JPH04259927A - レーザビーム走査装置 - Google Patents
レーザビーム走査装置Info
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- JPH04259927A JPH04259927A JP3021833A JP2183391A JPH04259927A JP H04259927 A JPH04259927 A JP H04259927A JP 3021833 A JP3021833 A JP 3021833A JP 2183391 A JP2183391 A JP 2183391A JP H04259927 A JPH04259927 A JP H04259927A
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- laser beam
- laser
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 3
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 229920005994 diacetyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 2
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 239000010979 ruby Substances 0.000 description 1
- 229910001750 ruby Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Head (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザビーム走査装置に
関する。
関する。
【0002】
【従来の技術】レーザビーム記録装置等のレーザビーム
走査装置では、レーザ発生器から射出されたレーザビー
ムを音響光学素子(AOM)によって変調し、ポリゴン
ミラー(回転多面鏡)等の偏向手段により主走査方向に
偏向した後に感光材料等の記録媒体へ照射する。副走査
方向への偏向はガルバノメータミラーまたは記録媒体を
一定速度で搬送して行う。これによりレーザビームが記
録媒体上で平面走査され、レーザビームによる画像の記
録等を行うことができる。
走査装置では、レーザ発生器から射出されたレーザビー
ムを音響光学素子(AOM)によって変調し、ポリゴン
ミラー(回転多面鏡)等の偏向手段により主走査方向に
偏向した後に感光材料等の記録媒体へ照射する。副走査
方向への偏向はガルバノメータミラーまたは記録媒体を
一定速度で搬送して行う。これによりレーザビームが記
録媒体上で平面走査され、レーザビームによる画像の記
録等を行うことができる。
【0003】従来、偏向手段による主走査方向への偏向
と副走査方向への偏向との同期及び偏向手段による偏向
と音響光学素子における変調とを同期させるため、レー
ザビームの1回の主走査の始点または終点を検出し、こ
の検出信号に基づいて上記制御を行っていた。しかし、
例えばポリゴンミラー等によりレーザビームを偏向させ
る場合、ポリゴンミラーを回転させるモータ等の回転む
らにより走査速度にむらが生ずる。上記検出方法ではレ
ーザビームの1回の主走査の開始または終了を検出する
のみであるため、1回の主走査中の走査速度のむらを検
出することはできない。また一定の角速度で偏向させて
も平面上に照射したときの走査速度は一定にはならない
。このため、走査線上に等間隔に画素(ドット)を発生
させるように音響光学素子における変調を制御すること
ができず、記録する画像に歪みが発生する。
と副走査方向への偏向との同期及び偏向手段による偏向
と音響光学素子における変調とを同期させるため、レー
ザビームの1回の主走査の始点または終点を検出し、こ
の検出信号に基づいて上記制御を行っていた。しかし、
例えばポリゴンミラー等によりレーザビームを偏向させ
る場合、ポリゴンミラーを回転させるモータ等の回転む
らにより走査速度にむらが生ずる。上記検出方法ではレ
ーザビームの1回の主走査の開始または終了を検出する
のみであるため、1回の主走査中の走査速度のむらを検
出することはできない。また一定の角速度で偏向させて
も平面上に照射したときの走査速度は一定にはならない
。このため、走査線上に等間隔に画素(ドット)を発生
させるように音響光学素子における変調を制御すること
ができず、記録する画像に歪みが発生する。
【0004】このため、本出願人は上記問題を解決する
光ビーム記録装置を既に提案している(特公昭61−1
9018号公報参照)。上記光ビーム記録装置は射出す
るレーザビームの波長が異なる2台の気体レーザ、例え
ばArレーザとHe−Neレーザとを備え、一方から射
出された記録用レーザビームと他方から射出された参照
用レーザビームとを合波してポリゴンミラーで偏向させ
た後に、ダイクロイックミラーで分波させ前記参照用レ
ーザビームをリニアエンコーダ上に走査させ、走査線上
の位置を検出する。これにより、1回の主走査中の走査
速度のむら等の影響を排除することができる。
光ビーム記録装置を既に提案している(特公昭61−1
9018号公報参照)。上記光ビーム記録装置は射出す
るレーザビームの波長が異なる2台の気体レーザ、例え
ばArレーザとHe−Neレーザとを備え、一方から射
出された記録用レーザビームと他方から射出された参照
用レーザビームとを合波してポリゴンミラーで偏向させ
た後に、ダイクロイックミラーで分波させ前記参照用レ
ーザビームをリニアエンコーダ上に走査させ、走査線上
の位置を検出する。これにより、1回の主走査中の走査
速度のむら等の影響を排除することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記気
体レーザは気体が装填される放電管の長さが長く、外形
を小さくすることは困難である。このため、この気体レ
ーザを2台用いるレーザビーム走査装置では装置の小型
化が困難であった。
体レーザは気体が装填される放電管の長さが長く、外形
を小さくすることは困難である。このため、この気体レ
ーザを2台用いるレーザビーム走査装置では装置の小型
化が困難であった。
【0006】本発明は上記事実を考慮して成されたもの
で、容易に小型化することができるレーザビーム走査装
置を得ることが目的である。
で、容易に小型化することができるレーザビーム走査装
置を得ることが目的である。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1記載の発明は、所定波長のレーザビームを射
出する第1の固体レーザと、前記第1の固体レーザから
入射されたレーザビームを入力された信号に応じて変調
して射出する光変調手段と、前記所定波長と異なる波長
のレーザビームを射出する第2の固体レーザと、第1の
固体レーザから射出され前記光変調手段で変調されたレ
ーザビームと前記第2の固体レーザから射出されたレー
ザビームとを合波して射出する合波手段と、前記合波手
段によって合波されたレーザビームを偏向させる偏向手
段と、前記偏向手段によって偏向されたレーザビームが
入射され第1の固体レーザから射出されたレーザビーム
と第2の固体レーザから射出されたレーザビームとを分
波して異なる方向へ射出する分波手段と、第2の固体レ
ーザから射出され前記分波手段によって分波されたレー
ザビームが入射され該レーザビームの走査に応じて同期
信号を発生する同期信号発生手段と、第1の固体レーザ
から射出され分波手段によって分波されたレーザビーム
が照射される記録媒体と、を有している。
に請求項1記載の発明は、所定波長のレーザビームを射
出する第1の固体レーザと、前記第1の固体レーザから
入射されたレーザビームを入力された信号に応じて変調
して射出する光変調手段と、前記所定波長と異なる波長
のレーザビームを射出する第2の固体レーザと、第1の
固体レーザから射出され前記光変調手段で変調されたレ
ーザビームと前記第2の固体レーザから射出されたレー
ザビームとを合波して射出する合波手段と、前記合波手
段によって合波されたレーザビームを偏向させる偏向手
段と、前記偏向手段によって偏向されたレーザビームが
入射され第1の固体レーザから射出されたレーザビーム
と第2の固体レーザから射出されたレーザビームとを分
波して異なる方向へ射出する分波手段と、第2の固体レ
ーザから射出され前記分波手段によって分波されたレー
ザビームが入射され該レーザビームの走査に応じて同期
信号を発生する同期信号発生手段と、第1の固体レーザ
から射出され分波手段によって分波されたレーザビーム
が照射される記録媒体と、を有している。
【0008】請求項2記載の発明は、所定波長のレーザ
ビームを射出する単一の固体レーザと、前記固体レーザ
から射出されたレーザビームを2本のレーザビームに分
岐させ各々を異なる方向へ射出させる分岐手段と、前記
分岐手段で分岐されたレーザビームの一方が入射され該
レーザビームを入力された信号に応じて変調して射出す
る光変調手段と、前記分岐手段で分岐されたレーザビー
ムの他方が入射され該レーザビームの波長または偏光面
を変換して射出する変換手段と、前記光変調手段から射
出されたレーザビームと前記変換手段から射出されたレ
ーザビームとを合波して射出する合波手段と、前記合波
手段によって合波されたレーザビームを偏向させる偏向
手段と、前記偏向手段によって偏向されたレーザビーム
