JPH04245134A - 線状陰極支持部材 - Google Patents
線状陰極支持部材Info
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- JPH04245134A JPH04245134A JP3010636A JP1063691A JPH04245134A JP H04245134 A JPH04245134 A JP H04245134A JP 3010636 A JP3010636 A JP 3010636A JP 1063691 A JP1063691 A JP 1063691A JP H04245134 A JPH04245134 A JP H04245134A
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Landscapes
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- Solid Thermionic Cathode (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、文字あるいは画像表示
用のカラーテレビジョンやディスプレイ等のカソード電
極を用いた画像表示装置に用いられる線状陰極支持部材
およびその製造方法に関するものである。
用のカラーテレビジョンやディスプレイ等のカソード電
極を用いた画像表示装置に用いられる線状陰極支持部材
およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、電子ビームで蛍光体を発色させ画
像を表示する画像表示装置としては、陰極線管(ブラウ
ン管)が主として用いられている。しかし、陰極線管で
は画像に対して奥行きが非常に長く、薄型の画像表示装
置を製作することは不可能であった。そこで、薄型の画
像表示装置として、複数本の線状陰極を平面状に並列架
張し、疑似的に面状電子源としてパターン化した陽極の
蛍光体を発光させる蛍光表示管や、同様に複数本の線状
陰極を平面状に並列架張し、放出された電子ビームを制
御電極でマトリクス状に分割し、その各々を信号変調、
偏向を行い、マトリクス状に画像を構成する平板型の画
像表示装置が提案されている。
像を表示する画像表示装置としては、陰極線管(ブラウ
ン管)が主として用いられている。しかし、陰極線管で
は画像に対して奥行きが非常に長く、薄型の画像表示装
置を製作することは不可能であった。そこで、薄型の画
像表示装置として、複数本の線状陰極を平面状に並列架
張し、疑似的に面状電子源としてパターン化した陽極の
蛍光体を発光させる蛍光表示管や、同様に複数本の線状
陰極を平面状に並列架張し、放出された電子ビームを制
御電極でマトリクス状に分割し、その各々を信号変調、
偏向を行い、マトリクス状に画像を構成する平板型の画
像表示装置が提案されている。
【0003】上記のどちらの場合も、線状陰極を有し、
線状陰極から放出される電子ビームにより蛍光発色する
ことで画像を表示し、陰極線管に対して薄型化を達成し
ている。ここで複数本の線状陰極を平面状に並列架張し
ているため、上記のどちらの場合も各線状陰極間の位置
精度確保や、陽極や他の制御電極に対する線状陰極の位
置精度確保が、表示される画像の一様性等の画質向上に
大きな影響を与える課題となっている。そのため、従来
より精度良く線状陰極を架張支持するための構造の提案
がなされてきた。
線状陰極から放出される電子ビームにより蛍光発色する
ことで画像を表示し、陰極線管に対して薄型化を達成し
ている。ここで複数本の線状陰極を平面状に並列架張し
ているため、上記のどちらの場合も各線状陰極間の位置
精度確保や、陽極や他の制御電極に対する線状陰極の位
置精度確保が、表示される画像の一様性等の画質向上に
大きな影響を与える課題となっている。そのため、従来
より精度良く線状陰極を架張支持するための構造の提案
がなされてきた。
【0004】また、電子ビームをマトリクス制御して画
像を表示する画像表示装置では、上記の課題に追加して
各線状陰極間の絶縁も確保して各線状陰極を各々独立に
駆動できるようにしなければならない。
像を表示する画像表示装置では、上記の課題に追加して
各線状陰極間の絶縁も確保して各線状陰極を各々独立に
駆動できるようにしなければならない。
【0005】まず、従来の技術の一例として、蛍光表示
管における場合を実開昭57ー140060号公報を例
として説明する。図10は、従来の技術の一例である蛍
光表示管の構成を示す斜視図である。以下の説明は本図
を用いて行い、線状陰極の支持に関係の無い部分につい
ては説明を省略する。26a、26bは線状陰極部であ
る。線状陰極部26a、26bは衝立て30に形成した
V溝29を通して、その一端をフィラメント支持体27
に溶接等で取り付けている。この衝立て30は、リード
端子28の一部を整形したものである。また他端も同様
に構成することにより、一定のテンションを持たせて架
張している。
管における場合を実開昭57ー140060号公報を例
として説明する。図10は、従来の技術の一例である蛍
光表示管の構成を示す斜視図である。以下の説明は本図
を用いて行い、線状陰極の支持に関係の無い部分につい
ては説明を省略する。26a、26bは線状陰極部であ
る。線状陰極部26a、26bは衝立て30に形成した
V溝29を通して、その一端をフィラメント支持体27
に溶接等で取り付けている。この衝立て30は、リード
端子28の一部を整形したものである。また他端も同様
に構成することにより、一定のテンションを持たせて架
張している。
【0006】このように、V溝29に線状陰極26a、
