JPH04240510A - 欠陥判別方法 - Google Patents

欠陥判別方法

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JPH04240510A
JPH04240510A JP3024124A JP2412491A JPH04240510A JP H04240510 A JPH04240510 A JP H04240510A JP 3024124 A JP3024124 A JP 3024124A JP 2412491 A JP2412491 A JP 2412491A JP H04240510 A JPH04240510 A JP H04240510A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、工業製品の生産工程に
おける欠陥判別方法に関し、特にビデオカメラ及びコン
ピュータを利用して欠陥を判別する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、被検査物に照明光を照射し、
その透過光又は反射光像をビデオカメラで捕えて画像信
号を発生させ、その画像信号をコンピュータ等の電子処
理機で判定して欠陥を検出する方法が行なわれている。 そして、欠陥を検出するかどうかの判定を行う場合には
、画像信号に対して所定の閾値を設定し、その値を超え
る信号に対応する部分を欠陥として判定する方法などが
多く採用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、欠陥として
検出される傷等の形状は種々のものがあり、例えば、周
辺が非常に凹凸の激しいギザギザ状のもの、あるいは複
数個の小さい変化部分が集まって1個の傷に見えるもの
など、非常に変化に富んでいる。従って、従来例のよう
に画像信号に対し単に閾値を設定してその値を超える信
号の部分を欠陥とする方法では、このように形状に変化
のある傷等に対し欠陥であるか否かの判定基準を定める
ことは非常に困難である。たとえば、中に細い割れ目が
あるためミクロ的には2個に見える傷に対しても、従来
の方法では1個と判定されてしまい、正確な欠陥の判別
を行うことができないという問題があった。
【0004】本発明は、かかる従来例の課題に鑑みてな
されたもので、その目的とするところは、多様な種類の
傷を検出する際に、傷の形状に対する判定基準の設定や
傷の大きさの判別を容易且つ正確に行いうる欠陥判別方
法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、被検査物の光
像をビデオカメラで捕え、このビデオカメラにて得られ
た画像信号による画像領域を水平及び垂直の網目状に分
割し、これら分割された各領域の明るさを検出すること
により被検査物の欠陥を判別する欠陥判別方法において
、ビデオカメラの画面走査の際に最初に欠陥部分として
検出された領域の位置を第1の基準位置として記憶し、
次いで、引き続き欠陥部分として検出された領域に対し
この第1の基準位置に基づき水平及び垂直方向の距離を
測定して予め定められた距離内に位置する場合にその領
域を選択して第2の基準位置として記憶し、さらに、引
き続き欠陥部分として検出された領域に対し第2の基準
位置に基づき水平及び垂直方向の距離を測定して予め定
められた距離内に位置する場合にその領域を選択して第
3の基準位置として記憶する処理を繰り返し、記憶され
た複数個の領域の水平及び垂直に対する最大距離に基づ
いて欠陥の大きさを判別するようにしたものである。こ
の場合、分割された領域の距離測定、選択及び記憶処理
が終了した後に、その欠陥部分のほかに存在する欠陥部
分に対し同様の処理を繰り返し行うことも効果的である
。また、領域を選択する際の基準となる予め定められた
距離を可変とすることも効果的である。さらに、領域を
選択する基準となる予め定められた距離を、水平及び垂
直の方向に対してそれぞれ異なった値に設定することも
効果的である。また、記憶された複数個の領域の水平及
び垂直に対する最大距離が予め定められた値を超えた場
合に欠陥である傷と判定するように構成することも効果
がある。
【0006】
【作用】通常ビデオカメラは、画面の左上方から水平走
査を繰り返し、右下方において1フィールドの走査を終
了する。 本発明においては、ビデオカメラがこのような画面走査
を行う際に最初に欠陥部分として検出された領域の位置
を第1の基準位置として記憶し、次いで、引き続き欠陥
部分として検出された領域に対しこの第1の基準位置に
基づき水平及び垂直方向の距離を測定して予め定められ
た距離内に位置する場合にその領域を選択して第2の基
準位置として記憶し、さらに、引き続き欠陥部分として
検出された領域に対しこの第2の基準位置に基づき水平
及び垂直方向の距離を測定して予め定められた距離内に
位置する場合にその領域を選択して第3の基準位置とし
て記憶する処理を繰り返す。従って、本発明にあっては
、領域を選択する距離を適当に定めておくことにより、
先行する領域から所定距離以上離れた領域が脱落する。 この結果、例えば、実際は細い割れ目があって2個の欠
陥として判定すべきであるが画像領域上は一部分でつな
がっているため1個の欠陥として見えるものについても
、本発明を適用することで、このつながっている領域が
脱落し、2個の欠陥であると判定できる。 また、本発明にあっては、上述の処理の後、記憶された
複数個の領域の水平及び垂直に対する最大距離に基づい
て欠陥の大きさを判別することから、欠陥の大きさを算
出するための処理を行う必要がない。 また、分割された領域の距離測定、選択及び記憶処理が
終了した後に、その欠陥部分のほかに存在する欠陥部分
に対し同様の処理を繰り返し行うことにより、複数の欠
陥が存在する場合であっても欠陥の大きさを判別するこ
とができる。さらに、領域を選択する際の基準となる予
め定められた距離を可変とすることにより、種々の大き
さの欠陥を判別することが可能となり、また、この距離
を水平及び垂直の方向に対してそれぞれ異なった値に設
定することにより、縦長若しくは横長の欠陥を正確に判
別することができる。 さらにまた、記憶された複数個の領域の水平及び垂直に
対する最大距離が予め定められた値を超えた場合に欠陥
である傷と判別することにより、きわめて迅速に欠陥の
判別を行うことができる。
【0007】
【実施例】以下、本発明に係る欠陥判別方法の一実施例
を図面を参照して説明する。図1は、本実施例について
電子処理機の電子処理の流れを図示したものである。図
2は、説明の便宜上仮に設定した傷Pの形状を示すもの
であり、例えばビデオカメラに固体撮像素子を用いた場
合、傷を撮像して得た画像の1部を拡大して格子状に構
成された素子Aの上に重ねて表したものである。実際は
、各素子の大きさは微小なものであるが、説明の便宜上
素子Aの大きさは誇張して拡大されて示されている。 この傷Pをビデオカメラにより撮像して欠陥となる傷で
あることを判定する電子処理機の処理の方法について説
明を行う。
【0008】図3は、画像の1部について画像素子を格
子状に示したものであるが、太実線で示された(1) 
から(20)までの部分の素子は、図2の傷Pの部分に
対応して傷の部分が抽出されていることを示したもので
ある。図2に示す傷Pの中に細い割れ目Bがあると仮定
したので、図3の格子状の素子の傷を示している部分に
も間に空間Cが存在する。
【0009】傷検出を目的とした検査装置における電子
処理の方法は、ビデオカメラが撮像して得た画像信号を
所定の閾値で画像のレベルをスライスして傷の部分を抽
出し、メモリに記憶出来るよう2値化信号に変換するの
が一般的な検出の処理方法である。勿論その他にも、予
め画像信号をA/Dコンバータによりデジタル信号に変
換しておき、エッジ処理等により欠陥部分の輪郭のみを
抽出する方法等があるが、本発明においては欠陥の抽出
方法による限定は無く、いずれの抽出方法によっても実
施が可能であるので、上述のレベルスライス法による例
に基づいて説明を行う。
【0010】図1に戻って本実施例の方法とそれに伴う
動作を説明してみると、ステップ1において、例えば固
体撮像素子を用いたビデオカメラを用い、被検査物に適
切な照明を施しその反射光或は透過光を受光する。ステ
ップ2においてビデオカメラにより画像を取り込み、画
像信号を発生させる。ステップ3において画像信号に対
し、ステップ3Aにおいて予め定めておいた所定の閾値
でその信号のレベルをスライスして傷と思われるレベル
の異なっている部分を抽出する。この場合、ビデオカメ
ラにおいては、図2の画像の左上の素子Aoから水平走
査を繰り返し、右下の素子Anで1フィールドの走査を
終了する。
【0011】次に、抽出された信号をメモリに記憶し易
い形に変換するためステップ4において2値化信号変換
の処理を行う。即ち、例えば上述の閾値を超える画像素
子の部分の信号をハイレベル(又は“1”)、閾値以下
の画像素子の部分の信号をローレベル(又は“0”)と
すれば良い。2値化された抽出信号の位置をステップ5
においてメモリ(図示せず)に記憶する。この場合、メ
モリに対し単に抽出信号を記憶すると言うことではなく
、抽出された信号の画像の中における位置を示す位置信
号としてメモリに格納する。
【0012】ステップ6においてメモリに記憶されてい
る抽出信号の位置(素子の位置)をサーチする。 ステップ7においてステップ6でサーチされている抽出
信号の位置の中から特定の位置のものを選定する。ここ
で、選定の条件として最初に検出された抽出信号の位置
を基準とし、横方向(水平方向)にいくつ離れている抽
出信号の位置までを選択して次の基準位置を定めるか、
及び縦方向(垂直方向)にいくつ離れている抽出信号の
位置までを選択して次の基準位置を定めるかの閾値をス
テップ7Aにおいて予め設定しておく。換言すれば、最
初に検出された抽出信号の位置を基準として横方向及び
縦方向のいくつまでの素子の抽出信号を選択するかと言
うことである。勿論、横方向及び縦方向の閾値をそれぞ
れ異なった値に設定しても良く、これにより、横長若し
くは縦長の欠陥に対しても対処しうる。
【0013】ここで図3を用いて選択の条件を説明する
。図2は、説明上仮に設定した形状の傷Pを示したもの
であるが、これをビデオカメラで撮像して捕えた画像信
号を、前述のごとき電子処理により傷と思われる部分を
抽出し、画像を格子状に分割して各画像素子を表し、抽
出信号(前述の“1”に相当する部分)の位置を示した
ものが図3である。同図において細線の各素子を表した
格子図の中の太線部分は、信号が抽出された部分に相当
する素子であることを示し、(1) から(20)まで
の20個の素子は信号が抽出された部分であることを示
している。
【0014】いま、Tを基準位置から縦方向にいくつ離
れているかを示す数字とし、Yを基準位置から横方向に
いくつ離れているかを示す数字とする。例えば、(2)
 の素子は最初に定められた基準位置にある(1) の
素子に対して縦方向の離隔距離は“0”(T:0)であ
り、横方向の離間距離は“1”(Y:1)である。同様
に(2) の素子の位置を次の基準位置と定めれば、(
3)は(2)に対して(T:1  Y:1)の関係位置
になる。(20)までの関係位置も同様に図に示してあ
る通りである。
【0015】ステップ7における信号選択の条件として
、ステップ7Aにおいて条件設定のための閾値の設定、
即ち信号選択の条件として許容される基準位置からの縦
及び横の離隔距離(位置)を予め定めておく。例えば選
択の条件を(T:1  Y:4)としておけば、図3に
示された抽出信号はすべて次々に基準位置として選択さ
れ、1個の傷の部分であると判定される。仮に選択の条
件を(T:1Y:3)と設定すると、たとえば(10)
の位置を基準として(11)は選定されることがなく、
このため傷Pの上方部P1 と下方部P2 は別個のも
のとして傷が2個あると判定されることになる。尚、こ
のように選択の条件を満たさない信号が存在する場合に
は、その時点で信号選択の処理を停止し、ステップ8へ
進む。
【0016】次に、ステップ8において選定された信号
の位置をメモリに記憶する。記憶された信号の位置はス
テップ9において縦及び横の最大距離を測定する。前述
のごとく抽出信号の選定条件を(T:1  Y:4)と
し1個の傷と判定された場合の抽出信号間の最大距離は
、図に示すごとく縦:6及び横:6となる。
【0017】ステップ10は総合的な判定処理を行う段
階で、例えば上述の抽出信号間の最大距離により傷の大
きさを何種類かに定めておいてそれを示すデータを出力
するとか、あるいは予め抽出信号間の縦及び横の所定の
最大距離をそれぞれ定めておき、いずれかの最大距離を
超える値を有するものがあるとき、それは欠陥と見なさ
れる傷であることを示す信号を出力すること等種々の判
定方法を傷検出の目的に応じて設定する。すなわち、図
2に示す傷Pについて上述の選択条件を(T:1  Y
:4)とした場合には、上述の最大距離縦:6及び横:
6に基づいて、例えば1個の所定の大きさの傷があると
判定することができる。尚、前述のごとくこれも縦、横
に対する設定値をそれぞれ異なった値にしても良いこと
は勿論である。これにより、種々の大きさの欠陥を判別
しうる。
【0018】一方、例えば選択の条件を(T:1  Y
:3)とした場合のように、カメラが撮像している視野
の中で、欠陥と思われる傷の部分が複数個(2個)存在
する場合がある。そこでこれに対応するためには、ステ
ップ6〜8に示す位置のサーチ、信号選択及び選定信号
の記憶の処理を数回繰り返して行う。この場合ステップ
7の信号選択の際には、前回選定された抽出信号の位置
のものは除外して選択を行う。このような動作を繰り返
し行った後に、ステップ9において複数個の選定された
抽出信号間のそれぞれについて最大距離の測定を行う。 あるいは、先にそれぞれの抽出信号間の最大距離を測定
しておいてから前記の処理を繰り返し行っても良い。従
って、図2に示す傷Pについて上述の選択条件を(T:
1  Y:3)とした場合には、このような処理により
、最大距離が縦3及び横5の傷と縦2及び横5の傷の2
個のデータが得られる。そして、これらの傷についてス
テップ10で総合判定を行えばよい。
【0019】以上述べたように本実施例によれば、多様
な種類の傷を検出する際に、傷の形状に対する判定基準
の設定や傷の大きさの判別が容易にして正確に行える効
果がある。また、処理の方法は極めて簡易なロジックに
より構成されているので機器の製作も容易である。
【0020】電子処理機における上述のような動作は、
通常コンピュータの利用により電子処理を行わせるもの
であるが、本発明の主旨を発揮するよう上記コンピュー
タを動作させる為のソフトウエアの製作を行うことは、
当業者にとって極めて容易であることは言うまでも無い
【0021】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、多様
な種類の傷を検出する際に、傷の形状に対する判定基準
の設定や傷の大きさの判別を容易かつ正確に行うことが
できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す動作説明図である。
【図2】傷の形状を模式的に示す説明図である。
【図3】各欠陥部分の基準位置に対する縦及び横方向の
距離を示す説明図である。
【符号の説明】
P  傷 P1   上方部 P2   下方部 A  素子 B  割れ目 C  空間

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  被検査物の光像をビデオカメラで捕え
    、該ビデオカメラにて得られた画像信号による領域を水
    平及び垂直の網目状に分割し、これら分割された各領域
    の明るさを検出することにより被検査物の欠陥を判別す
    る欠陥判別方法において、上記ビデオカメラの画面走査
    の際に最初に欠陥部分として検出された上記領域の位置
    を第1の基準位置として記憶し、次いで、引き続き欠陥
    部分として検出された上記領域に対し上記第1の基準位
    置に基づき水平及び垂直方向の距離を測定して予め定め
    られた距離内に位置する場合にその領域を選択して第2
    の基準位置として記憶し、さらに、引き続き欠陥部分と
    して検出された上記領域に対し上記第2の基準位置に基
    づき水平及び垂直方向の距離を測定して予め定められた
    距離内に位置する場合にその領域を選択して第3の基準
    位置として記憶する処理を繰り返し、記憶された複数個
    の領域の水平及び垂直に対する最大距離に基づいて欠陥
    の大きさを判別するようにしたことを特徴とする欠陥判
    別方法。
  2. 【請求項2】  分割された領域の距離測定、選択及び
    記憶処理が終了した後に、その欠陥部分のほかに存在す
    る欠陥部分に対し同様の処理を繰り返し行うことを特徴
    とする請求項1記載の欠陥判別方法。
  3. 【請求項3】  領域を選択する際の基準となる予め定
    められた距離を可変としたことを特徴とする請求項1記
    載の欠陥判別方法。
  4. 【請求項4】  領域を選択する際の基準となる予め定
    められた距離を、水平及び垂直の方向に対してそれぞれ
    異なった値に設定することを特徴とする請求項1記載の
    欠陥判別方法。
  5. 【請求項5】  記憶された複数個の領域の水平及び垂
    直に対する最大距離が予め定められた値を超えた場合に
    欠陥である傷と判定するようにしたことを特徴とする請
    求項1記載の欠陥判別方法。
JP3024124A 1991-01-24 1991-01-24 欠陥判別方法 Expired - Lifetime JPH0678895B2 (ja)

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