が入射され光変調手段から射出されたレーザビームと変
換手段から射出されたレーザビームとを分波して異なる
方向へ射出する分波手段と、変換手段から射出され前記
分波手段によって分波されたレーザビームが入射され該
レーザビームの走査に応じて同期信号を発生する同期信
号発生手段と、光変調手段から射出され分波手段によっ
て分波されたレーザビームが照射される記録媒体と、を
有している。
ビームを射出する単一の固体レーザと、前記固体レーザ
から射出されたレーザビームを2本のレーザビームに分
岐させ各々を異なる方向へ射出させる分岐手段と、前記
分岐手段で分岐されたレーザビームの一方が入射され該
レーザビームを入力された信号に応じて変調して射出す
る光変調手段と、前記分岐手段で分岐されたレーザビー
ムの他方が入射され該レーザビームの波長または偏光面
を変換して射出する変換手段と、前記光変調手段から射
出されたレーザビームと前記変換手段から射出されたレ
ーザビームとを合波して射出する合波手段と、前記合波
手段によって合波されたレーザビームを偏向させる偏向
手段と、前記偏向手段によって偏向されたレーザビーム
が入射され光変調手段から射出されたレーザビームと変
換手段から射出されたレーザビームとを分波して異なる
方向へ射出する分波手段と、変換手段から射出され前記
分波手段によって分波されたレーザビームが入射され該
レーザビームの走査に応じて同期信号を発生する同期信
号発生手段と、光変調手段から射出され分波手段によっ
て分波されたレーザビームが照射される記録媒体と、を
有している。
【0009】また、記録媒体に照射されるレーザビーム
は可視光域の波長のレーザビームであり、記録媒体は可
視光域の波長の光に感光することが好ましい。
は可視光域の波長のレーザビームであり、記録媒体は可
視光域の波長の光に感光することが好ましい。
【0010】
【作用】請求項1記載の発明では、所定波長のレーザビ
ームを射出する第1の固体レーザと所定波長と異なる波
長のレーザビームを射出する第2の固体レーザとを用い
、第1の固体レーザから射出されたレーザビームと第2
の固体レーザから射出されたレーザビームとを合波して
偏向させた後に分波し、第2の固体レーザから射出され
分波されたレーザビームの走査に応じて同期信号を発生
させるようにしている。固体レーザは気体を充填する放
電管が不要であるため小型化が容易であり、最近は気体
レーザより小型の固体レーザが多数開発されている。 このような固体レーザを用いることにより、レーザビー
ム走査装置を容易に小型化することができる。また、固
体レーザは発振波長を変化させることができるので、第
1の固体レーザ及び第2の固体レーザから射出される2
本のレーザビームの波長の差を大きくすることにより、
分波手段はより容易に2種類のレーザビームを分波する
ことができる。
ームを射出する第1の固体レーザと所定波長と異なる波
長のレーザビームを射出する第2の固体レーザとを用い
、第1の固体レーザから射出されたレーザビームと第2
の固体レーザから射出されたレーザビームとを合波して
偏向させた後に分波し、第2の固体レーザから射出され
分波されたレーザビームの走査に応じて同期信号を発生
させるようにしている。固体レーザは気体を充填する放
電管が不要であるため小型化が容易であり、最近は気体
レーザより小型の固体レーザが多数開発されている。 このような固体レーザを用いることにより、レーザビー
ム走査装置を容易に小型化することができる。また、固
体レーザは発振波長を変化させることができるので、第
1の固体レーザ及び第2の固体レーザから射出される2
本のレーザビームの波長の差を大きくすることにより、
分波手段はより容易に2種類のレーザビームを分波する
ことができる。
【0011】請求項2記載の発明では、単一の固体レー
ザから射出されたレーザビームを2本のレーザビームに
分岐させ、一方のレーザビームを光変調手段で変調し、
他方のレーザビームを変換手段によって波長または偏光
面を変換した後に合波する。合波したレーザビームを偏
向させた後に分波し、変換手段から射出されたレーザビ
ームの走査に応じて同期信号を発生させるようにしてい
る。このように、本請求項2の発明では単一の固体レー
ザのみを用いているので、レーザビーム走査装置をより
小型化することができる。なお、波長を変換する変換手
段としては、2次高調波発生(SHG)等の現象を利用
した波長変換素子を用い、合波手段及び分波手段として
ダイクロイックミラー等を用いることができる。また、
偏光面を変換する変換手段としては、1/2λ波長板等
を用い、合波手段及び分波手段として偏光ビームスプリ
ッタ等を用いることができる。
ザから射出されたレーザビームを2本のレーザビームに
分岐させ、一方のレーザビームを光変調手段で変調し、
他方のレーザビームを変換手段によって波長または偏光
面を変換した後に合波する。合波したレーザビームを偏
向させた後に分波し、変換手段から射出されたレーザビ
ームの走査に応じて同期信号を発生させるようにしてい
る。このように、本請求項2の発明では単一の固体レー
ザのみを用いているので、レーザビーム走査装置をより
小型化することができる。なお、波長を変換する変換手
段としては、2次高調波発生(SHG)等の現象を利用
した波長変換素子を用い、合波手段及び分波手段として
ダイクロイックミラー等を用いることができる。また、
偏光面を変換する変換手段としては、1/2λ波長板等
を用い、合波手段及び分波手段として偏光ビームスプリ
ッタ等を用いることができる。
【0012】なお、請求項1及び請求項2の発明におい
て、記録媒体に照射されるレーザビームは可視光域の波
長のレーザビームであり、記録媒体は可視光域の波長の
光に感光することが好ましい。例えば記録媒体としての
感光材料にレンズを介して長波長のレーザビームを照射
する場合には、長波長の光に感光するような分光感度を
有する感光材料を用いる必要があるが、このような感光
材料は経時劣化の度合いが大きい。また、長波長のレー
ザビームを集光するレンズも設計が困難である。このた
め、請求項1の発明における第1の固体レーザから射出
されるレーザビームの波長または請求項2の発明におけ
る光変調手段から射出されるレーザビームの波長を可視
光域(400〜700nm程度)とすることにより上記
問題を解決できると共に、記録媒体に照射するレーザビ
ームの有無を目視できるので、作業性が高い。
て、記録媒体に照射されるレーザビームは可視光域の波
長のレーザビームであり、記録媒体は可視光域の波長の
光に感光することが好ましい。例えば記録媒体としての
感光材料にレンズを介して長波長のレーザビームを照射
する場合には、長波長の光に感光するような分光感度を
有する感光材料を用いる必要があるが、このような感光
材料は経時劣化の度合いが大きい。また、長波長のレー
ザビームを集光するレンズも設計が困難である。このた
め、請求項1の発明における第1の固体レーザから射出
されるレーザビームの波長または請求項2の発明におけ
る光変調手段から射出されるレーザビームの波長を可視
光域(400〜700nm程度)とすることにより上記
問題を解決できると共に、記録媒体に照射するレーザビ
ームの有無を目視できるので、作業性が高い。
【0013】また、前記偏向手段は入射されたレーザビ
ームを主走査方向にのみ偏向させるものでもよく、副走
査方向にも偏向させるものでもよい。偏向手段が主走査
方向にのみ偏向させる場合には、後段に副走査方向への
偏向を行う振動鏡等の偏向手段を更に設けたり、また記
録媒体を同期信号に基づいて主走査方向への偏向と同期
させて搬送することによって、記録媒体上に画像等を記
録することができる。また、前記偏向手段が主走査方向
への偏向と副走査方向への偏向とを行う場合には、前記
同期信号発生手段を少なくとも主走査方向の偏向を検出
するように構成すればよい。
ームを主走査方向にのみ偏向させるものでもよく、副走
査方向にも偏向させるものでもよい。偏向手段が主走査
方向にのみ偏向させる場合には、後段に副走査方向への
偏向を行う振動鏡等の偏向手段を更に設けたり、また記
録媒体を同期信号に基づいて主走査方向への偏向と同期
させて搬送することによって、記録媒体上に画像等を記
録することができる。また、前記偏向手段が主走査方向
への偏向と副走査方向への偏向とを行う場合には、前記
同期信号発生手段を少なくとも主走査方向の偏向を検出
するように構成すればよい。
【0014】また、前記同期信号発生手段は入射された
レーザビームを平面上に照射させて走査線における前記
レーザビームの位置に応じた信号を出力することが望ま
しく、例えばリニアエンコーダ等で構成することができ
る。
レーザビームを平面上に照射させて走査線における前記
レーザビームの位置に応じた信号を出力することが望ま
しく、例えばリニアエンコーダ等で構成することができ
る。
【0015】
【実施例】〔第1実施例〕
以下、図面を参照して本発明の第1実施例を詳細に説明
する。図1には本発明に係るレーザビーム記録装置10
が示されている。このレーザビーム記録装置10は第1
の固体レーザ12を備えている。第1の固体レーザ12
は固体レーザドライバ14に接続されており、固体レー
ザドライバ14によって駆動される。第1の固体レーザ
12は可視光域内の所定波長のレーザビームを射出する
。なお、固体レーザとしてはルビーレーザ、YAGレー
ザ、ガラスレーザ等を用いることができる。第1の固体
レーザ12のレーザビーム射出側には、レンズ16、光
変調手段としてのAOM(音響光学素子)18及びレン
ズ24が順に配列されている。AOM18は音響光学効
