JPH0487241A - 平板型陰極線管表示装置のマトリックス電子源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は文字、グラフインク表示を行うための平板型Ｃ
ＲＴ、蛍光表示管等に使用される平板型陰極線管表示装
置のマトリックス電子源に関するものである。

〔従来技術〕

マトリックス電子源が用いられた平板型陰極線管表示装
置として、従来−船釣に第５図に示す構成のものが提案
されている。

即ち、平板型陰極線管表示値Ｗ５０８は、マトリックス
電子源５０４と、蛍光体と一体化した陽極からなるスク
リーン５０６が形成された正面板５０５、およびマトリ
ックス電子源５０４からの電子ビームの制御等を行う電
極構造体５０７から構成されている。

そしてこの様な平板型陰極線管表示装置のマトリックス
電子源として従来は第６図に示す様な構成のものが使用
されていた。

即ち第６図に示す如くマトリックス電子源６０５は、ス
トライプ状の凹凸を有する絶縁性支持基板６０１の凸部
に設けられた電子ビーム制御電極６０２と、絶縁性支持
基板６０１の凹部に設けられた分離電極６０３　と、こ
れら両電極６０２．６０３　と直交する方向に設けられ
た線状陰極６０４とから構成されており、電子ビーム制
御電極６０２には、該電極６０２を個別に駆動するため
の図示しない端子が各々に設けられ、また、分離電極６
０３に電位を印加するための図示しない端子も各々の電
極毎に設けられていた。

〔発明が解決しようとする課題］ しかしながら、かかる構成のマトリックス電子源６０５
を最近の小型テレビ等に使用する場合には、電子ビーム
制御電極６０２の寸法を０．４　ｎ以下にしなければな
らず、これに伴って分ＭＱ極６０３の寸法も０．０３〜
０．１５ｆｌ程度の極めて小さな幅にしなければならな
くなる。そのため、従来のマトリックス電子源６０５の
構成においては電子ビーム制御電極６０２を個別に駆動
するための端子を設けたうえで尚且つ分離電極６０３に
電位を印加するための端子を設けることは極めて困難と
なっていた。

Ｃ発明の目的〕 本発明は上記問題点に鑑みなされたもので、その目的と
するところは分離電極に電位を印加する分離電極導出部
を絶縁性支持基板に設けることにより電気的導通が確実
にとれ、更に隣接する電子ビーム制御電極と分離電極と
の絶縁が確実にとることがきる構造の平板型陰極線管表
示装置を捉供することにある。

〔発明の構成〕

本発明は、絶縁性支持基板上に電子ビームを制御する電
子ビーム制御電極と、該電子ビーム制御電極の電位遮蔽
を行う分離電極とがストライプ状に形成され、前記電子
ビーム制御電極の表面から一定の間隔を保持し、且つ前
記ストライプ状に形成された両電極と直交する方向に配
置された線状陰極とで構成された平板型陰極線管表示装
置のマトリックス電子源において、前記絶縁性支持基板
端部に前記分離電極の電極導出部が前記分＃電極と電気
的に一体に形成されており、且つ前記分離電極及び前記
分離電極の電極導出部は蒸着法により形成し、さらに、
絶縁性支持基板に設けられたストライプ状の凹凸の凸部
に電子ビーム制御電極が、凹部に分離電極が形成されて
いることを特徴とする平板型陰極線管表示装置のマトリ
ックス電子源である。

〔実施例〕

以下本発明の実施例を図を参照して詳細に説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の一実施例を示す斜視図であり、その構
成を以下に示す。

即ち１０７は本実施例のマトリックス電子源で、ストラ
イプ状の凹凸を有するガラスから成る絶縁性支持基板１
０１の凸部に薄膜アルミからなる電子ビーム制御電極１
０２が設けられ、更に凹部には薄膜アルミからなる分離
電極１０３が設けられている。

１０５／は分離電極導出部で分子４電極１０３の延設方
向の絶縁性支持基板１０１端部に設けられ、分Ｈ電極１
０３と電気的に一体に構成された帯状の共通接続部１０
４と、共通接続部１０４の一端にバッド状に設けられた
分離電極端子１０５とから形成されている。

なお、図中１０６は電子ビーム制御電極１０２の表面か
ら一定の間隔を保持し、且つ電子ビーム制御電極１０２
の延設方向と直交する方向に、図示しない伸長張架手段
によって張架された線状陰極である。

