JPH04149515A - 複数光ビームのパワー補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数光ビームのパワー補正方法にかかり、特
に入射された光ビームを入射された超音波の周波数に応
じて複数に分割するマルチ周波数音響光学素子を用いて
複数の光ビームを発生させ、複数の光ビームを同時に走
査して記録材料へ露光する走査光学系の複数光ビームの
パワー補正を行う複数光ビームのパワー補正方法に関す
る。

〔従来技術〕

従来より、マルチ周波数音響光学素子（ＡＯＭ）を備え
た光学変調装置を用いて複数本のレーザビームを形成す
ることにより安定かつ高速に読取り或いは記録できる光
ビーム走査装置が提案されている（特公昭６３−５７４
１号公報、特開昭５４５４５５号公報、特開昭５７−４
１６１８公報、特公昭５３−９８５６号公報等）。

かかるマルチ周波数音響光学素子を用いて画像を記録す
るレーザビーム記録装置等の光ビーム走査装置では、異
なる周波数の信号を各々出力する複数の発振器と、発振
器の出力端の各々に接続されかつ発振器から出力された
信号の振幅を制御する複数の振幅制御器と、複数の振幅
制御器から出力された信号の各々を混合して音響光学素
子に入力する混合手段とを備え、入射されたレーザビー
ムを複数に分割すると共に、この複数レーザビームを同
時に感光面へ照射し、レーザビームを回転多面鏡（ポリ
ゴンミラー）及びガルバノミラ−等で構成される走査光
学系により、主走査及び副走査を行って、２次元の平面
走査を行っている。

すなわち、複数本のレーザビームは、高速で回転するポ
リゴンミラーの反射面で反射されることにより複数本の
主走査が同時になされる。その後この反射されたレーザ
ビームは、所定速度で回転されるガルバノミラ−で反射
されることにより、副走査がなされる。この副走査によ
り複数本のレーザビームから成るレーザビーム群の端部
が隙間無く繋げられることにより、２次元平面に画像が
形成される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来の光ビームの走査装置では、音響光
学素子の周波数応答性がフラットではなくかつ個体差が
あるために、交換及び組立等の時には、各々の光ビーム
のパワー調整を行わなければならない。また、経時によ
る光ビームの音響光学素子への入射位置のズレにより、
ブラッグ角が変化すると共に回折効率が落ち、各々の光
ビームのパワーが異なってしまう。また、複数の発振器
から出力される信号を混合しているため、各発振器から
出力される信号の振幅が異なると光ビームのパワーが異
なってしまう。これにより、画像に濃度差が生ずること
がある、という問題点がある。

口課題を解決するための手段〕 上記目的を達成するために本発明は、複数光ビームのパ
ワー補正方法において、異なる周波数の信号を各々出力
する複数の発振器と、前記発振器の出力端の各々に接続
されかつ前記発振器から出力された信号の振幅を制御す
る複数の振幅制御器と、前記複数の振幅制御器から出力
された信号の各々を混合して音響光学素子に人力する混
合手段とを備え、入射された光ビームを複数に分割する
と共に分割されたレーザビームを同時に走査露光する走
査露光系の複数ビームのパワー補正を行うにあたり、前
記複数の光ビームの各々をセンサーによって検出し、検
出値と予め設定された基準値との偏差量に応じて複数光
ビーム各々のパワーを補正することを特徴としている。

また、走査光路上にシャッタを設け、シャッタの光ビー
ム入射側にセンサーを取付けて複数光ビームのパワーを
補正することもできる。

なお、非記録時に複数光ビームのパワー補正をすること
もできる。

〔作用〕

本発明によれば、複数の発振器が異なる周波数の信号を
各々出力し、複数の発振器の出力端の各々に接続された
振幅制御器により発振器から出力された信号の振幅が制
御される。この複数の振幅制御器から出力された信号の
各々が混合されて音響光学素子に入力されることにより
、音響光学素子に入射された光ビームが複数に分割され
る。この分割された複数の光ビームが走査露光系により
同時に走査露光される。この分割された複数の光ビーム
の各々がセンサーによって検出される。そして、検出値
と予め設定された基準値との偏差量に応じて複数光ビー
ム各々のパワーが補正される。

