JPH04220808A - 圧電部品の製造方法 - Google Patents
圧電部品の製造方法Info
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- JPH04220808A JPH04220808A JP40477290A JP40477290A JPH04220808A JP H04220808 A JPH04220808 A JP H04220808A JP 40477290 A JP40477290 A JP 40477290A JP 40477290 A JP40477290 A JP 40477290A JP H04220808 A JPH04220808 A JP H04220808A
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- silicone rubber
- piezoelectric
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- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims abstract description 22
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は圧電部品の製造方法に
関し、特にたとえばフィルタ回路，発振回路などに用い
られる圧電部品を製造する、圧電部品の製造方法に関す
る。
関し、特にたとえばフィルタ回路，発振回路などに用い
られる圧電部品を製造する、圧電部品の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図８，図９および図１０を参照して、従
来の圧電部品の製造方法では、ケース１に形成された圧
電素子収納部２にペースト状の導電接着剤３を介して圧
電素子４が接着固定され、収納部２にシリコンゴム５が
充填されていた。このような圧電部品は、ケース１の開
口部に蓋６を接着することによって完成する。
来の圧電部品の製造方法では、ケース１に形成された圧
電素子収納部２にペースト状の導電接着剤３を介して圧
電素子４が接着固定され、収納部２にシリコンゴム５が
充填されていた。このような圧電部品は、ケース１の開
口部に蓋６を接着することによって完成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の製造方
法では、収納部３に充填したシリコンゴム５の熱硬化前
の性質上、充填後一定時間が経過するとシリコンゴム５
が蓋６とケース１との接着面に這い出してしまう。この
ことは、蓋６とケース１との接着の不良の原因となり、
圧電部品の密封性の不良につながる。また、蓋６とケー
ス１との接着面に這い出さないようにシリコンゴム５を
収納部３一杯に充填させるためには、シリコンゴム５を
少量ずつ何度にも分けて塗布する必要があり、製造作業
が複雑であった。
法では、収納部３に充填したシリコンゴム５の熱硬化前
の性質上、充填後一定時間が経過するとシリコンゴム５
が蓋６とケース１との接着面に這い出してしまう。この
ことは、蓋６とケース１との接着の不良の原因となり、
圧電部品の密封性の不良につながる。また、蓋６とケー
ス１との接着面に這い出さないようにシリコンゴム５を
収納部３一杯に充填させるためには、シリコンゴム５を
少量ずつ何度にも分けて塗布する必要があり、製造作業
が複雑であった。
【０００４】それゆえに、この発明の主たる目的は、圧
電部品の密封性を向上させるとともに、製造作業の簡便
化を図ることができる、圧電部品の製造方法を提供する
ことである。
電部品の密封性を向上させるとともに、製造作業の簡便
化を図ることができる、圧電部品の製造方法を提供する
ことである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、圧電素子が
収納される収納部を有するケースを準備し、収納部に圧
電素子を挿入し、圧電素子上にシリコンゴムを塗布し、
そして蓋によってケースを封止する、圧電部品の製造方
法である。
収納される収納部を有するケースを準備し、収納部に圧
電素子を挿入し、圧電素子上にシリコンゴムを塗布し、
そして蓋によってケースを封止する、圧電部品の製造方
法である。
【０００６】
【作用】ケースに圧電素子を挿入した後、シリコンゴム
をたとえばディスペンサによって塗布する。このとき、
圧電素子上をたとえばディスペンサニードルでなぞって
シリコンゴムを塗布する。圧電素子上に塗布されたシリ
コンゴムは、一定時間放置しておくと圧電素子とケース
との隙間に浸透する。その後、シリコンゴムを加熱硬化
させてケースと蓋とを接着する。
をたとえばディスペンサによって塗布する。このとき、
圧電素子上をたとえばディスペンサニードルでなぞって
シリコンゴムを塗布する。圧電素子上に塗布されたシリ
コンゴムは、一定時間放置しておくと圧電素子とケース
との隙間に浸透する。その後、シリコンゴムを加熱硬化
させてケースと蓋とを接着する。
【０００７】
【発明の効果】この発明によれば、ケースと蓋との接着
の不良がないので密封性の高い圧電部品が得られる。ま
た、シリコンゴムは圧電素子上に塗布するだけでよく、
その塗布作業が簡単なので、圧電部品の製造作業の簡便
化を図ることができる。この発明の上述の目的，その他
の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の
実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
の不良がないので密封性の高い圧電部品が得られる。ま
た、シリコンゴムは圧電素子上に塗布するだけでよく、
その塗布作業が簡単なので、圧電部品の製造作業の簡便
化を図ることができる。この発明の上述の目的，その他
の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の
実施例の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【０００８】
【実施例】図１，図２および図３を参照して、まず、た
とえばセラミックなどからなるケース１０を準備する。 このケース１０には圧電素子１２を収納する収納部１４
