JPH04259926A - レーザビーム走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はレーザビーム走査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザビーム記録装置等のレーザビーム
走査装置では、レーザ発生器から射出されたレーザビー
ムを音響光学素子（ＡＯＭ）によって変調し、ポリゴン
ミラー（回転多面鏡）等の偏向手段により主走査方向に
偏向した後に感光材料等の記録媒体へ照射する。副走査
方向への偏向はガルバノメータミラーまたは記録媒体を
一定速度で搬送して行う。これによりレーザビームが記
録媒体上で平面走査され、レーザビームによる画像の記
録等を行うことができる。

【０００３】従来、偏向手段による主走査方向への偏向
と副走査方向への偏向との同期及び偏向手段による偏向
と音響光学素子における変調とを同期させるため、レー
ザビームの１回の主走査の始点または終点を検出し、こ
の検出信号に基づいて上記制御を行っていた。しかし、
例えばポリゴンミラー等によりレーザビームを偏向させ
る場合、ポリゴンミラーを回転させるモータ等の回転む
らにより走査速度にむらが生ずる。上記検出方法ではレ
ーザビームの１回の主走査の開始または終了を検出する
のみであるため、１回の主走査中の走査速度のむらを検
出することはできない。また一定の角速度で偏向させて
も平面上に照射したときの走査速度は一定にはならない
。このため、走査線上に等間隔に画素（ドット）を発生
させるように音響光学素子における変調を制御すること
ができず、記録する画像に歪みが発生する。

【０００４】このため、本出願人は上記問題を解決する
光ビーム記録装置を既に提案している（特公昭６１−１
９０１８号公報参照）。上記光ビーム記録装置は射出す
るレーザビームの波長が異なる２台の気体レーザ、例え
ばＡｒレーザとＨｅ−Ｎｅレーザとを備え、一方から射
出された記録用レーザビームと他方から射出された参照
用レーザビームとを合波してポリゴンミラーで偏向させ
た後に、ダイクロイックミラーで分波させ前記参照用レ
ーザビームをリニアエンコーダ上に走査させ、走査線上
の位置を検出する。これにより、１回の主走査中の走査
速度のむら等の影響を排除することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記気
体レーザは気体が装填される放電管の長さが長く、外形
を小さくすることは困難である。このため、この気体レ
ーザを２台用いるレーザビーム走査装置では装置の小型
化が困難であった。

【０００６】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、容易に小型化することができるレーザビーム走査装
置を得ることが目的である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るレーザビーム走査装置は、所定波長のレ
ーザビームを射出する気体レーザと、前記気体レーザか
ら入射されたレーザビームを入力された信号に応じて変
調して射出する光変調手段と、前記所定波長と異なる波
長のレーザビームを射出する半導体レーザと、気体レー
ザから射出され前記光変調手段で変調されたレーザビー
ムと前記半導体レーザから射出されたレーザビームとを
合波して射出する合波手段と、前記合波手段によって合
波されたレーザビームを偏向させる偏向手段と、前記偏
向手段によって偏向されたレーザビームが入射され気体
レーザから射出されたレーザビームと半導体レーザから
射出されたレーザビームとを分波して異なる方向へ射出
する分波手段と、半導体レーザから射出され前記分波手
段によって分波されたレーザビームが入射され該レーザ
ビームの走査に応じて同期信号を発生する同期信号発生
手段と、気体レーザから射出され分波手段によって分波
されたレーザビームが照射される記録媒体と、を有して
いる。

【０００８】また、気体レーザは可視光域の波長のレー
ザビームを射出し、記録媒体は可視光域の波長の光に感
光することが好ましい。

【０００９】

【作用】本発明では、所定波長のレーザビームを射出す
る気体レーザと所定波長と異なる波長のレーザビームを
射出する半導体レーザとを用い、気体レーザから射出さ
れたレーザビームと半導体レーザから射出されたレーザ
ビームとを合波して偏向させた後に分波し、半導体レー
ザから射出され分波されたレーザビームの走査に応じて
同期信号を発生させるようにしている。一般に半導体レ
ーザは、気体を充填する放電管が不要であるため気体レ
ーザと比較して小型であり、かつ長寿命でパワーの安定
したレーザビームが得られるため、レーザビーム走査装
置を小型化することが容易であり、メインテナンス性も
向上する。また、半導体レーザは気体レーザと比較して
より長い波長のレーザビームを射出する。このため、気
体レーザ及び半導体レーザから射出される２本のレーザ
ビームの波長の差は、２台の気体レーザから各々射出さ
れる２本のレーザビームの波長の差よりも大きく、分波
手段はより容易に２種類のレーザビームを分波すること
ができる。