このように、光ビームの各々のパワーが全て等しくなり
音響光学素子の個体差や音響光学素子交換時の光ビーム
のパワー調整が不要になると共に経時によるパワー変動
を少なくすることができ、また濃度差が発生するのが防
止される。

上記センサーは、走査光路上設けられたシャッタの光ビ
ーム入射側に取付けることができる。このようにするこ
とにより、シャッタが閉じているときにセンサーによっ
て光ビームのパワーが検出されるので、画像記録に影響
を及ぼすことなくパワーの補正ができる。

なお、本発明では、非記録時に複数の光ビームの各々の
光ビームのパワーを検出して、複数光ビ−ムのパワー補
正をすることが好ましい。

光ビームで感光面に露光する場合に、複数光ビーム各々
のパワーの各々を補正しているため、音響光学素子の特
性が異なっていても光ビームのパワーを一定にすること
ができると共に、経時による光ビームのパワー変動を少
なくでき、更に、記録画像に濃度むらが少なくすること
ができる、という効果が得られる。

〔実施例〕

以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。

第３図は、本実施例の複数光ビームのパワー補正方法が
適用されたレーザビーム記録装置を示すものである。こ
のレーデビーム記録装置は、電源１４が接続されたＨｅ
−Ｎｅレーザ１２を備えている。このＨｅ−Ｎｅレーザ
に代えて他の気体レーザ或いは半導体レーザ等を用いて
もよい。

Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム射出側には、レン
ズ１６、ＡＯＭ　（音響光学素子）１８、及びレンズ２
４が順に配列されている。ＡＯＭ１８は音響光学効果を
生ずる音響光学媒質２１を備えている。音響光学媒質２
１の対向する面には、人力された高周波信号に応じた超
音波を出力するトランスデユーサ１７と音響光学媒質２
１を伝播した超音波を吸収する吸音体１９とが貼着され
ている。

トランスデユーサ１７は、Ａ、　ＯＭを駆動するＡ○Ｍ
ドライバ２０に接続され、ＡＯＭドライバ２Ｄは制御回
路２２に接続されている。このＡＯＭＩ８から出力され
るレーザビームは、本実施例では、８本のレーザビーム
に分割される。レンズ２４のレーザビーム射出側には、
ミラー２６、ダイクロイックミラー２５、ポリゴンミラ
ー（回転多面鏡）２８、レンズ２９、ダイクロイックミ
ラー３２が順に配列されている。ダイクロイックミラー
２５に、レンズ２７を介して参照用レーザビームが入射
されるように半導体レーザ１３が配置されている。半導
体レーザ１３には、半導体レーザドライバ１５が接続さ
れている。ポリゴンミラー２８には、ポリゴンミラー２
８を高速回転するポリゴンドライバ３０が接続されてい
る。また、ダイクロイックミラー３２を透過した参照用
レーザビームが受光可能な位置にリニヤエンコーダ３３
および光電変換器３１が順に配列されている。このた約
、ポリゴンミラー２８で反射された参照用レーザビーム
はダイクロイックミラー３２を透過し、リニヤエンコー
ダ３３上に走査される。リニヤエンコーダ３３は、透明
部と不透明部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数
縞状に配置された平面板で構成され、このリニヤエンコ
ーダ３３をポリゴンミラー２８で反射された参照用レー
ザビームで走査すると、参照用レーザビームが透明部を
透過するた約光電変換器３１からパルス信号が出力され
る。この光電変換器３１からのパルス信号は、ガルバノ
メータミラーの角度を制御するガルバノメータミラード
ライバに入力されている。ダイクロイックミラー３２の
反射側には、ミラー３４、ガルバノメータミラー３６、
ミラー３８が順に配列されている。ミラー３８で反射さ
れたレーザビームはレンズ４０を通してステージ４２に
照射される。ミラー３８とレンズ４０との間には、非記
録時（例えば、あるコマから他のコマへ記録を変更する
とき、あるフィッシュから他のフィッシュへ記録を変更
するとき等）にレーザビームを遮断するように閉じられ
るシャッター６１が配置されている。このシャッター６
１のレーザビーム入射側の面には光電変換器６０が取り
付けられている。ステージ４２には、マイクロフィルム
等の記録材料４４が配置されている。この記録材料４４
は、それぞれリール４６及びリール４８に層状に巻付け
られている。