果を生ずる音響光学媒質21を備えている。音響光学媒
質21の対向する面には、入力された高周波信号に応じ
て超音波を出力するトランスデューサ17と、音響光学
媒質21を通過した超音波を吸収する吸音体19とが貼
付されている。トランスデューサ17は、AOM18を
駆動するAOMドライバ20に接続され、AOMドライ
バ20は制御回路22に接続されている。本第1実施例
では、AOM18に入射されたレーザビームから最大8
本のレーザビームが回折され、記録用レーザビームとし
て射出される。
する。図1には本発明に係るレーザビーム記録装置10
が示されている。このレーザビーム記録装置10は第1
の固体レーザ12を備えている。第1の固体レーザ12
は固体レーザドライバ14に接続されており、固体レー
ザドライバ14によって駆動される。第1の固体レーザ
12は可視光域内の所定波長のレーザビームを射出する
。なお、固体レーザとしてはルビーレーザ、YAGレー
ザ、ガラスレーザ等を用いることができる。第1の固体
レーザ12のレーザビーム射出側には、レンズ16、光
変調手段としてのAOM(音響光学素子)18及びレン
ズ24が順に配列されている。AOM18は音響光学効
果を生ずる音響光学媒質21を備えている。音響光学媒
質21の対向する面には、入力された高周波信号に応じ
て超音波を出力するトランスデューサ17と、音響光学
媒質21を通過した超音波を吸収する吸音体19とが貼
付されている。トランスデューサ17は、AOM18を
駆動するAOMドライバ20に接続され、AOMドライ
バ20は制御回路22に接続されている。本第1実施例
では、AOM18に入射されたレーザビームから最大8
本のレーザビームが回折され、記録用レーザビームとし
て射出される。
【0016】レンズ24のレーザビーム射出側には、ミ
ラー26、合波手段としてのダイクロイックミラー25
、偏向手段としてのポリゴンミラー(回転多面鏡)28
、レンズ29及び分波手段としてのダイクロイックミラ
ー32が順に配列されている。ダイクロイックミラー2
5の近傍にはレンズ27及び第2の固体レーザ13が配
置されている。第2の固体レーザ13は固体レーザドラ
イバ15に接続されており、固体レーザドライバ15に
よって駆動される。第2の固体レーザ13は参照用レー
ザビームとして、前記所定波長と大きく異なる波長のレ
ーザビームを射出する。第2の固体レーザ13から射出
されたレーザビームはレンズ27を介して参照用レーザ
ビームとしてダイクロイックミラー25に入射される。 ダイクロイックミラー25は第2の固体レーザ13から
射出された参照用レーザビームに対応する波長の光を反
射し、それ以外の波長の光を透過させるように構成され
ている。従って、ダイクロイックミラー25に入射され
た記録用レーザビームはダイクロイックミラー25を透
過し、参照用レーザビームはダイクロイックミラー25
で反射され、各々は合波されて同一方向すなわちポリゴ
ンミラー28側へ射出される。
ラー26、合波手段としてのダイクロイックミラー25
、偏向手段としてのポリゴンミラー(回転多面鏡)28
、レンズ29及び分波手段としてのダイクロイックミラ
ー32が順に配列されている。ダイクロイックミラー2
5の近傍にはレンズ27及び第2の固体レーザ13が配
置されている。第2の固体レーザ13は固体レーザドラ
イバ15に接続されており、固体レーザドライバ15に
よって駆動される。第2の固体レーザ13は参照用レー
ザビームとして、前記所定波長と大きく異なる波長のレ
ーザビームを射出する。第2の固体レーザ13から射出
されたレーザビームはレンズ27を介して参照用レーザ
ビームとしてダイクロイックミラー25に入射される。 ダイクロイックミラー25は第2の固体レーザ13から
射出された参照用レーザビームに対応する波長の光を反
射し、それ以外の波長の光を透過させるように構成され
ている。従って、ダイクロイックミラー25に入射され
た記録用レーザビームはダイクロイックミラー25を透
過し、参照用レーザビームはダイクロイックミラー25
で反射され、各々は合波されて同一方向すなわちポリゴ
ンミラー28側へ射出される。
【0017】ポリゴンミラー28はポリゴンミラードラ
イバ30に連結されており、ポリゴンミラードライバ3
0によって高速回転され、入射されたレーザビームを主
走査方向に偏向する。ポリゴンミラードライバ30はポ
リゴンミラー28の回転数を検出する図示しない回転数
検出手段を備えており、ポリゴンミラー28が一定速度
で回転するように制御する。
イバ30に連結されており、ポリゴンミラードライバ3
0によって高速回転され、入射されたレーザビームを主
走査方向に偏向する。ポリゴンミラードライバ30はポ
リゴンミラー28の回転数を検出する図示しない回転数
検出手段を備えており、ポリゴンミラー28が一定速度
で回転するように制御する。
【0018】ポリゴンミラー28で反射されると共に主
走査方向へ偏向された記録用レーザビーム及び参照用レ
ーザビームは、レンズ29を介してダイクロイックミラ
ー32に入射される。ダイクロイックミラー32は記録
用レーザビームに対応する波長の光を反射させ、それ以
外の波長の光を透過させるように構成されている。この
ため、ダイクロイックミラー32に入射された記録用レ
ーザビームは反射され、参照用レーザビームはダイクロ
イックミラー32を透過して分波される。ダイクロイッ
クミラー32を透過した前記参照用レーザビームを受光
可能な位置には、同期信号発生手段を構成するリニアエ
ンコーダ33及び光電変換器31が順に配列されている
。これにより、ダイクロイックミラー32を透過した参
照用レーザビームはリニアエンコーダ33上に走査され
る。
走査方向へ偏向された記録用レーザビーム及び参照用レ
ーザビームは、レンズ29を介してダイクロイックミラ
ー32に入射される。ダイクロイックミラー32は記録
用レーザビームに対応する波長の光を反射させ、それ以
外の波長の光を透過させるように構成されている。この
ため、ダイクロイックミラー32に入射された記録用レ
ーザビームは反射され、参照用レーザビームはダイクロ
イックミラー32を透過して分波される。ダイクロイッ
クミラー32を透過した前記参照用レーザビームを受光
可能な位置には、同期信号発生手段を構成するリニアエ
ンコーダ33及び光電変換器31が順に配列されている
。これにより、ダイクロイックミラー32を透過した参
照用レーザビームはリニアエンコーダ33上に走査され
る。
【0019】リニアエンコーダ33は、透明部と不透明
部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配置
された平面板で構成されている。このリニアエンコーダ
33をポリゴンミラー28で反射された参照用レーザビ
ームで走査すると、透明部を透過した参照用レーザビー
ムが光電変換器31で光電変換され、光電変換器31に
接続された信号発生回路100にパルス信号が出力され
る。このパルス信号は主走査方向への偏向を表し、詳し
くはパルスの個数が前記参照用レーザビームの主走査線
上の位置に対応し、各パルス間の間隔が参照用レーザビ
ームの主走査速度に対応している。信号発生回路100
では入力された前記パルス信号に基づいて、後述するガ
ルバノメータミラー36による副走査方向への偏向を前
記主走査方向への偏向と同期させるためのガルバノメー
タミラー制御信号と、AOM18におけるレーザビーム
の変調を前記主走査方向への偏向と同期させるためのビ
デオクロック信号とを生成する。ガルバノメータミラー
制御信号はガルバノメータミラーの角度を制御するガル
バノメータミラードライバ36Aに入力され、ビデオク
ロック信号は後述する文字生成回路94(図2参照)に
入力される。
部とが主走査方向に一定ピッチで交互に多数縞状に配置
された平面板で構成されている。このリニアエンコーダ
33をポリゴンミラー28で反射された参照用レーザビ
ームで走査すると、透明部を透過した参照用レーザビー
ムが光電変換器31で光電変換され、光電変換器31に
接続された信号発生回路100にパルス信号が出力され
る。このパルス信号は主走査方向への偏向を表し、詳し
くはパルスの個数が前記参照用レーザビームの主走査線
上の位置に対応し、各パルス間の間隔が参照用レーザビ
ームの主走査速度に対応している。信号発生回路100
では入力された前記パルス信号に基づいて、後述するガ
ルバノメータミラー36による副走査方向への偏向を前
記主走査方向への偏向と同期させるためのガルバノメー
タミラー制御信号と、AOM18におけるレーザビーム
の変調を前記主走査方向への偏向と同期させるためのビ
デオクロック信号とを生成する。ガルバノメータミラー
制御信号はガルバノメータミラーの角度を制御するガル
バノメータミラードライバ36Aに入力され、ビデオク
ロック信号は後述する文字生成回路94(図2参照)に
入力される。
【0020】ダイクロイックミラー32の反射側には、
ミラー34、ガルバノメータミラー36、ミラー38が
順に配列されている。ガルバノメータミラー36はガル
バノメータミラードライバ36Aに連結されている。ガ
ルバノメータミラードライバ36Aは、ガルバノメータ
ミラー36が主走査方向への偏向と同期して副走査方向
への偏向を行うように、前述のガルバノメータミラー制
御信号に基づいてガルバノメータミラー36の作動を制
御する。ガルバノメータミラー36によって副走査方向
へ偏向されミラー38で反射された記録用レーザビーム
は、レンズ40を通してステージ42に照射される。ミ
ラー38とレンズ40との間には、非記録時(例えば、
あるコマから他のコマへ記録を変更するとき、あるフィ
ッシュから他のフィッシュへ記録を変更するとき等)に
レーザビームを遮断するように閉じられるシャッター6
1が配置されている。このシャッター61のレーザビー
ム入射側の面には光電変換器60が取り付けられている
。ステージ42には、マイクロフィルム等の記録材料4
4が配置されている。記録材料44は可視光域の波長の
光に感光する銀塩フィルムで構成されている。記録材料
44はそれぞれリール46及びリール48に層状に巻付
けられている。
ミラー34、ガルバノメータミラー36、ミラー38が
順に配列されている。ガルバノメータミラー36はガル
バノメータミラードライバ36Aに連結されている。ガ
ルバノメータミラードライバ36Aは、ガルバノメータ
ミラー36が主走査方向への偏向と同期して副走査方向
への偏向を行うように、前述のガルバノメータミラー制
御信号に基づいてガルバノメータミラー36の作動を制
御する。ガルバノメータミラー36によって副走査方向
へ偏向されミラー38で反射された記録用レーザビーム
は、レンズ40を通してステージ42に照射される。ミ
ラー38とレンズ40との間には、非記録時(例えば、
あるコマから他のコマへ記録を変更するとき、あるフィ
ッシュから他のフィッシュへ記録を変更するとき等)に
レーザビームを遮断するように閉じられるシャッター6
1が配置されている。このシャッター61のレーザビー
ム入射側の面には光電変換器60が取り付けられている
。ステージ42には、マイクロフィルム等の記録材料4
4が配置されている。記録材料44は可視光域の波長の
光に感光する銀塩フィルムで構成されている。記録材料
44はそれぞれリール46及びリール48に層状に巻付
けられている。
【0021】図2に示すように、上記で説明した位置に
配置されかつAOM18から回折光として射出された記
録用レーザビームを受光して該レーザビームのパワーに
応じた大きさの電圧を出力する光電変換器60は、制御
回路22の増幅器88の入力側に接続されている。増幅
器88の出力側にはADC(アナログ−デジタル変換器
)82、レジスタ90が順に接続されている。ADC8
2は光電変換器60から出力され増幅器88で増幅され
た信号を、前記受光したレーザビームのパワーを表すデ
ジタルデータに変換する。レジスタ90は前記デジタル
データを一時的に保持する。レジスタ90はデータバス
ライン92に接続されている。データバスライン92に
はCPU(中央処理装置)80も接続されており、相互
間のデータおよびコマンドの入出力が可能となっている
。CPU80はレジスタ90に保持されたレーザビーム
のパワーを表すデータに基づいて処理を行う。
配置されかつAOM18から回折光として射出された記
録用レーザビームを受光して該レーザビームのパワーに
応じた大きさの電圧を出力する光電変換器60は、制御
回路22の増幅器88の入力側に接続されている。増幅
器88の出力側にはADC(アナログ−デジタル変換器
)82、レジスタ90が順に接続されている。ADC8
2は光電変換器60から出力され増幅器88で増幅され
た信号を、前記受光したレーザビームのパワーを表すデ
ジタルデータに変換する。レジスタ90は前記デジタル
データを一時的に保持する。レジスタ90はデータバス
ライン92に接続されている。データバスライン92に
はCPU(中央処理装置)80も接続されており、相互
間のデータおよびコマンドの入出力が可能となっている
。CPU80はレジスタ90に保持されたレーザビーム
のパワーを表すデータに基づいて処理を行う。
【0022】データバスライン92にはレジスタ84A
、84B、84C、84D、84E、84F、84G、
84Hが接続されており、各レジスタは各々DAC(デ
ジタル−アナログ変換器)86A、86B、86C、8
6D、86E、86F、86G、86Hに接続されてい
る。レジスタ84A、84B、84C、84D、84E
、84F、84G、84Hには、AOM18から射出さ
れた8本のレーザビームの各々のレベルを調整するデジ
タルデータが供給される。このデジタルデータは各DA
C86でアナログ信号に変換され、AOMドライバ20
の後述するローカルレベル制御回路64A〜64Hの各
々へレベル制御信号として出力される。
、84B、84C、84D、84E、84F、84G、
84Hが接続されており、各レジスタは各々DAC(デ
ジタル−アナログ変換器)86A、86B、86C、8
6D、86E、86F、86G、86Hに接続されてい
る。レジスタ84A、84B、84C、84D、84E
、84F、84G、84Hには、AOM18から射出さ
れた8本のレーザビームの各々のレベルを調整するデジ
タルデータが供給される。このデジタルデータは各DA
C86でアナログ信号に変換され、AOMドライバ20
の後述するローカルレベル制御回路64A〜64Hの各
々へレベル制御信号として出力される。
【0023】データバスライン92には文字生成回路9
4が接続されている。文字生成回路94にはホストコン
ピュータ等から転送された画像データが供給され、文字
生成回路94はこれを一旦格納する。文字生成回路94
には遅延回路58及び信号数計数回路54が接続されて
おり、また前述のビデオクロック信号が入力される。文
字生成回路94は一旦格納した画像データからレーザビ
ームによる画像の記録順に8画素分毎に画像データ(8
ビット)を取り出し、ビデオクロック信号すなわちレー
ザビームの主走査方向への偏向と同期するように前記遅
延回路58及び信号数計数回路54へ出力する。遅延回
路56では入力された画像データを所定時間遅延した後
、AOMドライバ20の後述するスイッチ回路66A〜
66Hの各々へ出力する。従って、スイッチ回路66A
〜66Hはレーザビームの主走査方向への偏向と同期し
てオンオフする。一方、信号数計数回路54は入力され
た8ビットの画像データを、8個のビットのオン(1)
の数を表す4ビットのデータへ変換し、第2DAC(デ
ジタル−アナログ変換器)56へ出力する。
4が接続されている。文字生成回路94にはホストコン
ピュータ等から転送された画像データが供給され、文字
生成回路94はこれを一旦格納する。文字生成回路94
には遅延回路58及び信号数計数回路54が接続されて
おり、また前述のビデオクロック信号が入力される。文
字生成回路94は一旦格納した画像データからレーザビ
ームによる画像の記録順に8画素分毎に画像データ(8
ビット)を取り出し、ビデオクロック信号すなわちレー
ザビームの主走査方向への偏向と同期するように前記遅
延回路58及び信号数計数回路54へ出力する。遅延回
路56では入力された画像データを所定時間遅延した後
、AOMドライバ20の後述するスイッチ回路66A〜
66Hの各々へ出力する。従って、スイッチ回路66A
〜66Hはレーザビームの主走査方向への偏向と同期し
てオンオフする。一方、信号数計数回路54は入力され
た8ビットの画像データを、8個のビットのオン(1)
の数を表す4ビットのデータへ変換し、第2DAC(デ
ジタル−アナログ変換器)56へ出力する。
【0024】また、データバスライン92にはレジスタ
50、第1DAC(デジタル−アナログ変換器)52が
順次接続されている。レジスタ50には、8ビットの補
正データがCPU80から供給される。この補正データ
は、AOM18に入力する信号の振幅を変更した場合に
も、AOM18から射出させるレーザビームのレーザビ
ーム1本当りのパワーを射出させるレーザビームの本数
に拘わらず一定にするための補正量を表している。レジ
スタ50はこの補正データを一時的に保持し、第1DA
C52へ出力する。第1DAC52では入力されたデジ
タルの補正データを、前記補正量に対応した電圧レベル
のアナログ信号へ変換する。第1DAC52の出力端子
は前記第2DAC56の基準電圧入力端子に接続されて
おり、第1DAC52は補正量に対応した電圧レベルの
アナログ信号を基準電圧VREF として第2DAC5
6へ供給する。
50、第1DAC(デジタル−アナログ変換器)52が
順次接続されている。レジスタ50には、8ビットの補
正データがCPU80から供給される。この補正データ
は、AOM18に入力する信号の振幅を変更した場合に
も、AOM18から射出させるレーザビームのレーザビ
ーム1本当りのパワーを射出させるレーザビームの本数
に拘わらず一定にするための補正量を表している。レジ
スタ50はこの補正データを一時的に保持し、第1DA
C52へ出力する。第1DAC52では入力されたデジ
タルの補正データを、前記補正量に対応した電圧レベル
のアナログ信号へ変換する。第1DAC52の出力端子
は前記第2DAC56の基準電圧入力端子に接続されて
おり、第1DAC52は補正量に対応した電圧レベルの
アナログ信号を基準電圧VREF として第2DAC5
6へ供給する。
【0025】図4に示すように、第2DAC56から出
力される信号の電圧レベルは、前記信号数計数回路54
から入力されるデータの値が大きくなるに従って、すな
わち画像データのオンの数が多くなるに従って高くなり
、高くなる度合いは基準電圧VREF の電圧レベルに
応じて変化する。すなわち、基準電圧VREF の電圧
レベルが大きい場合には画像データのオンの個数の増加
に対して第2DAC56の出力電圧レベルが高くなる度
合いが大きく(傾きが大きく)なる。また、基準電圧V
REF の電圧レベルが小さい場合には画像データのオ
ンの個数の増加に対して第2DAC56の出力電圧レベ
ルが高くなる度合いが小さく(傾きが小さく)なる。こ
の傾きの大きさは基準電圧VREF の電圧レベルに応
