JPS61288506A - 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば弾性表面波やバルク波利用の圧電フ
ィルタ、圧電共振子等を構成する圧電部品素子およびそ
れを用いた圧電部品の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

圧電部品、例えばエネルギー閉じ込め形圧電共振子の従
来の製造方法の一例を第２図を参照しながら説明すると
、第２４　（Ａ）に示す１は、エネルギー閉じ込め形の
圧電共振素子であり、例えば圧電セラミック等の圧電基
板２の両面に相対向する少なくとも一対の、例えば一対
の振動電極４ａ、４ｂを有している。尚、以下の説明に
関係のない引出し電極、引出しリード等は図示を省略し
ている。そして、当該圧電共振素子１の所定の振動電種
部分に、例えば振動電極４ａを覆うように、例えばソル
ダレジスト等の周波数調整用樹脂６を例えばスクリーン
印刷等で付与する（第２図（Ｂ））。こうすることによ
って、圧電共振素子１の共振周波数の微調が可能である
。

次に周波数調整用樹脂６を乾かした後、圧電共振素子ｌ
の振動領域、即ち振動電極４ａ、４ｂとその周辺部を覆
うように、例えばワックス、グリコール系樹脂等から成
り、常温では固形で加熱により液状となる空洞形成材８
を溶融状態で点滴する等して付与する（第２図（Ｃ））
。そして当該空洞形成材８が固まった後、その上に多孔
質の例えばエポキシ系の外装樹脂１０を例えば浸漬塗装
、あるいは粉体塗装する（第２図（Ｄ））。その後全体
を加熱して、外装樹脂１０の硬化と空洞形成材８の外装
樹脂１０中への移行を行わせることにより、振動電極４
ａ、４ｂの上部に振動用の空洞１２を形成する（第２図
（Ｅ））。その際、必要に応じて全体を傾けておいても
良い。このようにして圧電共振子が製造される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した周波数調整用樹脂６としては、従来、着色剤や
チクソ剤が少量入ったものが使用されていた。しかしな
がら、第３図に模式的に示すように、このような周波数
調整用樹脂６の表面粗さは小さく、−ａに空洞形成材８
として使用されるワックスやグリコール系樹脂との表面
エネルギー差が大きいため、空洞１２の形成後も空洞形
成材８の一部分が周波数調整用樹脂６の表面に残留する
場合がある（第２図（Ｅ）参照）。

そして上記のようにして残留した空洞形成材は、圧電部
品の挿入損失や共振抵抗等の電気的特性を悪化′させる
と共に、高温下での発振レベル等を不安定にして、信鯨
性の面での高温特性も悪化させる。

このような弊害は、周波数調整のために限らず、例えば
スプリアス抑圧や半田付着防止のために設けた樹脂被膜
表面に空洞形成材が付着したときにも生じることがある
。

従ってこの発明は、周波数調整等の目的で圧電素子に形
成された樹脂被膜表面に付着した空洞形成材が圧電部品
製造時に樹脂被膜表面に残留することを防止し得る構造
の圧電部品素子を提供することを目的とする。

また、この発明は、周波数調整等の目的で圧電素子に形
成さた樹脂被膜表面に付着した空洞形成材が圧電部品製
造時に樹脂被膜表面に残留することを防止し得る構造の
圧電部品素子を用いて圧電部品を製造する方法を提供す
ることを目的とする。

（問題点を解決するための手段〕 この発明の圧電部品素子では、樹脂被膜の表面粗さを大
きくして空洞形成時の空洞形成材の当該樹脂被膜表面へ
の残留を防止する程度に充填剤を含有している樹脂材料
を使用していることを特徴とする。

また、この発明の圧電部品の製造方法では、樹脂被膜の
表面粗さを大きくして空洞形成時の空洞形成材の当該樹
脂被膜表面への残留を防止する程度に充填剤を含有して
いる樹脂材料を使用して樹脂被膜を形成した圧電部品素
子を用いて圧電部品を製造することを特徴とする。