【００１０】また、気体レーザは可視光域の波長のレー
ザビームを射出し、記録媒体は可視光域の波長の光に感
光することが好ましい。例えば記録媒体としての感光材
料にレンズを介して長波長のレーザビームを照射する場
合には、長波長の光に感光するような分光感度を有する
感光材料を用いる必要があるが、このような感光材料は
経時劣化の度合いが大きい。また、長波長のレーザビー
ムを集光するレンズも設計が困難である。このため、気
体レーザから射出されるレーザビームの波長を可視光域
（４００〜７００ｎｍ程度）とすることにより上記問題
を解決できると共に、気体レーザからのレーザビームの
射出の有無を目視できるので、作業性が高い。

【００１１】なお、半導体レーザから射出されるレーザ
ビームは、一般的に気体レーザから射出されるレーザビ
ームと比較してパワーが低いが、本発明では半導体レー
ザから射出されたレーザビームを同期信号を得るために
用いているため特に大きなパワーは必要ない。

【００１２】また、前記偏向手段は入射されたレーザビ
ームを主走査方向にのみ偏向させるものでもよく、副走
査方向にも偏向させるものでもよい。偏向手段が主走査
方向にのみ偏向させる場合には、後段に副走査方向への
偏向を行う振動鏡等の偏向手段を更に設けたり、また記
録媒体を同期信号に基づいて主走査方向への偏向と同期
させて搬送することによって、記録媒体上に画像等を記
録することができる。また、前記偏向手段が主走査方向
への偏向と副走査方向への偏向とを行う場合には、前記
同期信号発生手段を少なくとも主走査方向の偏向を検出
するように構成すればよい。

【００１３】また、前記同期信号発生手段は入射された
レーザビームを平面上に照射させて走査線における前記
レーザビームの位置に応じた信号を出力することが望ま
しく、例えばリニアエンコーダ等で構成することができ
る。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１には本発明に係るレーザビーム記録装
置１０が示されている。このレーザビーム記録装置１０
は気体レーザとしてのＨｅ−Ｎｅレーザ１２を備えてい
る。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２は電源１４に接続されており
、可視光の赤いレーザビームを射出する。このＨｅ−Ｎ
ｅレーザに代えてＡｒイオンレーザ等の他の気体レーザ
を用いてもよい。Ｈｅ−Ｎｅレーザ１２のレーザビーム
射出側には、レンズ１６、光変調手段としてのＡＯＭ（
音響光学素子）１８及びレンズ２４が順に配列されてい
る。ＡＯＭ１８は音響光学効果を生ずる音響光学媒質２
１を備えている。音響光学媒質２１の対向する面には、
入力された高周波信号に応じて超音波を出力するトラン
スデューサ１７と、音響光学媒質２１を通過した超音波
を吸収する吸音体１９とが貼付されている。トランスデ
ューサ１７は、ＡＯＭ１８を駆動するＡＯＭドライバ２
０に接続され、ＡＯＭドライバ２０は制御回路２２に接
続されている。本実施例では、ＡＯＭ１８に入射された
レーザビームから最大８本のレーザビームが回折され、
記録用レーザビームとして射出される。

【００１５】レンズ２４のレーザビーム射出側には、ミ
ラー２６、合波手段としてのダイクロイックミラー２５
、偏向手段としてのポリゴンミラー（回転多面鏡）２８
、レンズ２９及び分波手段としてのダイクロイックミラ
ー３２が順に配列されている。ダイクロイックミラー２
５の近傍にはレンズ２７及び半導体レーザ１３が配置さ
れている。半導体レーザ１３は半導体レーザドライバ１
５に接続されており、半導体レーザドライバ１５によっ
て駆動される。半導体レーザ１３は参照用レーザビーム
として、可視光よりも長い波長のレーザビームを射出す
る。半導体レーザ１３から射出されたレーザビームはレ
ンズ２７を介して参照用レーザビームとしてダイクロイ
ックミラー２５に入射される。ダイクロイックミラー２
５は半導体レーザ１３から射出された参照用レーザビー
ムに対応する波長の光を反射し、それ以外の波長の光を
透過させるように構成されている。従って、ダイクロイ
ックミラー２５に入射された記録用レーザビームはダイ
クロイックミラー２５を透過し、参照用レーザビームは
ダイクロイックミラー２５で反射され、各々は合波され
て同一方向すなわちポリゴンミラー２８側へ射出される
。

【００１６】ポリゴンミラー２８はポリゴンミラードラ
イバ３０に連結されており、ポリゴンミラードライバ３
０によって高速回転され、入射されたレーザビームを主
走査方向に偏向する。ポリゴンミラードライバ３０はポ
リゴンミラー２８の回転数を検出する図示しない回転数
検出手段を備えており、ポリゴンミラー２８が一定速度
で回転するように制御する。

【００１７】ポリゴンミラー２８で反射されると共に主
走査方向へ偏向された記録用レーザビーム及び参照用レ
ーザビームは、レンズ２９を介してダイクロイックミラ
ー３２に入射される。ダイクロイックミラー３２は記録
用レーザビームに対応する波長の光を反射させ、それ以
外の波長の光を透過させるように構成されている。この
ため、ダイクロイックミラー３２に入射された記録用レ
ーザビームは反射され、参照用レーザビームはダイクロ
イックミラー３２を透過して分波される。ダイクロイッ
クミラー３２を透過した前記参照用レーザビームを受光
可能な位置には、同期信号発生手段を構成するリニアエ
ンコーダ３３及び光電変換器３１が順に配列されている
。これにより、ダイクロイックミラー３２を透過した参
照用レーザビームはリニアエンコーダ３３上に走査され
る。

【００１８】リニアエンコーダ３３は、透明部と不透明
部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配置
された平面板で構成されている。このリニアエンコーダ
３３をポリゴンミラー２８で反射された参照用レーザビ
ームで走査すると、透明部を透過した参照用レーザビー
ムが光電変換器３１で光電変換され、光電変換器３１に
接続された信号発生回路１００にパルス信号が出力され
る。このパルス信号は主走査方向への偏向を表し、詳し
くはパルスの個数が前記参照用レーザビームの主走査線
上の位置に対応し、各パルス間の間隔が参照用レーザビ
ームの主走査速度に対応している。信号発生回路１００
では入力された前記パルス信号に基づいて、後述するガ
ルバノメータミラー３６による副走査方向への偏向を前
記主走査方向への偏向と同期させるためのガルバノメー
タミラー制御信号と、ＡＯＭ１８におけるレーザビーム
の変調を前記主走査方向への偏向と同期させるためのビ
デオクロック信号とを生成する。ガルバノメータミラー
制御信号はガルバノメータミラーの角度を制御するガル
バノメータミラードライバ３６Ａに入力され、ビデオク
ロック信号は後述する文字生成回路９４（図２参照）に
入力される。

【００１９】ダイクロイックミラー３２の反射側には、
ミラー３４、ガルバノメータミラー３６、ミラー３８が
順に配列されている。ガルバノメータミラー３６はガル
バノメータミラードライバ３６Ａに連結されている。ガ
ルバノメータミラードライバ３６Ａは、ガルバノメータ
ミラー３６が主走査方向への偏向と同期して副走査方向
への偏向を行うように、前述のガルバノメータミラー制
御信号に基づいてガルバノメータミラー３６の作動を制
御する。ガルバノメータミラー３６によって副走査方向
へ偏向されミラー３８で反射された記録用レーザビーム
は、レンズ４０を通してステージ４２に照射される。ミ
ラー３８とレンズ４０との間には、非記録時（例えば、
あるコマから他のコマへ記録を変更するとき、あるフィ
ッシュから他のフィッシュへ記録を変更するとき等）に
レーザビームを遮断するように閉じられるシャッター６
１が配置されている。このシャッター６１のレーザビー
ム入射側の面には光電変換器６０が取り付けられている
。ステージ４２には、マイクロフィルム等の記録材料４
４が配置されている。記録材料４４は可視光域の波長の
光に感光する感光材料で構成されている。記録材料４４
はそれぞれリール４６及びリール４８に層状に巻付けら
れている。