第４図に示すように、ＡＯＭ１８のし°−ザビーム射出
側の上記で説明した位置に配置されかつ受光したレーザ
ビームのパワーに応じた大きさの電圧を出力する光電変
換器６０は、発振回路（第５図）から出力される信号の
各々の振幅を制御するための信号を出力する信号発生回
路５８に接続されている。信号発生回路５８はＡＯＭド
ライバ２０に接続されている。

信号発生回路５８は、第１図に示すように、ＣＰＵ（中
央演算処理装置）８０、ＡＤＣ（アナログ−デジタル変
換器）８２、データを一時的に記憶するレジスタ８４Ａ
、８４Ｂ、８４Ｃ，８４Ｄ、８４Ｅ、８４Ｆ、８４Ｇ、
８４Ｈ，ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）８６Ａ、
８６Ｂ、８６Ｃ１８６Ｄ、８６Ｅ、８６Ｆ、８６Ｇ、８
６Ｈを備えている。光電変換器６０は、ＡＯＭｌｇによ
り８本に分割されたレーザビームを受光する位置に配置
されると共に受光したレーザビームのパワーに応じた電
圧を出力し、この光電変換器６０は、入力される電圧（
アナログ値）をこの電圧に応じたデジタル値に変換し出
力するＡＤＣ８２に接続されている。ＣＰＵ８０とＡＤ
Ｃ８２とレジスタ８４Ａ〜８４Ｈは相互間のデータおよ
びコマンドの人出力が行えるデータバスライン等によっ
て各々が相互に接続されている。レジスタ８４Ａ〜８４
Ｈの各々には、人力されたデジタル値をこのデジタル値
に応じた電圧（アナログ値）に変換して出力するＤＡＣ
８６Ａ〜８６Ｈの各々が接続され、このＤＡＣ８６Ａ〜
８６Ｈの各々は、ＡＯＭドライバ２０の発振回路（第５
図）から圧力される信号の各々の振幅を制御するための
ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの各々に接続さ
れている。

制御回路２２は、画像データを一時的に記憶するレジス
タ５０とレジスタ５０に接続されたデータ変換器５２を
備えている。この画像データは８ビツトのパラレル信号
で与えられている。データ変換器５２は、レジスタ５０
から入力される８ピツトの信号のオンの個数に応じた４
ビツトのパラレル信号を出力する。データ変換器５２に
はＤＡＣ５４が接続されている。ＤＡＣ５４は、データ
変換器５２から出力される４ビツトのパラレル信号を、
アナログ信号に変換してＡＯＭドライバ２０に出力する
。このアナログ信号のレベルは、第７図に示すように、
信号のオンの数が多くなるに従って高くなる。また、画
像データは遅延回路５６で所定時間遅延された後ＡＯＭ
ドライバ２０に入力される。

ＡＯＭドライバ２０は、第５図に示すように、各々周波
数がｆ１〜ｆ８の発振回路６２Ａ、６２Ｂ、６２Ｃ１６
２Ｄ、６２Ｅ、６２Ｆ、６２Ｇ、６２Ｈ、ローカルレベ
ル制御回路６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ１６４Ｄ、６４Ｅ、
６４Ｆ、６４Ｇ、６４Ｈ、スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂ
、６６Ｃ，６６Ｄ、６６Ｅ、６６Ｆ、６６Ｇ、６６Ｈを
備えている。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの
各々は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの出力端の各々に接続さ
れ、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの出力端に
はスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈが各々接続されている。

ローカルレベル制御回路としては、ダブルバランスドミ
キサーやピンダイオードアッテネータを使用することが
できる。また、ローカルレベル制御［１６４Ａ〜６４Ｈ
のレベル制御端の各々には、信号発生回路５８が接続さ
れている。そして、スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの制御
端の各々には、遅延回路５６から出力される画像データ
の各々が入力されるように接続されている。

スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端は、２つの信号
を１：１の割合で混合するコンバイナ６８ＡＢの入力端
に各々接続されている。同様に、スイッチ回路６６Ｃ１
６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤの入力端に接続
され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各出力端はコンバ
イナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｇ
、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８ＧＨの入力端に接
続されている。

コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレベル制御回路
７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続されているλ
同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はトータルレベル
制御回路７０ＣＤを介して増幅回路？２ＣＤに接続され
、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータルレベル制御回
路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接続され、コン
バイナＧＨの出力端はトータルレベル制御回路７０ＧＨ
を介して増幅回路７２ＧＨに接続されている。増幅回路
７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコンバイナ７４の入力
端に接続され、増幅回路７２ＥＦ。

７２ＧＨの各出力端はコンバイナ７６の入力端に接続さ
れている。コンバイナ７４．７６の出力端はコンバイナ
７８に接続され、コンバイナ７８の出力端はトランスデ
ユーサ１７に接続されている。

トータルレベル制御回路は、ローカルレベル制御回路と
同様にダブルバランスドミキサーやピンダイオードアッ
テネータで構成され、各々のレベル制御端には制御回路
２２のＤＡＣ５４の出力端が接続されている。

以下本実施例の作用を説明する。ホストコンピューター
等から供給される８ビツトの画像データはレジスタ５０
と遅延回路５６に供給される。データ変換器５２は、レ
ジスタ５０から人力された信号のオンの個数に応じたデ
ジタル信号を出力し、ＤＡＣ５４はこのデジタル信号に
応じた第７図に示すアナログ信号を出力する。このアナ
ログ信号は、トータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０Ｇ
Ｈの制御端の各々に人力される。また、遅延回路５６に
よって所定時間遅延された画像データは、Ａ○Ｍドライ
バ２０のスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの各々に入力され
る。各発振回路６２Ａ〜６２Ｈから出力された信号は、
ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈによって振幅が
調節された後スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈ１コンバイナ
６８ＡＢ〜６８ＧＨ，トータルレベル制御回路７０ＡＢ
〜７０ＧＨ，増幅回路７２ＡＢ〜７２ＧＦ（、コンバイ
ナ７４．７６、コンバイナ７８を介してＡＯＭＩ８のト
ランスデユーサ１７に供給される。トランスデユーサ１
７は、人力された信号を人力された信号の周波数及び振
幅に応じた超音波信号に変換する。この超音波信号は、
音響光学媒質２１を伝播して吸音体１９に吸音される。

このとき、ＨｅＮｅレーザ１２からレーザビームが発振
されていると、このレーザビームは、音響光学媒質２１
によって超音波信号の振幅に応じたパワーでかつ周波数
に応じた方向に分割される。ＡＯＭ１８で分割されたマ
ルチレーザビームは、ポリゴンミラー２８によって主走
査方向に走査され、ガルバノメータミラー３６によって
副走査方向に走査される。

第９図は、ガルバノメータミラー３６のミラーの角度を
経過時間に応じて示したものである。第１駒の記録が開
始される前の非記録期間において、第１駒の画像データ
が準備されると共に記録材料が１ｉｌ１分搬送されて記
録材料の位置決めが行われる。このとき、シャッタは閉
じられている。なお、記録が開始されると、シャッタが
開かれガルバノメータミラー３６のミラー角度が記録終
了角度になるまでに第１駒のデータが転送されて第１駒
の画像記録が行われる。また、この非記録期間のうちの
チエツク期間においては、各発振回路６２Ａ〜６２Ｈか
ら出力される信号の振幅調整、すなわちレベル調整が行
われる。レベルの調整について第１図に示されるブロッ
ク図および第２図に示される制御ルーチンを参照し説明
する。ＡＯＭから射出されたレーザビームは、閉じられ
たシャッタに取付けられた光電変換器６０に入射される
。このレベル調整においては、トータルレベル制御回路
７０ΔＢ〜７０ＧＨのレベル制御端へ一定の電圧を印加
し、各発振回路６２Ａ〜６２Ｍ毎に、すなわちレーザビ
ーム１本毎に次のようにしてレベル調節が行われる。す
なわち、ステップ１００において、本制御ルーチンにＮ
の初期値が１に設定され、ステップ１１０では、８本の
レーザビームの第１番目のＡＯＭドライバ２０のスイッ
チ回路のみがオンにされる。すなわち、発振回路６２Ａ
〜６２Ｈから信号を出力した状態で、スイッチ回路６６
Ａだけオン状態とする。ステップ１２０において、基準
値となる設定値Ｌ１および光電変換器６０から得られる
８本のレーザビームの第１番目のレーザビームのパワー
の出力がＡＤＣ８２によりデジタル値に変換された出力
値Ｐ１を取り込み、ステップ１３０に進む。ステップ１
３０では、設定値Ｌ１とＰｌ値の偏差Ｘを演算すると共
に、この演算結果に応じて設定値Ｌ１とＰ１値とが等し
ければステップ１４０へ進み、ローカルレベル制御回路
６４Ａの制御端に印加する電圧値としてＰｌ値がその値
のまま記憶され、ステップ１５０へ進む。設定値Ｌ１と
Ｐｌ値とが等しくなければステップ１４２へ進み、ロー
カルレベル制御回路６４の制御端に印加する電圧値とし
てＰｌ値に偏差Ｘが加算された値が記憶され、ステップ
１５０へ進む。ステップ１５０では、第１番目のレーザ
ビーム（１：）　パワーを制御するローカルレベル制６
回路６４Ａに対応するレジスタ８４Ａに出力される。

