JPH04235298A - プリント配線用基板の銅めっき装置 - Google Patents

プリント配線用基板の銅めっき装置

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JPH04235298A
JPH04235298A JP1247791A JP1247791A JPH04235298A JP H04235298 A JPH04235298 A JP H04235298A JP 1247791 A JP1247791 A JP 1247791A JP 1247791 A JP1247791 A JP 1247791A JP H04235298 A JPH04235298 A JP H04235298A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode plate
plating
auxiliary electrode
upper auxiliary
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP1247791A
Other languages
English (en)
Inventor
Akitaka Nakayama
中山 明隆
Shigeyuki Abe
阿部 重行
Takeshi Matsumoto
武司 松本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1247791A priority Critical patent/JPH04235298A/ja
Publication of JPH04235298A publication Critical patent/JPH04235298A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般的にプリント配線用
基板の銅めっき装置に関し、特に基板の上辺部にめっき
が厚く付着するのを防止するために使用する上部補助電
極板の改良に関する。
【0002】プリント配線用基板の銅めっき装置におい
ては、めっき槽の材質と深さや幅、陽極及び陰極の形状
と配置、陰極に接続された基板の揺動、めっき液の攪拌
条件、温度、電流密度、不純物等が均一電着性に影響を
及ぼす。基板にめっきを均一に付着させるために、補助
電極板の使用が効果的である。
【0003】上部補助電極板はめっきすべき基板の上部
に基板と離間して設けられる電極板であり、液面付近に
位置するためめっきの厚みが不均一でめっき焼けが発生
したり箔状のめっきが付着しやすい。このようなめっき
焼けや箔状のめっきが上部補助電極板に形成されると、
この部分のめっきが上部補助電極板からはげ落ちてめっ
き液を汚染しやすくなるため、上部補助電極板の部分に
も均一できれいな銅めっきを付着させることが必要であ
る。
【0004】
【従来の技術】電気銅めっき装置のめっき厚分布は、被
めっき物(基板)の端の部分が中央部より厚くなる傾向
にある。これを防止するために基板の周囲に厚く付く分
のめっきを吸収する補助電極板を取り付けることが一般
的に行われている。上部補助電極板はこれらの補助電極
板のうち基板の上辺部に取り付けるものであり、図6に
示すような形状をしている。
【0005】従来の上部補助電極板1は図6に示される
ように幅の広い板状形状をしており、その上端部2箇所
にハンガーに固定するための切欠き1aが設けられてい
る。この上部補助電極板1は、図7に示すようにめっき
すべき基板2の上部から所定距離離間してめっき液3の
液面を遮るような位置に取り付けられている。めっき中
、基板2及び上部補助電極板1を支持する図示しないハ
ンガーは、50mm〜100mmの範囲内で図7で左右
に揺動されるとともに、めっき液の底部からは空気が吹
き込まれたいるため、めっき液の液面はたえず波打った
状態となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】従って、液面付近の上
部補助電極板の表面では、波打ちによりめっき液のかか
った部分に電流が流れてめっきが付き、めっき液がかか
らないときは電流が流れないため、めっきされないとい
う非常に不安定な状態にある。
【0007】このためこの部分、即ち図8のAで示した
部分では、めっきの焼けが発生し粒状のめっきがなされ
たり、薄い箔状のめっきがなされたりする。これらの粒
状、箔状のめっきは、上部補助電極板との密着力が非常
に弱く揺動や波打ちによる液の抵抗ではげ落ちてしまい
、めっき浴中を浮遊し基板の表面やスルーホールの縁に
付着してめっき不良の原因となっている。図8で4は上
部補助電極1に付着しためっきを示している。
【0008】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、上部補助電極板に
焼けや箔状のめっきが形成されることを防止するととも
に、液の攪拌性を向上して基板のめっき不良を防止する
ようにしたプリント配線用基板の銅めっき装置を提供す
ることである。
【0009】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理図で
あり、(A)が正面図を、(B)がその側面図をそれぞ
れ示している。
【0010】図1の原理図に示されるように、本発明は
、めっき液12を収容しためっき槽中にハンガーに保持
されたプリント配線用基板10を浸漬し、該基板10の
上部に上部補助電極板11を基板10と所定間隔離間し
て設け、基板10と上部補助電極板11を陰極として電
気銅めっきを行うプリント配線用基板の銅めっき装置に
おいて、前記上記補助電極板11に複数個の穴11aを
形成するとともに上部補助電極板11の形状をめっき液
12中に完全に浸る形状に設定したことを特徴とする。
【0011】
【作用】図1の原理図に示すように、本発明では上部補
助電極板11がめっき液12中に浸ることで、上部補助
電極板11がめっき液の液面と接することがなくなり、
上部補助電極板11のどの部分にも安定した電流が流れ
る。この結果、めっきの焼けが防止され、均一なめっき
厚を得ることができる。
【0012】さらに、上部補助電極板11に複数個の穴
11aを開けることにより、めっき液が図1(B)の矢
印Aに示すように穴11aを通り抜け、上部補助電極板
11の表裏にわたるめっき液の流れが生ずるようになる
。このため、揺動によるめっき液の攪拌効果がさらに高
まることになり、上部補助電極板11及び基板10への
めっきの付き回りがよくなり、めっきの均一性が向上す
る。また、穴11aの内壁にもめっきが付くので、上部
補助電極板11の表裏のめっきが結合し、上部補助電極
板11へのめっきの密着力が強くなるため、めっきが上
部補助電極板11から剥離してめっき液を汚染すること
が防止される。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。まず図2及び図3を参照すると、銅めっき
槽20中には例えば硫酸銅めっき液等の銅めっき液21
が収容されている。18はハンガーであり、ハンガー1
8のキャリアバー22には複数個の基板クランパー23
と一対のハンガー外枠クランパー24が固定されている
。ハンガー外枠クランパー24によりハンガー外枠25
がクランプされ、めっきすべき基板26の下端をハンガ
ー外枠25に固定された複数個の支持部材27で支持し
、基板26の上部を基板クランパー23でクランプする
ことにより、基板26がハンガー18に取り付けられて
いる。
【0014】基板クランパー23は図4の拡大図に示す
ように構成されている。即ち、一対の板部材38,39
と一体的に形成された折り曲げ部38a,39aをピン
40で回動可能に連結し、板ばね41を一対の板部材3
8,39の上端部に介装することにより、板部材38,
39の他端部を閉じる方向に付勢し、基板26の上端部
をクランプするようになっている。
【0015】基板クランパー23の一方の板部材39に
は、本発明の要部を構成する上部補助電極板28が図示
しないねじにより固定されている。上部補助電極板28
には図2に示すように複数個の穴28aが形成されてい
る。そして、上部補助電極板28はその幅が非常に狭く
形成され、銅めっき液21中に完全に浸るように基板ク
ランパー23に取り付けられている。基板26にめっき
が厚くつくことを防止するための上部補助電極板として
の幅は10mmもあれば十分であり、本実施例の上部補
助電極板28の幅は10mm以上でめっき液に浸る範囲
内に設定されている。
【0016】キャリアバー22の両端部にはハンガー受
け電極29が設けられており、ケーブル30、ハンガー
受け電極29を介してハンガー外枠25により支持され
た基板26及び上部補助電極28は銅めっき中電源の陰
極に接続される。
【0017】31はハンガー18を搬送するためのクレ
ーン用のフックであり、32はめっき中にハンガー18
を図2で紙面に垂直方向に揺動するための揺動台である
【0018】銅めっき槽20の底部には空気を供給する
ためのパイプ33が設けられており、パイプ33に形成
された複数の穴から空気の気泡34が銅めっき液21中
に噴出し、銅めっき液を攪拌する。
【0019】図3に示されるように、めっきすべき基板
26の両側には銅ボール36を収容した陽極バッグ35
が設けられており、銅ボール36は陽極バー37を介し
て電源の陽極に接続される。
【0020】然して、めっきすべき基板26をハンガー
受け電極29及びケーブル30を介して電源の陰極に接
続し、銅ボール36を陽極バー37を介して電源の陽極
に接続して、銅めっきが実施される。めっき中にパイプ
33の穴から空気の気泡34を噴出して、めっき液21