【００２０】図２に示すように、上記で説明した位置に
配置されかつＡＯＭ１８から回折光として射出された記
録用レーザビームを受光して該レーザビームのパワーに
応じた大きさの電圧を出力する光電変換器６０は、制御
回路２２の増幅器８８の入力側に接続されている。増幅
器８８の出力側にはＡＤＣ（アナログ−デジタル変換器
）８２、レジスタ９０が順に接続されている。ＡＤＣ８
２は光電変換器６０から出力され増幅器８８で増幅され
た信号を、前記受光したレーザビームのパワーを表すデ
ジタルデータに変換する。レジスタ９０は前記デジタル
データを一時的に保持する。レジスタ９０はデータバス
ライン９２に接続されている。データバスライン９２に
はＣＰＵ（中央処理装置）８０も接続されており、相互
間のデータおよびコマンドの入出力が可能となっている
。ＣＰＵ８０はレジスタ９０に保持されたレーザビーム
のパワーを表すデータに基づいて処理を行う。

【００２１】データバスライン９２にはレジスタ８４Ａ
、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、８４Ｅ、８４Ｆ、８４Ｇ、
８４Ｈが接続されており、各レジスタは各々ＤＡＣ（デ
ジタル−アナログ変換器）８６Ａ、８６Ｂ、８６Ｃ、８
６Ｄ、８６Ｅ、８６Ｆ、８６Ｇ、８６Ｈに接続されてい
る。レジスタ８４Ａ、８４Ｂ、８４Ｃ、８４Ｄ、８４Ｅ
、８４Ｆ、８４Ｇ、８４Ｈには、ＡＯＭ１８から射出さ
れた８本のレーザビームの各々のレベルを調整するデジ
タルデータが供給される。このデジタルデータは各ＤＡ
Ｃ８６でアナログ信号に変換され、ＡＯＭドライバ２０
の後述するローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの各
々へレベル制御信号として出力される。

【００２２】データバスライン９２には文字生成回路９
４が接続されている。文字生成回路９４にはホストコン
ピュータ等から転送された画像データが供給され、文字
生成回路９４はこれを一旦格納する。文字生成回路９４
には遅延回路５８及び信号数計数回路５４が接続されて
おり、また前述のビデオクロック信号が入力される。文
字生成回路９４は一旦格納した画像データからレーザビ
ームによる画像の記録順に８画素分毎に画像データ（８
ビット）を取り出し、ビデオクロック信号すなわちレー
ザビームの主走査方向への偏向と同期するように前記遅
延回路５８及び信号数計数回路５４へ出力する。遅延回
路５６では入力された画像データを所定時間遅延した後
、ＡＯＭドライバ２０の後述するスイッチ回路６６Ａ〜
６６Ｈの各々へ出力する。従って、スイッチ回路６６Ａ
〜６６Ｈはレーザビームの主走査方向への偏向と同期し
てオンオフする。一方、信号数計数回路５４は入力され
た８ビットの画像データを、８個のビットのオン（１）
の数を表す４ビットのデータへ変換し、第２ＤＡＣ（デ
ジタル−アナログ変換器）５６へ出力する。

【００２３】また、データバスライン９２にはレジスタ
５０、第１ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）５２が
順次接続されている。レジスタ５０には、８ビットの補
正データがＣＰＵ８０から供給される。この補正データ
は、ＡＯＭ１８に入力する信号の振幅を変更した場合に
も、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームのレーザビ
ーム１本当りのパワーを射出させるレーザビームの本数
に拘わらず一定にするための補正量を表している。レジ
スタ５０はこの補正データを一時的に保持し、第１ＤＡ
Ｃ５２へ出力する。第１ＤＡＣ５２では入力されたデジ
タルの補正データを、前記補正量に対応した電圧レベル
のアナログ信号へ変換する。第１ＤＡＣ５２の出力端子
は前記第２ＤＡＣ５６の基準電圧入力端子に接続されて
おり、第１ＤＡＣ５２は補正量に対応した電圧レベルの
アナログ信号を基準電圧ＶＲＥＦ　として第２ＤＡＣ５
６へ供給する。