これにより、ローカルレベル制御回路６４Ａには、レジ
スタに記憶されている値がＤＡＣ８６Ａによりアナログ
電圧値に変換されて入力される。すなわち、人力された
信号のレベルが基準値より大きいときはローカルレベル
制御回路６４Ａの制御端に印加する電圧を低下して信号
の振幅が小さくなるように制御され、人力された信号の
レベルが基準値より小さいときはローカルレベル制御回
路６４Ａの制御端に印加する電圧を上昇させて信号の振
幅が大きくなるように制御される。このように、発振回
路６２Ａから出力された信号は、ローカルレベル制御回
路６４Ａ、スイッチ回路６６Ａ、コンバイナ６８ＡＢ、
トータルレベル制御回路７０ＡＢ、増幅回路７２ＡＢ等
を介してトランスデユーサ１７に供給される。これによ
り、ＡＯＭ１８からは、発振回路６２Ａから出力された
信号の振幅がローカルレベル制御回路６４Ａに入力され
た信号発生回路５８の出力レベルで制御され、ローカル
レベル制御回路６４．　Ａからの出力の振幅に応じたパ
ワーのレーザビームが射出される。ＡＯＭ１８から射出
されたレーザビームは、光電変換器６０て受光され、光
電変換器６０から受光したレーザビームのパワーに応じ
た電圧が出力される。

この結果、ＡＯＭから射出された第１番目のレーザビー
ムのパワーが目標値に調整される。

ステップ１６０においてＮ２２か否かを判断することに
より、レベル調整を行うレーザビームの残り本数を判断
し、未だレベル調整するレーザビームが有るときには、
ステップ１６２へ進み、Ｎが１インクリメントされ、ス
テップ１１０に進み、次のレーザビームのレベル調整を
行う。これにより、スイッチ回路６６Ｂ〜６６Ｈを順に
オンして上記と同様にして、発振回路６２Ｂ、・・・６
２Ｈについてレベル調整が行われ、このチエツク期間で
は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの全てについてのレベル調整
が個々に行われる。全てのレーザビームのレベル調整が
終了した場合には、この制御ルーチンを終了する。また
、画像記録中は、信号発生回路５８にレベル調整が行わ
れた後のレーザビームのパワーが出力されるように、上
記のレジスタ８４Ａ〜８４Ｈの各々に電圧値Ｐ１〜Ｐ８
が記憶されている。

