JPS617550A - 真空放電管の陰極フイラメント支持具 - Google Patents
真空放電管の陰極フイラメント支持具Info
- Publication number
- JPS617550A JPS617550A JP59126360A JP12636084A JPS617550A JP S617550 A JPS617550 A JP S617550A JP 59126360 A JP59126360 A JP 59126360A JP 12636084 A JP12636084 A JP 12636084A JP S617550 A JPS617550 A JP S617550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- filament
- supporting member
- alumina
- ion plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/04—Cathodes
Landscapes
- Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の対象） 本発明は画像表示、ドツトマトリック
ス表示等に使用される真空放電管、特に蛍光表示管の陰
極フィラメント支持具に関するものである。
ス表示等に使用される真空放電管、特に蛍光表示管の陰
極フィラメント支持具に関するものである。
（従来技術） 画像表示、たとえばグラフインクス表示
や文字表示、もしくはドツトマトリックス表示等に使用
される真空放電管の一種である蛍光表示管（ＶＦＤ）は
、その厚さが約１６〜２Ｑｎｏｉという薄型であるため
フラットパネルディスプレイと称されることは周知であ
る。
や文字表示、もしくはドツトマトリックス表示等に使用
される真空放電管の一種である蛍光表示管（ＶＦＤ）は
、その厚さが約１６〜２Ｑｎｏｉという薄型であるため
フラットパネルディスプレイと称されることは周知であ
る。
この蛍光表示管は一方が透明な平型容器に陰極フィラメ
ント、金属メツシュグリッドおよび蛍光体付着陽極を封
入したものであり、その態様は、たとえば第２図に示す
ごときものである。
ント、金属メツシュグリッドおよび蛍光体付着陽極を封
入したものであり、その態様は、たとえば第２図に示す
ごときものである。
表示動作を原理的に云えば陰極フィラメントを約５００
〜６５０℃に加熱して電子を放射させ、陽、陰極の間に
存在するグリッドに印加した電圧によって電子を制御し
、グリッドを通過した電子により陽極上の蛍光体を発光
させるものである。
〜６５０℃に加熱して電子を放射させ、陽、陰極の間に
存在するグリッドに印加した電圧によって電子を制御し
、グリッドを通過した電子により陽極上の蛍光体を発光
させるものである。
陰極フィラメントはタングステン細線をグリッドおよび
陽極の上部空間に張った態様で使用され（第３図）、こ
のためフィラメントを緊張させる支持具を必要とする。
陽極の上部空間に張った態様で使用され（第３図）、こ
のためフィラメントを緊張させる支持具を必要とする。
と直接接触する支持具は電気的絶縁性であると同時に耐
熱性、耐高温酸化性の材料であることが必要である。さ
らに上記高温において気圧１Ｏ−４〜１Ｏ−６Ｐａの減
圧雰囲気におかれるため、不純物もしくは含有ガスが揮
発するような材料であってはならない。不純物、ガスは
真空度を低下するのみならず、フィラメント、蛍光体等
の劣化をもたらし、画像の解像度および表示輝度を悪化
させ、デバイスの耐用寿命を短縮する欠点がある。その
ため陰極フィラメント支持具の材料には通常セラミック
スが使用される。
熱性、耐高温酸化性の材料であることが必要である。さ
らに上記高温において気圧１Ｏ−４〜１Ｏ−６Ｐａの減
圧雰囲気におかれるため、不純物もしくは含有ガスが揮
発するような材料であってはならない。不純物、ガスは
真空度を低下するのみならず、フィラメント、蛍光体等
の劣化をもたらし、画像の解像度および表示輝度を悪化
させ、デバイスの耐用寿命を短縮する欠点がある。その
ため陰極フィラメント支持具の材料には通常セラミック
スが使用される。
しかしながら陰極フィラメント、グリッドおよび陽極の
配置精度はズレ精度にて２０〜３０ｇｍ以下に抑止する
必要があるため、フィラメント支持具は複雑で精度の高
い加工が要求され、そのためセラミックス製フィラメン
ト支持具の製作コストは異常に高価とならざるを得ない
欠点を有するのが一般である。
配置精度はズレ精度にて２０〜３０ｇｍ以下に抑止する
