JP2628934B2

JP2628934B2 - 複数光ビームによる走査露光方法

Info

Publication number: JP2628934B2
Application number: JP27475390A
Authority: JP
Inventors: 英俊品田
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1990-10-12
Filing date: 1990-10-12
Publication date: 1997-07-09
Anticipated expiration: 2012-07-09
Also published as: JPH04149523A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、複数光ビームによる走査露光方法にかか
り、特に、入射された光ビームを入射された超音波の周
波数に応じて複数に分割するマルチ周波数音響光学素子
を用いて複数の光ビームを発生させ、複数の光ビームを
同時に走査して露光する複数光ビームによる走査露光方
法に関する。

〔従来の技術〕従来より、マルチ周波数音響光学素子（AOM）を備え
た光学変調装置を用いて複数本のレーザビームを形成す
ることにより安定かつ高速に読取り或いは記録できる光
ビーム走査装置が提案されている（特開昭63−5741号公
報、特開昭54−5455号公報、特開昭57−41618公報、特
公昭53−9856号公報等）。

かかるマルチ周波数音響光学素子を用いた画像を記録
するレーザビーム記録装置等の光ビーム走査装置では、
感光面上で１部分が重なるように配列された複数のレー
ザビームを感光面へ照射し、レーザビームを回転多面鏡
（ポリゴンミラー）及びガルバノミラー等で構成される
走査光学系により、主走査及び副走査を行って、２次元
の平面走査をしている。

すなわち、複数本のレーザビームは、高速で回転する
ポリゴンミラーの反射面で反射されることにより複数本
の主走査が同時になされる。その後この反射されたレー
ザビームは、所定速度で回転されるガルバノミラーで反
射されることにより、副走査がなされる。この副走査に
より複数本のレーザビームから成るレーザビーム群の端
部が隙間無く繋げられることにより、２次元平面に画像
が形成される。

なお、レーザビーム記録装置等に使用される画像を記
録する記録材料は、銀ゼラチンフィルムおよび熱現像フ
ィルム（ドライシルバーフィルム）等に代表される銀塩
フィルムおよびLDF（レーザダイレクトレコーディング
フィルム）等に代表される非銀塩フィルムに大別され
る。レーザビーム記録装置等の光ビーム走査装置では、
乾式処理であるドライシルバーフィルム等の銀塩フィル
ムが多く用いられている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、レーザビーム群を用いたレーザビーム
記録装置等の光ビーム走査装置では、記録材料に銀塩フ
ィルムを用いると、感光材料の相反則性、相反則不軌お
よび多重露光により濃度特性変化が左右される。すなわ
ち、レーザビーム群の端部が各々副走査により感光材料
上で重ねられることは、感光材料上の既に露光された部
分に時間経過を以て次の記録を行うためのレーザビーム
群の端部が更に重ねて露光されるという多重露光にほか
ならない。銀塩フィルムでは、この多重露光による濃度
は高くなることが従来より知られている。この重なり部
分が高濃度化する原因は次の通りであると考えられる。
ガウシアンビームであるレーザビームの低いパワー部分
（低照度）で露光された感光材料の部分では、感光材料
の濃度に関わる潜像に成長する以前の亜潜像および初潜
像の成長がある。この感光材料上の亜潜像および初潜像
の成長がある部分に所定の時間経過後に再度レーザビー
ムが照射されると、既に露光された部分は前露光となり
再度の露光で潜像へ成長し、この重なり部分（複数レー
ザビームのつなぎ部分）が高濃度化する。

従って、この感光材料上の重なり部分が高濃度化して
しまうことにより、得られるフィルムの画像濃度にムラ
が生ずる、という問題があった。

本発明は上記問題点を解決するためになされたもの
で、複数本の光ビームで感光材料に露光する場合に起こ
る濃度ムラの影響を極力減少させた複数光ビームによる
走査露光方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために本発明は、複数光ビームに
よる走査露光方法において、感光面上で隣接する光ビー
ムの１部分が重なるようにｍ本の光ビームを１列に配列
し、光ビームの配列方向と交差する方向に走査する主走
査および光ビームの配列方向に走査する副走査を行って
２次元の走査露光を行うにあたり、Ｎを１以上の整数と
し、Ｎ回目の主走査を行う光ビーム内の第ｍ本目の光ビ
ームの露光とＮ＋１回目の主走査を行う光ビーム内の第
１本目の光ビームの露光との間の間隔を他の光ビームに
よる露光間隔に対して変化させることを特徴とする。

