JPH04238318A - 光ビーム走査装置及び光ビーム走査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、入射された光ビームを
入力された信号の周波数に応じた方向へ回折させて前記
信号の振幅に応じたパワーで射出する音響光学素子を備
えた光ビーム走査装置及び前記音響光学素子を用いて画
像を記録する光ビーム走査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、マルチ周波数音響光学素子（
ＡＯＭ）を備えた光学変調装置を用いて複数本のレーザ
ビームを形成することにより安定かつ高速に読取り或い
は記録できる光ビーム走査装置が提案されている（特公
昭６３−５７４１号公報、特開昭５４−５４５５号公報
、特開昭５７−４１６１８号公報、特公昭５３−９８５
６号公報等参照）。

【０００３】かかるマルチ周波数音響光学素子を用いて
画像を記録するレーザビーム記録装置等の光ビーム走査
装置では、異なる周波数の信号を各々出力する複数の発
振器と、発振器の出力端の各々に接続されかつ発振器か
ら出力された信号の振幅を制御する複数の振幅制御器と
、複数の振幅制御器から出力された信号の各々を混合し
て音響光学素子に入力する混合手段と、から成る入力手
段を備えている。音響光学素子にレーザビームが入射さ
れた状態で前記複数の信号が入力されると、前記レーザ
ビームが音響光学効果によって回折し、音響光学素子か
ら前記信号の数と同数のレーザビームが回折光として射
出される。なお、射出される各々のレーザビームの回折
角度は前記信号の周波数に依存し、各々のレーザビーム
のパワーは前記信号の振幅に依存する。レーザビーム記
録装置ではこの複数のレーザビームを走査光学系及び記
録光学系を介して同時に感光材料の感光面へ照射する。

【０００４】走査光学系は回転多面鏡（ポリゴンミラー
）及びガルバノミラー等で構成されている。走査光学系
へ入射された複数本のレーザビームは、高速で回転する
ポリゴンミラーの反射面で反射されることにより複数本
の主走査方向への偏向が同時になされ、さらに、所定速
度で回転されるガルバノミラーで反射されることにより
副走査方向への偏向がなされ、２次元平面に画像が形成
される。

【０００５】また、記録光学系は倍率の異なる複数のレ
ンズを備え、この複数のレンズの中のいずれかをレーザ
ビームの光路上に配置させる。走査光学系を通過した複
数本のレーザビームは記録光学系において前記光路上に
配置されたレンズを通過した後に感光面へ照射され、感
光面上に所定の大きさの画像が形成される。記録光学系
においてレーザビームが通過するレンズが変更されるこ
とによって、感光面上に形成させる画像の大きさ、すな
わち画像記録密度が変更される。また、感光面の単位面
積当りの露光量が一定とするために、画像を記録する感
光面上に高い記録密度で画像を記録する場合、すなわち
光路上に縮小率の高いレンズを配置して画像を記録する
場合には、音響光学素子に入力する信号の振幅を小さく
している。これにより、音響光学素子から射出されるレ
ーザビームのパワーを抑え、感光材料のオーバ露光を防
止している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、周知の
ように音響光学素子は信号が入力されていない状態であ
っても、入射されたレーザビームからの若干の散乱光、
所謂フレアを射出している。このフレアは、レーザビー
ムが通過するガラス等の媒質の密度むら（結晶の脈理）
、ガラス等の表面に形成された光反射防止膜、所謂マル
チコートの膜厚のむら、ガラス等の表面に付着した埃等
によって発生する。このフレアの一部は走査光学系及び
記録光学系を介して感光面へ照射される。これにより、
感光面の非画像部分及び画像中のレーザビームを照射し
ない部分がフレアによって若干感光し、画像の品質を低
下させる。

【０００７】特に感光面上に高い記録密度で画像を記録
する場合には、上述のように音響光学素子に入力する信
号の振幅を小さくして音響光学素子から射出されるレー
ザビームのパワーを抑えているため、音響光学素子に信
号を入力した場合に射出されるレーザビームのパワーと
音響光学素子に信号を入力しない場合の前記フレアのパ
ワーとの比率、所謂消光比が低下する。このため、画像
中のレーザビームを照射する部分の露光量と、感光面の
非画像部分及び画像中のレーザビームを照射しない部分
のフレアによる露光量と、の差が小さくなり、画像の品
質が著しく低下する。このように、レーザビーム記録装
置等の光ビーム走査装置では、特に光ビームのパワーを
抑えて処理を行う場合に、消光比の低下に伴って処理品
質が低下していた。

【０００８】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、処理品質を向上させることができる光ビーム走査装
置を得ることが目的である。