必要があるため、フィラメント支持具は複雑で精度の高
い加工が要求され、そのためセラミックス製フィラメン
ト支持具の製作コストは異常に高価とならざるを得ない
欠点を有するのが一般である。
（発明の目的） 本発明の目的は上記従来技術の欠点を
改善し、複雑で精度の良い加工が出来、大幅なコストダ
ウンを可能とする真空放電管用陰極フィラメント支持具
を提供することにある。
改善し、複雑で精度の良い加工が出来、大幅なコストダ
ウンを可能とする真空放電管用陰極フィラメント支持具
を提供することにある。
（発明の構成） 本発明は上記目的を達成するため、金
属を母材とした陰極フィラメント支持具の表面にアルミ
ナを主成分とする絶縁材料をイオンブレーティング法ま
たは化学気相法により薄膜状に被覆し、絶縁性、耐熱性
を高めた真空放電管の陰極フィラメント支持具であって
、第１図に例示される態様のものである。
属を母材とした陰極フィラメント支持具の表面にアルミ
ナを主成分とする絶縁材料をイオンブレーティング法ま
たは化学気相法により薄膜状に被覆し、絶縁性、耐熱性
を高めた真空放電管の陰極フィラメント支持具であって
、第１図に例示される態様のものである。
本発明においす陰極フィラメント支持具の材料は金属を
母材とするものであり、通常、ステンレス鋼、ニッケル
鋼、クロム鋼等が使用される。
母材とするものであり、通常、ステンレス鋼、ニッケル
鋼、クロム鋼等が使用される。
本発明はこの様な金属母材表面にセラミックス、特にア
ルミナを主体とする絶縁材料をイオンブレーティングも
しくは化学気相法（ＣＶＤ）によって被着せしめる。
ルミナを主体とする絶縁材料をイオンブレーティングも
しくは化学気相法（ＣＶＤ）によって被着せしめる。
前記した通り、従来、フィラメント支持具の材質には通
常セラミックスが使用されてきたが、これは絶縁性と耐
熱性に対する要求には答えることができるものの、複雑
形状物の加工の点で難点があった。本発明は複雑形状物
の加工性を向上し容易にするために金属を使用したこと
によって従来法の不備を克服した。しかしその反面、金
属のもつ導電性のため、これに電気的絶縁性を付与する
必要が生ずる。これに応するため金属母材の表面にセラ
ミックス、特にアルミナ主成分の絶縁被覆を施すことに
よって絶縁性に対する要求を満足し、かつ耐熱性の要求
にも適応した点において従来法に見られない利点を発揮
した。
常セラミックスが使用されてきたが、これは絶縁性と耐
熱性に対する要求には答えることができるものの、複雑
形状物の加工の点で難点があった。本発明は複雑形状物
の加工性を向上し容易にするために金属を使用したこと
によって従来法の不備を克服した。しかしその反面、金
属のもつ導電性のため、これに電気的絶縁性を付与する
必要が生ずる。これに応するため金属母材の表面にセラ
ミックス、特にアルミナ主成分の絶縁被覆を施すことに
よって絶縁性に対する要求を満足し、かつ耐熱性の要求
にも適応した点において従来法に見られない利点を発揮
した。
金属母材表面へのアルミナの被覆方法には、塗布法、プ
ラズマ溶射法、真空蒸着法、スパッタ法、イオンブレー
ティング法およびＣＶＤ法等の技術があるが、金属母材
と被覆物との密着性、耐熱衝撃性、電気的絶縁性、寸法
精度および表面粗さ等の諸性質を比較するにそれぞれ一
長一短があり、最適手段としてはイオンブレーティング
法を採択すべきことが多数の経験によって実証された。
ラズマ溶射法、真空蒸着法、スパッタ法、イオンブレー
ティング法およびＣＶＤ法等の技術があるが、金属母材
と被覆物との密着性、耐熱衝撃性、電気的絶縁性、寸法
精度および表面粗さ等の諸性質を比較するにそれぞれ一
長一短があり、最適手段としてはイオンブレーティング
法を採択すべきことが多数の経験によって実証された。
イオンブレーティング以外の各方法を用いる場合、被覆
厚さを厚くとり、これを研磨仕上げすることによっ“そ
も満足すべき結果は得られるがコスト高となることは避
けられず、′シたがってイオンブレーティング法には及
ばないが不可能ではない。
厚さを厚くとり、これを研磨仕上げすることによっ“そ
も満足すべき結果は得られるがコスト高となることは避
けられず、′シたがってイオンブレーティング法には及
ばないが不可能ではない。
（実施例゛１） ステンレスｌ］］（ＳＵＳ３０４）を
母材として第４図に示す陰極フィラメント支持具をシミ
ュレートしたテストサンプルには陰極フィラメント細線
（約２０ＪＬｍφ）を固定し、かつその位置ずれを防止
するための０．２＋ａｍ巾のＶ字型切欠き溝を切り込ん
である。このテストサンプルに対して（１）塗布法、（
２）プラズマ溶射法、（３）真空蒸着法、（４）スパッ
タ法、（５）イオンプレーティン、グ法および（８）Ｃ
ＶＤ法によってアルミナを表面被覆し、密着性等物性を
比較評価した。その結果を表１に示す。
母材として第４図に示す陰極フィラメント支持具をシミ
ュレートしたテストサンプルには陰極フィラメント細線
（約２０ＪＬｍφ）を固定し、かつその位置ずれを防止
するための０．２＋ａｍ巾のＶ字型切欠き溝を切り込ん
である。このテストサンプルに対して（１）塗布法、（
２）プラズマ溶射法、（３）真空蒸着法、（４）スパッ
タ法、（５）イオンプレーティン、グ法および（８）Ｃ
ＶＤ法によってアルミナを表面被覆し、密着性等物性を
比較評価した。その結果を表１に示す。
ここに膜厚測定は断差触針法、密着性判定は屈曲法、熱
サイクル強度は５００°Ｃ〜２０°Ｃ間の熱履歴くり返
し耐久回数値により求めた。またガス放出性はガス質量
１スペクトル法により、Ｖ字型溝の絶縁性は直流印加電
圧２００ｖによる絶縁耐性として求めた。また精度は顕
微鏡拡大測定法により、表面粗さは触針法によって求め
た値である。
サイクル強度は５００°Ｃ〜２０°Ｃ間の熱履歴くり返
し耐久回数値により求めた。またガス放出性はガス質量
１スペクトル法により、Ｖ字型溝の絶縁性は直流印加電
圧２００ｖによる絶縁耐性として求めた。また精度は顕
微鏡拡大測定法により、表面粗さは触針法によって求め
た値である。
表１から明らかな通り、イオンブレーティング法は母材
５ＵＳ３０４と被覆アルミナとの密着性が極めて良好で
り、熱サイクルにも耐え、つきまわりが良く、Ｖ字型溝
の中へも均一・な被覆が実現されることが明白であり、
比較６方法の中で最適の方法と見られる。
５ＵＳ３０４と被覆アルミナとの密着性が極めて良好で
り、熱サイクルにも耐え、つきまわりが良く、Ｖ字型溝
の中へも均一・な被覆が実現されることが明白であり、
比較６方法の中で最適の方法と見られる。
その他の各法も膜厚を厚く被覆し、あるいは被覆後研磨
仕上げ等により、満足する被覆を得ることができるが、
イオンブレーティング法に比較、処理工程がかかり、コ
スト高になることはまぬがれない（本Ｗと他法とのコス
ト比はｌ：８〜１０である）。
仕上げ等により、満足する被覆を得ることができるが、
イオンブレーティング法に比較、処理工程がかかり、コ
スト高になることはまぬがれない（本Ｗと他法とのコス
ト比はｌ：８〜１０である）。
（実施例２） 実施例１同様のテストサンプル１組（２
本）に対して高周波励起イオンブレーティング法にてア
ルミナ被膜を膜厚５ｐｍに被覆した。これを真空度１．
ＯＸ １Ｏ−４Ｐａの密閉容器内において第５図に示す
回路に組み入れ通電試験を行なった。タングステン細線
（１８ｇｍφ）をＶ字型溝に入れ、５本並列に配置し、
直流１００Ｖ 金１０ｍＡを印加通重し、くり返し１０
回の試験を行なった結果、テストサンプルには全く異常
は認められず、また通電中に測定したペルジャー内のガ
ス質量スペクトルにも異常ガスは全く認められなかっ空
放電管陰極フィラメント支持具は表面電気絶縁性、耐熱
性にすぐれ、不純物ガスを放出せず、耐摩耗性にすぐれ
ており、かつ従来のセラミック材料に比較して大幅なコ
ストダウンの達成を可能とする効果は顕著である。
本）に対して高周波励起イオンブレーティング法にてア
ルミナ被膜を膜厚５ｐｍに被覆した。これを真空度１．
ＯＸ １Ｏ−４Ｐａの密閉容器内において第５図に示す
回路に組み入れ通電試験を行なった。タングステン細線
（１８ｇｍφ）をＶ字型溝に入れ、５本並列に配置し、
直流１００Ｖ 金１０ｍＡを印加通重し、くり返し１０
回の試験を行なった結果、テストサンプルには全く異常
は認められず、また通電中に測定したペルジャー内のガ
ス質量スペクトルにも異常ガスは全く認められなかっ空
放電管陰極フィラメント支持具は表面電気絶縁性、耐熱
性にすぐれ、不純物ガスを放出せず、耐摩耗性にすぐれ
ており、かつ従来のセラミック材料に比較して大幅なコ
ストダウンの達成を可能とする効果は顕著である。
第１図は、本発明に係るフィラメント支持具の態様説明
図で、うち（Ａ）は拡大図、（Ｂ）は陰極フィラメント
とフィラメント支持具の関係説明図である。 第２図は蛍光表示管の正面図の一態様、第３図は第２図
各部の分解図、第４図は陰極フィラメント支持具テスト
サンプル、第５図はテストサンプル通電試験回路図を示
す。 １−陰極フィラメント、２−陽極蛍光体、蛍光体、９一
基板ガラス、ｌ〇−陰極フィラメント支持具テストサン
プル、１１−Ｖ字型切欠き、１２−タングステン細線、
１３−テストサンプル、１４−直流電源、２０−フィラ