が形成される。収納部１４の両端部には収納された圧電
素子１２を保持する保持部１６が、また、収納部１４の
底面には圧電素子１２が載せられる台１８が、それぞれ
、形成される。そして、ケース１０の一方端部に入力電
極２０が、他方端部に出力電極２２が、略中央部にアー
ス電極２４が、それぞれ、形成される。各電極２０〜２
４は収納部１４の内表面を含むケース１０の表面にたと
えばスパッタリングや蒸着法により形成される。
とえばセラミックなどからなるケース１０を準備する。 このケース１０には圧電素子１２を収納する収納部１４
が形成される。収納部１４の両端部には収納された圧電
素子１２を保持する保持部１６が、また、収納部１４の
底面には圧電素子１２が載せられる台１８が、それぞれ
、形成される。そして、ケース１０の一方端部に入力電
極２０が、他方端部に出力電極２２が、略中央部にアー
ス電極２４が、それぞれ、形成される。各電極２０〜２
４は収納部１４の内表面を含むケース１０の表面にたと
えばスパッタリングや蒸着法により形成される。
【０００９】次に、台１８上の圧電素子１２が接触する
部分にペースト状の導電接着剤２６が塗布される。そし
て、ケース１０に保持部１６に嵌め込むようにして圧電
素子１２が収納される。圧電素子１２の本体は、たとえ
ばセラミックなどからなり、図４に示すように、その一
方主面に振動電極２８が形成される。そして、一方主面
の一方端には入力電極３０が、他方端には出力電極３２
が形成される。圧電素子１２の他方主面には、図５に示
すように、振動電極２８に対応して対向電極３４が形成
される。そして、他方主面の一方端部には入力電極３０
が、他方端部には出力電極３２が、略中央部にはアース
電極３６が、それぞれ、形成される。
部分にペースト状の導電接着剤２６が塗布される。そし
て、ケース１０に保持部１６に嵌め込むようにして圧電
素子１２が収納される。圧電素子１２の本体は、たとえ
ばセラミックなどからなり、図４に示すように、その一
方主面に振動電極２８が形成される。そして、一方主面
の一方端には入力電極３０が、他方端には出力電極３２
が形成される。圧電素子１２の他方主面には、図５に示
すように、振動電極２８に対応して対向電極３４が形成
される。そして、他方主面の一方端部には入力電極３０
が、他方端部には出力電極３２が、略中央部にはアース
電極３６が、それぞれ、形成される。
【００１０】圧電素子１２はケース１０に挿入されると
きアース電極３６が下面となるように挿入される。この
圧電素子１２の入力電極３０，出力電極３２およびアー
ス電極３６は、ケース１０に収納されたとき導電接着材
２６によってケース１０側の入力電極２０，出力電極２
２およびアース電極２４とそれぞれ接続固定され導通さ
れる。
きアース電極３６が下面となるように挿入される。この
圧電素子１２の入力電極３０，出力電極３２およびアー
ス電極３６は、ケース１０に収納されたとき導電接着材
２６によってケース１０側の入力電極２０，出力電極２
２およびアース電極２４とそれぞれ接続固定され導通さ
れる。
【００１１】圧電素子１２をケース１０に収納した後、
圧電素子１２上にたとえばディスペンサなどによってシ
リコンゴム３８が塗布される。シリコンゴム３８は圧電
素子１２上をディスペンサニードルでなぞるように１度
だけ塗布される。そして、図１，図２および図３に示す
状態から数分間放置しておく。すると、図６および図７
に示すように、シリコンゴム３８がケース１０と圧電素
子１２との隙間に浸透する。その後、シリコンゴム３８
を熱硬化させ、蓋４０をケース１０の開口部に接着し封
止する。蓋４０には図示はしていないがケース１０の各
電極に対応して電極が形成される。
圧電素子１２上にたとえばディスペンサなどによってシ
リコンゴム３８が塗布される。シリコンゴム３８は圧電
素子１２上をディスペンサニードルでなぞるように１度
だけ塗布される。そして、図１，図２および図３に示す
状態から数分間放置しておく。すると、図６および図７
に示すように、シリコンゴム３８がケース１０と圧電素
子１２との隙間に浸透する。その後、シリコンゴム３８
を熱硬化させ、蓋４０をケース１０の開口部に接着し封
止する。蓋４０には図示はしていないがケース１０の各
電極に対応して電極が形成される。
【００１２】次に、本件発明者等が行った実験の結果を
表１に示す。表１は従来の製造方法による圧電部品およ
びこの発明に従った圧電部品を、フィルタとして用いた
場合の特性を比較したものである。なお、実験に用いた
フィルタの中心周波数は４．３２ＭＨｚである。
表１に示す。表１は従来の製造方法による圧電部品およ
びこの発明に従った圧電部品を、フィルタとして用いた
場合の特性を比較したものである。なお、実験に用いた
フィルタの中心周波数は４．３２ＭＨｚである。
【００１３】
【表１】
【００１４】表１に示すように、その挿入損失は従来の
製造方法による圧電部品（以下、「従来品」）が４．３
ｄＢであるのに対しこの発明に従った製造方法による圧
電部品（以下、「発明品」）は３．７ｄＢであった。そ
して、−３ｄＢでのＢＷ（Ｂａｎｄ Ｗｉｄｔｈ：帯域
幅）は従来品が２５１ｋＨｚであるのに対して発明品は
２４９ｋＨｚであり、−２０ｄＢでのＢＷは従来品が５
５４ｋＨｚであるのに対して発明品は５４２ｋＨｚであ
った。また、２．３２ＭＨｚ〜４．３２ＭＨｚのスプリ
アスは従来品が３０．６ｄＢであるのに対して発明品は
３０．８ｄＢであり、４．３２ＭＨｚ〜６．３２ＭＨｚ
のスプリアスは従来品が１８．９ｄＢであるのに対して
発明品は１８．７ｄＢであった。
製造方法による圧電部品（以下、「従来品」）が４．３
ｄＢであるのに対しこの発明に従った製造方法による圧
電部品（以下、「発明品」）は３．７ｄＢであった。そ
して、−３ｄＢでのＢＷ（Ｂａｎｄ Ｗｉｄｔｈ：帯域
幅）は従来品が２５１ｋＨｚであるのに対して発明品は
２４９ｋＨｚであり、−２０ｄＢでのＢＷは従来品が５
５４ｋＨｚであるのに対して発明品は５４２ｋＨｚであ
った。また、２．３２ＭＨｚ〜４．３２ＭＨｚのスプリ
アスは従来品が３０．６ｄＢであるのに対して発明品は
３０．８ｄＢであり、４．３２ＭＨｚ〜６．３２ＭＨｚ
のスプリアスは従来品が１８．９ｄＢであるのに対して
発明品は１８．７ｄＢであった。