26bを通して架張することで、陽極31と線状陰極部
26a、26bとの距離、各線状陰極部26a、26b
間の距離はフィラメント支持体27の位置や精度に関わ
りなく、衝立て30に形成されたV溝29の位置や精度
だけで決定されるようになっている。
26bを通して架張することで、陽極31と線状陰極部
26a、26bとの距離、各線状陰極部26a、26b
間の距離はフィラメント支持体27の位置や精度に関わ
りなく、衝立て30に形成されたV溝29の位置や精度
だけで決定されるようになっている。
【0007】次に、他の従来の技術の一例として、電子
ビームをマトリクス制御することで平板化を実現した画
像表示装置における場合を、特開平2ー121239号
公報を例として説明する。図11は、従来の技術の他の
一例である画像表示装置の構成を示す断面図であり、図
12は同様の線状陰極の支持構成を示す部分平面図であ
る。以下の説明は両図を用いて行い、線状陰極の支持に
関係の無い部分については説明を省略するものとする。
ビームをマトリクス制御することで平板化を実現した画
像表示装置における場合を、特開平2ー121239号
公報を例として説明する。図11は、従来の技術の他の
一例である画像表示装置の構成を示す断面図であり、図
12は同様の線状陰極の支持構成を示す部分平面図であ
る。以下の説明は両図を用いて行い、線状陰極の支持に
関係の無い部分については説明を省略するものとする。
【0008】複数本の線状陰極部32(図では1本のみ
を示す)はその両端を少なくとも一方がバネ性を有する
固定座33a、33bに溶接等で架張支持されている。 背面電極34の両端に一対の絶縁支持体35a、35b
を設け、斜め溝36が線状陰極部32に当接するように
絶縁支持体35a、35bに形成されている。また、背
面電極34に接触して絶縁物37a、37bが設けられ
、線状陰極部32はその外径と当接しており、絶縁物3
7a、37bは画像表示部より外側でしかも絶縁支持体
35a、35bよりも内側に設けられている。
を示す)はその両端を少なくとも一方がバネ性を有する
固定座33a、33bに溶接等で架張支持されている。 背面電極34の両端に一対の絶縁支持体35a、35b
を設け、斜め溝36が線状陰極部32に当接するように
絶縁支持体35a、35bに形成されている。また、背
面電極34に接触して絶縁物37a、37bが設けられ
、線状陰極部32はその外径と当接しており、絶縁物3
7a、37bは画像表示部より外側でしかも絶縁支持体
35a、35bよりも内側に設けられている。
【0009】以上のような構成により、線状陰極部32
は絶縁物37a、37bの外径と当接することで、背面
電極34あるいは制御電極38との間隔が保たれている
。さらに、線状陰極部32どうしの間隔は、斜め溝36
の端面で位置決めされることになり、斜め溝36のピッ
チで決定されることになる。
は絶縁物37a、37bの外径と当接することで、背面
電極34あるいは制御電極38との間隔が保たれている
。さらに、線状陰極部32どうしの間隔は、斜め溝36
の端面で位置決めされることになり、斜め溝36のピッ
チで決定されることになる。
【0010】次に、従来の技術の一例として特開昭61
−7550号公報に記載された真空放電管の線状陰極支
持部材の製造方法について説明する。(表1)は、異な
る製造方法による線状陰極支持部材の特性についての比
較評価関係を示す。
−7550号公報に記載された真空放電管の線状陰極支
持部材の製造方法について説明する。(表1)は、異な
る製造方法による線状陰極支持部材の特性についての比
較評価関係を示す。
【0011】
【表1】
【0012】金属を母材とした線状陰極支持部材の表面
にアルミナを主成分とする絶縁材料をイオンプレーティ
ング法または化学気相法により薄膜状に被覆し、絶縁性
、耐熱性を高めた真空放電管の線状陰極支持部材である
。金属母材表面へのアルミナの被覆方法には、(1)塗
布方法、(2)プラズマ溶射法、(3)真空蒸着法、(
4)スパッタ法、(5)イオンプレーティング法および
(6)CVD法がある。同表はこれらの方法によってア
ルミナを表面被覆し、金属母材と被覆物との密着性、耐
熱衝撃性、電気的絶縁性、寸法精度および表面粗さ等の
物性を比較評価した結果である。この結果より、最適手
段としてはイオンプレーティング法を採択した。また、
被膜材料として、アルミナのみの検討であるが、SiO
2を用いても同様の効果を得られる。
にアルミナを主成分とする絶縁材料をイオンプレーティ
ング法または化学気相法により薄膜状に被覆し、絶縁性
、耐熱性を高めた真空放電管の線状陰極支持部材である
。金属母材表面へのアルミナの被覆方法には、(1)塗
布方法、(2)プラズマ溶射法、(3)真空蒸着法、(
4)スパッタ法、(5)イオンプレーティング法および
(6)CVD法がある。同表はこれらの方法によってア
ルミナを表面被覆し、金属母材と被覆物との密着性、耐
熱衝撃性、電気的絶縁性、寸法精度および表面粗さ等の
物性を比較評価した結果である。この結果より、最適手
段としてはイオンプレーティング法を採択した。また、
被膜材料として、アルミナのみの検討であるが、SiO
2を用いても同様の効果を得られる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、以下のような課題があった。
うな構成では、以下のような課題があった。
【0014】まず、線状陰極をV溝によって位置決めす
る場合は、線状陰極が加熱され温度が上昇し、その長さ
が伸びると、線状陰極がV溝内でこすれ、オン/オフを
繰り返すうちに、くさび効果でV溝底部でくいこみ、摩
擦力が大きくなって線状陰極が断線しやすい。また、V