メント支持具特許出願人 昭和電工株式会社 代 理 人 弁理士 菊地精− （Ａ） 第４図 第５図 １什 一’）Ｑｎ−
図で、うち（Ａ）は拡大図、（Ｂ）は陰極フィラメント
とフィラメント支持具の関係説明図である。 第２図は蛍光表示管の正面図の一態様、第３図は第２図
各部の分解図、第４図は陰極フィラメント支持具テスト
サンプル、第５図はテストサンプル通電試験回路図を示
す。 １−陰極フィラメント、２−陽極蛍光体、蛍光体、９一
基板ガラス、ｌ〇−陰極フィラメント支持具テストサン
プル、１１−Ｖ字型切欠き、１２−タングステン細線、
１３−テストサンプル、１４−直流電源、２０−フィラ
メント支持具特許出願人 昭和電工株式会社 代 理 人 弁理士 菊地精− （Ａ） 第４図 第５図 １什 一’）Ｑｎ−
Claims (1)
- 金属を母材としたフィラメントの表面にアルミナを被覆
したことを特徴とする真空放電管の陰極フィラメント支
持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126360A JPS617550A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空放電管の陰極フイラメント支持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126360A JPS617550A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空放電管の陰極フイラメント支持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617550A true JPS617550A (ja) | 1986-01-14 |
Family
ID=14933255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59126360A Pending JPS617550A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 真空放電管の陰極フイラメント支持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617550A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04149934A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置 |
| EP0987729A1 (fr) * | 1998-09-18 | 2000-03-22 | Pixtech S.A. | Cathode à micropointes à faible dégazage |
| EP2202781A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-30 | Flowil International Lighting (Holding) B.V. | Incandescent Lamp and Filament Support Therein |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59126360A patent/JPS617550A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04149934A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置 |
| EP0987729A1 (fr) * | 1998-09-18 | 2000-03-22 | Pixtech S.A. | Cathode à micropointes à faible dégazage |
| FR2783633A1 (fr) * | 1998-09-18 | 2000-03-24 | Pixtech Sa | Cathode a micropointes a faible degazage |
| EP2202781A1 (en) * | 2008-12-23 | 2010-06-30 | Flowil International Lighting (Holding) B.V. | Incandescent Lamp and Filament Support Therein |
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