じて連続的に変化する。従って、基準電圧VREF の
電圧レベル、すなわちレジスタ50に供給する補正デー
タの値を変更することによって前記傾きを変化させるこ
とができる。なお、画像データのオンの数が1の場合に
第2DAC56から出力される信号の電圧レベルは、基
準電圧VREF が変更されても変化しないように設定
されている。
力される信号の電圧レベルは、前記信号数計数回路54
から入力されるデータの値が大きくなるに従って、すな
わち画像データのオンの数が多くなるに従って高くなり
、高くなる度合いは基準電圧VREF の電圧レベルに
応じて変化する。すなわち、基準電圧VREF の電圧
レベルが大きい場合には画像データのオンの個数の増加
に対して第2DAC56の出力電圧レベルが高くなる度
合いが大きく(傾きが大きく)なる。また、基準電圧V
REF の電圧レベルが小さい場合には画像データのオ
ンの個数の増加に対して第2DAC56の出力電圧レベ
ルが高くなる度合いが小さく(傾きが小さく)なる。こ
の傾きの大きさは基準電圧VREF の電圧レベルに応
じて連続的に変化する。従って、基準電圧VREF の
電圧レベル、すなわちレジスタ50に供給する補正デー
タの値を変更することによって前記傾きを変化させるこ
とができる。なお、画像データのオンの数が1の場合に
第2DAC56から出力される信号の電圧レベルは、基
準電圧VREF が変更されても変化しないように設定
されている。
【0026】第2DAC56からの出力信号は増幅器9
6で増幅された後、AOMドライバ20の後述するトー
タルレベル制御回路70AB〜70GHの各々に振幅補
正信号として供給される。
6で増幅された後、AOMドライバ20の後述するトー
タルレベル制御回路70AB〜70GHの各々に振幅補
正信号として供給される。
【0027】図3に示すように、AOMドライバ20は
各々周波数がf1〜f8の発振回路62A、62B、6
2C、62D、62E、62F、62G、62H、ロー
カルレベル制御回路64A、64B、64C、64D、
64E、64F、64G、64H、スイッチ回路66A
、66B、66C、66D、66E、66F、66G、
66Hを備えている。ローカルレベル制御回路64A〜
64Hの各々は発振回路62A〜62Hの出力端の各々
に接続され、ローカルレベル制御回路64A〜64Hの
出力端にはスイッチ回路66A〜66Hが各々接続され
ている。ローカルレベル制御回路としては、ダブルバラ
ンスドミキサーやピンダイオードアッテネータを使用す
ることができる。ローカルレベル制御回路64A〜64
Hのレベル制御端の各々には、前述のDAC86A〜8
6Hの各々からのレベル制御信号が入力される。また、
スイッチ回路66A〜66Hの制御端の各々には、遅延
回路58からの8ビットのパラレル信号で入力される画
像データの各々1ビットが入力される。
各々周波数がf1〜f8の発振回路62A、62B、6
2C、62D、62E、62F、62G、62H、ロー
カルレベル制御回路64A、64B、64C、64D、
64E、64F、64G、64H、スイッチ回路66A
、66B、66C、66D、66E、66F、66G、
66Hを備えている。ローカルレベル制御回路64A〜
64Hの各々は発振回路62A〜62Hの出力端の各々
に接続され、ローカルレベル制御回路64A〜64Hの
出力端にはスイッチ回路66A〜66Hが各々接続され
ている。ローカルレベル制御回路としては、ダブルバラ
ンスドミキサーやピンダイオードアッテネータを使用す
ることができる。ローカルレベル制御回路64A〜64
Hのレベル制御端の各々には、前述のDAC86A〜8
6Hの各々からのレベル制御信号が入力される。また、
スイッチ回路66A〜66Hの制御端の各々には、遅延
回路58からの8ビットのパラレル信号で入力される画
像データの各々1ビットが入力される。
【0028】スイッチ回路66A、66Bの各出力端は
、2つの信号を1:1の割合で混合するコンバイナ68
ABの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路66C、66Dの各出力端はコンバイナ68CDの
入力端に接続され、スイッチ回路66E、66Fの各出
力端はコンバイナ68EFの入力端に接続され、スイッ
チ回路66G、66Hの各出力端はコンバイナ68GH
の入力端に接続されている。
、2つの信号を1:1の割合で混合するコンバイナ68
ABの入力端に各々接続されている。同様に、スイッチ
回路66C、66Dの各出力端はコンバイナ68CDの
入力端に接続され、スイッチ回路66E、66Fの各出
力端はコンバイナ68EFの入力端に接続され、スイッ
チ回路66G、66Hの各出力端はコンバイナ68GH
の入力端に接続されている。
【0029】コンバイナ68ABの出力端はトータルレ
ベル制御回路70ABを介して増幅回路72ABに接続
されている。同様に、コンバイナ68CDの出力端はト
ータルレベル制御回路70CDを介して増幅回路72C
Dに接続され、コンバイナ68EFの出力端はトータル
レベル制御回路70EFを介して増幅回路72EFに接
続され、コンバイナ68GHの出力端はトータルレベル
制御回路70GHを介して増幅回路72GHに接続され
ている。増幅回路72AB、72CDの各出力端はコン
バイナ74の入力端に接続され、増幅回路72EF、7
2GHの各出力端はコンバイナ76の入力端に接続され
ている。コンバイナ74、76の出力端はコンバイナ7
8に接続され、コンバイナ78の出力端は増幅回路79
の入力端に接続されている。増幅回路79は入力された
信号を一定の増幅率で増幅する。増幅回路79の出力端
はAOM18のトランスデューサ17に接続されている
。トータルレベル制御回路70AB〜70GHはダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構
成され、各々のレベル制御端には前述の制御回路22の
増幅回路96から出力された振幅補正信号が分配されて
供給される。
ベル制御回路70ABを介して増幅回路72ABに接続
されている。同様に、コンバイナ68CDの出力端はト
ータルレベル制御回路70CDを介して増幅回路72C
Dに接続され、コンバイナ68EFの出力端はトータル
レベル制御回路70EFを介して増幅回路72EFに接
続され、コンバイナ68GHの出力端はトータルレベル
制御回路70GHを介して増幅回路72GHに接続され
ている。増幅回路72AB、72CDの各出力端はコン
バイナ74の入力端に接続され、増幅回路72EF、7
2GHの各出力端はコンバイナ76の入力端に接続され
ている。コンバイナ74、76の出力端はコンバイナ7
8に接続され、コンバイナ78の出力端は増幅回路79
の入力端に接続されている。増幅回路79は入力された
信号を一定の増幅率で増幅する。増幅回路79の出力端
はAOM18のトランスデューサ17に接続されている
。トータルレベル制御回路70AB〜70GHはダブル
バランスドミキサーやピンダイオードアッテネータで構
成され、各々のレベル制御端には前述の制御回路22の
増幅回路96から出力された振幅補正信号が分配されて
供給される。
【0030】次に本第1実施例の作用を説明する。第1
の固体レーザ12から射出されたレーザビームはAOM
18に入射される。一方、各発振回路62A〜62Hか
ら出力された信号はローカルレベル制御回路64A〜6
4Hへ出力される。ローカルレベル制御回路64A〜6
4Hには、レベル制御信号が各々DAC86A〜86H
から入力され、このレベル制御信号に基づいて振幅を調
節する。ローカルレベル制御回路64A〜64Hでレベ
ル調整された信号はスイッチ回路66A〜66H、コン
バイナ68AB〜68GH、トータルレベル制御回路7
0AB〜70GH、増幅回路72AB〜72GH、コン
バイナ74、76、コンバイナ78を介して混合され、
増幅回路79で一定の増幅率で増幅された後、AOM1
8のトランスデューサ17に供給される。トランスデュ
ーサ17は入力された信号を、入力された信号の数、周
波数及び振幅に応じた超音波信号に変換する。この超音
波信号は、音響光学媒質21を伝播して吸音体19に吸
音される。これにより、第1の固体レーザ12から入射
されたレーザビームから入力された信号の数と同数のレ
ーザビームが、信号の振幅に応じたパワーでかつ各信号
の周波数に応じた方向へ記録用レーザビームとして射出
される。
の固体レーザ12から射出されたレーザビームはAOM
18に入射される。一方、各発振回路62A〜62Hか
ら出力された信号はローカルレベル制御回路64A〜6
4Hへ出力される。ローカルレベル制御回路64A〜6
4Hには、レベル制御信号が各々DAC86A〜86H
から入力され、このレベル制御信号に基づいて振幅を調
節する。ローカルレベル制御回路64A〜64Hでレベ
ル調整された信号はスイッチ回路66A〜66H、コン
バイナ68AB〜68GH、トータルレベル制御回路7
0AB〜70GH、増幅回路72AB〜72GH、コン
バイナ74、76、コンバイナ78を介して混合され、
増幅回路79で一定の増幅率で増幅された後、AOM1
8のトランスデューサ17に供給される。トランスデュ
ーサ17は入力された信号を、入力された信号の数、周
波数及び振幅に応じた超音波信号に変換する。この超音
波信号は、音響光学媒質21を伝播して吸音体19に吸
音される。これにより、第1の固体レーザ12から入射
されたレーザビームから入力された信号の数と同数のレ
ーザビームが、信号の振幅に応じたパワーでかつ各信号
の周波数に応じた方向へ記録用レーザビームとして射出
される。
【0031】AOM18から射出された記録用レーザビ
ームは、レンズ24、ミラー26を介してダイクロイッ
クミラー25に入射され、ダイクロイックミラー25を
透過する。また第2の固体レーザ13から射出された参
照用レーザビームもレンズ27を介してダイクロイック
ミラー25に入射され、ダイクロイックミラー25で反
射されて記録用レーザビームと合波される。合波された
レーザビームはポリゴンミラー28側へ射出され、ポリ
ゴンミラー28によって反射されると共に主走査方向へ
偏向される。主走査方向へ偏向されたレーザビームはレ
ンズ29を介してダイクロイックミラー32に入射され
、記録用レーザビームがダイクロイックミラー32で反
射され、参照用レーザビームがダイクロイックミラー3
2を透過することによって分波される。なお、第1の固
体レーザ12から射出された記録用レーザビームの波長
と、第2の固体レーザ13から射出された参照用レーザ
ビームの波長と、は前述のように大きく異なっているの
で、ダイクロイックミラー32は容易かつ正確に分波す
ることができる。
ームは、レンズ24、ミラー26を介してダイクロイッ
クミラー25に入射され、ダイクロイックミラー25を
透過する。また第2の固体レーザ13から射出された参
照用レーザビームもレンズ27を介してダイクロイック
ミラー25に入射され、ダイクロイックミラー25で反
射されて記録用レーザビームと合波される。合波された
レーザビームはポリゴンミラー28側へ射出され、ポリ
ゴンミラー28によって反射されると共に主走査方向へ
偏向される。主走査方向へ偏向されたレーザビームはレ
ンズ29を介してダイクロイックミラー32に入射され
、記録用レーザビームがダイクロイックミラー32で反
射され、参照用レーザビームがダイクロイックミラー3
2を透過することによって分波される。なお、第1の固
体レーザ12から射出された記録用レーザビームの波長
と、第2の固体レーザ13から射出された参照用レーザ
ビームの波長と、は前述のように大きく異なっているの
で、ダイクロイックミラー32は容易かつ正確に分波す
ることができる。
【0032】ダイクロイックミラー32を透過した参照
用レーザビームはリニアエンコーダ33上を走査される
。リニアエンコーダ33の透明部を透過した参照用レー
ザビームは光電変換器31で光電変換され、主走査方向
への走査に応じたパルス信号が出力される。信号発生回
路100はこのパルス信号に基づいてガルバノメータミ
ラー制御信号とビデオクロック信号とを生成し、各々を
ガルバノメータミラードライバ36A、文字生成回路9
4へ供給する。これにより、ガルバノメータミラー36
による副走査方向への偏向及びAOM18におけるレー
ザビームの変調は、主走査方向への偏向と同期して行わ
れる。
用レーザビームはリニアエンコーダ33上を走査される
。リニアエンコーダ33の透明部を透過した参照用レー
ザビームは光電変換器31で光電変換され、主走査方向
への走査に応じたパルス信号が出力される。信号発生回
路100はこのパルス信号に基づいてガルバノメータミ
ラー制御信号とビデオクロック信号とを生成し、各々を
ガルバノメータミラードライバ36A、文字生成回路9
4へ供給する。これにより、ガルバノメータミラー36
による副走査方向への偏向及びAOM18におけるレー
ザビームの変調は、主走査方向への偏向と同期して行わ
れる。
【0033】記録材料44に画像を記録する場合、文字
発生回路94はホストコンピューター等から供給された
画像データを、8ビット毎の画像データとしてレーザビ
ームによる画像の記録順に遅延回路58及び信号数計数
回路54へ出力する。このときの画像データの出力タイ
ミングは、入力されたビデオクロック信号と同期して行
われる。遅延回路58で一定時間遅延された8ビットの
画像データは各スイッチ回路66A〜66Hに1ビット
づつ分配されて入力される。スイッチ回路66A〜66
Hは入力された1ビットの画像データがオン(1)の場
合には信号を通過させ、オフ(0)の場合には信号を遮
断する。スイッチ回路66A〜66Hには、前述のよう
にビデオクロック信号と同期したタイミングで画像デー
タが入力されるので、スイッチ回路66A〜66Hはビ
デオクロック信号と同期してオンオフする。このため、
主走査線上に画素(ドット)を等間隔に発生させること
ができる。
発生回路94はホストコンピューター等から供給された
画像データを、8ビット毎の画像データとしてレーザビ
ームによる画像の記録順に遅延回路58及び信号数計数
回路54へ出力する。このときの画像データの出力タイ
ミングは、入力されたビデオクロック信号と同期して行
われる。遅延回路58で一定時間遅延された8ビットの
画像データは各スイッチ回路66A〜66Hに1ビット
づつ分配されて入力される。スイッチ回路66A〜66
Hは入力された1ビットの画像データがオン(1)の場
合には信号を通過させ、オフ(0)の場合には信号を遮
断する。スイッチ回路66A〜66Hには、前述のよう
にビデオクロック信号と同期したタイミングで画像デー
タが入力されるので、スイッチ回路66A〜66Hはビ
デオクロック信号と同期してオンオフする。このため、
主走査線上に画素(ドット)を等間隔に発生させること
ができる。
【0034】一方、信号数計数回路54は、文字発生回
路94から入力された信号のオンの個数に応じたデジタ
ル信号を第2DAC56へ出力する。第2DAC56に
は、この信号のオンの個数に応じたデジタル信号と共に
、レジスタ50、第1DAC52を介してアナログ信号
に変換された補正データが基準電圧VREF として入
力され、AOM18から射出させるレーザビームの単一
レーザビーム当りのパワーを、射出させるレーザビーム
の本数に拘わらず一定にするための振幅補正信号を出力
する。この振幅補正信号はトータルレベル制御回路70
AB〜70GHの制御端の各々に入力される。トータル
レベル制御回路70AB〜70GHは入力された振幅補
正信号に基づいて、スイッチ回路66A〜66Hを通過
した信号の振幅を調整する。トータルレベル制御回路7
0AB〜70GHで振幅が調整された各々の信号は増幅
回路72AB〜72GH、コンバイナ74、76、コン
バイナ78、増幅回路79を介してAOM18のトラン
スデューサ17に供給される。AOM18では入力され
た信号に応じてレーザビームを変調し、記録する画像に
応じた記録用レーザビームを射出する。
路94から入力された信号のオンの個数に応じたデジタ
ル信号を第2DAC56へ出力する。第2DAC56に
は、この信号のオンの個数に応じたデジタル信号と共に
、レジスタ50、第1DAC52を介してアナログ信号
に変換された補正データが基準電圧VREF として入
力され、AOM18から射出させるレーザビームの単一
レーザビーム当りのパワーを、射出させるレーザビーム
の本数に拘わらず一定にするための振幅補正信号を出力
する。この振幅補正信号はトータルレベル制御回路70
AB〜70GHの制御端の各々に入力される。トータル
レベル制御回路70AB〜70GHは入力された振幅補
正信号に基づいて、スイッチ回路66A〜66Hを通過
した信号の振幅を調整する。トータルレベル制御回路7
0AB〜70GHで振幅が調整された各々の信号は増幅
回路72AB〜72GH、コンバイナ74、76、コン
バイナ78、増幅回路79を介してAOM18のトラン
スデューサ17に供給される。AOM18では入力され
た信号に応じてレーザビームを変調し、記録する画像に
応じた記録用レーザビームを射出する。
【0035】記録用レーザビームは、前述のようにポリ
ゴンミラー28で主走査方向へ偏向されダイクロイック
ミラー32で反射された後にガルバノメータミラー36
へ入射される。ガルバノメータミラー36は前述のガル
バノメータミラー制御信号に基づいて主走査方向への偏
向と同期して駆動され、入射された記録用レーザビーム
を副走査方向へ偏向させる。副走査方向へ偏向された記
録用レーザビームはミラー38、レンズ40を介して記
録材料44へ照射される。これにより記録材料44上に
画像が歪みなく記録される。
ゴンミラー28で主走査方向へ偏向されダイクロイック
ミラー32で反射された後にガルバノメータミラー36
へ入射される。ガルバノメータミラー36は前述のガル
バノメータミラー制御信号に基づいて主走査方向への偏
向と同期して駆動され、入射された記録用レーザビーム
を副走査方向へ偏向させる。副走査方向へ偏向された記
録用レーザビームはミラー38、レンズ40を介して記
録材料44へ照射される。これにより記録材料44上に
画像が歪みなく記録される。
【0036】また本レーザビーム記録装置10では、画
像の非記録期間にシャッタ61を閉じた状態でレベル調
整処理を行う。このレベル調整処理は、スイッチ回路6
6A〜66Hを順にオンしてAOM18から1本のレー
ザビームを射出させ、光電変換器60によって検出され
る各々のレーザビームのパワーが記録倍率に対応する基
準値と等しくなるように前記ローカルレベル制御回路6
4A〜64Hへ入力するレベル制御信号のレベルを設定
する。設定したレベルはレジスタ84A〜84Hの各々
に記憶され、画像記録中にローカルレベル制御回路64
A〜64Hに前記設定したレベルのレベル制御信号が入
力される。
像の非記録期間にシャッタ61を閉じた状態でレベル調
整処理を行う。このレベル調整処理は、スイッチ回路6
6A〜66Hを順にオンしてAOM18から1本のレー
ザビームを射出させ、光電変換器60によって検出され
る各々のレーザビームのパワーが記録倍率に対応する基
