CN113741143A - 一种掩膜版缺陷点排序方法及修补方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种掩膜版缺陷点排序方法及基于该排序方法的掩膜版缺陷点修补方法，排序方法为，将掩膜版分区处理，分区间的扫描顺序为，从某一边角分区开始，S形逐个依序扫描；每个分区内的扫描顺序为，最先扫描距离上一分区最近的缺陷点，然后依次扫描与上一缺陷点最接近的缺陷点，直至扫描完该分区所有缺陷点。区域划分掩膜版，极大地简化缺陷点排序算法的难度，降低排序运行时间，提高效率；分区内扫描排序，有效降低了现有技术中找点时版面高度不一致对镜头焦距的影响，进而降低了镜头失焦的出现频率，从而减少了手动调焦的频次，提高了修补效率，同时也降低了因手动聚焦过失剐蹭版面的几率。
Description
技术领域
本发明涉及掩膜版修补技术领域，具体是一种掩膜版缺陷点排序方法及基于该排序方法的掩膜版缺陷点修补方法。
背景技术
现有的缺陷点排序方法及基于该排序方法的掩膜版缺陷修补方法为，首先通过缺陷检查机对光刻图形进行扫描，得出缺陷点坐标，然后导入到缺陷修补机进行缺陷修补。现有技术中，对缺陷点基本上按照某一固定方向(例如X向或Y向)进行排序，如图1所示，修补过程也是按照该排序进行寻点修补。这种修补方式存在以下缺点：1、整版反复来回扫描缺陷点，拉长了扫描路径，当掩膜版尺寸较大时，这一问题尤为突出；2、扫描过程中镜头大距离地反复来回移动，当掩膜版高度不一致时，容易造成镜头频繁失焦，需重新对焦，有一定程序上耗费了时间，降低了修补效率；3、镜头存在自我保护机制，当掩膜版超过一定高度时，镜头出于自我保护，无法自动对焦，就需要操作人员手动调焦，若采用手动调焦，还存在镜头碰撞掩膜版的风险。
发明内容
针对掩膜版现有修补技术中存在的缺陷点坐标无序带来的问题，本发明提出一种掩膜版缺陷点排序方法及基于该排序方法的掩膜版缺陷点修补方法，能够优化缺陷点最佳修补路径，有效减少修补机的寻点时间，提高修补效率。
本发明保护一种掩膜版缺陷点排序方法，将掩膜版分区处理，分区间的扫描顺序为，从某一边角分区开始，S形逐个依序扫描；每个分区内的扫描顺序为，最先扫描距离上一分区最近的缺陷点，然后依次扫描与上一缺陷点最接近的缺陷点，直至扫描完该分区所有缺陷点。
优选的，整个扫描环节中最先扫描的是边角分区在对应边角的缺陷点。
优选的，当掩膜版尺寸≤800mm*960mm时，将其六等分处理，形成六宫格；当掩膜版＞800mm*960mm时，将其九等分处理，形成九宫格。
每个分区内的扫描算法具体为，对于任一分区R的n个缺陷点，排序前所有缺陷点记入MR；首先选择起始扫描点R1，从MR中挑选与R1距离最小的点，作为下一个扫描点R2，已排序缺陷点从MR中剔除并记入NR，以此类推，直至扫描完分区R所有的缺陷点，形成R1到Rn的扫描路径。按照分区间的扫描顺序连接每个分区内头尾的扫描点，形成掩膜版的最佳修补路径。
本发明还保护一种基于上述最佳修补路径进行掩膜版缺陷点修补的掩膜版缺陷点修补方法，以及基于该缺陷点修补方法进行掩膜版缺陷点修补的掩膜版缺陷修补机。
本发明的有益效果：1、区域划分掩膜版，极大地简化缺陷点排序算法的难度，降低排序运行时间，提高效率；2、分区内扫描排序，有效降低了现有技术中找点时版面高度不一致对镜头焦距的影响，进而降低了镜头失焦的出现频率，从而减少了手动调焦的频次，提高了修补效率，同时也降低了因手动聚焦过失剐蹭版面的几率。
附图说明
图1为现有缺陷点排序方式；
图2为掩膜版九宫格分区示意图；
图3为本发明优化后的扫描路径示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
实施例1
一种掩膜版缺陷点排序方法，将掩膜版分区处理，分区间的扫描顺序为，从某一边角分区开始，S形逐个依序扫描，如图2所示。图2中是对掩膜版分隔成九宫格。经过论证，当掩膜版尺寸≤800mm*960mm时，建议进行六等分处理，形成六宫格；当掩膜版＞800mm*960mm时，建议进行九等分处理，形成九宫格。
结合图2中标注的方向，该掩膜版分区间的S形扫描路径为A→B→C→F→E→D→G→H→I。每一分区扫描完毕后，均切换到与之相邻的分区继续作业，在降低修补镜头在整个掩膜版范围内大跨度来回带来的扫描时间延迟和机械损耗的同时，还减少了修补镜头在不同高度的分区间切换，频繁失焦后需要重新对焦的问题。
对于每个分区内的扫描顺序，可以采用现有的固定方向升序排列的方式。在此，本实施例给出另外一种缺陷点排序方式：最先扫描距离上一分区最近的缺陷点，然后依次扫描与上一缺陷点最接近的缺陷点，直至扫描完该分区所有缺陷点。下面以任一分区R为例进行展开阐述。
对于任一分区R的n个缺陷点，排序前所有缺陷点记入MR；首先选择起始扫描点R1，从MR中挑选与R1距离最小的点，作为下一个扫描点R2，将R2从MR中剔除并记入NR；然后从MR中挑选与R2距离最小的点，作为下一个扫描点R3，将R3从MR中剔除并记入NR，以此类推，直至扫描完分区R所有的缺陷点，形成R1到Rn的扫描路径。该排序方法优化了缺陷点扫描路径，将缺陷点坐标按照最短距离原则进行排序，有效减少修补机的寻点时间。
每个分区内的扫描路径均确定好后，还需整合形成掩膜版的扫描路径。在此，本实施例按照分区间的扫描顺序连接每个分区内头尾的扫描点。参照图3所示，B区是紧接A区进行扫描的，则将A区最后一个缺陷点⑩与B区第一个缺陷点
相连，依次类推，形成图3所示整体扫描路径，作为掩膜版的最佳修补路径。
相比于图1，可以明显看出本发明将掩膜版进行分区扫描的优势所在：区域划分掩膜版，极大地简化缺陷点排序算法的难度，降低排序运行时间，提高效率；分区内扫描排序，有效降低了现有技术中找点时版面高度不一致对镜头焦距的影响，进而降低了镜头失焦的出现频率，从而减少了手动调焦的频次，提高了修补效率，同时也降低了因手动聚焦过失剐蹭版面的几率。
当然，为了保证路径规划效果，整个扫描环节中最先扫描的是边角分区在对应边角的缺陷点。例如，图3中A区为右上角分区，则A区中最先选取的扫描点应为A区中最靠近右上角的缺陷点②。
本发明公开的掩膜版缺陷点排序方法的应用并不局限于掩膜版修补技术领域，可以在其他领域一些类似场景中得到扩展应用。
一种基于上述最佳修补路径进行掩膜版缺陷点修补的掩膜版缺陷点修补方法，以及基于该缺陷点修补方法进行掩膜版缺陷点修补的掩膜版缺陷修补机，均在本发明保护范围之中。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。
Claims (7)
1.一种掩膜版缺陷点排序方法，其特征在于，将掩膜版分区处理，分区间的扫描顺序为，从某一边角分区开始，S形逐个依序扫描；每个分区内的扫描顺序为，最先扫描距离上一分区最近的缺陷点，然后依次扫描与上一缺陷点最接近的缺陷点，直至扫描完该分区所有缺陷点。
2.根据权利要求1所述的掩膜版缺陷点排序方法，其特征在于，整个扫描环节中最先扫描的是边角分区在对应边角的缺陷点。
3.根据权利要求2所述的掩膜版缺陷点排序方法，其特征在于，当掩膜版尺寸≤800mm*960mm时，将其六等分处理，形成六宫格；当掩膜版＞800mm*960mm时，将其九等分处理，形成九宫格。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的掩膜版缺陷点排序方法，其特征在于，对于任一分区R的n个缺陷点，排序前所有缺陷点记入MR；首先选择起始扫描点R1，从MR中挑选与R1距离最小的点，作为下一个扫描点R2，已排序缺陷点从MR中剔除并记入NR，以此类推，直至扫描完分区R所有的缺陷点，形成R1到Rn的扫描路径。
5.根据权利要求4所述的掩膜版缺陷点排序方法，其特征在于，按照分区间的扫描顺序连接每个分区内头尾的扫描点，形成掩膜版的最佳修补路径。
6.一种掩膜版缺陷点修补方法，其特征在于，基于权利要求5所述的最佳修补路径进行掩膜版缺陷点修补。
7.一种掩膜版缺陷修补机，其特征在于，使用权利要求6所述的缺陷点修补方法进行掩膜版缺陷点修补。
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