【００１５】このように、従来品と発明品との数値はそ
れぞれ非常に似通っており、この発明の製造方法が、そ
れによって製作された圧電部品の特性に何ら影響を及ぼ
さないことがわかる。
れぞれ非常に似通っており、この発明の製造方法が、そ
れによって製作された圧電部品の特性に何ら影響を及ぼ
さないことがわかる。
【図１】この発明の一実施例を示す上面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ −ＩＩＩ 線における断面図で
ある。
ある。
【図４】図１，図２および図３に示される圧電素子の一
方主面を示す図解図である。
方主面を示す図解図である。
【図５】図１，図２および図３に示される圧電素子の他
方主面を示す図解図である。
方主面を示す図解図である。
【図６】図２の状態から数分間放置した状態を示す図解
図である。
図である。
【図７】図３の状態から数分間放置した状態を示す図解
図である。
図である。
【図８】従来技術を示す上面図である。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線における断面図である。
【図１０】図８のＸ−Ｘ線における断面図である。
１０ …ケース
１２ …圧電素子
１４ …収納部
１６ …保持部
１８ …台
２０，３０…入力電極
２２，３２…出力電極
２４，３６…アース電極
２６ …導電接着剤
２８ …振動電極
３４ …対向電極
３８ …シリコンゴム
４０ …蓋
Claims (1)
- 【請求項１】圧電素子が収納される収納部を有するケー
スを準備し、前記収納部に前記圧電素子を挿入し、前記
圧電素子上にシリコンゴムを塗布し、そして蓋によって
前記ケースを封止する、圧電部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404772A JP2897429B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2404772A JP2897429B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 圧電部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04220808A true JPH04220808A (ja) | 1992-08-11 |
| JP2897429B2 JP2897429B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=18514430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2404772A Expired - Fee Related JP2897429B2 (ja) | 1990-12-21 | 1990-12-21 | 圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2897429B2 (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58169715U (ja) * | 1982-05-06 | 1983-11-12 | 富士産業株式会社 | チツプ型圧電振動子 |
| JPS6082831U (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-08 | 松下電器産業株式会社 | 圧電磁器振動子 |
| JPS60180130U (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-29 | 株式会社村田製作所 | 低Ｑｍ圧電共振子 |
| JPS61245709A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面波フイルタの製造方法 |
| JPS6256012A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フイルタ電極保護法 |
| JPH02236161A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Fuji Electric Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1990
- 1990-12-21 JP JP2404772A patent/JP2897429B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58169715U (ja) * | 1982-05-06 | 1983-11-12 | 富士産業株式会社 | チツプ型圧電振動子 |
| JPS6082831U (ja) * | 1983-11-10 | 1985-06-08 | 松下電器産業株式会社 | 圧電磁器振動子 |
| JPS60180130U (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-29 | 株式会社村田製作所 | 低Ｑｍ圧電共振子 |
| JPS61245709A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面波フイルタの製造方法 |
| JPS6256012A (ja) * | 1985-09-04 | 1987-03-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フイルタ電極保護法 |
| JPH02236161A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Fuji Electric Co Ltd | 弾性表面波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2897429B2 (ja) | 1999-05-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990209 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |