JPH04225613A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
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- JPH04225613A JPH04225613A JP40764590A JP40764590A JPH04225613A JP H04225613 A JPH04225613 A JP H04225613A JP 40764590 A JP40764590 A JP 40764590A JP 40764590 A JP40764590 A JP 40764590A JP H04225613 A JPH04225613 A JP H04225613A
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- electrodes
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- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 10
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
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- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電振動子に関し、特
にたとえばそれぞれに１対の外部電極が形成された上下
基板の間に１対の振動電極を有する圧電素子が配置され
た、圧電振動子に関する。
にたとえばそれぞれに１対の外部電極が形成された上下
基板の間に１対の振動電極を有する圧電素子が配置され
た、圧電振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】図８および図９を参照して、この種の従
来の圧電振動子１では、１対の振動電極２ａおよび２ｂ
を有する圧電素子３にアルミナ等の低誘電体からなる平
面Ｕ字状のスペーサ４ａおよび４ｂが接着される。圧電
素子３ならびにスペーサ４ａおよび４ｂのそれぞれの上
面および下面には、所定の箇所に引出電極５ａおよび５
ｂが蒸着され、さらに、それぞれに１対の外部電極６ａ
および６ｂが形成された上基板７ａおよび下基板７ｂが
接着材８を用いて接着される。そして、圧電振動子１の
両端部には、図８からよくわかるように、メタライズに
よる端面電極９ａおよび９ｂが形成される。したがって
、圧電素子３の振動電極２ａは引出電極５ａおよび端面
電極９ａを介して外部電極６ａと接続され、振動電極２
ｂは引出電極５ｂおよび端面電極９ｂを介して外部電極
６ｂと接続される。
来の圧電振動子１では、１対の振動電極２ａおよび２ｂ
を有する圧電素子３にアルミナ等の低誘電体からなる平
面Ｕ字状のスペーサ４ａおよび４ｂが接着される。圧電
素子３ならびにスペーサ４ａおよび４ｂのそれぞれの上
面および下面には、所定の箇所に引出電極５ａおよび５
ｂが蒸着され、さらに、それぞれに１対の外部電極６ａ
および６ｂが形成された上基板７ａおよび下基板７ｂが
接着材８を用いて接着される。そして、圧電振動子１の
両端部には、図８からよくわかるように、メタライズに
よる端面電極９ａおよび９ｂが形成される。したがって
、圧電素子３の振動電極２ａは引出電極５ａおよび端面
電極９ａを介して外部電極６ａと接続され、振動電極２
ｂは引出電極５ｂおよび端面電極９ｂを介して外部電極
６ｂと接続される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧電振動子１で
は、圧電素子３ならびにスペーサ４ａおよび４ｂの所定
箇所に引出電極５ａおよび５ｂを蒸着するようにしてい
るため、製造工程が煩雑であり、製造コストが高いとい
う問題点があった。それゆえに、この発明の主たる目的
は、製造コストを低減できる、圧電振動子を提供するこ
とである。
は、圧電素子３ならびにスペーサ４ａおよび４ｂの所定
箇所に引出電極５ａおよび５ｂを蒸着するようにしてい
るため、製造工程が煩雑であり、製造コストが高いとい
う問題点があった。それゆえに、この発明の主たる目的
は、製造コストを低減できる、圧電振動子を提供するこ
とである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、それぞれに
１対の外部電極が形成された上基板と下基板との間に１
対の振動電極を有する圧電素子を配置し、振動電極と外
部電極とを引出電極を介して接続した圧電振動子におい
て、圧電素子と上基板および下基板との間に、その一部
に引出電極として作用する導電部を有しかつ圧電素子の
振動領域に相当する部分に孔が形成された接着シートを
それぞれ介在させたことを特徴とする、圧電振動子であ
る。
１対の外部電極が形成された上基板と下基板との間に１
対の振動電極を有する圧電素子を配置し、振動電極と外
部電極とを引出電極を介して接続した圧電振動子におい
て、圧電素子と上基板および下基板との間に、その一部
に引出電極として作用する導電部を有しかつ圧電素子の
振動領域に相当する部分に孔が形成された接着シートを
それぞれ介在させたことを特徴とする、圧電振動子であ
る。
【０００５】
【作用】接着シートにより圧電素子と上基板および下基
板とをそれぞれ接合すれば、接着シートの所定箇所に形
成された導電部（引出電極）と圧電素子に形成された振
動電極とが接続される。なお、接着シートには孔が形成
されているので、圧電素子の振動が妨げられることはな
い。
板とをそれぞれ接合すれば、接着シートの所定箇所に形
成された導電部（引出電極）と圧電素子に形成された振
動電極とが接続される。なお、接着シートには孔が形成
されているので、圧電素子の振動が妨げられることはな
い。
【０００６】
【発明の効果】この発明によれば、引出電極を形成する
工程と圧電素子に上基板および下基板を接合する工程と
を１つの工程で行うことができるので、工程数を削減で
き、製造コストを大幅に低減できる。この発明の上述の
目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照し
て行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろ
う。
工程と圧電素子に上基板および下基板を接合する工程と
を１つの工程で行うことができるので、工程数を削減で
き、製造コストを大幅に低減できる。この発明の上述の
目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照し
て行う以下の実施例の詳細な説明から一層明らかとなろ
う。
【０００７】
【実施例】図１および図２を参照して、この実施例の圧
電振動子１０は、たとえばチタン酸バリウム等からなる
短冊状のエネルギ閉じ込め型厚みすべり振動素子（以下
、単に「素子」という）１２を含む。素子１２には、図
３からよくわかるように、その両側面に互いに一部にお
いて重なり合う１対の振動電極１４ａおよび１４ｂが形
成され、また、たとえばアルミナ等の低誘電体からなる
平面Ｕ字状のスペーサ１６ａおよび１６ｂが接合される
。したがって、素子１２の中央部（振動領域）両側には
、孔１８ａおよび１８ｂが形成される。
電振動子１０は、たとえばチタン酸バリウム等からなる
短冊状のエネルギ閉じ込め型厚みすべり振動素子（以下
、単に「素子」という）１２を含む。素子１２には、図
３からよくわかるように、その両側面に互いに一部にお
いて重なり合う１対の振動電極１４ａおよび１４ｂが形
成され、また、たとえばアルミナ等の低誘電体からなる
平面Ｕ字状のスペーサ１６ａおよび１６ｂが接合される
。したがって、素子１２の中央部（振動領域）両側には
、孔１８ａおよび１８ｂが形成される。
【０００８】そして、素子１２ならびにスペーサ１６ａ
および１６ｂのそれぞれの上面および下面には、接着シ
ート２０を介して上基板２２および下基板２４がそれぞ
れ接着される。接着シート２０の中央部には、素子１２
の振動領域に相当する部分に孔２６が形成される。この
孔２６は接着シート２０が素子１２の振動を妨げること
のないようにするために形成される。また、接着シート
２０の一方端部には振動電極１４ａおよび後述する端面
電極３２ａと導通する導電部２８ａが、他方端部には振
動電極１４ｂおよび後述する端面電極３２ｂと導通する
導電部２８ｂがそれぞれ形成される。
および１６ｂのそれぞれの上面および下面には、接着シ
ート２０を介して上基板２２および下基板２４がそれぞ
れ接着される。接着シート２０の中央部には、素子１２
の振動領域に相当する部分に孔２６が形成される。この
孔２６は接着シート２０が素子１２の振動を妨げること
のないようにするために形成される。また、接着シート
２０の一方端部には振動電極１４ａおよび後述する端面
電極３２ａと導通する導電部２８ａが、他方端部には振
動電極１４ｂおよび後述する端面電極３２ｂと導通する
導電部２８ｂがそれぞれ形成される。
【０００９】なお、接着シート２０は、全体として粘着
材で形成され、導電部２８ａおよび２８ｂの部分にはカ
ーボンや金属などの導電粒子が分散されている。上基板
２２および下基板２４は、たとえばアルミナ等の低誘電
体からなり、上基板２２の上面および下基板２４の下面
には、一方端部に外部電極３０ａが、他方端部に外部電
極３０ｂがそれぞれ形成される。
材で形成され、導電部２８ａおよび２８ｂの部分にはカ
ーボンや金属などの導電粒子が分散されている。上基板
２２および下基板２４は、たとえばアルミナ等の低誘電
体からなり、上基板２２の上面および下基板２４の下面
には、一方端部に外部電極３０ａが、他方端部に外部電
極３０ｂがそれぞれ形成される。
【００１０】そして、圧電振動子１０の両端部には、図
１に示すように、たとえばメタライズによる端面電極３
２ａおよび３２ｂがそれぞれ形成される。したがって、
素子１２の振動電極１４ａは、導電部２８ａおよび端面
電極３２ａを介して外部電極３０ａと接続され、振動電
極１４ｂは、導電部２８ｂおよび端面電極３２ｂを介し
て外部電極３０ｂと接続される。
１に示すように、たとえばメタライズによる端面電極３
２ａおよび３２ｂがそれぞれ形成される。したがって、
素子１２の振動電極１４ａは、導電部２８ａおよび端面
電極３２ａを介して外部電極３０ａと接続され、振動電
極１４ｂは、導電部２８ｂおよび端面電極３２ｂを介し
て外部電極３０ｂと接続される。
【００１１】この実施例の圧電振動子１０は、具体的に
は、たとえば以下のようにして製造される。すなわち、
まず図４に示すような、中母基板１２Ａ，接着シート２
０´，上母基板２２´および下母基板２４´を準備する
。次いで、これらの母基板を図５に示すように積み重ね
て圧着接合し、圧電振動子１０の集合体３４を形成する
。そして、この集合体３４を図５において破線で示すよ
うに切断して個々の圧電振動子１０に分割し、所定の箇
所に端面電極３２ａおよび３２ｂ（図１）を形成する。
は、たとえば以下のようにして製造される。すなわち、
まず図４に示すような、中母基板１２Ａ，接着シート２
０´，上母基板２２´および下母基板２４´を準備する
。次いで、これらの母基板を図５に示すように積み重ね
て圧着接合し、圧電振動子１０の集合体３４を形成する
。そして、この集合体３４を図５において破線で示すよ
うに切断して個々の圧電振動子１０に分割し、所定の箇
所に端面電極３２ａおよび３２ｂ（図１）を形成する。
【００１２】なお、中母基板１２Ａは、たとえば図６に
示すような素子母基板１２´とスペーサ母基板１６´と
を交互に接着して図７に示すような集合体３６を形成し
、この集合体３６を図７において破線で示すように所定
の厚さで切断することによって得られる。なお、素子母
基板１２´は周波数調整済のものが用いられる。この実
施例によれば、接着シート２０によって素子１２ならび
にスペーサ１６ａおよび１６ｂと上基板２２および下基
板２４のそれぞれとを接合すると同時に、接着シート２
０の所定箇所に形成された導電部２８ａおよび２８ｂと
振動電極１４ａおよび１４ｂとが接続される。したがっ
て、従来のような引出電極を蒸着する工程を省くことが
でき、製造コストを大幅に低減することができる。また
、蒸着により形成された引出電極では剥げ落ちる恐れが
あったが、接着シート２０を用いればそのような恐れが
なくなり、電気的接続の信頼性を向上できる。
示すような素子母基板１２´とスペーサ母基板１６´と
を交互に接着して図７に示すような集合体３６を形成し
、この集合体３６を図７において破線で示すように所定
の厚さで切断することによって得られる。なお、素子母
基板１２´は周波数調整済のものが用いられる。この実
施例によれば、接着シート２０によって素子１２ならび
にスペーサ１６ａおよび１６ｂと上基板２２および下基
板２４のそれぞれとを接合すると同時に、接着シート２
０の所定箇所に形成された導電部２８ａおよび２８ｂと
振動電極１４ａおよび１４ｂとが接続される。したがっ
て、従来のような引出電極を蒸着する工程を省くことが
でき、製造コストを大幅に低減することができる。また
、蒸着により形成された引出電極では剥げ落ちる恐れが
あったが、接着シート２０を用いればそのような恐れが
なくなり、電気的接続の信頼性を向上できる。
【図１】この発明の一実施例を示す断面図解図である。
【図２】図１の実施例の分解斜視図である。
【図３】素子に振動電極およびスペーサを接合した状態
を示す図解図である。
を示す図解図である。
【図４】各母基板を示す斜視図である。
【図５】各母基板を接合した状態を示す斜視図である。
【図６】素子母基板およびスペーサ母基板を示す斜視図
である。
である。
【図７】素子母基板とスペーサ母基板とを交互に接合し
た状態を示す斜視図である。
た状態を示す斜視図である。
【図８】従来技術を示す断面図解図である。
【図９】図７の従来技術の分解斜視図である。
１０ …圧電振動子１２
…素子 １４ａ，１４ｂ…振動電極 １６ａ，１６ｂ…スペーサ ２０ …接着シート２２
…上基板 ２４ …下基板 ２６ …孔 ２８ａ，２８ｂ…導電部 ３０ａ，３０ｂ…外部電極 ３２ａ，３２ｂ…端面電極
…素子 １４ａ，１４ｂ…振動電極 １６ａ，１６ｂ…スペーサ ２０ …接着シート２２
…上基板 ２４ …下基板 ２６ …孔 ２８ａ，２８ｂ…導電部 ３０ａ，３０ｂ…外部電極 ３２ａ，３２ｂ…端面電極
Claims (1)
- 【請求項１】それぞれに１対の外部電極が形成された上
基板と下基板との間に１対の振動電極を有する圧電素子
を配置し、前記振動電極と前記外部電極とを引出電極を
介して接続した圧電振動子において、前記圧電素子と前
記上基板および前記下基板との間に、その一部に前記引
出電極として作用する導電部を有しかつ前記圧電素子の
振動領域に相当する部分に孔が形成された接着シートを
それぞれ介在させたことを特徴とする、圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2407645A JP2570665B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2407645A JP2570665B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 圧電振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225613A true JPH04225613A (ja) | 1992-08-14 |
| JP2570665B2 JP2570665B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=18517206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2407645A Expired - Lifetime JP2570665B2 (ja) | 1990-12-27 | 1990-12-27 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2570665B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0750539A (ja) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電共振部品 |
-
1990
- 1990-12-27 JP JP2407645A patent/JP2570665B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0750539A (ja) * | 1993-05-31 | 1995-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | チップ型圧電共振部品 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2570665B2 (ja) | 1997-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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