溝間のピッチに高い精度が要求されると、V溝を1つず
つ溝加工を行うことになるが、V溝では深さ精度が出し
難く、かつ加工用の刃物の先端Rが線陰極の外径R(1
0μm程度)よりも常に鋭利でなければならず、非常に
加工性が悪いという問題もあった。
る場合は、線状陰極が加熱され温度が上昇し、その長さ
が伸びると、線状陰極がV溝内でこすれ、オン/オフを
繰り返すうちに、くさび効果でV溝底部でくいこみ、摩
擦力が大きくなって線状陰極が断線しやすい。また、V
溝間のピッチに高い精度が要求されると、V溝を1つず
つ溝加工を行うことになるが、V溝では深さ精度が出し
難く、かつ加工用の刃物の先端Rが線陰極の外径R(1
0μm程度)よりも常に鋭利でなければならず、非常に
加工性が悪いという問題もあった。
【0015】また、一般に線状陰極材としてはタングス
テンを用いるが、加熱状態でニッケルを含んだ金属に触
れていると、タングステンの結晶粒界にニッケルが拡散
し、強度が低下する。ところが図10に示すようなリー
ド端子は、フリットやガラスとの接着性およびシール性
を確保するため、42ー6合金(42%Niー6%Cr
−Fe)や47ー6合金(47%Ni−6%Cr−Fe
)が使用されており、リード端子部から整形された衝立
てのV溝部分より、タングステンへのニッケルの拡散を
生じ、線状陰極の強度低下による断線を生じるといった
問題もあった。
テンを用いるが、加熱状態でニッケルを含んだ金属に触
れていると、タングステンの結晶粒界にニッケルが拡散
し、強度が低下する。ところが図10に示すようなリー
ド端子は、フリットやガラスとの接着性およびシール性
を確保するため、42ー6合金(42%Niー6%Cr
−Fe)や47ー6合金(47%Ni−6%Cr−Fe
)が使用されており、リード端子部から整形された衝立
てのV溝部分より、タングステンへのニッケルの拡散を
生じ、線状陰極の強度低下による断線を生じるといった
問題もあった。
【0016】また、図11および図12に示す従来例の
場合は、各線状陰極間のピッチ精度を斜め溝の端面位置
で決めるため、線状陰極が当接する端面は安易にR取り
できず、線状陰極のオン/オフでの線状陰極の伸縮に伴
うこすれで、端面のエッジで線状陰極の芯線が削られ、
V溝の場合に比べては頻度は低いものの、やはり断線が
生じ易いという問題があった。
場合は、各線状陰極間のピッチ精度を斜め溝の端面位置
で決めるため、線状陰極が当接する端面は安易にR取り
できず、線状陰極のオン/オフでの線状陰極の伸縮に伴
うこすれで、端面のエッジで線状陰極の芯線が削られ、
V溝の場合に比べては頻度は低いものの、やはり断線が
生じ易いという問題があった。
【0017】また、線状陰極支持部材として用いる材料
は、絶縁性、耐熱性、遮熱性、真空中における出ガス特
性、耐摩耗性、硬度、加工精度等に優れていなければな
らない。これらの特性を満足する材料として、特に絶縁
性、耐熱性、遮熱性、真空中における出ガス特性、耐摩
耗性、硬度については、セラミックスが適している。
は、絶縁性、耐熱性、遮熱性、真空中における出ガス特
性、耐摩耗性、硬度、加工精度等に優れていなければな
らない。これらの特性を満足する材料として、特に絶縁
性、耐熱性、遮熱性、真空中における出ガス特性、耐摩
耗性、硬度については、セラミックスが適している。
【0018】しかしながら、加工精度の点においてはセ
ラミックスは不利である。例えば、図10、図11に示
す場合では、線状陰極支持部材の材質として、真空中で
出ガスが少なく、高温に耐えるアルミナあるいはSiO
2等のセラミックスを用いると、斜め溝加工は削りしろ
が大きいため刃物の摩耗も激しく、高い精度を要する斜
め溝の加工は非常に困難でコストの高いものになってい
るという問題がある。また大型の画像表示装置に応用展
開した場合、セラミックスのみの線状陰極支持部材では
焼結製造のため、成形加工を行う際に金型を用いると長
軸方向にそりが生じるなどの不具合が生じる。また、焼
結時にセラミックスは約1%程度の短縮化を行うため、
例えば200mmの長さのセラミックス部品を成形する
場合は2mm程度短縮するので、成形加工時に±10μ
m程の精度の孔加工、溝加工を行うことは困難である。 したがって、セラミックスを用いた場合は、外形を焼結
した後、切削による溝加工、ドリルによるかあるいはレ
ーザ加工による孔加工を要するのであるが、セラミック
スは一般に硬度が高いため切削工具の刃の摩耗が顕著で
あり、摩耗が進展するにつれて加工精度が得られなくな
る。また、セラミックスの孔加工はレーザ加工を用いる
場合が多いが、工数、精度の点で切削加工ほど加工品質
を得ることが出来ない。
ラミックスは不利である。例えば、図10、図11に示
す場合では、線状陰極支持部材の材質として、真空中で
出ガスが少なく、高温に耐えるアルミナあるいはSiO
2等のセラミックスを用いると、斜め溝加工は削りしろ
が大きいため刃物の摩耗も激しく、高い精度を要する斜
め溝の加工は非常に困難でコストの高いものになってい
るという問題がある。また大型の画像表示装置に応用展
開した場合、セラミックスのみの線状陰極支持部材では
焼結製造のため、成形加工を行う際に金型を用いると長
軸方向にそりが生じるなどの不具合が生じる。また、焼
結時にセラミックスは約1%程度の短縮化を行うため、
例えば200mmの長さのセラミックス部品を成形する
場合は2mm程度短縮するので、成形加工時に±10μ
m程の精度の孔加工、溝加工を行うことは困難である。 したがって、セラミックスを用いた場合は、外形を焼結
した後、切削による溝加工、ドリルによるかあるいはレ
ーザ加工による孔加工を要するのであるが、セラミック