【００２４】図４に示すように、第２ＤＡＣ５６から出
力される信号の電圧レベルは、前記信号数計数回路５４
から入力されるデータの値が大きくなるに従って、すな
わち画像データのオンの数が多くなるに従って高くなり
、高くなる度合いは基準電圧ＶＲＥＦ　の電圧レベルに
応じて変化する。すなわち、基準電圧ＶＲＥＦ　の電圧
レベルが大きい場合には画像データのオンの個数の増加
に対して第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベルが高くなる度
合いが大きく（傾きが大きく）なる。また、基準電圧Ｖ
ＲＥＦ　の電圧レベルが小さい場合には画像データのオ
ンの個数の増加に対して第２ＤＡＣ５６の出力電圧レベ
ルが高くなる度合いが小さく（傾きが小さく）なる。こ
の傾きの大きさは基準電圧ＶＲＥＦ　の電圧レベルに応
じて連続的に変化する。従って、基準電圧ＶＲＥＦ　の
電圧レベル、すなわちレジスタ５０に供給する補正デー
タの値を変更することによって前記傾きを変化させるこ
とができる。なお、画像データのオンの数が１の場合に
第２ＤＡＣ５６から出力される信号の電圧レベルは、基
準電圧ＶＲＥＦ　が変更されても変化しないように設定
されている。

【００２５】第２ＤＡＣ５６からの出力信号は増幅器９
６で増幅された後、ＡＯＭドライバ２０の後述するトー
タルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨの各々に振幅補
正信号として供給される。

【００２６】図３に示すように、ＡＯＭドライバ２０は
各々周波数がｆ１〜ｆ８の発振回路６２Ａ、６２Ｂ、６
２Ｃ、６２Ｄ、６２Ｅ、６２Ｆ、６２Ｇ、６２Ｈ、ロー
カルレベル制御回路６４Ａ、６４Ｂ、６４Ｃ、６４Ｄ、
６４Ｅ、６４Ｆ、６４Ｇ、６４Ｈ、スイッチ回路６６Ａ
、６６Ｂ、６６Ｃ、６６Ｄ、６６Ｅ、６６Ｆ、６６Ｇ、
６６Ｈを備えている。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜
６４Ｈの各々は発振回路６２Ａ〜６２Ｈの出力端の各々
に接続され、ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４Ｈの
出力端にはスイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈが各々接続され
ている。ローカルレベル制御回路としては、ダブルバラ
ンスドミキサーやピンダイオードアッテネータを使用す
ることができる。ローカルレベル制御回路６４Ａ〜６４
Ｈのレベル制御端の各々には、前述のＤＡＣ８６Ａ〜８
６Ｈの各々からのレベル制御信号が入力される。また、
スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈの制御端の各々には、遅延
回路５８からの８ビットのパラレル信号で入力される画
像データの各々１ビットが入力される。

【００２７】スイッチ回路６６Ａ、６６Ｂの各出力端は
、２つの信号を１：１の割合で混合するコンバイナ６８
ＡＢの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路６６Ｃ、６６Ｄの各出力端はコンバイナ６８ＣＤの
入力端に接続され、スイッチ回路６６Ｅ、６６Ｆの各出
力端はコンバイナ６８ＥＦの入力端に接続され、スイッ
チ回路６６Ｇ、６６Ｈの各出力端はコンバイナ６８ＧＨ
の入力端に接続されている。

【００２８】コンバイナ６８ＡＢの出力端はトータルレ
ベル制御回路７０ＡＢを介して増幅回路７２ＡＢに接続
されている。同様に、コンバイナ６８ＣＤの出力端はト
ータルレベル制御回路７０ＣＤを介して増幅回路７２Ｃ
Ｄに接続され、コンバイナ６８ＥＦの出力端はトータル
レベル制御回路７０ＥＦを介して増幅回路７２ＥＦに接
続され、コンバイナ６８ＧＨの出力端はトータルレベル
制御回路７０ＧＨを介して増幅回路７２ＧＨに接続され
ている。増幅回路７２ＡＢ、７２ＣＤの各出力端はコン
バイナ７４の入力端に接続され、増幅回路７２ＥＦ、７
２ＧＨの各出力端はコンバイナ７６の入力端に接続され
ている。コンバイナ７４、７６の出力端はコンバイナ７
８に接続され、コンバイナ７８の出力端は増幅回路７９
の入力端に接続されている。増幅回路７９は入力された
信号を一定の増幅率で増幅する。増幅回路７９の出力端
はＡＯＭ１８のトランスデューサ１７に接続されている
。トータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨはダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構
成され、各々のレベル制御端には前述の制御回路２２の
増幅回路９６から出力された振幅補正信号が分配されて
供給される。

【００２９】次に本実施例の作用を説明する。気体レー
ザとしてのＨｅ−Ｎｅレーザ１２から射出されたレーザ
ビームはＡＯＭ１８に入射される。一方、各発振回路６
２Ａ〜６２Ｈから出力された信号はローカルレベル制御
回路６４Ａ〜６４Ｈへ出力される。ローカルレベル制御
回路６４Ａ〜６４Ｈには、レベル制御信号が各々ＤＡＣ
８６Ａ〜８６Ｈから入力され、このレベル制御信号に基
づいて振幅を調節する。ローカルレベル制御回路６４Ａ
〜６４Ｈでレベル調整された信号はスイッチ回路６６Ａ
〜６６Ｈ、コンバイナ６８ＡＢ〜６８ＧＨ、トータルレ
ベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨ、増幅回路７２ＡＢ〜
７２ＧＨ、コンバイナ７４、７６、コンバイナ７８を介
して混合され、増幅回路７９で一定の増幅率で増幅され
た後、ＡＯＭ１８のトランスデューサ１７に供給される
。トランスデューサ１７は入力された信号を、入力され
た信号の数、周波数及び振幅に応じた超音波信号に変換
する。この超音波信号は、音響光学媒質２１を伝播して
吸音体１９に吸音される。これにより、Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ１２から入射されたレーザビームから入力された信号
の数と同数のレーザビームが、信号の振幅に応じたパワ
ーでかつ各信号の周波数に応じた方向へ記録用レーザビ
ームとして射出される。

【００３０】ＡＯＭ１８から射出された記録用レーザビ
ームは、レンズ２４、ミラー２６を介してダイクロイッ
クミラー２５に入射され、ダイクロイックミラー２５を
透過する。また半導体レーザ１３から射出された参照用
レーザビームもレンズ２７を介してダイクロイックミラ
ー２５に入射され、ダイクロイックミラー２５で反射さ
れて記録用レーザビームと合波される。合波されたレー
ザビームはポリゴンミラー２８側へ射出され、ポリゴン
ミラー２８によって反射されると共に主走査方向へ偏向
される。主走査方向へ偏向されたレーザビームはレンズ
２９を介してダイクロイックミラー３２に入射され、記
録用レーザビームがダイクロイックミラー３２で反射さ
れ、参照用レーザビームがダイクロイックミラー３２を
透過することによって分波される。なお、気体レーザで
あるＨｅ−Ｎｅレーザ１２から射出された記録用レーザ
ビームは可視光であり、半導体レーザ１３から射出され
た参照用レーザビームは可視光よりも長い波長であるの
で、各々の波長は大きく異なっており、ダイクロイック
ミラー３２は２台の気体用レーザから射出され合波され
たレーザビームを分波する場合と比較して容易かつ正確
に分波することができる。

【００３１】ダイクロイックミラー３２を透過した参照
用レーザビームはリニアエンコーダ３３上を走査される
。リニアエンコーダ３３の透明部を透過した参照用レー
ザビームは光電変換器３１で光電変換され、主走査方向
への偏向を表すパルス信号が出力される。信号発生回路
１００はこのパルス信号に基づいてガルバノメータミラ
ー制御信号とビデオクロック信号とを生成し、各々をガ
ルバノメータミラードライバ３６Ａ、文字生成回路９４
へ供給する。これにより、ガルバノメータミラー３６の
作動及びＡＯＭ１８におけるレーザビームの変調は、主
走査方向への偏向と同期して行われる。

【００３２】記録材料４４に画像を記録する場合、文字
発生回路９４はホストコンピューター等から供給された
画像データを、８ビット毎の画像データとしてレーザビ
ームによる画像の記録順に遅延回路５８及び信号数計数
回路５４へ出力する。このときの画像データの出力タイ
ミングは、入力されたビデオクロック信号と同期して行
われる。遅延回路５８で一定時間遅延された８ビットの
画像データは各スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈに１ビット
づつ分配されて入力される。スイッチ回路６６Ａ〜６６
Ｈは入力された１ビットの画像データがオン（１）の場
合には信号を通過させ、オフ（０）の場合には信号を遮
断する。スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈには、前述のよう
にビデオクロック信号と同期したタイミングで画像デー
タが入力されるので、スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈはビ
デオクロック信号と同期してオンオフする。このため、
主走査線上に画素（ドット）を等間隔に発生させること
ができる。

【００３３】一方、信号数計数回路５４は、文字発生回
路９４から入力された信号のオンの個数に応じたデジタ
ル信号を第２ＤＡＣ５６へ出力する。第２ＤＡＣ５６に
は、この信号のオンの個数に応じたデジタル信号と共に
、レジスタ５０、第１ＤＡＣ５２を介してアナログ信号
に変換された補正データが基準電圧ＶＲＥＦ　として入
力され、ＡＯＭ１８から射出させるレーザビームの単一
レーザビーム当りのパワーを、射出させるレーザビーム
の本数に拘わらず一定にするための振幅補正信号を出力
する。この振幅補正信号はトータルレベル制御回路７０
ＡＢ〜７０ＧＨの制御端の各々に入力される。トータル
レベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨは入力された振幅補
正信号に基づいて、スイッチ回路６６Ａ〜６６Ｈを通過
した信号の振幅を調整する。トータルレベル制御回路７
０ＡＢ〜７０ＧＨで振幅が調整された各々の信号は増幅
回路７２ＡＢ〜７２ＧＨ、コンバイナ７４、７６、コン
バイナ７８、増幅回路７９を介してＡＯＭ１８のトラン
スデューサ１７に供給される。ＡＯＭ１８では入力され
た信号に応じてレーザビームを変調し、記録する画像に
応じた記録用レーザビームを射出する。

【００３４】記録用レーザビームは、前述のようにポリ
ゴンミラー２８で主走査方向へ偏向されダイクロイック
ミラー３２で反射された後にガルバノメータミラー３６
へ入射される。ガルバノメータミラー３６は前述のガル
バノメータミラー制御信号に基づいて主走査方向への偏
向と同期して駆動され、入射された記録用レーザビーム
を副走査方向へ偏向させる。副走査方向へ偏向された記
録用レーザビームはミラー３８、レンズ４０を介して記
録材料４４へ照射される。これにより記録材料４４上に
画像が歪みなく記録される。

【００３５】また本レーザビーム記録装置１０では、画
像の非記録期間にシャッタ６１を閉じた状態でレベル調
整処理を行う。このレベル調整処理は、スイッチ回路６
６Ａ〜６６Ｈを順にオンしてＡＯＭ１８から１本のレー
ザビームを射出させ、光電変換器６０によって検出され
る各々のレーザビームのパワーが記録倍率に対応する基
準値と等しくなるように前記ローカルレベル制御回路６
４Ａ〜６４Ｈへ入力するレベル制御信号のレベルを設定
する。設定したレベルはレジスタ８４Ａ〜８４Ｈの各々
に記憶され、画像記録中にローカルレベル制御回路６４
Ａ〜６４Ｈに前記設定したレベルのレベル制御信号が入
力される。

【００３６】また、画像の非記録期間には振幅補正処理
も行う。この振幅補正処理は、ＡＯＭ１８から１本のレ
ーザビームを射出させた場合のパワーと複数本のレーザ
ビームを射出させた場合のパワーとを各々測定し、レー
ザビーム１本当りのパワーがＡＯＭ１８から射出させる
レーザビームの本数に拘わらず一定になるように、レジ
スタに設定する補正データのデータ値を設定する。設定
された補正データは画像を記録している間レジスタ５０
に記憶され、第１ＤＡＣ５２でアナログ信号に変換され
て第２ＤＡＣ５６へ基準電圧ＶＲＥＦ　として供給され
る。 第２ＤＡＣ５６にはＡＯＭ１８から射出させるレーザビ
ームの本数を表すデータが信号数計数回路５４から供給
され、第２ＤＡＣ５６はＡＯＭ１８から射出させるレー
ザビームの本数に応じた振幅制御信号を増幅器９６を介
してトータルレベル制御回路７０ＡＢ〜７０ＧＨの各々
へ入力する。これによって、ＡＯＭ１８から出力される
レーザビーム１本当りのパワーはＡＯＭ１８から射出さ
せるレーザビームの本数に拘わらず一定になる。従って
画像の濃度むらが防止される。