よってこの構成のマトリックス電子源によれば、分離電
極導出部１０５の共通接続部１０４と、各分離電極１０
３とが電気的に一体に接続されるので、分離電極端子１
０５を通して分Ｈ電極１０３に電位を印加することがで
きる。

次に、このマトリックス電子源１０７の製造方法につい
て説明する。

第２　図（ａ）〜（ｄ）は本実施例のマトリックス電子
源１０７を製造工程順に示した図である。

即ち、同図（ａ）に示すようにガラスから成る絶縁性支
持基Ｆｊ、２０１上に沈降法、あるいは回転塗布法を用
いて厚さ１〜３μｍのフォトレジスト２０２を形成し、
電子ビーム制御電極２０５を構成する部分が凸部となる
ようフォトレジスト２０２を露光、現像する。

次に、同図（ｂ）に示すように絶縁性支持基板２０１周
縁部を金属マスク２０３で覆い、絶縁性支持基板２０１
上からアルミを抵抗加熱法で厚さ０．３〜０゜５μｍに
蒸着する。そして後に形成する凹部２０４に対応する部
分のアルミ、フォトレジスト２０２のリフトオフを行っ
て電子ビーム制御電極パターン２０６を形成する。

次に、同図（ｃ）に示すように図示しない治具に絶縁性
支持基板２０１をほぼ垂直に立て掛けておき、弗酸、ぶ
つ化アンモニウム等のガラスエツチング溶液を２〜３　
ｋｇ／−の圧力で絶縁性支持基板２０１の表面に均一に
吹きつけ、電子ビーム制御電極パターン２０６をマスク
として分離電極２０７および分離電極導出部（第２図（
ｃ）では図示しない）に対応する部分に深さ０．８〜１
．０ｆｉの凹部２０４を形成する。この工程において電
子ビーム制御パターン２０６上に電子ビーム制御電極２
０５が形成される。

更に、同図（ｄ）に示すように絶縁性支持基板２０１の
周縁部に金属マスク２０３を設け、絶縁性支持基板２０
１上部からアルミを蒸着することにより凹部２０４に分
離電極２０７、及び分離電極導出部（第２図（ｄ）では
図示しない）を同時に形成する。そして最後に電子ビー
ム制御電極２０５０表面から一定の間隔を保持し、且つ
電子ビーム制御電極２０５延設方向と直交する方向に図
示しない線状陰極を設けることによりマトリックス電子
源１０７を完成させる。

ここで行うアルミの蒸着法は、電子ビーム蒸着法、ある
いは抵抗加熱蒸着法のような蒸着源と絶縁性支持基板２
０１の間が広く、蒸着物が絶縁性支持基Ｆｉ２０１表面
にほぼ垂直に飛来する方法が好ましい。より具体的には
、奈着源と絶縁性支持基板２０１の間隔を２００額以上
、好ましくは４００　ｗ以上離して遺著すればよく、こ
の方法を用いることにより、電子ビーム制御電極２０５
と分離電極２０７間の絶縁性支持基板２０１にほぼ垂直
に構成される露出絶縁部２０日に、蒸着金属が付着する
ために生しる短絡現象を未然に防止することができる。

（実施例２） 以下第２の実施例を第３図を用いて説明する。

本実施例のマトリックス電子源は、ガラスから成る絶縁
性支持基板３０１の上に易エンチング性の絶縁性の絶縁
層３０２を施した点で第１の実施例と相違する。ここで
易エツチング性の絶縁層３０２は低融点ハンダガラス等
によって形成される。そして、絶縁層３０２の表面に第
１の実施例と同様の工程で電子ビーム制御電極３ｏ３、
分離電極３ｏ４、図示しない分離電極導出部を形成し、
更にこの電子ビーム制御電極３０３の表面から一定間隔
離れ、且つ電子ビーム制御電極３０３の延設方向と直交
する方向に図示しない線状陰極が設けられる。

本実施例は容易に絶縁層３０２をエツチングでき、やや
エツチング時間を長くすることによってサイドエツチン
グが進み電子ビーム制御電極３０３がオーババングされ
、電子ビーム制御電極３０３と分離電極３０４の絶縁を
より確実に確保することができる。

またここでのエツチング）容液としては３０〜４０℃の
硝酸水溶液が用いられる。

第４図に第１の実施例のマトリックス電子源１゜７を外
部に導出した場合を示す。

第４図は本実施例のマトリックス電子源を外部電極端子
と電気的に導出、および固定する場合を示した図であり
、第１の実施例であるマトリックス電子源１０７をその
例にとり説明する。

外部電極端子４０３は電子ビーム制御電極１０２と同し
本数で、且つストライプ状の電子ビーム制御電極導出端
子４０１　と、１本の分離電極導出部子４０２を備えて
いる。

可撓性接続手段４０５は可撓性絶縁体４０４と複数の導
電体細線４０４から形成されている。

この場合電子ビーム制御電極１０２は導電体細線４０４
によって電子ビーム制御電極導出端子４０１と電気的に
導通され、また分離電極端子１０５はワイヤボンディン
グ４０６によって分ｙ！ｓ電極導出端子４゜２と電気的
に導通される。また固定の仕方は電子ビーム制御電極１
０２と、電子ビーム制御電極導出端子４０１　とを導電
体細線４０４によって導通させ、その導通箇所を溶接、
あるいは導電ペースト等の塗布、焼成を行うことにより
なされる。具体的に使用する導電ペーストは銀ペースト
、ニッケルペーストである。

第１、第２の実施例では、電子ビーム制御電極として蒸
着による薄膜状のものを示したが、各本実施例の電子ビ
ーム制御電極の構成はこれに限らずあらかじめ形成した
薄板電極を溶接、封着等の固定手段によって絶縁性支持
基板上に固着して形成してもよい。

また各本実施例では分Ｈ電極を全て共通に接続したが、
絶縁性支持基板端部において分離電極の共通接続部を複
数ブロックに分割して分離電極導出部を形成してもよい
。

〔発明の効果］ 以上本発明の平板型陰極線管表示装置のマトリックス電
子源においては、分離電極と分離電極導出部とを電気的
に一体に形成しているので、分離電極導出部が分離電極
、および外部と確実、且つ容易に導通を得ることができ
、尚且つ分離電極と分離電極導出部を容易に構成するこ
とができる。

更に、絶縁性支持基板に凹凸を設けその段差を利用して
電子ビーム制御！極、及び分離電極を配置しているので
電子ビーム制御電極のビ・ツチ、並びに絶縁性支持基板
の凹凸の巾が狭くなっても両電極の絶縁を確実に得るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
の実施例の平板型陰極線管表示装置を製造工程順に示し
た断面図、第３回は本発明の他の実施例を示す断面図、
第４回は第１の実施例のマトリックス電子源を外部に導
出した場合を示す斜視図、第５図は従来のマトリックス
電子源を用いた平板型陰極線管表示装置の構成配置ズ、
第６図は従来のマトリックス電子源を示す斜視図である
。 １ｍ １０１．３０１は絶縁性支持基板、１０２，３０３は電
子ビーム制御電極、１０３，３０４は分離電極、１０６
は線状陰極、１０４は共通接続部、１０５は分離電極端
子、１０５／は分離電極導出部 特許出願人　　古河電気工業株式会社 第 図 電子ビ ム制御電極 第 図 ４０４可撓性絶縁体 第 図 第 図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁性支持基板上に、電子ビームを制御する電子
   ビーム制御電極と、該電子ビーム制御電極の電位遮蔽を
   行う分離電極とがストライプ状に形成され、前記電子ビ
   ーム制御電極の表面から一定の間隔を保持し、且つ前記
   ストライプ状に形成された両電極と直交する方向に配置
   された線状陰極とで構成された平板型陰極線管表示装置
   のマトリックス電子源において、前記絶縁性支持基板端
   部に前記分離電極の電極導出部が前記分離電極と電気的
   に一体に形成されていることを特徴とする平板型陰極線
   管表示装置のマトリックス電子源。
2. （２）前記分離電極及び前記分離電極の電極導出部は蒸
   着法により形成されたことを特徴とする請求項１記載の
   平板型陰極線管表示装置のマトリックス電子源。
3. （３）前記絶縁性支持基板上に設けられたストライプ状
   の凹凸の凸部に電子ビーム制御電極が、凹部に分離電極
   が形成されていることを特徴とする請求項１記載の平板
   型陰極線管表示装置のマトリックス電子源。