スは一般に硬度が高いため切削工具の刃の摩耗が顕著で
あり、摩耗が進展するにつれて加工精度が得られなくな
る。また、セラミックスの孔加工はレーザ加工を用いる
場合が多いが、工数、精度の点で切削加工ほど加工品質
を得ることが出来ない。
【0019】これに対して、加工精度の点において優れ
ているのは金属であるが、金属は各線陰状極間の絶縁が
できなくなるという問題があり、遮熱性、耐摩耗性、硬
度の点においてもセラミックスに劣ると言わざるを得な
い。
ているのは金属であるが、金属は各線陰状極間の絶縁が
できなくなるという問題があり、遮熱性、耐摩耗性、硬
度の点においてもセラミックスに劣ると言わざるを得な
い。
【0020】また、イオンプレーティング法によりアル
ミナ等の被覆を行う場合、形成されるアルミナの膜厚は
せいぜい5μmである。この膜厚では、アルミナの特性
から耐熱性があっても線状陰極からの熱がアルミナから
金属母材に伝熱してしまい、線状陰極の温度が低下し、
線状陰極の本来の性能を出すことができない。
ミナ等の被覆を行う場合、形成されるアルミナの膜厚は
せいぜい5μmである。この膜厚では、アルミナの特性
から耐熱性があっても線状陰極からの熱がアルミナから
金属母材に伝熱してしまい、線状陰極の温度が低下し、
線状陰極の本来の性能を出すことができない。
【0021】そこで本発明は金属の加工性を有し、セラ
ミックスの特性、特に絶縁性、耐熱性、遮熱性、真空中
における出ガス特性、耐摩耗性、硬度を有する線状陰極
部材を提供することにより、各線状陰極間の絶縁を確保
しつつ、簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ精度を
実現し、線状陰極の断線のおそれの無い画像表示装置を
提供し、かつその固定強度等の信頼性を向上させるもの
である。
ミックスの特性、特に絶縁性、耐熱性、遮熱性、真空中
における出ガス特性、耐摩耗性、硬度を有する線状陰極
部材を提供することにより、各線状陰極間の絶縁を確保
しつつ、簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ精度を
実現し、線状陰極の断線のおそれの無い画像表示装置を
提供し、かつその固定強度等の信頼性を向上させるもの
である。
【0022】また、特に線状陰極のこすれによるピンの
摩耗や線状陰極の芯材へのニッケルの拡散を防止し、線
状陰極の断線に対してより高い信頼性を有する画像表示
装置の線状陰極支持部材を提供するものである。
摩耗や線状陰極の芯材へのニッケルの拡散を防止し、線
状陰極の断線に対してより高い信頼性を有する画像表示
装置の線状陰極支持部材を提供するものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明の線状陰極支持部
材は上記課題に鑑み、複数個の溝を有した金属からなる
板状の芯材の両面にAlを形成し、これをAl薄膜で覆
い、さらにセラミックス薄膜で覆ったものである。
材は上記課題に鑑み、複数個の溝を有した金属からなる
板状の芯材の両面にAlを形成し、これをAl薄膜で覆
い、さらにセラミックス薄膜で覆ったものである。
【0024】また、複数個の溝を有した金属からなる板
状の芯材の表面を覆う様にAl層を形成し、さらにこの
上からセラミックス薄膜を覆ったものである。
状の芯材の表面を覆う様にAl層を形成し、さらにこの
上からセラミックス薄膜を覆ったものである。
【0025】また本発明の線状陰極支持部材の製造方法
は、芯材の両面にAlを圧延接合する工程と、芯材に複
数個の溝を形成する工程と、この上からAlメッキを行
なう工程と、さらに上から電解析出によりセラミックス
薄膜を形成する工程からなるものである。
は、芯材の両面にAlを圧延接合する工程と、芯材に複
数個の溝を形成する工程と、この上からAlメッキを行
なう工程と、さらに上から電解析出によりセラミックス
薄膜を形成する工程からなるものである。
【0026】また、芯材に複数個の溝を形成する工程と
、芯材表面に溶融メッキによりAl層を形成する工程と
、この上から電解析出により前記セラミックス薄膜を形
成する工程からなるものである。
、芯材表面に溶融メッキによりAl層を形成する工程と
、この上から電解析出により前記セラミックス薄膜を形
成する工程からなるものである。
【0027】
【作用】本発明は上記構成により、線状陰極がセラミッ
クスの薄膜に当接することで線状陰極の発熱による伝熱
を緩和し、各線状陰極間の絶縁を行うことができる。ま
た、セラミックスの硬度が高いので、線状陰極がセラミ
ックス表面でこすれ、オン/オフを繰り返しても、セラ
ミックス表面にくいこむこともなく、摩擦力を小さいま
ま維持できる。さらに、線状陰極を構成するタングステ
ンが接触する部分はセラミックスであるため、タングス
テンへのニッケルの拡散を生じることもない。
クスの薄膜に当接することで線状陰極の発熱による伝熱
を緩和し、各線状陰極間の絶縁を行うことができる。ま
た、セラミックスの硬度が高いので、線状陰極がセラミ
ックス表面でこすれ、オン/オフを繰り返しても、セラ
ミックス表面にくいこむこともなく、摩擦力を小さいま
ま維持できる。さらに、線状陰極を構成するタングステ
ンが接触する部分はセラミックスであるため、タングス
テンへのニッケルの拡散を生じることもない。
【0028】また、金属を芯金に用いるために、線状陰
極のピッチ精度を決める支持部材の溝ピッチを機械加工
の精度で得ることができる。
極のピッチ精度を決める支持部材の溝ピッチを機械加工
の精度で得ることができる。
【0029】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に参照しながら