【００３７】このように、本実施例では記録用レーザビ
ームを射出するレーザ発生器をＨｅ−Ｎｅレーザ１２と
し、参照用レーザビームを射出するレーザ発生器を半導
体レーザ１３としたので、レーザビーム記録装置１０を
小型化でき、メインテナンス性が向上する。

【００３８】なお、本実施例ではガルバノメータミラー
３６によって副走査を行う例について説明したが、光電
変換器３１から出力されたパルス信号に基づいて主走査
方向への偏向と同期させて記録材料４４を搬送し、主走
査方向にのみ偏向されたレーザビームを記録材料４４に
照射して記録材料４４に画像を記録するようにしてもよ
い。

【００３９】また、上記では光変調手段としてＡＯＭ（
音響光学素子）１８を用いた例について説明したが、光
導波路形変調器を用いてもよい。

【００４０】また、本実施例では気体レーザとしてＨｅ
−Ｎｅレーザ１２を用いた例を説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、例えばＡｒイオンレーザ
、Ｋｒイオンレーザ、Ｃｕ蒸気レーザ等の気体レーザを
用いることができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、所定波
長のレーザビームを射出する気体レーザと所定波長と異
なる波長のレーザビームを射出する半導体レーザとを用
い、気体レーザから射出されたレーザビームと半導体レ
ーザから射出されたレーザビームとを合波して偏向させ
た後に分波し、半導体レーザから射出され分波されたレ
ーザビームの走査に応じて同期信号を発生させるように
したので、レーザビーム走査装置を容易に小型化するこ
とができる、という優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】レーザビーム記録装置の概略構成図である。

【図２】本実施例に係るレーザビーム記録装置の制御回
路近傍の概略構成を示す概略ブロック図である。

【図３】ＡＯＭドライバの概略構成を示す概略ブロック
図である。

【図４】ＤＡＣ（デジタル−アナログ変換器）の基準電
圧ＶＲＥＦ　を変化させた場合の、信号のオンの数と出
力信号のレベルとの関係の変化を示す線図である。

【符号の説明】

１０　　　　レーザビーム記録装置 １２　　　　Ｈｅ−Ｎｅレーザ １３　　　　半導体レーザ １８　　　　ＡＯＭ（音響光学素子） ２５　　　　ダイクロイックミラー ２８　　　　ポリゴンミラー ３１　　　　光電変換器 ３２　　　　ダイクロイックミラー ３３　　　　リニアエンコーダ ３６　　　　ガルバノメータミラー ４４　　　　記録媒体 １００　　信号発生回路

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　所定波長のレーザビームを射出する気
   体レーザと、前記気体レーザから入射されたレーザビー
   ムを入力された信号に応じて変調して射出する光変調手
   段と、前記所定波長と異なる波長のレーザビームを射出
   する半導体レーザと、気体レーザから射出され前記光変
   調手段で変調されたレーザビームと前記半導体レーザか
   ら射出されたレーザビームとを合波して射出する合波手
   段と、前記合波手段によって合波されたレーザビームを
   偏向させる偏向手段と、前記偏向手段によって偏向され
   たレーザビームが入射され気体レーザから射出されたレ
   ーザビームと半導体レーザから射出されたレーザビーム
   とを分波して異なる方向へ射出する分波手段と、半導体
   レーザから射出され前記分波手段によって分波されたレ
   ーザビームが入射され該レーザビームの走査に応じて同
   期信号を発生する同期信号発生手段と、気体レーザから
   射出され分波手段によって分波されたレーザビームが照
   射される記録媒体と、を有するレーザビーム走査装置。
2. 【請求項２】　　前記気体レーザは可視光域の波長のレ
   ーザビームを射出し、前記記録媒体は可視光域の波長の
   光に感光することを特徴とする請求項１記載のレーザビ
   ーム走査装置。