また、第ｎ＠のデータを記録しているときには、レジス
タ５０、データ変換器５２及びＤＡＣ５４によってトー
タルレベル制御回路７０ＡＢ、７０ＣＤ、７０ＥＦ、７
０ＧＨの各々に、第７図に示す画像データのオンの数に
比例したアナログ信号が供給され、トータルレベル制御
回路はこのアナログ信号に応じてコンバイナ６８ＡＢ〜
６８ＧＨから出力された信号の振幅を制御する。これに
よって、ＡＯＭ１８から出力されるレーザビームの各々
のパワーは第８図に示すように信号のオンの数に拘らず
一定になり、画像データのオンの個数による画像濃度む
らが防止される。なお、信号のオンの個数によって振幅
を制御しないときは、ＡＯＭから射出される１つのレー
ザビームのパワーは、同時に射出されるレーザビームの
個数、すなわち画像データのオンの個数に応じて第６図
に示−ザビームで感光面に露光する場合に、音響光学素
子の特性が異なっていても光ビームのパワーを一定にす
ることができると共に、経時による光ビームのパワー変
動を少なくでき、複数レーザビーム各々のパワーの変化
が防止され、記録画像に濃度むらが少なくすることがで
きる、という効果が得られる。

上記実施例では、レーザビームのパワー検出を行うセン
サーをレーザビームの記録走査光路上に設けられたシャ
ッタに設けた例について説明したが、ＡＯＭの下流側に
透過率の低いミラーを配置し、このミラーの裏側にセン
サーを配置してもよい。また、シャッター上に反射ミラ
ーを設け、その反射光を受光可能な位置にセンサーを設
けてレーザビームのパワーを検出してもよい。

なお上記では、２つの信号を混合するコンバイナ６８Ａ
Ｂ〜６８ＧＨの後段にトータルレベル制列回路を接続し
た例について説明したが、コンバイナ７４．７６の後段
またはコンバイナ７８の後段にトータルレベル制御回路
を接続してもよい。

また、上記では光変調器として音響光学素子を用いた例
について説明したが、光導波路形変調器を用いてもよい
。

なお、上記実施例では、レーザビームのパワー補正をｌ
餉毎の非記録時に行う例について説明したが、少なくと
も１以上の主走査毎、少なくとも１以上の画像毎または
少なくとも１以上のフィッシュ毎に行ってもよく、また
これらの組合せた時期に行ってもよい。

また、上記では光ビームとしてレーザビームを用いた光
ビーム走査装置の例について説明したが、ＬＥＤの光を
光ビームとして用いる走査装置でもよく、また、他の光
源を用いて光ビームにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の複数光ビームのパワー補正方
法を示すブロック図、第２図は信号発生回路のレーザビ
ームのパワー補正制御ルーチンの流れ図、第３図は本発
明が適用されたレーザビーム記録装置を示す概略図、第
４図はＡＯＭの制御回路を示すブロック図、第５図はＡ
ＯＭドライバーを示すブロック図、第６図は画像データ
のオンの数とレーザビーｌ、のパワーとの関係を示す線
図、第７図は画像データのオンの数とＤＡＣから出力さ
れるアナログ信号のレベルとの関係を示す線図、第８図
は画像データのオンの数とレーザビームのパワーとの関
係を示す線図、第９図はガルバノメータミラーの角度に
対するチエツク期間、非記録期間及び記録期間の関係を
示す線図である。 １２・・・Ｈｅ−Ｎｅ １８・・・八〇Ｍ ５８・・・信号発生回路 ８２・・・ＡＤＣ ８６・・・ＤＡＣ ６２Ａ〜６２Ｈ・・・発振回路 ６４Ａ〜６４Ｈ・・・ローカルレベル制ａ　回ｕ６８Ａ
Ｂ〜６８ＧＨ。 ７４． ７６、 ・コンバイナ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）異なる周波数の信号を各々出力する複数の発振器
   と、前記発振器の出力端の各々に接続されかつ前記発振
   器から出力された信号の振幅を制御する複数の振幅制御
   器と、前記複数の振幅制御器から出力された信号の各々
   を混合して音響光学素子に入力する混合手段とを備え、
   入射された光ビームを複数に分割すると共に分割された
   光ビームを同時に走査露光する走査露光系の複数ビーム
   のパワー補正を行うにあたり、前記複数の光ビームの各
   々をセンサーによって検出し、検出値と予め設定された
   基準値との偏差量に応じて複数光ビーム各々のパワーを
   補正する複数光ビームのパワー補正方法。
2. （２）走査光路上にシャッタを設け、シャッタの光ビー
   ム入射側に前記センサーを取付けた請求項（１）記載の
   複数光ビームのパワー補正方法。
3. （３）非記録時に前記補正を行う請求項（１）記載の複
   数光ビームのパワー補正方法。