〔作用〕

樹脂被膜の表面粗さが大きいため、空洞形成時の空洞形
成材は当該樹脂表面からほぼ完全に除去される。

〔実施例〕

第１図は、この実施例に係る周波数調整用樹脂を付与し
た状態の圧電共振素子の拡大断面図であり、上記第３図
に相当する。尚、以下においては上述した従来の製造方
法との相違点を主に説明する。

この実施例においては、周波数調整用樹脂１６として、
充填剤を数％以上含有するものを用いて、第１図に模式
的に示すように、その表面粗さを太き（している。より
具体的には、周波数調整用樹脂１６としては、従来から
使用されているような周波数調整用樹脂に例えばアモル
ファスシリカ、溶融シリカ、タルク、酸化チタン等を数
％以上添加したものを用いても良いし、あるいは、予め
数％以上充填剤が添加されている樹脂、例えば充填荊入
り接着剤、レジスト等を用いても良い。樹脂１６の被覆
形成方法としては、印刷やスプレー塗布等の方法が挙げ
られる。充填剤の粒径は、適用する圧電部品に応じて考
慮される。例えば弾性表面波デバイスでは５μｍ以下が
好ましい。

上述のような周波数調整用樹脂１６においては、その表
面粗さが大きいために空洞形成材８として用いられるワ
ックスやグリコール系樹脂との表面エネルギーの差が小
さくなっており、その、ため空洞形成時の溶融した空洞
形成材８は当該周波数調整用樹脂１６の表面からほぼ完
全に除去される。

これは、一般に、粗い表面に液体を流したような場合は
、表面が滑らかな場合に比べて、終わりの方の液体がそ
の表面に玉状になって残る作用が弱くなるからである。

その結果、周波数調整用樹脂１６の表面への空洞形成材
８の残留をほぼ完全に防止することができる。

そのため、この製造方法によれば、圧電部品の挿入損失
や共振抵抗等の電気的特性を改善することができると共
に、信頼性の面での高温特性も改善することができる。

例えば、電気的特性としては、フィルタにおける挿入損
失が１ｄＢ前後に抑えられ、発振子における共振抵抗も
数Ω〜数十Ωに抑えられる。また高温特性としては、従
来は５０〜８０℃付近の残留ワックスやグリコール系樹
脂が溶融する温度範囲で、発振レベルが著しく低下した
り周波数が変動したりしていたけれども、この発明によ
ればそのような不具合もなくなる。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、空洞形成時の樹脂被膜
表面への空洞形成材の残留が防止される。

その結果、製造された圧電部品の電気的特性や信頼性等
が改善される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この実施例に係る周波数調整用樹脂を付与し
た状態の圧電共振素子の拡大断面図である。第２図（Ａ
）〜（Ｅ）は、圧電共振部品の従来の製造方法の一例を
説明するための断面図である。第３図は、第２図（Ｂ）
の拡大断面図である。 １・・・圧電共振素子、２・・・圧電基板、４ａ。 ４ｂ・・・振動電極、６．１６・・・周波数調整用樹脂
、８・・・空洞形成材、１０・・・外装樹脂、１２・・
・空洞

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電体の表面に少なくとも一対の電極を有する圧
   電素子の所定の部分に樹脂被膜が形成され、この樹脂被
   膜上に常温では固形で加熱により液状となる空洞形成材
   を付与する圧電部品素子において、樹脂被膜の表面粗さ
   を大きくして空洞形成時の空洞形成材の当該樹脂被膜表
   面への残留を防止することを特徴とする圧電部品素子。
2. （２）圧電体の表面に少なくとも一対の電極を有する圧
   電素子の所定の部分に樹脂被膜が形成された圧電部品素
   子を用意し、この樹脂被膜上に常温では固形で加熱によ
   り液状となる空洞形成材を付与し、その上に外装樹脂を
   付与し、その後全体を加熱して外装樹脂の硬化と空洞形
   成材の外装樹脂中への移行を行わせることにより少なく
   とも電極の上部に空洞を形成するものにおいて、前記被
   膜用樹脂として、その表面粗さを大きくして空洞形成時
   の空洞形成材の当該樹脂表面への残留を防止する程度に
   充填剤を含有しているものを使用することを特徴とする
   圧電部品の製造方法。