を常に攪拌するとともに、図3において基板26を左右
方向に50〜100mm揺動させながらめっきを行う。
【0021】本実施例では、上部補助電極板28がめっ
き液21中に常に浸っているので、上部補助電極板28
がめっき液の液面と接することがなくなり、上部補助電
極板28のどの部分にも安定した電流が流れることにな
る。その結果、めっき焼けが上部補助電極板28に発生
することがなく、均一なめっき厚を得ることができる。
【0022】上部補助電極板28には複数個の穴28a
が形成されているため、上部補助電極板28が揺動され
るとめっき液が穴28aを通り抜け、上部補助電極板2
8の表裏にわたるめっき液の流れが生ずるようになる。 この結果、上部補助電極板28部分での揺動によるめっ
き液の攪拌効果がさらに高まることになり、上部補助電
極板28及び基板26へのめっきの付き回りがよくなり
、めっきの均一性が向上する。
【0023】また、上部補助電極板28の穴28aの内
壁にもめっきが付着するので、上部補助電極板28の表
裏に形成されためっきが結合しその密着力が強くなるた
め、上部補助電極板28に付着しためっきが剥がれてめ
っき液21が汚染されることが防止され、はげ落ちため
っきがめっき液中を浮遊し基板の表面やスルーホールの
縁に付着しめっき不良の原因となることが防止される。
【0024】図5は上部補助電極板の他の実施例正面図
を示しており、複数個の穴42aの形成された上部補助
電極板42と一体的に取付部43を設け、この取付部4
3に切欠き43aを形成して、この切欠き43a部分で
上部補助電極板42を基板クランパー23に固定するよ
うにする。上部補助電極板42をこのような形状にする
ことにより、従来のめっき装置の寸法を変更せずに幅の
狭い上部補助電極板42を基板クランパー23に取り付
けて、めっき液21中に上部補助電極板42を完全に浸
すようにすることができる。上部補助電極板42の材質
は、電気の流れる金属であれば何でもよく、銅、ステン
レス鋼等色々と使用できるが、経済性の観点からステン
レス鋼が適当である。
【0025】
【発明の効果】本発明は以上詳述したように構成したの
で、上部補助電極板に焼けや箔状のめっきが形成される
ことが防止され、めっき液の攪拌性が向上されるため、
めっき不良が減少され、めっき品質の向上を図ることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理図である。
【図2】本発明実施例の正面断面図である。
【図3】本発明実施例の側面断面図である。
【図4】基板クランパーの拡大図である。
【図5】上部補助電極板の他の実施例正面図である。
【図6】上部補助電極板の従来例図である。
【図7】従来の上部補助電極板を用いためっき中の様子
を示す図である。
【図8】上部補助電極板への銅めっきの付着状態を示す
図である。
【符号の説明】
10,26  基板 11,28  上部補助電極板 12,21  めっき液 18  ハンガー 20  めっき槽 22  キャリアバー 23  基板クランパー 25  ハンガー外枠

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  めっき液(12)を収容しためっき槽
    中にハンガーに保持されたプリント配線用基板(10)
    を浸漬し、該基板(10)の上部に上部補助電極板(1
    1)を基板(10)と所定間隔離間して設け、基板(1
    0)と上部補助電極板(11)を陰極として電気銅めっ
    きを行うプリント配線用基板の銅めっき装置において、
    前記上記補助電極板(11)に複数個の穴(11a) 
    を形成するとともに上部補助電極板(11)の形状をめ
    っき液(12)中に完全に浸る形状に設定したことを特
    徴とするプリント配線用基板の銅めっき装置。
JP1247791A 1991-01-10 1991-01-10 プリント配線用基板の銅めっき装置 Pending JPH04235298A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010013734A (ja) * 2009-09-14 2010-01-21 Tdk Corp 電極組立体およびめっき装置
JP2016180148A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 京セラ株式会社 電解めっき装置

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JPS61136695A (ja) * 1984-12-06 1986-06-24 Mitsubishi Electric Corp めつき方法

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19960709