準値と等しくなるように前記ローカルレベル制御回路6
4A〜64Hへ入力するレベル制御信号のレベルを設定
する。設定したレベルはレジスタ84A〜84Hの各々
に記憶され、画像記録中にローカルレベル制御回路64
A〜64Hに前記設定したレベルのレベル制御信号が入
力される。
【0037】また、画像の非記録期間には振幅補正処理
も行う。この振幅補正処理は前記レベル調整処理を行っ
た後に行われ、AOM18から1本のレーザビームを射
出させた場合のパワーと複数本のレーザビームを射出さ
せた場合のパワーとを各々測定し、レーザビーム1本当
りのパワーがAOM18から射出させるレーザビームの
本数に拘わらず一定になるように、レジスタに設定する
補正データのデータ値を設定する。設定された補正デー
タは画像を記録している間レジスタ50に記憶され、第
1DAC52でアナログ信号に変換されて第2DAC5
6へ基準電圧VREF として供給される。第2DAC
56にはAOM18から射出させるレーザビームの本数
を表すデータが信号数計数回路54から供給され、第2
DAC56はAOM18から射出させるレーザビームの
本数に応じた振幅制御信号を増幅器96を介してトータ
ルレベル制御回路70AB〜70GHの各々へ入力する
。これによって、AOM18から出力されるレーザビー
ム1本当りのパワーはAOM18から射出させるレーザ
ビームの本数に拘わらず一定になる。従って画像の濃度
むらが防止される。
も行う。この振幅補正処理は前記レベル調整処理を行っ
た後に行われ、AOM18から1本のレーザビームを射
出させた場合のパワーと複数本のレーザビームを射出さ
せた場合のパワーとを各々測定し、レーザビーム1本当
りのパワーがAOM18から射出させるレーザビームの
本数に拘わらず一定になるように、レジスタに設定する
補正データのデータ値を設定する。設定された補正デー
タは画像を記録している間レジスタ50に記憶され、第
1DAC52でアナログ信号に変換されて第2DAC5
6へ基準電圧VREF として供給される。第2DAC
56にはAOM18から射出させるレーザビームの本数
を表すデータが信号数計数回路54から供給され、第2
DAC56はAOM18から射出させるレーザビームの
本数に応じた振幅制御信号を増幅器96を介してトータ
ルレベル制御回路70AB〜70GHの各々へ入力する
。これによって、AOM18から出力されるレーザビー
ム1本当りのパワーはAOM18から射出させるレーザ
ビームの本数に拘わらず一定になる。従って画像の濃度
むらが防止される。
【0038】このように、本第1実施例では記録用レー
ザビームを射出するレーザ発生器を第1の固体レーザ1
2とし、参照用レーザビームを射出するレーザ発生器を
第2の固体レーザ13としたので、レーザビーム記録装
置10を小型化することができる。
ザビームを射出するレーザ発生器を第1の固体レーザ1
2とし、参照用レーザビームを射出するレーザ発生器を
第2の固体レーザ13としたので、レーザビーム記録装
置10を小型化することができる。
【0039】〔第2実施例〕以下本発明の第2実施例を
説明する。なお、第1実施例と同一の部分には同一の符
号を付し、説明を省略する。
説明する。なお、第1実施例と同一の部分には同一の符
号を付し、説明を省略する。
【0040】図5に示すように、本第2実施例のレーザ
ビーム記録装置102ではレーザビーム発生器として単
一の固体レーザ12のみを用いており、レーザビーム記
録装置102をより小型化することができる。レンズ1
6とAOM18との間には分岐手段としてのハーフミラ
ー104が配置されている。ハーフミラー104は入射
されたレーザビームの一部を反射させ、残りを透過させ
て2本のレーザビームに分岐させる。固体レーザ12か
ら射出された所定波長のレーザビームは、レンズ16を
介してハーフミラー104に入射され、ハーフミラー1
04で透過または反射されて2本のレーザビームに分岐
される。ハーフミラー104を透過したレーザビームは
AOM18へ入射され、第1実施例と同様にAOM18
で変調され記録用レーザビームとして射出される。また
、ハーフミラー104で反射されたレーザビームはミラ
ー106で反射され、変換手段としての波長変換素子1
08に入射される。
ビーム記録装置102ではレーザビーム発生器として単
一の固体レーザ12のみを用いており、レーザビーム記
録装置102をより小型化することができる。レンズ1
6とAOM18との間には分岐手段としてのハーフミラ
ー104が配置されている。ハーフミラー104は入射
されたレーザビームの一部を反射させ、残りを透過させ
て2本のレーザビームに分岐させる。固体レーザ12か
ら射出された所定波長のレーザビームは、レンズ16を
介してハーフミラー104に入射され、ハーフミラー1
04で透過または反射されて2本のレーザビームに分岐
される。ハーフミラー104を透過したレーザビームは
AOM18へ入射され、第1実施例と同様にAOM18
で変調され記録用レーザビームとして射出される。また
、ハーフミラー104で反射されたレーザビームはミラ
ー106で反射され、変換手段としての波長変換素子1
08に入射される。
【0041】波長変換素子108はドライバ110に接
続されており、ドライバ110によって駆動される。波
長変換素子108は、非線型媒質に光を入射すると入射
した光の半分の波長の光(光2次高調波)が発生する現
象、所謂2次高調波発生(SHG)を利用した素子であ
る。固体レーザ12から射出されハーフミラー104で
反射されたレーザビームを波長変換素子108に入射す
ると、該レーザビームの光2次高調波が参照用レーザビ
ームとして射出され、波長変換されたレーザビームを得
ることができる。一般に固体レーザは大きなパワーのレ
ーザビームを射出できるので、波長変換素子108から
参照用レーザビームとして射出される光2次高調波も、
参照用として充分なパワーが得られる。この参照用レー
ザビームは固体レーザ12から射出されたレーザビーム
の2次高調波であるので、前記記録用レーザビームの波
長と異なっている。従って、第1実施例において第2の
固体レーザ13から射出される参照用レーザビームと同
様に、分波手段であるダイクロイックミラー32で容易
に分波することができる。
続されており、ドライバ110によって駆動される。波
長変換素子108は、非線型媒質に光を入射すると入射
した光の半分の波長の光(光2次高調波)が発生する現
象、所謂2次高調波発生(SHG)を利用した素子であ
る。固体レーザ12から射出されハーフミラー104で
反射されたレーザビームを波長変換素子108に入射す
ると、該レーザビームの光2次高調波が参照用レーザビ
ームとして射出され、波長変換されたレーザビームを得
ることができる。一般に固体レーザは大きなパワーのレ
ーザビームを射出できるので、波長変換素子108から
参照用レーザビームとして射出される光2次高調波も、
参照用として充分なパワーが得られる。この参照用レー
ザビームは固体レーザ12から射出されたレーザビーム
の2次高調波であるので、前記記録用レーザビームの波
長と異なっている。従って、第1実施例において第2の
固体レーザ13から射出される参照用レーザビームと同
様に、分波手段であるダイクロイックミラー32で容易
に分波することができる。
【0042】このように、本第2実施例では単一の固体
レーザ12のみを用いているので、レーザビーム走査装
置をより小型化することができる。
レーザ12のみを用いているので、レーザビーム走査装
置をより小型化することができる。
【0043】なお、本発明の他の実施例として、レーザ
ビーム記録装置を図6に示すように構成してもよい。図
6に示すレーザビーム記録装置120では、変換手段と
しての前記波長変換素子108に代えて1/2λ波長板
122を用いている。また、合波手段としてのダイクロ
イックミラー25に代えて合波プリズム124、分波手
段としてのダイクロイックミラー32に代えて分波プリ
ズム126を用いている。
ビーム記録装置を図6に示すように構成してもよい。図
6に示すレーザビーム記録装置120では、変換手段と
しての前記波長変換素子108に代えて1/2λ波長板
122を用いている。また、合波手段としてのダイクロ
イックミラー25に代えて合波プリズム124、分波手
段としてのダイクロイックミラー32に代えて分波プリ
ズム126を用いている。
【0044】固体レーザ12から射出されハーフミラー
104で反射されたレーザビームは、ミラー106を介
して1/2λ波長板122に入射される。1/2λ波長
板122では入射されたレーザビームの偏光面を90°
回転させ、合波プリズム124へ参照用レーザビームと
して射出する。合波プリズム124にはAOM18で変
調された記録用レーザビームも入射される。合波プリズ
ム124に入射された参照用レーザビーム及び記録用レ
ーザビームは合波プリズム124によって合波された後
にポリゴンミラー28で偏向され、分波プリズム126
に入射される。分波プリズム126は、偏光面の異なる
記録用レーザビームと参照用レーザビームとを分波して
異なる方向へ射出する。これにより、第1実施例及び第
2実施例と同様に同期信号が得られる。図6に示すレー
ザビーム記録装置120においても、単一の固体レーザ
12のみを用いているのでレーザビーム走査装置をより
小型化することができる。
104で反射されたレーザビームは、ミラー106を介
して1/2λ波長板122に入射される。1/2λ波長
板122では入射されたレーザビームの偏光面を90°
回転させ、合波プリズム124へ参照用レーザビームと
して射出する。合波プリズム124にはAOM18で変
調された記録用レーザビームも入射される。合波プリズ
ム124に入射された参照用レーザビーム及び記録用レ
ーザビームは合波プリズム124によって合波された後
にポリゴンミラー28で偏向され、分波プリズム126
に入射される。分波プリズム126は、偏光面の異なる
記録用レーザビームと参照用レーザビームとを分波して
異なる方向へ射出する。これにより、第1実施例及び第
2実施例と同様に同期信号が得られる。図6に示すレー
ザビーム記録装置120においても、単一の固体レーザ
12のみを用いているのでレーザビーム走査装置をより
小型化することができる。
【0045】なお、上記実施例ではガルバノメータミラ
ー36によって副走査を行う例について説明したが、光
電変換器31から出力されたパルス信号に基づいて主走
査方向への偏向と同期させて記録材料44を搬送し、主
走査方向にのみ偏向されたレーザビームを記録材料44
に照射して記録材料44に画像を記録するようにしても
よい。
ー36によって副走査を行う例について説明したが、光
電変換器31から出力されたパルス信号に基づいて主走
査方向への偏向と同期させて記録材料44を搬送し、主
走査方向にのみ偏向されたレーザビームを記録材料44
に照射して記録材料44に画像を記録するようにしても
よい。
【0046】また、上記では光変調手段としてAOM(
音響光学素子)18を用いた例について説明したが、光
導波路形変調器を用いてもよい。
音響光学素子)18を用いた例について説明したが、光
導波路形変調器を用いてもよい。
【0047】また、上記では記録材料44として銀塩フ
ィルムを用いたが、レーザダイレクトレコーディングフ
ィルム(LDF)のようなヒートモード記録材料を用い
てもよい。
ィルムを用いたが、レーザダイレクトレコーディングフ
ィルム(LDF)のようなヒートモード記録材料を用い
てもよい。
【0048】
【発明の効果】請求項1記載の発明では、所定波長のレ
ーザビームを射出する第1の固体レーザと所定波長と異
なる波長のレーザビームを射出する第2の固体レーザと
を用い、第1の固体レーザから射出されたレーザビーム
と第2の固体レーザから射出されたレーザビームとを合
波して偏向させた後に分波し、第2の固体レーザから射
出され分波されたレーザビームの走査に応じて同期信号
を発生させるようにしたので、レーザビーム走査装置を
容易に小型化することができる、という優れた効果が得
られる。
ーザビームを射出する第1の固体レーザと所定波長と異
なる波長のレーザビームを射出する第2の固体レーザと
を用い、第1の固体レーザから射出されたレーザビーム
と第2の固体レーザから射出されたレーザビームとを合
波して偏向させた後に分波し、第2の固体レーザから射
出され分波されたレーザビームの走査に応じて同期信号
を発生させるようにしたので、レーザビーム走査装置を
容易に小型化することができる、という優れた効果が得
られる。
【0049】請求項2記載の発明では、単一の固体レー
ザから射出されたレーザビームを2本のレーザビームに
分岐させ、一方のレーザビームを光変調手段で変調し、
他方のレーザビームを変換手段によって波長または偏光
面を変換した後に合波し、合波したレーザビームを偏向
させた後に分波し、変換手段から射出されたレーザビー
ムの走査に応じて同期信号を発生させるようにしたので
、レーザビーム走査装置をより小型化することができる
、という優れた効果が得られる。
ザから射出されたレーザビームを2本のレーザビームに
分岐させ、一方のレーザビームを光変調手段で変調し、
他方のレーザビームを変換手段によって波長または偏光
面を変換した後に合波し、合波したレーザビームを偏向
させた後に分波し、変換手段から射出されたレーザビー
ムの走査に応じて同期信号を発生させるようにしたので
、レーザビーム走査装置をより小型化することができる
、という優れた効果が得られる。
【図1】本発明の第1実施例に係るレーザビーム記録装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【図2】第1実施例のレーザビーム記録装置の制御回路
近傍の概略構成を示す概略ブロック図である。
近傍の概略構成を示す概略ブロック図である。
【図3】AOMドライバの概略構成を示す概略ブロック
図である。
図である。
【図4】DAC(デジタル−アナログ変換器)の基準電
圧VREF を変化させた場合の、信号のオンの数と出
力信号のレベルとの関係の変化を示す線図である。
圧VREF を変化させた場合の、信号のオンの数と出
力信号のレベルとの関係の変化を示す線図である。
【図5】第2実施例に係るレーザビーム記録装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図6】本発明のその他の実施例に係るレーザビーム記
録装置の概略構成図である。
録装置の概略構成図である。
10 レーザビーム記録装置
12 第1の固体レーザ
13 第2の固体レーザ
18 AOM(音響光学素子)
25 ダイクロイックミラー
28 ポリゴンミラー
31 光電変換器
32 ダイクロイックミラー
33 リニアエンコーダ
36 ガルバノメータミラー
44 記録媒体
100 信号発生回路
104 ハーフミラー
108 波長変換素子
122 1/2λ波長板
124 合波プリズム
126 分波プリズム
Claims (3)
- 【請求項1】 所定波長のレーザビームを射出する第
1の固体レーザと、前記第1の固体レーザから入射され
たレーザビームを入力された信号に応じて変調して射出
する光変調手段と、前記所定波長と異なる波長のレーザ
ビームを射出する第2の固体レーザと、第1の固体レー
ザから射出され前記光変調手段で変調されたレーザビー
ムと前記第2の固体レーザから射出されたレーザビーム
とを合波して射出する合波手段と、前記合波手段によっ
て合波されたレーザビームを偏向させる偏向手段と、前
記偏向手段によって偏向されたレーザビームが入射され
第1の固体レーザから射出されたレーザビームと第2の
固体レーザから射出されたレーザビームとを分波して異
なる方向へ射出する分波手段と、第2の固体レーザから
射出され前記分波手段によって分波されたレーザビーム
が入射され該レーザビームの走査に応じて同期信号を発
生する同期信号発生手段と、第1の固体レーザから射出
され分波手段によって分波されたレーザビームが照射さ
れる記録媒体と、を有するレーザビーム走査装置。 - 【請求項2】 所定波長のレーザビームを射出する単
一の固体レーザと、前記固体レーザから射出されたレー
ザビームを2本のレーザビームに分岐させ各々を異なる
方向へ射出させる分岐手段と、前記分岐手段で分岐され
たレーザビームの一方が入射され該レーザビームを入力
された信号に応じて変調して射出する光変調手段と、前
記分岐手段で分岐されたレーザビームの他方が入射され
該レーザビームの波長または偏光面を変換して射出する
変換手段と、前記光変調手段から射出されたレーザビー
ムと前記変換手段から射出されたレーザビームとを合波
して射出する合波手段と、前記合波手段によって合波さ
れたレーザビームを偏向させる偏向手段と、前記偏向手
段によって偏向されたレーザビームが入射され光変調手
段から射出されたレーザビームと変換手段から射出され
たレーザビームとを分波して異なる方向へ射出する分波
手段と、変換手段から射出され前記分波手段によって分
波されたレーザビームが入射され該レーザビームの走査
に応じて同期信号を発生する同期信号発生手段と、光変
調手段から射出され分波手段によって分波されたレーザ
ビームが照射される記録媒体と、を有するレーザビーム
走査装置。 - 【請求項3】 前記記録媒体に照射されるレーザビー
ムは可視光域の波長のレーザビームであり、前記記録媒
体は可視光域の波長の光に感光することを特徴とする請
求項1または請求項2記載のレーザビーム走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3021833A JPH04259927A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | レーザビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3021833A JPH04259927A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | レーザビーム走査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04259927A true JPH04259927A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=12066077
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3021833A Pending JPH04259927A (ja) | 1991-02-15 | 1991-02-15 | レーザビーム走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04259927A (ja) |
-
1991
- 1991-02-15 JP JP3021833A patent/JPH04259927A/ja active Pending
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