【０００９】また、本発明は感光材料に記録する画像の
品質を向上させることができる光ビーム走査方法を得る
ことが目的である。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明では
、入射された光ビームを入力された信号の周波数に応じ
た方向へ回折させて前記信号の振幅に応じたパワーで射
出する音響光学素子と、振幅が所定値以上の信号を前記
音響光学素子に入力する入力手段と、音響光学素子の光
ビーム射出側に配置され音響光学素子から射出される光
のパワーを減衰させる減衰手段と、を有している。

【００１１】請求項２記載の発明では、入射された光ビ
ームを入力された信号の周波数に応じた方向へ回折させ
て前記信号の振幅に応じたパワーで射出する音響光学素
子と、信号を前記音響光学素子に入力する入力手段と、
音響光学素子から射出された光のパワーを減衰させる第
１の位置と前記第１の位置から退避した第２の位置との
間を移動可能とされた減衰手段と、走査条件に応じて前
記減衰手段を移動させる移動手段と、前記減衰手段が第
１の位置に位置しているときに走査条件に応じて前記信
号の振幅が所定値以上になるように前記入力手段を制御
する制御手段と、を有している。

【００１２】請求項３記載の発明では、入射された光ビ
ームを入力された信号の周波数に応じた方向へ回折させ
て前記信号の振幅に応じたパワーで射出する音響光学素
子から射出された光ビームによって走査し、感光材料の
単位面積当りの露光量が所定値となるようにして画像を
記録するにあたり、前記音響光学素子に入力される信号
の振幅を大きくした後に音響光学素子から射出される光
のパワーを減衰させるかまたは走査速度を速くして露光
量が前記所定値になるようにしている。

【００１３】

【作用】請求項１記載の発明では、音響光学素子に所定
値以上の振幅の信号を入力するため、音響光学素子に信
号を入力した場合に射出される光ビームのパワーは従来
よりも大きくなる。一方、音響光学素子に信号を入力し
ない場合に射出される散乱光、所謂フレアのパワーは音
響光学素子に入射される光ビームのパワーに依存し、前
記信号の振幅を大きくしても変化しない。従って、音響
光学素子からに射出される光ビームのパワーと音響光学
素子から射出されるフレアのパワーとの比率、所謂消光
比が向上する。音響光学素子から射出された光ビームは
減衰手段によってパワーが減衰され、処理に適したパワ
ーに調整される。また、音響光学素子から射出されるフ
レアのパワーも減衰手段によって同様に減衰されるので
、前記光ビームとフレアとのパワーの比率は維持される
。これにより、例えば感光材料に画像を記録する光ビー
ム処理装置において、感光面の非画像部分及び画像中の
レーザビームを照射しない部分のフレアによる露光量を
抑えることができ、画像品質が向上する。このように、
請求項１記載の発明では消光比を向上させることができ
、光ビーム走査装置の処理品質を向上させることができ
る。

【００１４】請求項２記載の発明では、減衰手段を音響
光学素子から射出された光のパワーを減衰させる第１の
位置と前記第１の位置から退避した第２の位置との間を
移動可能とし、走査条件に応じて前記減衰手段を移動さ
せると共に、減衰手段が第１の位置に位置しているとき
に走査条件に応じて信号の振幅が所定値以上になるよう
に制御する。これにより、例えば、従来問題となってい
た光ビームのパワーを抑えて処理を行う場合に、減衰手
段を第１の位置へ移動させると共に信号の振幅が所定値
以上となるように制御することによって、消光比を向上
させることができ、光ビーム走査装置の処理品質を向上
させることができる。また、高い処理品質を必要とする
場合、例えば感光材料に画像を記録する光ビーム処理装
置において鮮明に画像を記録するファインモード等を設
け、これが選択された場合に上述のように制御するよう
にしてもよい。このように、請求項２記載の発明では必
要に応じて選択的に処理品質を向上させることも可能で
ある。

【００１５】請求項３記載の発明では、感光材料の単位
面積当りの露光量が所定値となるようにして画像を記録
するにあたり、音響光学素子に入力される信号の振幅を
大きくした後に音響光学素子から射出される光のパワー
を減衰させるかまたは走査速度を速くして露光量が前記
所定値になるようにしている。音響光学素子に入力され
る信号の振幅を大きくすることにより、音響光学素子か
ら射出される光ビームのパワーは大きくなる。一方、音
響光学素子から射出されるフレアのパワーは信号の振幅
を大きくしても変化しない。従って、音響光学素子から
出力される光ビームのパワーとフレアのパワーとの比率
、所謂消光比が向上する。また、音響光学素子から射出
される光、すなわち光ビーム及びフレアのパワーを減衰
させるか、または走査速度を速くしているので、感光材
料の単位面積当りの露光量が調整されると共に前記光ビ
ームのパワーとフレアのパワーとの比率が維持される。 従って、感光材料に記録する画像の品質を向上させるこ
とができる。

【００１６】なお、前記光のパワーを減衰させる減衰手
段としてはＮＤフィルタ等を用いることができる。

【００１７】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。なお、本発明は本実施例に記載した数値に
限定されるものではない。

【００１８】図２には本実施例に係るレーザビーム走査
装置１０が示されている。レーザビーム走査装置１０は
、ベース定盤１１を備えており、ベース定盤１１の上面
には図示しない電源に接続されたＨｅ−Ｎｅレーザ１２
が配設されている。なお、このＨｅ−Ｎｅレーザ１２に
代えて他の気体レーザ或いは半導体レーザ等を用いても
よい。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム射出側には
、ＡＯＭ入射レンズ１４、反射ミラー１６が順に配列さ
れている。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２から射出されたレーザ
ビームはＡＯＭ入射レンズ１４を介して反射ミラー１６
に照射され、ベース定盤１１の上面と平行でかつ光軸方
向と略直交する方向へ反射される。

【００１９】反射ミラー１６のレーザビーム射出側には
ＡＯＭ（音響光学光変調素子）１８、ＡＯＭ射出レンズ
２０、反射ミラー２２及びリレーレンズ２４が順に配列
されている。図１に示すように、ＡＯＭ１８は音響光学
効果を生ずる音響光学媒質２１を備えている。音響光学
媒質２１の対向する面には、入力された高周波信号に応
じた超音波を出力するトランスデューサ１７と音響光学
媒質２１を伝播した超音波を吸収する吸音体１９とが貼
着されている。トランスデューサ１７は、ＡＯＭを駆動
するＡＯＭドライバ８４に接続されている。このＡＯＭ
ドライバ８４については後述する。本実施例において、
このＡＯＭ１８に入射されたレーザビームから８本のレ
ーザビームが回折光として射出される。ＡＯＭ１８から
射出されたレーザビームはＡＯＭ射出レンズ２０を介し
て反射ミラー２２に照射され、ベース定盤１１の上面と
略平行でかつ光軸方向と略直交する方向へ反射されてリ
レーレンズ２４に照射される。

【００２０】なお、ＡＯＭ射出レンズ２０と反射ミラー
２２との間には図示しないシャッターが配設されている
。このシャッターは、例えばあるコマの記録が終了して
から他のコマの記録を開始するまでの間、またはあるフ
ィッシュへの記録が終了してから他のフィッシュへの記
録を開始するまでの間等の非記録時にレーザビームを遮
断するように移動される。このシャッターのレーザビー
ム入射側の面には光電変換器８０（図１参照）が取付け
られている。光電変換器８０は信号発生回路８２に接続
されており、画像の非記録時に受光したレーザビームの
パワーに応じた大きさの電圧を信号発生回路８２へ出力
する。なお、信号発生回路８２については後述する。

【００２１】図２に示すように、リレーレンズ２４のレ
ーザビーム射出側には、反射ミラー２６、第１シリンド
リカルレンズ２８、合波プリズム３０が順に配置されて
いる。リレーレンズ２４から射出されたレーザビームは
、反射ミラー２６によりベース定盤１１の上面と略直交
する方向へ略直角に反射され、第１シリンドリカルレン
ズ２８を介して合波プリズム３０に照射される。一方、
ベース定盤１１の上面には半導体レーザ５６が配設され
ており、半導体レーザ５６から発振された同期光用レー
ザビームはコリメータレンズ５８を介して合波プリズム
３０に照射される。合波プリズム３０では、第１シリン
ドリカルレンズ３０から照射された記録用レーザビーム
をベース定盤１１の上面と略平行でかつ光軸方向と略直
交する方向へ反射させると共に、記録用レーザビームと
同期光用レーザビームとを合波する。

【００２２】合波プリズム３０のレーザビーム射出側に
は反射ミラー３２、ポリゴンミラー３４が順に配置され
ている。反射ミラー３２は合波プリズム３０から射出さ
れたレーザビームをポリゴンミラー３４に入射させるよ
うに、光軸方向から略４５°傾いた方向へ反射させる。 ポリゴンミラー３４には、ポリゴンミラー３４を高速回
転させる図示しないポリゴンミラードライバが取付けら
れており、反射ミラー３２から照射されたレーザビーム
は、このポリゴンミラー３４によって主走査方向に偏向
された後、ポリゴンミラー３４の反射側に配置された走
査レンズ３６に照射される。

【００２３】走査レンズ３６のレーザビーム射出側には
同期光分波プリズム３８、第２シリンドリカルレンズ４
２、長尺ミラー４４が順に配置されており、同期光分波
プリズム４０の反射側にはリニアエンコーダ４０、光電
変換器６０が配置されている。走査レンズ３６から射出
されたレーザビームは同期光分波プリズム３８において
同期光用レーザビームを反射し、反射された同期光用レ
ーザビームはリニアエンコーダ４０に照射される。リニ
アエンコーダ４０は、透明部と不透明部とが主走査方向
に一定ピッチで交互に多数縞状に配置された平面板で構
成されている。ポリゴンミラー３４で主走査方向に偏向
された同期用レーザビームは同期光分波プリズム３８を
介してリニアエンコーダ４０を主走査方向に沿って走査
する。このとき、前記透明部を透過した同期用レーザビ
ームが光電変換器６０で検出され、光電変換器６０から
は前記走査に応じたパルス信号が出力される。この光電
変換器６０からのパルス信号は、ガルバノミラー４８の
角度を制御する図示しないガルバノミラードライバに入
力される。一方、同期光分波プリズム３８を透過した記
録用レーザビームは、第２シリンドリカルレンズ４２を
介して長尺ミラー４４に照射される。第２シリンドリカ
ルレンズ４２から射出されたレーザビームは、長尺ミラ
ー４４においてベース定盤１１の上面と略平行でかつ光
軸方向と略直交する方向へ反射される。

【００２４】長尺ミラー４４のレーザビーム反射側には
リレーレンズ４６、ガルバノミラー４８が順に配設され
ている。リレーレンズ４６から射出されたレーザビーム
は、ガルバノミラー４８によって副走査方向に偏向され
ると共にベース定盤１１の上面と直交する方向に反射さ
れる。ガルバノミラー４８の反射側にはターレット５２
、マイクロフィルム等の感光材料５４が順に配置されて
いる。なお、感光材料５４としては銀塩フィルム、例え
ばＣＯＭ用フィルムＮＲ、ＨＲ−ＩＩ（いずれも富士写
真フィルム製、商品名）を用いることができる。ターレ
ット５２には５個の記録レンズ５０Ａ、５０Ｂ、５０Ｃ
、５０Ｄ、５０Ｅが取付けられている。記録レンズ５０
Ａは１／４８の縮小倍率とされ、他の記録レンズ５０Ｂ
、５０Ｃ、５０Ｄ、５０Ｅについては、順に１／４２、
１／３２、１／２７、１／２４の縮小倍率とされている
。また、縮小率の最も高い記録レンズ５０ＡにはＮＤフ
ィルタ５１が取付けられている。ＮＤフィルタ５１は通
過する光のパワーを略１／１０に減衰させる減衰手段を
構成している。

【００２５】また、ターレット５２にはターレットドラ
イバ５３（図１参照）が取付けられている。ターレット
５２はターレットドライバ５３によって回転され、前記
５個の記録レンズ５０のいずれかがガルバノミラー４８
と感光材料５４との間に挿入される。図１に示すように
ターレットドライバ５３は後述するホストコンピュータ
８８に接続されている。ホストコンピュータ８８には前
記縮小倍率等を指定するためのキーボード９０が接続さ
れている。ホストコンピュータ８８は、キーボード９０
を介して指定された縮小倍率の記録レンズが、ガルバノ
ミラー４８と感光材料５４との間に挿入されるようにタ
ーレットドライバ５３の作動を制御する。図１に示すよ
うに、ガルバノミラー４８で反射されたレーザビームは
前記いずれかの記録レンズを介して感光材料５４に照射
され、感光材料５４が露光される。感光材料５４は図示
しないリールに層状に巻付けられている。

【００２６】一方、図１に示すように、信号発生回路８
２にはホストコンピュータ８８が接続されている。ホス
トコンピュータ８８は音響光学素子１８へ入力する信号
の振幅値を指示する信号を信号発生回路８２に出力する
。信号発生回路８２はホストコンピュータ８８から指示
された振幅値を設定し、非記録時に光電変換器８０から
入力される信号に基づいて前記設定した振幅値を調整す
る。信号発生回路８２はＡＯＭドライバ８４に接続され
ており、設定した振幅値に対応するアナログ信号をＡＯ
Ｍドライバ８４へ出力する。

【００２７】ＡＯＭドライバ８４には制御回路８６が接
続されており、制御回路８６にはホストコンピュータ８
８が接続されている。ホストコンピュータ８８は感光材
料５４へ記録する画像データを制御回路８６へ出力する
。この画像データは８ビットのパラレル信号で与えられ
る。制御回路２２は画像データを一時的に記憶し、入力
された８ビットの画像データのオンの個数に応じたアナ
ログ信号をＡＯＭドライバ８４へ出力する。また、前記
８ビットの画像データもＡＯＭドライバ８４へ出力する
。

【００２８】図３に示すようにＡＯＭドライバ８４は、
各々周波数がｆ１乃至ｆ８の信号を発生させる発振回路
６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ、６２Ｄ、６２Ｅ、６２Ｆ、６
２Ｇ、６２Ｈ、ローカルレベル制御回路６４Ａ、６４Ｂ
、６４Ｃ、６４Ｄ、６４Ｅ、６４Ｆ、６４Ｇ、６４Ｈ、
スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄ、６６Ｅ
、６６Ｆ、６６Ｇ、６６Ｈを備えている。ローカルレベ
ル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの各々は発振回路６２Ａ〜６
２Ｈの出力端の各々に接続され、ローカルレベル制御回
路６４Ａ乃至６４Ｈの出力端にはスイッチ回路６６Ａ乃
至６６Ｈが各々接続されている。また、ローカルレベル
制御回路６４Ａ乃至６４Ｈのレベル制御端の各々は信号
発生回路８２に接続されており、前述の振幅の大きさに
対応したアナログ信号が入力される。ローカルレベル制
御回路は、各発振回路から出力された信号の振幅が、入
力されたアナログ信号に対応した大きさとなるように制
御する。なお、ローカルレベル制御回路としては、ダブ
ルバランスドミキサーやピンダイオードアッテネータを
使用することができる。また、スイッチ回路６６Ａ乃至
６６Ｈの制御端の各々は制御回路８６に接続されており
、制御回路８６から出力される８ビットの画像データう
ちのいずれか１ビットが入力される。各スイッチ回路は
、入力された１ビットのデータがオンの場合に信号を通
過させ、オフの場合に遮断する。

【００２９】スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端は
、２つの信号を１：１の割合で混合するコンバイナ６８
ＡＢの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路６６Ｃ、６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤの
入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各出
力端はコンバイナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイッ
チ回路６６Ｇ、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８ＧＨ
の入力端に接続されている。

【００３０】コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続
されている。同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はト
ータルレベル制御回路７０ＣＤを介して増幅回路７２Ｃ
Ｄに接続され、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータル
レベル制御回路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接
続され、コンバイナ６８ＧＨの出力端はトータルレベル
制御回路７０ＧＨを介して増幅回路７２ＧＨに接続され
ている。トータルレベル制御回路はローカルレベル制御
回路と同様にダブルバランスドミキサーやピンダイオー
ドアッテネータで構成される。トータルレベル制御回路
の各々のレベル制御端は制御回路８６に接続されており
、前述の画像データのオンの個数に応じたアナログ信号
が入力される。トータルレベル制御回路は画像データの
オンの個数に応じて信号のレベル調整を行う。増幅回路
７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコンバイナ７４の入力
端に接続され、増幅回路７２ＥＦ、７２ＧＨの各出力端
はコンバイナ７６の入力端に接続されている。コンバイ
ナ７４、７６の出力端はコンバイナ７８に接続され、コ
ンバイナ７８の出力端はトランスデューサ１７に接続さ
れている。

【００３１】次に、図４のフローチャートを参照して本
実施例の作用を説明する。なお、図４のフローチャート
は、レーザビーム走査装置１０の電源が投入されると、
ホストコンピュータ８８で実行される。

【００３２】ステップ１００では画像の記録を開始する
か否か判定する。画像の記録を行う場合、作業者はキー
ボード９０を介して記録レンズ５０の縮小倍率を指示し
た後に作業開始を指示する。ステップ１００の判定が肯
定されると、ステップ１０２では前記指定された縮小倍
率の記録レンズ５０がガルバノミラー４８と感光材料５
４との間に挿入されるようにターレットドライバ５３の
作動を制御する。なお１／４８の縮小倍率が指定された
場合には、１／４８の縮小倍率を有する記録レンズ５０
Ａと共にＮＤフィルタ５１が挿入される。

【００３３】ステップ１０４では、図示しないメモリに
記憶された縮小倍率と振幅値との対応を表すデータを読
み込む。本レーザビーム走査装置１０では、感光材料５
４に照射するレーザビームのパワーを画像の記録密度、
すなわち使用する記録レンズ５０の縮小倍率に応じて変
化させる。例えば、１／２４の縮小倍率で画像を記録す
るときのレーザビームの書込みパワーを４０μＷとし、
１／４８の縮小倍率で画像を記録するときのレーザビー
ムの書込みパワーを１０μＷとして感光材料５４の露光
量を調節している。メモリには上記パワーのレーザビー
ムを得るために音響光学素子１８に入力する信号の振幅
値が記録レンズの縮小倍率と対応されて記憶されており
、本ステップでは前記指定された縮小倍率に対応する振
幅値を読み出す。

【００３４】次のステップ１０６では指定された縮小倍
率に対応する縮小率が大きいか否か判定する。例えば本
実施例では１／４８の縮小倍率が指定されたときにステ
ップ１０６の判定が肯定される。ステップ１０６の判定
が肯定されると、ステップ１０８で前記メモリから読み
出した振幅値を１０倍にしてステップ１１０へ移行する
。なお、ステップ１０６の判定が否定された場合にはス
テップ１０８を実行することなくステップ１１０へ移行
する。ステップ１１０では振幅値を指示する信号を信号
発生回路８２へ出力する。

【００３５】次のステップ１１２では感光材料５４を露
光位置へ位置決めする。ステップ１１４では音響光学素
子１８へ入力する信号の振幅調整を行う。すなわち、シ
ャッタを閉じた状態でＨｅ−Ｎｅレーザからレーザビー
ムを射出させると共に、ＡＯＭドライバ８４の８個のス
イッチ回路６６のうちの１個のみをオンさせる信号を出
力する。また、信号発生回路８２は前記入力された振幅
値に対応する電圧をローカルレベル制御回路６４の制御
端に印加する。これにより、音響光学素子１８から１本
のレーザビームが回折光として射出され、前記シャッタ
に取付けられた光電変換器８０へ入射される。信号発生
回路８２では光電変換器８０で得られたレーザビームの
パワーと予め設定された基準値とを比較し、等しい場合
には前記電圧の値を変更することなく印加する。レーザ
ビームのパワーと基準値とが異なる場合には、前記電圧
の値に偏差を加算した値の電圧を印加する。これにより
、レーザビームのパワーが基準値と等しくなるように、
音響光学素子１８に入力される信号の振幅が変更される
。このような振幅調整を、回折光として音響光学素子１
８から射出される８本のレーザビーム全てに対して行う
。

【００３６】ステップ１１６では感光材料５４に１齣分
の画像を記録する。すなわち、シャッタを開方向へ移動
させると共に、記録する画像を８画素幅でラスタ走査し
た場合に対応する画像データを８ビットづつ制御回路８
６へ出力する。制御回路８６はこの画像データをスイッ
チ回路６６Ａ乃至６６Ｈの制御端へ入力すると共に、画
像データのオンの個数に応じた信号をトータルレベル制
御回路７０ＡＢ乃至７０ＧＨの制御端の各々に入力する
。

【００３７】ＡＯＭドライバ８４の各発振回路６２Ａ乃
至６２Ｈから出力された信号は、ローカルレベル制御回
路６４Ａ乃至６４Ｈで振幅が調節された後スイッチ回路
６６Ａ乃至６６Ｈへ入力される。なお、ローカルレベル
制御回路は１／４８の縮小倍率で画像を記録するときに
は、信号発生回路８２から入力された信号に従って、信
号の振幅を通常の書込みパワー（１０μＷ）に対応する
振幅の１０倍の振幅となるように調節する。各スイッチ
回路は制御端に入力された画像データに応じてオンオフ
し、入力された信号を通過させるかまたは遮断する。ス
イッチ回路を通過した信号は、コンバイナ６８ＡＢ乃至
６８ＧＨで混合された後、トータルレベル制御回路７０
ＡＢ乃至７０ＧＨへ入力される。トータルレベル制御回
路は制御端に入力された信号に応じて信号の振幅を制御
する。これにより、音響光学素子１８から射出されるレ
ーザビームの各々のパワーは信号のオンの数に拘らず一
定になり、画像データのオンの個数による画像濃度むら
が防止される。トータルレベル制御回路７０ＡＢ乃至７
０ＧＨから出力された信号は、増幅回路７２ＡＢ乃至７
２ＧＨを介してコンバイナ７４、７６及びコンバイナ７
８で最終的に混合され、ＡＯＭ１８のトランスデューサ
１７に供給される。

【００３８】トランスデューサ１７は、入力された信号
を入力された信号の周波数及び振幅に応じた超音波信号
に変換する。この超音波信号は、音響光学媒質２１を伝
播して吸音体１９に吸音される。これにより、音響光学
素子１８に入射されたレーザビームに音響光学効果が作
用して音響光学媒質２１を通過するときに回折が生じ、
超音波信号に応じたレーザビームが回折光として射出さ
れる。この回折光として射出されるレーザビームの数は
前記スイッチ回路を通過した信号の数と同数で、各々の
レーザビームは前記通過した信号の振幅に応じたパワー
でかつ周波数に応じた方向へ射出される。また、設定さ
れた縮小倍率が１／４８の場合には前述のように通常の
パワーの１０倍のパワーのレーザビームが射出される。 音響光学素子１８から射出されたレーザビームは、ポリ
ゴンミラー２８によって主走査方向に偏向され、ガルバ
ノメータミラー３６によって副走査方向に偏向された後
、記録レンズ５０を介して感光材料５４へ照射される。

【００３９】ここで、指定された縮小倍率が１／４８の
場合には、ガルバノミラー４８と感光材料５４との間の
レーザビーム光路上には１／４８の縮小倍率を有する記
録レンズ５０Ａと共にＮＤフィルタ５１が挿入される。 このため、音響光学素子１８から通常の１０倍のパワー
で射出されたレーザビームは、ＮＤフィルタ５１によっ
て略１／１０のパワーに減衰され、通常の書込みパワー
（例えば１０μＷ）で感光材料５４に照射される。また
、音響光学素子１８から射出され感光材料５４へ照射さ
れるフレアのパワーも、ＮＤフィルタ５１によって略１
／１０に減衰される。従って、縮小倍率が１／４８の場
合に感光材料５４へ照射されるレーザビームとフレアと
のパワーとの比率は略１０倍向上する。

【００４０】例えば、音響光学素子１８に一定のパワー
のレーザビームを入射したときに感光材料へ照射される
フレアのパワーが１μＷで、かつ縮小倍率が１／４８の
ときの感光材料５４に照射するレーザビームの書込みパ
ワーを５μＷとした場合、従来の消光比は「５」である
。しかしながら本実施例では、ＮＤフィルタ５１によっ
て感光材料５４に照射されるフレアのパワーは０．１μ
Ｗに減衰され、音響光学素子１８から射出されるレーザ
ビームは１０倍のパワーで射出された後にＮＤフィルタ
５１によって５μＷに減衰されて感光材料５４に照射さ
れるので、感光材料５４に照射されるレーザビームとフ
レアとのパワーの比率は「５０」となり、感光材料５４
に記録される画像の品質が向上する。

【００４１】上述のようにして画像１齣分の記録が終了
すると、ステップ１１８では画像の記録が終了したか否
かを判定し、画像の記録が終了していないと判断した場
合にはステップ１１２へ戻り、ステップ１１８の判定が
肯定されるまでステップ１１２乃至ステップ１１８を繰
り返す。ステップ１１８の判定が肯定されるとステップ
１００へ戻る。

【００４２】このように、本実施例では画像を大きな縮
小率で感光材料５４に記録する場合に、音響光学素子１
８へ入力する信号の振幅を略１０倍にすると共に、光の
パワーを１／１０に減衰させるＮＤフィルタ５１をレー
ザビームの光路上に挿入するようにしたので、感光材料
５４に照射するレーザビームとフレアとの比率を向上さ
せることができ、感光材料５４に記録する画像の品質を
向上させることができる。

【００４３】なお、上記では光変調器として音響光学素
子を用いた例について説明したが、光導波路形変調器を
用いてもよい。また、本実施例では減衰手段としてＮＤ
フィルタ５１を用いていたが、例えば記録レンズを多層
コーティングし音響光学素子１８から射出された光を減
衰させる減衰手段として作用させてもよい。

【００４４】また、本実施例では縮小率の最も高い記録
レンズ５０ＡにのみＮＤフィルタ５１を取り付けていた
が、ターレット５２に取り付けた全ての記録レンズ５０
にＮＤフィルタまたは光透過率１００％のガラス板を取
付けて、記録レンズ５０への埃等の付着を防止するよう
にしてもよい。また、全ての記録レンズ５０に光透過率
、すなわち減衰率の異なるＮＤフィルタを取り付けて、
音響光学素子１８に入力する信号の振幅を記録レンズ５
０毎に前記減衰率に応じて変更するようにしてもよい。

【００４５】さらに、本実施例ではＮＤフィルタ５１に
よって感光材料５４に照射するレーザビーム及びフレア
のパワーを減衰させ、感光材料５４の単位面積当りの露
光量を調整していたが、ポリゴンミラー３４及びガルバ
ノミラー４８の作動を制御して主走査及び副走査速度を
速くすることにより感光材料の単位面積当りの露光量を
調整するようにしてもよい。