また、Ｎ回目の主走査を行うｍ本の光ビーム内の第ｍ
本目の光ビームの露光とＮ＋１回目の主走査を行うｍ本
の光ビーム内の第１本目の光ビームの露光とが重なる部
分の画像濃度が高くなる場合には、ｍ本の光ビーム内の
第１本目の光ビームの露光と第ｍ本目の光ビームの露光
との間の間隔を大きくさせることもできる。

なお、Ｎ回目の主走査を行うｍ本の光ビーム内の第ｍ
本目の光ビームの露光とＮ＋１回目の主走査を行うｍ本
の光ビーム内の第１本目の光ビームの露光とが重なる部
分の画像農後が低くなる場合には、ｍ本の光ビーム内の
第１本目の光ビームの露光と第ｍ本目の光ビームの露光
との間の間隔を小さくさせることもできる。

〔作用〕

本発明によれば、複数光ビームによる走査露光方法に
おいて、感光面上で隣接する光ビームの１部分が重なる
ようにｍ本の光ビームを１列に配列し、光ビームの配列
方向と交差する方向に走査する主走査および光ビームの
配列方向に走査する副走査を行って２次元の走査を行
う。従って、Ｎ回目の主走査を行うｍ本の光ビームの内
第ｍ本目の光ビームの露光とＮ＋１回目の主走査を行う
ｍ本の光ビーム内の第１本目の光ビームの露光とが重な
ることがあり、その部分では濃度変化が起こる。そこ
で、Ｎ回目の主走査を行うｍ本の光ビーム内の第ｍ本目
の光ビームの露光およびＮ＋１回目の主走査を行うｍ本
の光ビーム内の第１本目の光ビームの露光の間の間隔を
他の光ビームによる露光間隔に対して変化させる。即
ち、Ｎ回目およびＮ＋１回目にｍ本の光ビームを主走査
するにあたり、Ｎ＋１回目の主走査での第１本目の光ビ
ームとＮ＋１回目の主走査を行う以前のＮ回目の主走査
での第ｍ本目の光ビームとの間の間隔を変化させる。以
上より、光ビームが重なる領域が変化し、この重なり部
分で濃度変化の少ない画像を形成することができる。

また、Ｎ回目の主走査の第ｍ本目の光ビームの露光と
Ｎ＋１回目の主走査の第１本目の光ビームの露光とが重
なる部分の濃度が高くなる場合には、第１本目の光ビー
ムと第ｍ本目の光ビームとの間の間隔を大きくさせる。
これにより、感光材料上でＮ回目の主走査の光ビームと
Ｎ＋１回目の主走査の光ビームとが重なる部分の濃度は
低くなり、濃度変化の少ない画像を形成することができ
る。

一方、Ｎ回目の主走査の第ｍ本目の光ビームの露光と
Ｎ＋１回目の主走査の第１本目の光ビームの露光とが重
なる部分の濃度が低くなる場合には、第１本目の光ビー
ムと第ｍ本目の光ビームとの間の間隔を小さくさせる。
これにより、感光材料上でＮ回目の主走査の光ビームと
Ｎ＋１回目の主走査の光ビームとが重なる部分の濃度は
高くなり、濃度変化の少ない画像を形成することができ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、複数の光ビーム
でか感光面に露光する場合に、Ｎ回目の主走査の第ｍ本
目の光ビームの露光とＮ＋１回目の主走査の第１本目の
光ビームの露光との重なり部分に起こる濃度ムラの影響
を極力減少させることができる、という効果がある。