説明する。
説明する。
【0030】図6は画像表示装置の構成を示す。同図に
示すように画像表示装置は真空容器内に設置した陰極部
I、電極ユニットD、アノードAから構成され、これら
の部材は超真空に保持されたガラス容器(図示せず)の
内部に配設されている。画像表示装置の電子ビームを発
生する部分は、電子ビーム取り出し電極101と、所定
の形状に形成された導電膜102を有する背面基板10
3と、絶縁膜を有しかつ孔部を形成された金属基板10
4と、電子ビームを発生する線状陰極105等の部材か
ら構成される。線状陰極105は、金属芯線と金属巻線
からなり、かつ電子放射物質を保持する。また、金属芯
線と金属巻線の材質はタングステンである。
示すように画像表示装置は真空容器内に設置した陰極部
I、電極ユニットD、アノードAから構成され、これら
の部材は超真空に保持されたガラス容器(図示せず)の
内部に配設されている。画像表示装置の電子ビームを発
生する部分は、電子ビーム取り出し電極101と、所定
の形状に形成された導電膜102を有する背面基板10
3と、絶縁膜を有しかつ孔部を形成された金属基板10
4と、電子ビームを発生する線状陰極105等の部材か
ら構成される。線状陰極105は、金属芯線と金属巻線
からなり、かつ電子放射物質を保持する。また、金属芯
線と金属巻線の材質はタングステンである。
【0031】その動作原理について簡単に説明する。陰
極部Iに設置した線状陰極105に電流を流すと、線状
陰極105は加熱され、電子ビームを放射する。背面基
板103上の導電膜102に陰電圧、電子ビーム取り出
し電極101に陽電圧をそれぞれ印加すると、電子ビー
ムは電子ビーム取り出し電極101の方向に指向性を持
つ。この電子ビームは、電極ユニットDで偏向制御され
、アルミ蒸着膜等で形成されたアノードAに達し衝突発
光し、画像を表示する。
極部Iに設置した線状陰極105に電流を流すと、線状
陰極105は加熱され、電子ビームを放射する。背面基
板103上の導電膜102に陰電圧、電子ビーム取り出
し電極101に陽電圧をそれぞれ印加すると、電子ビー
ムは電子ビーム取り出し電極101の方向に指向性を持
つ。この電子ビームは、電極ユニットDで偏向制御され
、アルミ蒸着膜等で形成されたアノードAに達し衝突発
光し、画像を表示する。
【0032】図7は本発明の電子ビーム発生装置の線状
陰極支持部材とプレートベースの構成を示す。線状陰極
支持部材21をプレートベース22にボルト23にて締
結する。一対のプレートベース22を基板24にボルト
25にて締結する。さらにこの基板を真空容器内に配設
固定する。このプレートベース22に線状陰極支持部材
21を固定することによりそりを補正し、線状陰極支持
部材21の剛性が増すことになる。
陰極支持部材とプレートベースの構成を示す。線状陰極
支持部材21をプレートベース22にボルト23にて締
結する。一対のプレートベース22を基板24にボルト
25にて締結する。さらにこの基板を真空容器内に配設
固定する。このプレートベース22に線状陰極支持部材
21を固定することによりそりを補正し、線状陰極支持
部材21の剛性が増すことになる。
【0033】図8は図7における線状陰極支持部材21
の正面図を示すものである。支持部材には複数個の溝1
8と小孔19が形成されている。溝18は隣合う線状陰
極部のピッチ精度を決めるため、±10μmのピッチ精
度で加工されている。孔加工もドリルを用いたボール盤
等による機械加工を行うことができ、さらにリーマ加工
等の仕上げ加工も可能であり、精度良く加工することが
出来る。固定孔20はプレートベースに固定するための
ものであり、複数個の小孔19は弾性を有するバネ部と
剛性を有する固定部を固定するためのものである。これ
らの小孔19のピッチ精度は±100μmである。弾性
を有するバネ部と剛性を有する固定部に2本の突き出し
部があり、線状陰極支持部材に形成された小孔19にそ
の突き出し部をいれ、折り曲げることでかしめて固定す
る。したがって線状陰極支持部材の小孔19の断面は絶
縁されていなければならない。
の正面図を示すものである。支持部材には複数個の溝1
8と小孔19が形成されている。溝18は隣合う線状陰
極部のピッチ精度を決めるため、±10μmのピッチ精
度で加工されている。孔加工もドリルを用いたボール盤
等による機械加工を行うことができ、さらにリーマ加工
等の仕上げ加工も可能であり、精度良く加工することが
出来る。固定孔20はプレートベースに固定するための
ものであり、複数個の小孔19は弾性を有するバネ部と
剛性を有する固定部を固定するためのものである。これ
らの小孔19のピッチ精度は±100μmである。弾性
を有するバネ部と剛性を有する固定部に2本の突き出し
部があり、線状陰極支持部材に形成された小孔19にそ
の突き出し部をいれ、折り曲げることでかしめて固定す
る。したがって線状陰極支持部材の小孔19の断面は絶
縁されていなければならない。
【0034】ここで弾性を有するバネ部と剛性を有する
固定部について簡単に説明する。線状陰極部はバネ部と
固定部に溶接されて固定される。固定部によって始点が
決まり、バネ部によって線状陰極部の伸縮を吸収する。 線状陰極部に信号電圧・電流を印可すると発熱し伸びる
。バネ部の傾きは線状陰極部が発熱し伸びた状態よりさ
らに大きくし、常に線状陰極部に架張力が働いている状
態にする。
固定部について簡単に説明する。線状陰極部はバネ部と
固定部に溶接されて固定される。固定部によって始点が
決まり、バネ部によって線状陰極部の伸縮を吸収する。 線状陰極部に信号電圧・電流を印可すると発熱し伸びる
。バネ部の傾きは線状陰極部が発熱し伸びた状態よりさ