【００４６】また、本実施例では画像を高い縮小率で感
光材料５４に記録する場合にのみ本発明を適用していた
が、低い縮小率で画像を記録する場合にも本発明を適用
してもよい。また、本実施例では音響光学素子１８に入
力する信号の振幅を、指定された縮小倍率に応じて変更
していたが、本発明はこれに限定されるものではなく、
例えば感光材料の種類等に応じて変更してもよい。また
、レーザビーム走査装置１０に画像の書込みモードとし
て、標準的な鮮明度で画像を記録するノーマルモード、
１画素の大きさを小さくしてより鮮明に画像を記録する
ファインモード等を設け、指定されたモードに応じて書
込みピッチ（１画素の大きさ）や書込みパワー、レーザ
ビームとフレアとのパワーの比率等を変更するように制
御してもよい。

【００４７】また、本実施例ではレーザビームを用いて
画像を記録するレーザビーム走査装置１０について説明
したが、ＬＥＤの光を光ビームとして用いて画像を記録
する光ビーム走査装置や、他の光源を用いて画像を記録
する光ビーム走査装置に適用することができる。また、
上記では光ビーム走査装置として画像を記録するレーザ
ビーム走査装置１０について説明したが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、光ビームを用いて例えば読
取り等の処理を行う光ビーム走査装置に適用し、処理品
質を向上させることが可能である。

【００４８】

【発明の効果】請求項１記載の発明では、音響光学素子
に振幅が所定値以上の信号を入力すると共に、音響光学
素子から射出される光のパワーを減衰させる減衰手段を
設けたので、光ビーム処理装置の処理品質を向上させる
ことができる、という優れた効果が得られる。

【００４９】請求項２記載の発明では、減衰手段を音響
光学素子から射出された光のパワーを減衰させる第１の
位置と前記第１の位置から退避した第２の位置との間を
移動可能とし、走査条件に応じて減衰手段を移動させる
と共に、減衰手段が第１の位置に位置しているときに走
査条件に応じて信号の振幅が所定値以上になるように制
御するので、上記効果に加えて、必要に応じて選択的に
処理品質を向上させることも可能になる、という優れた
効果が得られる。

【００５０】請求項３記載の発明では、音響光学素子に
入力される信号の振幅を大きくした後に音響光学素子か
ら射出される光のパワーを減衰させるかまたは走査速度
を速くして露光量が所定値になるようにしたので、感光
材料に記録する画像の品質を向上させることができる、
という優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例のレーザビーム走査装置の制御部を示
す概略ブロック図である。

【図２】レーザビーム走査装置の概略斜視図である。

【図３】ＡＯＭドライバの構成を示す概略ブロック図で
ある。

【図４】本実施例の作用を説明するフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１０　　　　レーザビーム走査装置 １８　　　　音響光学素子（ＡＯＭ） ５１　　　　ＮＤフィルタ ８２　　　　信号発生回路 ８４　　　　ＡＯＭドライバ ８８　　　　ホストコンピュータ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　入射された光ビームを入力された信号
   の周波数に応じた方向へ回折させて前記信号の振幅に応
   じたパワーで射出する音響光学素子と、振幅が所定値以
   上の信号を前記音響光学素子に入力する入力手段と、音
   響光学素子の光ビーム射出側に配置され音響光学素子か
   ら射出される光のパワーを減衰させる減衰手段と、を有
   する光ビーム走査装置。
2. 【請求項２】　　入射された光ビームを入力された信号
   の周波数に応じた方向へ回折させて前記信号の振幅に応
   じたパワーで射出する音響光学素子と、信号を前記音響
   光学素子に入力する入力手段と、音響光学素子から射出
   された光のパワーを減衰させる第１の位置と前記第１の
   位置から退避した第２の位置との間を移動可能とされた
   減衰手段と、走査条件に応じて前記減衰手段を移動させ
   る移動手段と、前記減衰手段が第１の位置に位置してい
   るときに走査条件に応じて前記信号の振幅が所定値以上
   になるように前記入力手段を制御する制御手段と、を有
   する光ビーム走査装置。
3. 【請求項３】　　入射された光ビームを入力された信号
   の周波数に応じた方向へ回折させて前記信号の振幅に応
   じたパワーで射出する音響光学素子から射出された光ビ
   ームによって走査し、感光材料の単位面積当りの露光量
   が所定値となるようにして画像を記録するにあたり、前
   記音響光学素子に入力される信号の振幅を大きくした後
   に音響光学素子から射出される光のパワーを減衰させる
   かまたは走査速度を速くして露光量が前記所定値になる
   ようにする光ビーム走査方法。