、第１の実
施例と同一である。

【００２２】円筒体１２は、外径３４ｍｍ，内径３２ｍ
ｍ，高さ１５ｍｍの銅製円筒体で出力窓セラミックス１
とのろう付部４の先端が外径３４ｍｍ，内径２８ｍｍに
絞り込まれている。円筒支持体１３は、円筒体１２を固
定するための外径３６．５ｍｍ，内径３４．５ｍｍ，高
さ２０ｍｍの銅製円筒体である。

【００２３】出力窓セラミックス１と円筒体１２を金ろ
う（ＪＩＳＢＡｕ−１Ｖ）を用いてろう付部４でろう付
した後、円筒体１２と円筒支持体１３を金ろう（ＪＩＳ
ＢＡｕ−１Ｖ）より低い融点の金ろう（ＪＩＳＢＡｕ−
１２Ｖ）でろう付部５でろう付される。

【００２４】このマイクロ波管用出力部構体を周波数１
０ＧＨｚ，出力３００ｋＷ（パルス動作）で動作させて
も、大気圧側の出力窓セラミックス１板面にろう付部が
存在しないので、ろう付面を通る電気力線は、大気圧側
の出力窓セラミックス１の沿面を通らない。従って、出
力窓セラミックス１の沿面における高周波沿面放電は起
らなかった。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、円筒体の
端面に出力窓セラミックスの板面を接合し、円筒体の外
周面に円筒体の外径よりも大きい径の円筒支持体を同軸
上に接合することにより、出力窓セラミックスの面取り
加工等をしなくても高周波放電を容易に防止できる効果
がある。

【００２６】また、厚みの小さい出力窓セラミックスで
も確実に真空気密ができ、信頼性の高いマイクロ波管用
出力部構体を得ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の断面図である。

【図２】本発明の第２の実施例の断面図である。

【図３】従来のマイクロ波管用出力部構体の一例の断面
図である。

【符号の説明】

１，１１　　　　出力窓セラミックス ２，１２，２２　　　　円筒体 ３，１３，２３　　　　円筒支持体 ４，５　　　　ろう付部 ６　　　　面取り部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　金属性の円筒体と、該円筒体の中心軸
   と垂直に該円筒体に接合された円板状の出力窓セラミッ
   クスと、前記円筒体に接続する円筒支持体とを有するマ
   イクロ波管用出力部構体において、前記円筒体の端面に
   前記出力窓セラミックスの板面を接合し、前記円筒体の
   前記出力窓セラミックスとの接合部近傍の外周面に前記
   円筒体の外径よりも大きい径の前記円筒支持体を同軸上
   に接合したことを特徴とするマイクロ波管用出力部構体
   。