らに大きくし、常に線状陰極部に架張力が働いている状
態にする。
【0035】線状陰極を架張する際には、溝部18の一
方の端面を基準にして線状陰極の位置決めをおこなう。 したがって、特に同図に示すような溝形状に限るわけで
はなく、例えば、レ型の溝であっても位置決めはおこな
える。
方の端面を基準にして線状陰極の位置決めをおこなう。 したがって、特に同図に示すような溝形状に限るわけで
はなく、例えば、レ型の溝であっても位置決めはおこな
える。
【0036】また、このように線状陰極支持部材を一つ
の部材に限ることなく、例えば図9に示すように線状陰
極支持部材10を複数個に分割してプレートベース11
に固定する構成にしても良い。同図に示すように、線状
陰極部の支持部材10の一つ一つには、プレートベース
11に固定するための孔部12と、小孔部13と溝部1
4を設けている。小孔部13は弾性を有するバネ部と剛
性を有する固定部とを固定するためのものである。プレ
ートベース11には線状陰極支持部材10を固定するた
めの孔部を形成し、固定孔12と合わせてボルトで締結
する。このように線状陰極支持部材を複数個の部材から
構成することにより、支持部材の歪等により線状陰極の
位置決め精度に与える影響を小さくすることができる。
の部材に限ることなく、例えば図9に示すように線状陰
極支持部材10を複数個に分割してプレートベース11
に固定する構成にしても良い。同図に示すように、線状
陰極部の支持部材10の一つ一つには、プレートベース
11に固定するための孔部12と、小孔部13と溝部1
4を設けている。小孔部13は弾性を有するバネ部と剛
性を有する固定部とを固定するためのものである。プレ
ートベース11には線状陰極支持部材10を固定するた
めの孔部を形成し、固定孔12と合わせてボルトで締結
する。このように線状陰極支持部材を複数個の部材から
構成することにより、支持部材の歪等により線状陰極の
位置決め精度に与える影響を小さくすることができる。
【0037】図1は本発明の第1の実施例における電子
ビーム発生装置の中の線状陰極支持部材の断面であり、
図8におけるA−A断面を示す。芯金1の部分に板厚0
.3mmのSUS430、その表面に板厚0.1mmの
Al2a、2bを金属圧着したクラッド材を用いる。 この芯金1には電磁軟鉄のような鉄材を用いてもよい。 Alメッキしクラッド部材の全面には膜厚約5μmのA
lの薄膜3が形成されており、さらに、その上から膜厚
15μm±3μmのセラミックスの薄膜4がクラッド材
の全面に形成されている。金属加工による溝間のピッチ
精度は±5μmであり、セラミックス薄膜4の膜厚の精
度と合計した精度は±8μmであるが、画質に影響を与
えない線状陰極部のピッチ精度が±10μmであるため
、十分な構造である。
ビーム発生装置の中の線状陰極支持部材の断面であり、
図8におけるA−A断面を示す。芯金1の部分に板厚0
.3mmのSUS430、その表面に板厚0.1mmの
Al2a、2bを金属圧着したクラッド材を用いる。 この芯金1には電磁軟鉄のような鉄材を用いてもよい。 Alメッキしクラッド部材の全面には膜厚約5μmのA
lの薄膜3が形成されており、さらに、その上から膜厚
15μm±3μmのセラミックスの薄膜4がクラッド材
の全面に形成されている。金属加工による溝間のピッチ
精度は±5μmであり、セラミックス薄膜4の膜厚の精
度と合計した精度は±8μmであるが、画質に影響を与
えない線状陰極部のピッチ精度が±10μmであるため
、十分な構造である。
【0038】ここで画質に影響を与えないという点につ
いて簡単に説明すると、線状陰極部の中心と電子ビーム
の進行方向に設置されている面電極の電子ビームの通過
孔の中心の精度が十分であれば電子ビームに対して面電
極の影響がなく、均一な画像を得ることが出来る。した
がって線状陰極部のピッチ精度そのものが画像に影響す
るわけである。
いて簡単に説明すると、線状陰極部の中心と電子ビーム
の進行方向に設置されている面電極の電子ビームの通過
孔の中心の精度が十分であれば電子ビームに対して面電
極の影響がなく、均一な画像を得ることが出来る。した
がって線状陰極部のピッチ精度そのものが画像に影響す
るわけである。
【0039】次に、この線状陰極支持部材の製造方法に
ついて図4を用いて説明する。 (a)まず、芯金1にAl2a、2bを圧延加工しクラ
ッド材を形成する。ここで(a’)は(a)の平面図で
ある。 (b)次にクラッド材をプレスの打ち抜きで溝部と孔部
(図示せず)のパターンを形成する。(b’)にA−A
’断面図を示す。なお、このパターン形成はエッチング
を用いても同様のパターンが形成できる。ただし、エッ
チングを用いる場合には溝部と孔部はほぼ完全な貫通孔
であり、バリは認められないし、またクラッド材の境界
、すなわち芯金1とAl2a、2bの境界がはっきりと
判別でき、芯金1の部分が露出する構成になる。ところ
が、プレスによる打ち抜きでパターン形成する場合、溝
部と孔部の断面はAlが柔らかいため芯金の部分を覆う
ような形状になる。打ち抜き条件により完全に覆う場合
もあれば、芯金の一部を覆う場合もある。 (c)次にAlメッキしたクラッド部材の全面に膜厚約
5μmのAl薄膜3を形成する。このAl薄膜3は溝部
と孔部の貫通部分にもほぼ完全に形成することが出来る
。(c’)はB−B’断面図である。 (d)最後に膜厚約15μmのセラミックス薄膜4をク
ラッド材の全面に形成する。(d’)はC−C’断面図
である。
ついて図4を用いて説明する。 (a)まず、芯金1にAl2a、2bを圧延加工しクラ
ッド材を形成する。ここで(a’)は(a)の平面図で
ある。 (b)次にクラッド材をプレスの打ち抜きで溝部と孔部