〔実施例〕

以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明す
る。第３図は、本発明の複数光ビームによる走査露光方
法が適用されたレーザビーム記録装置を示すものであ
る。このレーザビーム記憶装置は、電源14に接続された
He−Neレーザ12を備えている。このHe−Neレーザに代え
て他の気体レーザ或いは半導体レーザ等を用いてもよ
い。He−Neレーザ12のレーザビーム射出側には、レンズ
16、AOM（音響光学素子）18及びレンズ24が順に配列さ
れている。AOM18は、音響光学効果を生ずる音響光学媒
質21を備えている。音響光学媒質21の対向する面には、
入力された高周波信号に応じた超音波を出力するトラン
スデューサ17と音響光学媒質21を伝播した超音波を吸収
する吸音体19とが貼着されている。トランスデューサ17
は、AOMを駆動するAOMドライバ20に接続され、AOMドラ
イバ20は制御回路22に接続されている。このAOM18から
出力されるレーザビームは、本実施例では、８本のレー
ザビームに分割される。レンズ24のレーザビーム射出側
には、ミラー26、ダイクロイックミラー25、ポリゴンミ
ラー（回転多面鏡）28、レンズ29、ダイクロイックミラ
ー32が順に配列されている。ダイクロイックミラー25
に、レンズ27を介して参照用レーザビームが入射される
ように半導体レーザ13が配置されている。半導体レーザ
13には、半導体レーザドライバ15が接続されている。ポ
リゴンミラー28には、ポリゴンミラー28を高速回転させ
るポリゴンドライバ30が接続されている。また、ダイク
ロイックミラー32を透過した参照用レーザビームが受光
可能な位置に、リニヤエンコーダ33および光電変換器31
が順に配列されている。このため、ポリゴンミラー28で
反射された参照用レーザビームはダイクロイックミラー
32を透過し、リニヤエンコーダ33上に走査される。リニ
ヤエンコーダ33は、透明部と不透明部とが主走査方向に
一定ピッチで交互に多数縞状に配置された平面板で構成
され、このリニヤエンコーダ33がポリゴンミラー28で反
射された参照用レーザビームで走査されると、参照用レ
ーザビームが透明部を透過するため光電変換器31からパ
ルス信号が出力される。この光電変換器31からのパルス
信号はガルバノメータミラーの角度を制御するガルバノ
メーターミラードライバーに入力される。ダイクロイッ
クミラー32の反射側には、サンプリングミラー34、ガル
バノメータミラー36、ミラー38が順に配列されている。
このサンプリングミラー34を透過したレーザビームが受
光可能な位置には、光電変換器60が配置されている。こ
のサンプリングミラー34は、光電変換器60で必要とされ
るに充分なレーザパワーのみを透過する低い透過率であ
る。これにより、サンプリングミラー34で反射されるHe
−Neレーザ12のレーザパワーの低下は少なくできる。ミ
ラー38で反射されたレーザビームはレンズ40を通してス
テージ42に照射される。ステージ42には、マイクロフィ
ルム等の記録材料44が配置されている。この記録材料44
は、それぞれリール46及びリール48に層状に巻付けられ
ている。

第１図に示すように、AOM18のレーザビーム射出側の
上記で説明した位置に配置されかつ受光したレーザビー
ムのパワーに応じた大きさの電圧を出力する光電変換器
60は、発振回路（第４図）から出力される信号の各々の
振幅を制御するための信号を出力する信号発生回路58に
接続されている。この信号発生回路58には、AOMドライ
バ20が接続されている。

ガルバノメータミラーの角度を制御するガルバノメー
ターミラードライバーは、第２図に示すように、DAC
（デジタル−アナログ変換器）80、反転回路82、84、差
動増幅回路86および差動増幅回路88を備えている。光電
変換器31からのパルス信号に応じて形成される制御信号
がDAC80に入力されている。DAC80はレベルｋの信号が入
力されるオフセット設定端子OFおよびレベルωの信号が
入力されるリファレンス設定端子RFを備えている（ｋ、
ωは０以上の整数）。ローディングジャップ信号J1およ
びプレジャップ信号J2が反転回路82、反転回路84の各々
に入力されており、反転回路82、84の出力は、差動増幅
回路86に入力される。差動増幅回路88の入力の一端には
DAC80の出力信号が入力され、他端には差動増幅回路86
の出力が入力される。差動増幅回路88の出力端はガルバ
ノメーターミラーに接続されて、ガルバノメーターミラ
ーをドライブする。このオフセット設定端子OFおよびリ
ファレンス設定端子RFの少なくとも一方には、レベル設
定回路を付加してもよい。

制御回路22は、画像データを一時的に記憶するレジス
タ50とレジスタ50に接続されたデータ変換器52を備えて
いる。この画像データは８ビットのパラレル信号で与え
られている。データ変換器52は、レジスタ50から入力さ
れる８ビットの信号のオンの個数に応じた４ビットのパ
ラレル信号を出力する。データ変換器52にはDAC（デジ
タル−アナログ変換器）54が接続されている。DAC54
は、データ変換器52から出力される４ビットのパラレル
信号を、アナログ信号に変換してAOMドライバ20に出力
する。このアナログ信号のレベルは、第７図に示すよう
に、信号のオンの数が多くなるに従って高くなる。ま
た、画像データは遅延回路56で所定時間遅延された後、
AOMドライバ20に入力される。

AOMドライバ20は、第４図に示すように、各々周波数
がf1〜f8の発振回路62A、62B、62C、62D、62E、62F、62
G、62H、ローカルレベル制御回路64A、64B、64C、64D、
64E、64F、64G、64H、スイッチ回路66A、66B、66C、66
D、66E、66F、66G、66Hを備えている。ローカルレベル
制御回路64A〜64Hの各々は発振回路62A〜62Hの出力端の
各々に接続され、ローカルレベル制御回路64A〜64Hの出
力端にはスイッチ回路66A〜66Hが各々接続されている。
ローカルレベル制御回路としては、ダブルバランスドミ
キサーやピンダイオードアッテネータを使用することが
できる。また、ローカルレベル制御回路64A〜64Hのレベ
ル制御端の各々には、信号発生回路58が接続されてい
る。そして、スイッチ回路66A〜66Hの制御端の各々に
は、遅延回路56から出力される画像データの各々が入力
されるように接続されている。

スイッチ回路66A、66Bの各出力端は、２つの信号を1:
1の割合で混合するコンバイナ68ABの入力端に各々接続
されている。同様に、スイッチ回路66C、66Dの各出力端
はコンバイナ68CDの入力端に接続され、スイッチ回路66
E、66Fの各出力端はコンバイナ68EFの入力端に接続さ
れ、スイッチ回路66G、66Hの各出力端はコンバイナ68GH
の入力端に接続されている。

コンバイナ68ABの出力端はトータルレベル制御回路70
ABを介して増幅回路72ABに接続されている。同様に、コ
ンバイナ68CDの出力端はトータルレベル制御回路70CDを
介して増幅回路72CDに接続され、コンバイナ68EFの出力
端はトータルレベル制御回路70EFを介して増幅回路72EF
に接続され、コンバイナGHの出力端はトータルレベル制
御回路70GHを介して増幅回路72GHに接続されている。増
幅回路72AB、72CDの各出力端はコンバイナ74の入力端に
接続され、増幅回路72EF、72GHの各出力端はコンバイナ
76の入力端に接続されている。コンバイナ74、76の出力
端はコンバイナ78に接続され、コンバイナ78の出力端は
トランスデューサ17に接続されている。トータルレベル
制御回路は、ローカルレベル制御回路と同様にダブルバ
ランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構成
され、各々のレベル制御端には制御回路22のDAC54の出
力端が接続されている。

以下本実施例の作用を説明する。ホストコンピュータ
ー等から供給される８ビットの画像データはレジスタ50
と遅延回路56に供給される。データ変換器52は、レジス
タ50から入力された信号のオンの個数に応じたデジタル
信号を出力し、DAC54はこのデジタル信号に応じた第７
図に示すアナログ信号を出力する。このアナログ信号
は、トータルレベル制御回路70AB〜70GHの制御端の各々
に入力される。また、遅延回路56によって所定時間遅延
された画像データは、AOMドライバ20のスイッチ回路66A
〜66Hの各々に入力される。各発振回路62A〜62Hから出
力された信号は、ローカルレベル制御回路64A〜64Hによ
って振幅が調節された後スイッチ回路66A〜66H、コンバ
イナ68AB〜68GH、トータルレベル制御回路70AB〜70GH、
増幅回路72AB〜72GH、コンバイナ74、76、コンバイナ78
を介してAOM18のトランスデューサ17に供給される。ト
ランスデューサ17は、入力された信号を入力された信号
の周波数及び振幅に応じた超音波信号に変換する。この
超音波信号は、音響光学媒質21を伝播して吸音体19に吸
音される。このとき、He−Neレーザ12からレーザビーム
が発振されていると、このレーザビームは、音響光学媒
質21によって超音波信号の振幅に応じたパワーでかつ周
波数に応じた方向に分割される。AOM18で分割されたマ
ルチレーザビームは、ポリゴンミラー28によって主走査
方向に走査され、ガルバノメータミラー36によって副走
査方向に走査される。

第９図は、ガルバノメータミラー36のミラーの角度を
経過時間に応じて示したものである。第ｎ齣の記録が開
始される前の非記録期間において、第ｎ齣の画像データ
が準備されると共に記録材料が１齣分搬送されて記録材
料の位置決めが行われる。記録が開始されると、ガルバ
ノメータミラー36のミラー角度が記録終了角度になるま
でに第ｎ齣のデータが転送されて第ｎ齣の画像記録が行
われる。非記録期間のうちのチェック期間においては、
各発振回路62A〜62Hから出力される信号の振幅調整、す
なわちレベル調整が行われる。このとき、AOMから射出
されサンプリングミラー34を透過したレーザビームは、
光電変換器60方向に入射される。このレベル調整は、画
像の記録が開始される前の非記録期間に行われ、トータ
ルレベル制御回路70AB〜70GHのレベル制御端へ一定の電
圧を印加し、各発振回路62A〜62H毎にレベル調節が行わ
れる。即ち、発振回路62A〜62Hから信号を出力した状態
で、スイッチ回路66Aだけオン状態とする。発振回路62A
から出力された信号は、ローカルレベル制御回路64A、
スイッチ回路66A、コンバイナ68AB、トータルレベル制
御回路70AB、増幅回路72AB等を介してトランスデューサ
17に供給される。これにより、AOM18からは発振回路62A
から出力された信号の振幅がローカルレベル制御回路64
Aで制御され、ローカルレベル制御回路64Aからの出力の
振幅に応じたパワーのレーザビームが射出される。AOM1
8から射出されたレーザビームは、光電変換器60で受光
され、光電変換器60から受光したレーザビームのパワー
に応じた電気信号が出力される。信号発生回路58は、設
定された基準値と光電変換器60から入力された信号のレ
ベルとを比較する。信号発生回路58は、入力された信号
のレベルが基準値より大きいときはローカルレベル制御
回路64Aの制御端に印加する電圧を低下して信号の振幅
が小さくなるように制御し、入力された信号のレベルが
基準値より小さいときはローカルレベル制御回路64Aの
制御端に印加する電圧を上昇させて信号の振幅が大きく
なるように制御する。この結果、AOMから射出された１
つのレーザビームのパワーが目標値に調整される。そし
て、スイッチ回路66B〜66Hを順にオンして上記と同様に
して、発振回路62B、・・・62Hについてレベル調整が行
われ、このチェック期間では発振回路62A〜62Hの全てに
ついてのレベル調整が行われる。画像記録中は、信号発
生回路58は上記のように調整された電圧値を保持する。

また、第ｎ齣のデータを記録しているときには、レジ
スタ50、データ変換器52及びDAC54によってトータルレ
ベル制御回路70AB、70CD、70EF、70GHの各々に、第７図
に示す画像データのオンの数に比例したアナログ信号が
供給され、トータルレベル制御回路はこのアナログ信号
に応じてコンバイナ68AB〜68GHから出力された信号の振
幅を制御する。これによって、AOM18から出力されるレ
ーザビームの各々のパワーは第８図に示すように信号の
オンの数に拘らず一定になり、画像データのオンの個数
による画像濃度むらが防止される。なお、信号のオンの
個数によって振幅を制御しないときは、AOMから射出さ
れる１つのレーザビームのパワーは、同時に射出される
レーザビームの個数、すなわち画像データのオンの個数
に応じて第６図に示すように変化する。

ここで、ガウシアンビームであるレーザビームの低い
パワー部分（低照度）で露光された感光材料の部分に、
所定の時間経過後に再度同レベルのパワーであるレーザ
ビームが照射されると、既に露光された部分つまり複数
レーザビームのつなぎ部分では高濃度化してしまう。

そこで、本実施例では、ガルバノメーターミラー36の
回転角度を制御する制御信号を変化させることにより、
Ｎ＋１回目の主走査における第１本目のレーザビームと
Ｎ回目の主走査における第８本目のレーザビームとの間
の間隔を変化させる。第２図及び第10図を参照し説明す
ると、光電変換器31からのパルス信号からをカウントす
ることにより形成されるデジタルの制御信号がDAC80に
より第10図（４）に示すアナログ信号L2に変換される。
この制御信号は、１ラスタ分の画素数に対応する数のパ
ルスをカウントする毎に１ずつインクリメントされるこ
とにより形成される。従って、このアナログ信号L2は、
パルス信号から得ることのできる１画像中の主走査の回
数の増加に応じてリニアに増加する信号である。このと
き、オフセット設定端子OFに入力されるレベルｋ分正方
向にシフトされ、リファレンス設定端子RFに入力される
レベルωにより上限値が設定されるのでDAC80の出力
は、第10図（４）に示すようになる。このレベルｋおよ
びレベルωを所定値に設定することにより、第10図
（４）に示すL2のリニヤに増加する部分ｐの勾配を設定
することができる。第10図（１）、（２）に示すローデ
ィングジャンプ信号J1およびプレジャンプ信号J2は各々
反転回路82、反転回路84を介して、差動増幅回路86に入
力されると差動増幅回路86から第10図（３）に示す合成
信号L1が出力される。合成信号L1およびアナログ信号L2
が差動増幅回路88へ入力され、差動増幅回路88からガル
バノメーターミラー36の回転角度を制御する制御信号L3
が出力される。これにより、ｐの勾配を変えることで、
Ｎ回目の主走査における第８本目およびＮ＋１回目の主
走査における第１本目の間の間隔を変化することができ
る。感光材料上でのレーザビームのパワーで説明する
と、第５図（１）は、８本の各々のレーザビームの間隔
と、Ｎ回目の主走査における第８本目およびＮ＋１回目
の主走査における第１本目の間隔とが等しい間隔X1で副
走査される場合の感光面上のレーザビーム記録状態の１
部分を表している。斜線部のｓ領域は、Ｎ回目の主走査
とＮ＋１回目の主走査とのパワーの重なり部分を表して
いる。このｓ領域は、前記のように複数レーザビーム毎
のつなぎ部分であり高濃度化を引き起こしてしまう。こ
のように、複数レーザビーム毎のつなぎ部分で高濃度化
を引き起こす場合には、前記ｓ領域を小さくすることに
より、つなぎ部分での高濃度化が避けられる。従って、
第５図（２）に示されるように、Ｎ回目主走査第８本目
のレーザビームおよびＮ＋１回目の主走査の第１本目の
レーザビームの間の間隔が間隔X1より大きな間隔X2に設
定され、前記ｓ領域が小さくされる。

この結果、Ｎ回目、Ｎ＋１回目の主走査についてみる
と、Ｎ回目の主走査を行う８本のレーザビーム内の第８
本目のレーザビームの露光とＮ＋１回目の主走査を行う
８本のレーザビーム内の第１本目のレーザビームの露光
との重なり部分で高濃度化を引き起こす場合には、第１
本目のレーザビームの露光と第８本目のレーザビームの
露光との間隔を大きくする。このように、Ｎ回目および
Ｎ＋１回目に８本のレーザビームを主走査するにあた
り、Ｎ＋１回目の主走査で８本のレーザビーム内の第１
本目のレーザビームの間隔を大きくさせるので、レーザ
ビームの重なり部分で濃度変化の少ない画像を形成する
ことができる。

なお、上記では８本のレーザビームの第１本目の露光
と第８本目のレーザビームの露光との間隔を大きくさせ
ているが、重なり部分で低濃度化を引き起こす場合に
は、小さくさせてもよい。

次に、第２実施例について説明する。上記第１実施例
ではガルバノメーターミラーの回転速度が早くされ、副
走査が早くされるので、作成される画面の右端が下がる
傾向になる。そこで、第２実施例では、第11図（１）〜
（３）に示した波形でガルバノメーターミラーを駆動す
る。１画面の副走査の波形は第11図（１）に示される。
第11図（２）は、第11図（１）のｑ部分を拡大したもの
であり、本実施例では、第１実施例のようにガルバノメ
ーターミラーの駆動をリニヤに変化するのではなく、段
階的に変化させる。第11図（２）に示すｄは、１主走査
分に対応する時間、ｈは、Ｎ回目の主走査の８本目のレ
ーザビームとＮ＋１回目の主走査の第１本目のレーザビ
ームとの副走査方向の間隔が、１主走査内の隣接したレ
ーザビームの間隔に等しくするためにガルバノメーター
を振らすためのガルバノメータードライバーのレベルで
ある。これにより、レベルｈを大きくした場合には、Ｎ
回目の主走査の間では、ガルバノメーターは同一角度に
維持されて主走査は水平に行われる。一方、Ｎ回目の主
走査が終了すると、Ｎ回目の主走査の８本目のレーザビ
ームとＮ＋１回目の主走査の第１本目のレーザビームと
の副走査方向の間隔が、１主走査内の隣接したレーザビ
ームの間隔より大きくなるｈのレベル分だけガルバノメ
ーターの角度が変化し、感光面上の８本のレーザビーム
の位置が移動され、Ｎ回目の主走査の８本目のレーザビ
ームとＮ＋１回目の主走査の第１本目のレーザビームと
が１主走査内のレーザビームの重なり量より少ない所定
の量だけ重ねられて、Ｎ＋１回目の主走査が開始され
る。このように、ｈのレベルを変化させることにより８
本のレーザビーム毎の間隔を変化させることができる。

また、第11図（３）に示した波形でガルバノメーター
を駆動することにより、従来の副走査による主走査の水
平方向の傾き（画像の形状）を保持し、Ｎ回目の主走査
の８本目のレーザビームとＮ＋１回目の主走査の第１本
目のレーザビームとの副走査方向の間隔だけを変化させ
ることもできる。

以上説明したように本実施例によれば、相反則性、相
反則不軌および多重露光によるレーザビームの重なり部
分での濃度ムラを少なくすることができる。

なお上記では光変調器として音響光学素子を用いた例
について説明したが、光導波路形変調器を用いてもよ
い。

なお、上記実施例では、８本のレーザビームを用いた
光ビーム走査装置の例について説明したが、８本に限定
されるものではない。

また、上記ではビームとしてレーザビームを用いた光
ビーム走査装置の例について説明したが、LEDの光を光
ビームとして用いる走査装置でもよく、また、他の光源
を用いて光ビームにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は上記実施例の制御回路の詳細を示すブロック
図、第２図は本実施例のガルバノメーターミラードライ
バーの詳細を示す回路の１例、第３図は本発明が適用さ
れたレーザビーム記録装置を示す概略図、第４図は本発
明の実施例のAOMドライバーを示すブロック図、第５図
（１）〜（２）は複数レーザビームの感光面上でのレー
ザビームのパワーを示す線図、第６図は画像データのオ
ンの数とレーザビームのパワーとの関係を示す線図、第
７図は画像データのオンの数とDACから出力されるアナ
ログ信号のレベルとの関係を示す線図、第８図は画像デ
ータのオンの数とレーザビームのパワーとの関係を示す
線図、第９図はガルバノメータミラーの角度に対するチ
ェック期間、非記録期間及び記録期間の関係を示す線
図、第10図（１）〜（５）はガルバノメーターミラード
ライバーの主要ブロックにおける入出力信号を示す線
図、第11図（１）〜（３）は、第２実施例のガルバノメ
ーターミラードライバーの駆動波形を示す線図である。 12……He−Neレーザ、 18……AOM、 36……ガルバノメータミラー 64A〜64H……ローカルレベル制御回路、

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】感光面上で隣接する光ビームの１部分が重
なるようにｍ本の光ビームを１列に配列し、光ビームの
配列方向と交差する方向に走査する主走査および光ビー
ムの配列方向に走査する幅走査を行って２次元の走査露
光を行うにあたり、Ｎを１以上の整数とし、Ｎ回目の主
走査を行う光ビーム内の第ｍ本目の光ビームの露光とＮ
＋１本目の主走査を行う光ビーム内の第１本目の光ビー
ムの露光との間の間隔を他の光ビームによる露光間隔に
対して変化させることを特徴とする複数光ビームによる
走査露光方法。
【請求項２】前記第１本目の光ビームの露光と前記第ｍ
本目の光ビームの露光とが重なる部分の画像濃度が高く
なる場合には、前記第１本目の光ビームの露光と前記第
ｍ本目の光ビームの露光との間の間隔を大きくする請求
項（１）記載の複数光ビームによる走査露光方法。
【請求項３】前記第１本目の光ビームの露光と前記第ｍ
本目の光ビームの露光とが重なる部分の画像濃度が低く
なる場合には、前記第１本目の光ビームの露光と前記第
ｍ本目の光ビームの露光との間の間隔を小さくする請求
項（１）記載の複数光ビームによる走査露光方法。