(図示せず)のパターンを形成する。(b’)にA−A
’断面図を示す。なお、このパターン形成はエッチング
を用いても同様のパターンが形成できる。ただし、エッ
チングを用いる場合には溝部と孔部はほぼ完全な貫通孔
であり、バリは認められないし、またクラッド材の境界
、すなわち芯金1とAl2a、2bの境界がはっきりと
判別でき、芯金1の部分が露出する構成になる。ところ
が、プレスによる打ち抜きでパターン形成する場合、溝
部と孔部の断面はAlが柔らかいため芯金の部分を覆う
ような形状になる。打ち抜き条件により完全に覆う場合
もあれば、芯金の一部を覆う場合もある。 (c)次にAlメッキしたクラッド部材の全面に膜厚約
5μmのAl薄膜3を形成する。このAl薄膜3は溝部
と孔部の貫通部分にもほぼ完全に形成することが出来る
。(c’)はB−B’断面図である。 (d)最後に膜厚約15μmのセラミックス薄膜4をク
ラッド材の全面に形成する。(d’)はC−C’断面図
である。
【0040】ところでセラミックスの薄膜形成には、例
えばディップソール株式会社のセラメッキがある。この
方法はAlの表面に電解析出法によるAl2O3等のセ
ラミックスのコーティングである。このAl2O3のセ
ラミックスのコーティング膜の場合、耐摩耗性は往復運
動摩耗試験において74ds/μmである。またビッカ
ース硬度は600Hvである。さらに表面粗さはRa0
.4μmである。線陰極部の加熱温度は約1000℃に
なるが、Al2O3の効果により耐熱性を保持できる。 また表面粗さがRa0.4μmであるため、線陰極部の
ON/OFFによるこすりに対しても摩擦力が終始小さ
いため耐摩耗性を得ることができる。これはビッカース
硬度は600Hvであることも有利になっている。また
Al2O3と同様にSiO2を電解析出法により形成す
ることができ、本発明の線陰極支持部材に用いれば、A
l2O3と同様の効果を得られる。
えばディップソール株式会社のセラメッキがある。この
方法はAlの表面に電解析出法によるAl2O3等のセ
ラミックスのコーティングである。このAl2O3のセ
ラミックスのコーティング膜の場合、耐摩耗性は往復運
動摩耗試験において74ds/μmである。またビッカ
ース硬度は600Hvである。さらに表面粗さはRa0
.4μmである。線陰極部の加熱温度は約1000℃に
なるが、Al2O3の効果により耐熱性を保持できる。 また表面粗さがRa0.4μmであるため、線陰極部の
ON/OFFによるこすりに対しても摩擦力が終始小さ
いため耐摩耗性を得ることができる。これはビッカース
硬度は600Hvであることも有利になっている。また
Al2O3と同様にSiO2を電解析出法により形成す
ることができ、本発明の線陰極支持部材に用いれば、A
l2O3と同様の効果を得られる。
【0041】図2は本発明の第2の実施例における線状
陰極支持部材の断面を示す。同図において芯金5には板
厚0.3mmのSUS430を用いる。また、この芯金
5には電磁軟鉄のような鉄材を用いてもよい。この芯金
5の表面には溶融Alメッキ膜6を形成しており、さら
に膜厚15μm±3μmのセラミックスの薄膜7を溶融
Alメッキ膜6の全面に形成する。
陰極支持部材の断面を示す。同図において芯金5には板
厚0.3mmのSUS430を用いる。また、この芯金
5には電磁軟鉄のような鉄材を用いてもよい。この芯金
5の表面には溶融Alメッキ膜6を形成しており、さら
に膜厚15μm±3μmのセラミックスの薄膜7を溶融
Alメッキ膜6の全面に形成する。
【0042】図5にその製造方法を示す。
(a)に示すのは原材料の芯金5であり、(a’)はそ
の平面図である。 (b)まず、芯金5を打ち抜きによって溝部と孔部(図
示せず)のパターンを形成する。このパターン形成には
エッチングを用いても、同様のパターンを形成すること
が出来る。 (c)次に芯金5の表面に溶融Alメッキ膜6を形成す
る。溶融Alメッキの作業工程を簡単に説明すると、塩
酸で被メッキ物の錆を除去し、フラックス処理の上、乾
燥させ、700℃前後の溶融Al槽の中で鉄鋼製品を一
定時間浸せきし、メッキする。メッキを終えた製品は薬
品洗浄によってフラックスを除去し、酸化被膜を生成さ
せ耐食性を向上させた後、余分なAlの付着を取り除く
。メッキ層の組織は、表面からAl2O3膜、Al層、
合金層の順で形成され合金層は、炭素鋼の場合、舌状組
織になり、母材と密着する。メッキ層の厚さは炭素鋼の
場合、Al層0.03〜0.05mm、合金層平均0.
15mm程度になるが、鋼材の種類や炭素量、メッキ温
度、時間により変化するため条件により制御することが
できる。溝部と孔部の貫通部分にもほぼ完全に薄膜を形
成することが出来る。 (d)最後に膜厚約15μmのセラミックスの薄膜7を
溶融Alメッキ膜6の全面に形成する。
の平面図である。 (b)まず、芯金5を打ち抜きによって溝部と孔部(図
示せず)のパターンを形成する。このパターン形成には
エッチングを用いても、同様のパターンを形成すること
が出来る。 (c)次に芯金5の表面に溶融Alメッキ膜6を形成す
る。溶融Alメッキの作業工程を簡単に説明すると、塩
酸で被メッキ物の錆を除去し、フラックス処理の上、乾
燥させ、700℃前後の溶融Al槽の中で鉄鋼製品を一
定時間浸せきし、メッキする。メッキを終えた製品は薬
品洗浄によってフラックスを除去し、酸化被膜を生成さ
せ耐食性を向上させた後、余分なAlの付着を取り除く
。メッキ層の組織は、表面からAl2O3膜、Al層、
合金層の順で形成され合金層は、炭素鋼の場合、舌状組
織になり、母材と密着する。メッキ層の厚さは炭素鋼の
場合、Al層0.03〜0.05mm、合金層平均0.
15mm程度になるが、鋼材の種類や炭素量、メッキ温
度、時間により変化するため条件により制御することが
できる。溝部と孔部の貫通部分にもほぼ完全に薄膜を形
成することが出来る。 (d)最後に膜厚約15μmのセラミックスの薄膜7を
溶融Alメッキ膜6の全面に形成する。
【0043】同図において、(b’),(c’)、(d
’)はそれぞれ(b)、(c)、(d)のA−A’断面
、B−B’断面、C−C’断面を示す。
’)はそれぞれ(b)、(c)、(d)のA−A’断面
、B−B’断面、C−C’断面を示す。
【0044】図3は本発明の第3の実施例における線状
陰極の支持部材の断面を示す。芯金8には板厚1mmの
Alを用いており、この芯金8の全面に膜厚15μm±
3μmのセラミックスの薄膜9を形成している。
陰極の支持部材の断面を示す。芯金8には板厚1mmの
Alを用いており、この芯金8の全面に膜厚15μm±
3μmのセラミックスの薄膜9を形成している。
【0045】以上述べたように、本発明の線状陰極支持
部材は、芯材の母材が加工性の良い金属であり、その表
面にAl2O3、SiO2等のセラミックス薄膜を形成
するため真空中での出ガス保証が得られており、また表
面での硬度を得られているので、耐摩耗性の点でも優れ
ている。また、精度良く線状陰極を配列することができ
るので、線状陰極の中心と面電極の電子ビームの通過孔
中心がほば一致し、極めて鮮明な画像を得ることが出来
る。
部材は、芯材の母材が加工性の良い金属であり、その表
面にAl2O3、SiO2等のセラミックス薄膜を形成
するため真空中での出ガス保証が得られており、また表
面での硬度を得られているので、耐摩耗性の点でも優れ
ている。また、精度良く線状陰極を配列することができ
るので、線状陰極の中心と面電極の電子ビームの通過孔
中心がほば一致し、極めて鮮明な画像を得ることが出来
る。
【0046】さらに各線状陰極間の絶縁を確保しつつ、
簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ精度を実現し、
線状陰極の断線のおそれもないなど、表示品質の優れた
平板型表示装置が得られ、しかも簡単な構成のため比較
的安定に大量の処理を行うことが出来る。
簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ精度を実現し、
線状陰極の断線のおそれもないなど、表示品質の優れた
平板型表示装置が得られ、しかも簡単な構成のため比較
的安定に大量の処理を行うことが出来る。
【0047】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
絶縁支持体の材質としてアルミナ等のセラミックスを表
面に形成しているので、各線状陰極の絶縁は確保されて
おり、かつ真空中で出ガスが少なく、高温に耐えること
が出来る。しかも芯材は加工性の良い金属で構成してい
るので線状陰極の位置決め精度を確保できる。
絶縁支持体の材質としてアルミナ等のセラミックスを表
面に形成しているので、各線状陰極の絶縁は確保されて
おり、かつ真空中で出ガスが少なく、高温に耐えること
が出来る。しかも芯材は加工性の良い金属で構成してい
るので線状陰極の位置決め精度を確保できる。
【0048】また、特に線状陰極支持部を溝あるいはレ
型構造にすれば簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ
精度を実現し、線状陰極の断線のおそれもなく、表示品
質の優れた平板型表示装置が得られる。
型構造にすれば簡単な構造で各線状陰極間の高いピッチ
精度を実現し、線状陰極の断線のおそれもなく、表示品
質の優れた平板型表示装置が得られる。
【0049】さらに、比較的安定に大量の処理を行うこ
ともできる。
ともできる。
【図1】本発明の第1の実施例における線状陰極支持部
材の断面図
材の断面図
【図2】本発明の第2の実施例における線状陰極支持部
材の断面図
材の断面図
【図3】本発明の第3の実施例における線状陰極支持部
材の断面図
材の断面図
【図4】本発明の第1の実施例における線状陰極支持部
材の製造工程図
材の製造工程図
【図5】本発明の第2の実施例における線状陰極支持部
材の製造工程図
材の製造工程図
【図6】画像表示装置の構成を示す斜視図
【図7】本発
明の線状陰極支持部材とプレートベースの斜視図
明の線状陰極支持部材とプレートベースの斜視図
【図8】本発明の一実施例における線状陰極支持部材の
正面図
正面図
【図9】本発明の他の実施例における線状陰極支持部材
の正面図
の正面図
【図10】従来の画像表示装置の構成を示す斜視図
【図
11】従来の画像表示装置の構成を示す断面図
11】従来の画像表示装置の構成を示す断面図
【図12
】従来の線状陰極支持部材の構成を示す部分平面図
】従来の線状陰極支持部材の構成を示す部分平面図
1、5、8 芯金
2a、2b Al
3 Alの薄膜
4、7、9 セラミックスの薄膜
6 溶融Alメッキ膜
10、21 線状陰極部の支持部材
11、22 プレートベース
12、20 固定孔
13、19 小孔
14、18 溝
23、25 ボルト
Claims (6)
- 【請求項1】複数個の溝を有した金属からなる板状の芯
材と、前記芯材の両面に形成したAlと、前記芯材及び
Alを覆う様に形成したAl薄膜と、前記Al薄膜の表
面に形成したセラミックス薄膜とからなる線状陰極支持
部材。 - 【請求項2】複数個の溝を有した金属からなる板状の芯
材と、前記芯材の表面を覆う様に形成したAl層と、前
記Al層を覆うように形成したセラミックス薄膜とから
なる線状陰極支持部材。 - 【請求項3】溝の断面が矩型もしくはレ型であることを
特徴とする請求項1または2記載の線状陰極支持部材。 - 【請求項4】全体を複数個に分割したことを特徴とする
請求項1から3のいずれかに記載の線状陰極支持部材。 - 【請求項5】金属からなる板状の芯材の両面にAlを圧
延接合する工程と、前記芯材に複数個の溝を形成する工
程と、前記Alを圧延接合した芯材にAlメッキを行な
う工程と、前記芯材に電解析出によりセラミックス薄膜
を形成する工程からなることを特徴とする線状陰極支持
部材の製造方法。 - 【請求項6】芯材に複数個の溝を形成する工程と、前記
芯材表面に溶融メッキによりAl層を形成する工程と、
前記芯材表面に形成された前記Al層上に電解析出によ
り前記セラミックス薄膜を形成する工程からなることを
特徴とする線状陰極支持部材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1063691A JP2643610B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 線状陰極支持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1063691A JP2643610B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 線状陰極支持部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04245134A true JPH04245134A (ja) | 1992-09-01 |
JP2643610B2 JP2643610B2 (ja) | 1997-08-20 |
Family
ID=11755697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1063691A Expired - Fee Related JP2643610B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 線状陰極支持部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2643610B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5625694A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-12 | Hitachi Ltd | Heat exchanger |
JPH01140540A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極構体 |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP1063691A patent/JP2643610B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5625694A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-12 | Hitachi Ltd | Heat exchanger |
JPH01140540A (ja) * | 1987-11-25 | 1989-06-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電極構体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2643610B2 (ja) | 1997-08-20 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |