JPH04215238A - 近接型ｘ線像増強管 - Google Patents
近接型ｘ線像増強管Info
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- JPH04215238A JPH04215238A JP9135242A JP3524291A JPH04215238A JP H04215238 A JPH04215238 A JP H04215238A JP 9135242 A JP9135242 A JP 9135242A JP 3524291 A JP3524291 A JP 3524291A JP H04215238 A JPH04215238 A JP H04215238A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
- H01J31/505—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output flat tubes, e.g. proximity focusing tubes
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、入射窓及び出射壁部を
有している排気すべき管器と、発光層及び光電陰極を有
している入射スクリーンと、近接型電子増強装置と、前
記光電陰極から発生する電子ビームを検出するための出
射スクリーンとを具えているＸ線像増強管に関するもの
である。
有している排気すべき管器と、発光層及び光電陰極を有
している入射スクリーンと、近接型電子増強装置と、前
記光電陰極から発生する電子ビームを検出するための出
射スクリーンとを具えているＸ線像増強管に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】この種類のＸ線像増強管は、ＵＳ４，４
４７，７２１ より知られている。ここに記載されてい
る管は入射窓及び出射窓を有する管器中に、入射発光層
と光電陰極とを有する入射スクリーンと、蛍光層を有す
る出射スクリーンとを具えている。光電陰極と蛍光体層
との間の電位差を用いて、光電子ビームを増強し、出射
スクリーン上に投射する。電子の加速によって増強を行
う。ここで記載されている近接型管においては、入射ス
クリーンと出射スクリーンとの表面積は実質的に同一で
ある。イメージング電子光学的装置を具える管に関して
は、このようなＸ線像増強管の長さをかなり短くしてい
る。
４７，７２１ より知られている。ここに記載されてい
る管は入射窓及び出射窓を有する管器中に、入射発光層
と光電陰極とを有する入射スクリーンと、蛍光層を有す
る出射スクリーンとを具えている。光電陰極と蛍光体層
との間の電位差を用いて、光電子ビームを増強し、出射
スクリーン上に投射する。電子の加速によって増強を行
う。ここで記載されている近接型管においては、入射ス
クリーンと出射スクリーンとの表面積は実質的に同一で
ある。イメージング電子光学的装置を具える管に関して
は、このようなＸ線像増強管の長さをかなり短くしてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような利
点は、実質的に失われてしまう。その理由は、非直接的
な視覚観測の場合、比較的大きな表面積の出射画像を、
例えばテレビジョン撮像管に、十分効果的な光学的伝送
を行うためには、比較的大きな長さを必要とするからで
ある。直接的な視覚観測とは異なり、光学的な画像を、
電気的な画像へと、更に変換する必要がある。
点は、実質的に失われてしまう。その理由は、非直接的
な視覚観測の場合、比較的大きな表面積の出射画像を、
例えばテレビジョン撮像管に、十分効果的な光学的伝送
を行うためには、比較的大きな長さを必要とするからで
ある。直接的な視覚観測とは異なり、光学的な画像を、
電気的な画像へと、更に変換する必要がある。
【０００４】本発明の目的は、前述の欠点を解消せんと
するにある。
するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明による前述した種類のＸ線像増強管は、入射
窓及び出射壁部を有している排気すべき管器と、発光層
及び光電陰極を有している入射スクリーンと、近接型電
子増強装置と、前記光電陰極から発生する電子ビームを
検出するための出射スクリーンとを具えているＸ線像増
強管において、前記出射スクリーンが集積化された検出
素子のマトリックスを具え、光電子によって伝達される
画像信号を電気信号に変換し、この電気信号を、位置依
存方法で読み出すことができるよう構成していることを
特徴としている。
に、本発明による前述した種類のＸ線像増強管は、入射
窓及び出射壁部を有している排気すべき管器と、発光層
及び光電陰極を有している入射スクリーンと、近接型電
子増強装置と、前記光電陰極から発生する電子ビームを
検出するための出射スクリーンとを具えているＸ線像増
強管において、前記出射スクリーンが集積化された検出
素子のマトリックスを具え、光電子によって伝達される
画像信号を電気信号に変換し、この電気信号を、位置依
存方法で読み出すことができるよう構成していることを
特徴としている。
【０００６】このようなＸ線像増強管の出射窓が電気的
に読み出し可能な画像信号を供給するので、更に画像を
管の読み出し側に伝達するためのスペースは必要とされ
ず、比較的大きな出射画像に対して、短い検出装置を実
現することができる。
に読み出し可能な画像信号を供給するので、更に画像を
管の読み出し側に伝達するためのスペースは必要とされ
ず、比較的大きな出射画像に対して、短い検出装置を実
現することができる。
【０００７】例えば，Ｘ線像増強管の入射スクリーンを
既知の種類のものとする。ＵＳ３，８２５，７６３ 及
びＵＳ４，８４２，８９４ に記載されているような構
造のスクリーンを用い、分解能及び放射効率を高めるこ
とができる。この電子光学的な装置はできる限り短いこ
とが好ましく、また、引用する技術の状態に応じて、入
射スクリーンと出射スクリーンとの間の電位差のみを用
いて、この装置を実現することができる。管で、簡単な
増強制御を行うために、出射スクリーン上に設けた適合
する厚さの金属層を用いることができる。従って、比較
的小さな電位差の変化によって、かなりの輝度調整レン
ジを達成することができる。このような層の効果はＧＢ
１，３９２，３５６ に記載されている。
既知の種類のものとする。ＵＳ３，８２５，７６３ 及
びＵＳ４，８４２，８９４ に記載されているような構
造のスクリーンを用い、分解能及び放射効率を高めるこ
とができる。この電子光学的な装置はできる限り短いこ
とが好ましく、また、引用する技術の状態に応じて、入
射スクリーンと出射スクリーンとの間の電位差のみを用
いて、この装置を実現することができる。管で、簡単な
増強制御を行うために、出射スクリーン上に設けた適合
する厚さの金属層を用いることができる。従って、比較
的小さな電位差の変化によって、かなりの輝度調整レン
ジを達成することができる。このような層の効果はＧＢ
１，３９２，３５６ に記載されている。
【０００８】加速による電子増強装置を用いる代わりに
、電子増倍装置、例えば、ＧＢ１，０６４，０７３ に
記載されているようなチャンネルプレート増倍装置を用
いることができる。かなり小さな電位差を用い、輝度を
更に容易に調整できるとともに、望ましくない電子放電
の危険性を小さくできる点で有利である。本来、増強率
の大きい出射スクリーンを具える例では、より小さな電
位差を用い、チャンネルプレート増強装置を用いずに、
前記利点を得ることができる。
、電子増倍装置、例えば、ＧＢ１，０６４，０７３ に
記載されているようなチャンネルプレート増倍装置を用
いることができる。かなり小さな電位差を用い、輝度を
更に容易に調整できるとともに、望ましくない電子放電
の危険性を小さくできる点で有利である。本来、増強率
の大きい出射スクリーンを具える例では、より小さな電
位差を用い、チャンネルプレート増強装置を用いずに、
前記利点を得ることができる。
【０００９】好適例の出射スクリーンに、光電子をフォ
トンに変換する蛍光層を設ける。ここで、出射マトリッ
クスの光ダイオードは、高感度である。中間に、光学的
に透明な分離層を介し、出射マトリックス上に蛍光層を
設けることが好ましい。従って、管器中に出射マトリッ
クスを具えていることが好ましい。管器の出射増強装置
は、分離層としても機能する。分離層を比較的厚くし、
変形しづらいようにするため、分離層によって真空壁を
構成する点において不利である。出射窓における光の散
乱を小さくするために、これを、光ファイバプレートで
構成することができる。他の好適例の出射マトリックス
は、直交する配置が好ましい光ダイオードのマトリック
スを具え、例えば、ＴＦＴシステムの素子形態で、スイ
ッチング素子を、各々のダイオードと関連させている。 個々の光ダイオード又は、光電子を検出するダイオード
からの信号がドレインコンダクタに伝達され、ＴＦＴの
トランジスタにより、外部読み出しが行われる。例えば
、連続パルスを順次のゲートコンダクタに供給すること
によって、また、例えば、ドレインコンダクタの各々の
パルス素子をシフトレジスタで読み出すことによって、
画像を走査することができる。
トンに変換する蛍光層を設ける。ここで、出射マトリッ
クスの光ダイオードは、高感度である。中間に、光学的
に透明な分離層を介し、出射マトリックス上に蛍光層を
設けることが好ましい。従って、管器中に出射マトリッ
クスを具えていることが好ましい。管器の出射増強装置
は、分離層としても機能する。分離層を比較的厚くし、
変形しづらいようにするため、分離層によって真空壁を
構成する点において不利である。出射窓における光の散
乱を小さくするために、これを、光ファイバプレートで
構成することができる。他の好適例の出射マトリックス
は、直交する配置が好ましい光ダイオードのマトリック
スを具え、例えば、ＴＦＴシステムの素子形態で、スイ
ッチング素子を、各々のダイオードと関連させている。 個々の光ダイオード又は、光電子を検出するダイオード
からの信号がドレインコンダクタに伝達され、ＴＦＴの
トランジスタにより、外部読み出しが行われる。例えば
、連続パルスを順次のゲートコンダクタに供給すること
によって、また、例えば、ドレインコンダクタの各々の
パルス素子をシフトレジスタで読み出すことによって、
画像を走査することができる。
【００１０】他の好適例では、管器の同筒状スリーブ部
を、熱圧着封止によって、入射窓及び／又は出射窓部に
接続する。長方形のＸ線像増強管の場合、熱圧着封止を
用いることが特に有効である。長方形のＸ線像増強管は
、かなり有利である。その理由は、画像の形状寸法が、
検出器のモニタ等の通常の画像フォーマットに適合して
いるからである。従って、直交出射マトリックスと、画
像表示装置とを更に直接的に関連させることができる。 本発明によるＸ線像増強管では、電子光学的画像装置を
使用していないので、容易に長方形の形状とすることが
できる。
を、熱圧着封止によって、入射窓及び／又は出射窓部に
接続する。長方形のＸ線像増強管の場合、熱圧着封止を
用いることが特に有効である。長方形のＸ線像増強管は
、かなり有利である。その理由は、画像の形状寸法が、
検出器のモニタ等の通常の画像フォーマットに適合して
いるからである。従って、直交出射マトリックスと、画
像表示装置とを更に直接的に関連させることができる。 本発明によるＸ線像増強管では、電子光学的画像装置を
使用していないので、容易に長方形の形状とすることが
できる。
【００１１】本発明による管の入射窓をＵＳ４，８５５
，５８７ に記載されているように、アルミニウム、チ
タン、ガラス状カーボン、積層物又はこれと同種類のも
ので形成することができる。アルミニウムは、吸収が小
さいものの、その限定された強度のため、窓が比較的厚
くなってしまう。このため、追加的な散乱が生じる。チ
タンは、極めて強いので、散乱を最小にすることができ
る。積層物とガラス状カーボンとを用いる場合、ここで
示した利点を、極めて高度に組合わせことができる。
，５８７ に記載されているように、アルミニウム、チ
タン、ガラス状カーボン、積層物又はこれと同種類のも
ので形成することができる。アルミニウムは、吸収が小
さいものの、その限定された強度のため、窓が比較的厚
くなってしまう。このため、追加的な散乱が生じる。チ
タンは、極めて強いので、散乱を最小にすることができ
る。積層物とガラス状カーボンとを用いる場合、ここで
示した利点を、極めて高度に組合わせことができる。
【００１２】入射窓を所定の寸法的安定性と無関係とな
るようにするには、管器に取り付ける分離基板上に、入
射スクリーン材料を設けると有利である。このようなス
クリーンの支持フレームを、例えばカムによって管壁に
接続する。慣例として用いる発光スクリーンのアルミニ
ウム支持体と、これと関連する支持フレームとの間に、
熱圧着封止を形成することができる。特に、Ｘ線が透過
できるように、比較的うすく形成されているアルミニウ
ム基板を、熱圧着封止によって支持フレーム中に固定す
る。このため、基板を、フレームのコーナーの回りにま
で延ばし固定し、支持フレーム中に取り付ける。基板の
局所的な曲がりのような、機械的な不安定は、このよう
に排除される。
るようにするには、管器に取り付ける分離基板上に、入
射スクリーン材料を設けると有利である。このようなス
クリーンの支持フレームを、例えばカムによって管壁に
接続する。慣例として用いる発光スクリーンのアルミニ
ウム支持体と、これと関連する支持フレームとの間に、
熱圧着封止を形成することができる。特に、Ｘ線が透過
できるように、比較的うすく形成されているアルミニウ
ム基板を、熱圧着封止によって支持フレーム中に固定す
る。このため、基板を、フレームのコーナーの回りにま
で延ばし固定し、支持フレーム中に取り付ける。基板の
局所的な曲がりのような、機械的な不安定は、このよう
に排除される。
【００１３】熱圧着封止を用い、すでに述べたように、
アルミニウム、チタン、ガラス状カーボン又は積層物等
より成る入射窓を、管の側壁を構成している、好適な長
方形の同筒スリーブに接続することができる。熱圧着で
は、全周に沿って、同時にジョイントを構成し、望まし
くない変形を防止することができる点でかなり有利であ
る。同様に、出射壁部を、円筒状スリーブに接続するこ
とができる。このジョイントは、通常、管の封止として
機能する。
アルミニウム、チタン、ガラス状カーボン又は積層物等
より成る入射窓を、管の側壁を構成している、好適な長
方形の同筒スリーブに接続することができる。熱圧着で
は、全周に沿って、同時にジョイントを構成し、望まし
くない変形を防止することができる点でかなり有利であ
る。同様に、出射壁部を、円筒状スリーブに接続するこ
とができる。このジョイントは、通常、管の封止として
機能する。
【００１４】入射窓及び発光層としての基板に用いられ
るような、アルミニウムスクリーンの場合、鉛を媒介と
する熱圧着に、高温が必要であり、アルミニウム中で再
結晶が生じ、スクリーンの強度が低下してしまう。この
ことは、特に、真空壁としての役割を果たす窓において
重要である。スズ又は、融解点が低い他の材料を中間に
使用する場合、かなり低温でも熱圧着には十分であり、
前記の再結晶の危険性が排除される。このような、低温
熱圧着封止を出射壁部の取り付けに用いる場合、管中の
光電陰極で生じるアンチモンの蒸発を防止することがで
きる。従って、管アセンブリをかなり簡易化することが
できる。
るような、アルミニウムスクリーンの場合、鉛を媒介と
する熱圧着に、高温が必要であり、アルミニウム中で再
結晶が生じ、スクリーンの強度が低下してしまう。この
ことは、特に、真空壁としての役割を果たす窓において
重要である。スズ又は、融解点が低い他の材料を中間に
使用する場合、かなり低温でも熱圧着には十分であり、
前記の再結晶の危険性が排除される。このような、低温
熱圧着封止を出射壁部の取り付けに用いる場合、管中の
光電陰極で生じるアンチモンの蒸発を防止することがで
きる。従って、管アセンブリをかなり簡易化することが
できる。
【００１５】接合する材料の一方が、金属でなく、例え
ば、ガラス材料の場合、スズがガラスに粘着するのに、
低温熱圧着では不十分であるという問題が生じる。これ
を解決するために、例えば、気相堆積又は、ＣＶＤ処理
によって、まずガラス材料の封止面の領域に、金属層を
堆積させる。この金属層の堆積後、もし必要ならば、熱
圧着封止を用いることができる。例えば、円筒状スリー
ブがガラスから成る場合、入射窓がガラスカーボンから
成る場合、又は、出射窓が光ファイバプレートによって
形成される場合、この方法を用いることができる。
ば、ガラス材料の場合、スズがガラスに粘着するのに、
低温熱圧着では不十分であるという問題が生じる。これ
を解決するために、例えば、気相堆積又は、ＣＶＤ処理
によって、まずガラス材料の封止面の領域に、金属層を
堆積させる。この金属層の堆積後、もし必要ならば、熱
圧着封止を用いることができる。例えば、円筒状スリー
ブがガラスから成る場合、入射窓がガラスカーボンから
成る場合、又は、出射窓が光ファイバプレートによって
形成される場合、この方法を用いることができる。
【００１６】
【実施例】以下図面を参照して実施例を説明するに、図
１は、入射窓２と出射壁部４とを具える近接チューブを
示している。入射窓２はＵＳ４，８５５，５８７ で記
載されているように、例えば、アルミニウム、チタン、
ガラス状カーボン又は積層物から成っている。又、出射
壁部４は、この場合、真空分離としての役割を果たすと
ともに、支持プレートとしての役割を果している。この
ため、出射壁部４を、金属プレートとすることもできる
。蛍光像を管の外で読み出すために、この壁部を光学的
出射窓として形成し、例えば図２に示されているように
、光ファイバ窓とする。２つの窓は、円筒状スリーブ部
６によって接合されている。このスリーブ部６の断面は
、既知の管とは異なり、円形ではなく、長方形若しくは
、特に方形が好ましい。また、スリーブ部６は、例えば
ステンレス鋼から成っている。後で説明するジョイント
３及び７を用いて、入射窓２と、出射壁部４と、スリー
ブ部６とによって、排気すべき管器８を構成する。例え
ば、管器８の厚さは、約５ｃｍであり、その断面は、例
えば４０ｃｍ×４０ｃｍである。管器は、出射蛍光スク
リーン１４を有する入射スクリーン１０と、支持体１２
に設けられた光電陰極１６とを具えている。支持体１２
は、例えばアルミニウムから成り蛍光体層は、既知のＸ
線像増強管と同様に、ＣｓＪから成っている。光電陰極
１６から、例えば約０．５ 〜１ｃｍの距離のところに
、蛍光体層１９と、検出素子２０の集積マトリックスと
を有する出射スクリーン１８を配置する。蛍光体層１９
を、直接マトリックス２０の上に設けているが、その間
に、光学的に透明な分離層（図示せず）を介在させるこ
ともできる。この例では、マトリックス２０が管器中に
含まれており、例えば、Ｘ−Ｙ座標における位置検知方
法によって、パス２２を介してマトリックス２０を読み
出すことができる。これとは逆に、図２に示されている
例は、光ファイバ窓２４上に設けられた蛍光体層１９を
具えており、該蛍光体層の光学的な像は、窓の外側に設
けられたマトリックス２０によって読み出される。２種
類の管の入射スクリーンと、出射スクリーンとの間に、
例えばスクリーン前面に亘ってガーゼ又はシャドーマス
クスクリーンの形態で、遮蔽電極２６又はガーゼ電極を
設けることができる。電子光学的な装置を、入射スクリ
ーンと出射スクリーンとの間に配置されたチャネルプレ
ート増倍器によって構成することができる。チャネルプ
レート増倍器は、比較的小さな電位差を用いて比較的大
きな増倍が可能であり、管が故障しにくい点で有利であ
る。更に、このような管ではイメージアーティファクト
を起こさずに、チャネルプレートの入射を出射との間の
電位差を変化させることによって、輝度調整することが
できる。
１は、入射窓２と出射壁部４とを具える近接チューブを
示している。入射窓２はＵＳ４，８５５，５８７ で記
載されているように、例えば、アルミニウム、チタン、
ガラス状カーボン又は積層物から成っている。又、出射
壁部４は、この場合、真空分離としての役割を果たすと
ともに、支持プレートとしての役割を果している。この
ため、出射壁部４を、金属プレートとすることもできる
。蛍光像を管の外で読み出すために、この壁部を光学的
出射窓として形成し、例えば図２に示されているように
、光ファイバ窓とする。２つの窓は、円筒状スリーブ部
６によって接合されている。このスリーブ部６の断面は
、既知の管とは異なり、円形ではなく、長方形若しくは
、特に方形が好ましい。また、スリーブ部６は、例えば
ステンレス鋼から成っている。後で説明するジョイント
３及び７を用いて、入射窓２と、出射壁部４と、スリー
ブ部６とによって、排気すべき管器８を構成する。例え
ば、管器８の厚さは、約５ｃｍであり、その断面は、例
えば４０ｃｍ×４０ｃｍである。管器は、出射蛍光スク
リーン１４を有する入射スクリーン１０と、支持体１２
に設けられた光電陰極１６とを具えている。支持体１２
は、例えばアルミニウムから成り蛍光体層は、既知のＸ
線像増強管と同様に、ＣｓＪから成っている。光電陰極
１６から、例えば約０．５ 〜１ｃｍの距離のところに
、蛍光体層１９と、検出素子２０の集積マトリックスと
を有する出射スクリーン１８を配置する。蛍光体層１９
を、直接マトリックス２０の上に設けているが、その間
に、光学的に透明な分離層（図示せず）を介在させるこ
ともできる。この例では、マトリックス２０が管器中に
含まれており、例えば、Ｘ−Ｙ座標における位置検知方
法によって、パス２２を介してマトリックス２０を読み
出すことができる。これとは逆に、図２に示されている
例は、光ファイバ窓２４上に設けられた蛍光体層１９を
具えており、該蛍光体層の光学的な像は、窓の外側に設
けられたマトリックス２０によって読み出される。２種
類の管の入射スクリーンと、出射スクリーンとの間に、
例えばスクリーン前面に亘ってガーゼ又はシャドーマス
クスクリーンの形態で、遮蔽電極２６又はガーゼ電極を
設けることができる。電子光学的な装置を、入射スクリ
ーンと出射スクリーンとの間に配置されたチャネルプレ
ート増倍器によって構成することができる。チャネルプ
レート増倍器は、比較的小さな電位差を用いて比較的大
きな増倍が可能であり、管が故障しにくい点で有利であ
る。更に、このような管ではイメージアーティファクト
を起こさずに、チャネルプレートの入射を出射との間の
電位差を変化させることによって、輝度調整することが
できる。
【００１７】検出マトリックス２０は、直交構造に配置
されていることが好ましい、例えば約２０００×２００
０の多くの画素を具えており、各々の画素の寸法は、例
えば０．２ｍｍ ×０．２ ｍｍである。また、検出マ
トリックス２０は、対応する数の光ダイオード３０も具
えており読出回路３２が、各光ダイオードと関連してい
る。従ってマトリックスは、ドレインライン３４と、ゲ
ートライン３６とを具え、各々のダイオードは、Ｘ−Ｙ
配列において別々に制御される。図４に示されているよ
うに、例えば、薄いフィルムトランジスタから成るゲー
ト電極３８に接続されているゲートラインを、多重ライ
ン３９に接続する。ドレインラインは、集積読出ライン
４１に接続されている。
されていることが好ましい、例えば約２０００×２００
０の多くの画素を具えており、各々の画素の寸法は、例
えば０．２ｍｍ ×０．２ ｍｍである。また、検出マ
トリックス２０は、対応する数の光ダイオード３０も具
えており読出回路３２が、各光ダイオードと関連してい
る。従ってマトリックスは、ドレインライン３４と、ゲ
ートライン３６とを具え、各々のダイオードは、Ｘ−Ｙ
配列において別々に制御される。図４に示されているよ
うに、例えば、薄いフィルムトランジスタから成るゲー
ト電極３８に接続されているゲートラインを、多重ライ
ン３９に接続する。ドレインラインは、集積読出ライン
４１に接続されている。
【００１８】図４に示すように、トランジスタ３２のソ
ース電極４４を、光感応素子すなわち、図に示す光ダイ
オード３０、電源電極４６、整流ダイオード素子４８及
びコンデンサ５０に接続する。この場合、光ダイオード
３０は、出射スクリーン２０から発生し、光電陰極から
の光電子５４のビームによって放出されるフォトン５２
のビームによって能動化される。図４は、コンデンサ６
２及び抵抗６４によって橋絡されている増幅器６１と、
読出素子６０の出力端子６８とを示している。この読出
素子６０は、薄いフィルムトランジスタユニット中に集
積化されていることが好ましい。あるいは、ダイオード
３０を、光電子−検出素子として構成することができる
。
ース電極４４を、光感応素子すなわち、図に示す光ダイ
オード３０、電源電極４６、整流ダイオード素子４８及
びコンデンサ５０に接続する。この場合、光ダイオード
３０は、出射スクリーン２０から発生し、光電陰極から
の光電子５４のビームによって放出されるフォトン５２
のビームによって能動化される。図４は、コンデンサ６
２及び抵抗６４によって橋絡されている増幅器６１と、
読出素子６０の出力端子６８とを示している。この読出
素子６０は、薄いフィルムトランジスタユニット中に集
積化されていることが好ましい。あるいは、ダイオード
３０を、光電子−検出素子として構成することができる
。
【００１９】図５は、入射窓２、出射壁部４、スリーブ
６、入射スクリーン１０及び出射スクリーン１９を更に
具えている、本発明によるＸ線像増強管の構造を線図的
に示す図である。入射窓とスリーブとの間に、熱圧着封
止３を設け、出射壁部４とスリーブ６との間に、熱圧着
封止７を設ける。後者の熱圧着封止７は、例えば、管の
封止としての役割を果たす。この種の封止は、特に長方
形の管にとって好適である。この場合、アルゴンアーク
溶接のような封止技術では、特に局所的な加熱及び熱に
よる後作用のために、許容できない程の変形が生じてし
まう。例えば、図示されているようにガラス、特に光フ
ァイバの出射窓を具える実施例において必要とされるガ
ラスと金属とのジョイントを作成する場合、同様の問題
が増強されて生じる。中間に適合する金属を使用すると
、比較的低い温度で熱圧着が行われる。また、同時に、
全周に沿って完全な封止を行い、変形が生じることを防
止している。同様に、入射スクリーンの支持体１２を、
熱圧着封止９を介して支持フレーム７０に接続する。こ
れによって、適切な位置決め手段、例えば、カムショイ
ントを介してチューブハウジング中のスリーブに、出射
スクリーンを位置決めすることができる。この実施例の
出射スクリーンによって、近接型チューブの一部を構成
しているので、その入射スクリーンと支持体１２とは、
平らであることが望ましい。適切にＸ線が伝達するため
には、基板ができる限り薄いことが望ましい。これら２
つの要件によって、容易に入射スクリーンの平坦性が損
なわれ、幾何学的不安定性が生じる。すでに説明したよ
うに、全周に亘る熱圧着封止９によって、基板をフレー
ム中に固定する場合、最適平坦性及び適切な幾何学的安
定性が保証される。このことを達成するために、基板を
、管状支持フレーム７０のコーナ７３の回りにまで引き
延ばし、支持フレームの円筒周囲領域７５の全体に、熱
圧着封止を形成する。入射スクリーン１０を、このよう
に形成された基板と、支持フレームとの結合体上に設け
、その後、アセンブリを、出射側に開いている管器中に
取り付けることができる。
６、入射スクリーン１０及び出射スクリーン１９を更に
具えている、本発明によるＸ線像増強管の構造を線図的
に示す図である。入射窓とスリーブとの間に、熱圧着封
止３を設け、出射壁部４とスリーブ６との間に、熱圧着
封止７を設ける。後者の熱圧着封止７は、例えば、管の
封止としての役割を果たす。この種の封止は、特に長方
形の管にとって好適である。この場合、アルゴンアーク
溶接のような封止技術では、特に局所的な加熱及び熱に
よる後作用のために、許容できない程の変形が生じてし
まう。例えば、図示されているようにガラス、特に光フ
ァイバの出射窓を具える実施例において必要とされるガ
ラスと金属とのジョイントを作成する場合、同様の問題
が増強されて生じる。中間に適合する金属を使用すると
、比較的低い温度で熱圧着が行われる。また、同時に、
全周に沿って完全な封止を行い、変形が生じることを防
止している。同様に、入射スクリーンの支持体１２を、
熱圧着封止９を介して支持フレーム７０に接続する。こ
れによって、適切な位置決め手段、例えば、カムショイ
ントを介してチューブハウジング中のスリーブに、出射
スクリーンを位置決めすることができる。この実施例の
出射スクリーンによって、近接型チューブの一部を構成
しているので、その入射スクリーンと支持体１２とは、
平らであることが望ましい。適切にＸ線が伝達するため
には、基板ができる限り薄いことが望ましい。これら２
つの要件によって、容易に入射スクリーンの平坦性が損
なわれ、幾何学的不安定性が生じる。すでに説明したよ
うに、全周に亘る熱圧着封止９によって、基板をフレー
ム中に固定する場合、最適平坦性及び適切な幾何学的安
定性が保証される。このことを達成するために、基板を
、管状支持フレーム７０のコーナ７３の回りにまで引き
延ばし、支持フレームの円筒周囲領域７５の全体に、熱
圧着封止を形成する。入射スクリーン１０を、このよう
に形成された基板と、支持フレームとの結合体上に設け
、その後、アセンブリを、出射側に開いている管器中に
取り付けることができる。
【００２０】約３００ ℃の温度で鉛を用い、例えば、
入射窓又は入射スクリーン基板のアルミニウムと、クロ
ムニッケル鋼から成る支持体との間に， 熱圧着封止を
施す。 このような高温は、アルミニウムの強度に逆効果を及ぼ
す。このことは、入射窓にとって不利である。その理由
は、入射窓が特に真空壁としての役割を果たすからであ
る。また、このような高温は、基板にとっても不利であ
る。その理由は、局所的に、幾何学的変化が生じるから
である。アルミニウムを用いての熱圧着は、融解点の低
い中間材料、例えばスズを用いて行われるので、封止を
行う間の温度が低くなる。従って、封止を構成する間、
アルミニウムは、いわゆるセミ・ハードの特性を維持し
ている。スズに対する粘着力が弱いガラス状カーボン又
は、その他の材料の間に、熱圧着封止を行う場合、まず
第１に、コーティング層を、形成される封止の領域に設
ける。このような層を、気相堆積、スパックリング、Ｃ
ＶＤ技術によって形成することができる。最終処理の後
、中間層と、他の構成要素との間に、比較的低温度で更
にスズを用いることによって、強力な真空封止を施すこ
とができる。
入射窓又は入射スクリーン基板のアルミニウムと、クロ
ムニッケル鋼から成る支持体との間に， 熱圧着封止を
施す。 このような高温は、アルミニウムの強度に逆効果を及ぼ
す。このことは、入射窓にとって不利である。その理由
は、入射窓が特に真空壁としての役割を果たすからであ
る。また、このような高温は、基板にとっても不利であ
る。その理由は、局所的に、幾何学的変化が生じるから
である。アルミニウムを用いての熱圧着は、融解点の低
い中間材料、例えばスズを用いて行われるので、封止を
行う間の温度が低くなる。従って、封止を構成する間、
アルミニウムは、いわゆるセミ・ハードの特性を維持し
ている。スズに対する粘着力が弱いガラス状カーボン又
は、その他の材料の間に、熱圧着封止を行う場合、まず
第１に、コーティング層を、形成される封止の領域に設
ける。このような層を、気相堆積、スパックリング、Ｃ
ＶＤ技術によって形成することができる。最終処理の後
、中間層と、他の構成要素との間に、比較的低温度で更
にスズを用いることによって、強力な真空封止を施すこ
とができる。
【００２１】接合する材料を考慮し、出射壁部４とスリ
ーブ６との間の熱圧着封止７を、比較的低温度で施す必
要は必ずしもない。しかしながら、上記このような封止
を行う方法を用いることは、極めて有効である。その理
由は、封止７を形成する間、蒸発の恐れなしに、アンチ
モンを光電陰極の活性に用いることができるからである
。
ーブ６との間の熱圧着封止７を、比較的低温度で施す必
要は必ずしもない。しかしながら、上記このような封止
を行う方法を用いることは、極めて有効である。その理
由は、封止７を形成する間、蒸発の恐れなしに、アンチ
モンを光電陰極の活性に用いることができるからである
。
【図１】内部検出マトリックスを具える、本発明による
近接型管を示す図である。
近接型管を示す図である。
【図２】外部検出マトリックスを具える、本発明による
近接型管を示す図である。
近接型管を示す図である。
【図３】近接型管の出射検出マトリックスを示す図であ
る
る
【図４】検出マトリックスの素子を示す回路図である。
【図５】熱圧着封止を具える本発明による近接型管を示
す図である。
す図である。
２ 入射窓
３ ジョイント
４ 出射壁部
６ 円筒状スリーブ部
７ ジョイント
８ 管器
９ 熱圧着封止
１０ 入射スクリーン
１２ 支持体
１４ 入射蛍光体スクリーン
１６ 光電陰極
１８ 出射蛍光体スクリーン
１９ 蛍光体層
２０ 検出素子 （マトリックス） ２２ パス
２４ 光ファイバ窓
２６ 遮蔽電極
３０ 光ダイオード
３２ 読出回路
３４ ドレインライン
３６ ゲートライン
３８ ゲート電極
３９ 多重ライン
４１ 集積読出ライン
４４ ソース電極
４６ 電源電極
４８ 整流ダイオード素子
５０ コンデンサ
５２ フォトン
５４ 光電子
６０ 読出素子
６１ 増幅器
６２ コンデンサ
６４ 抵抗
６８ 出力端子
７０ 支持フレーム
７３ コーナ
７５ 支持フレームの円筒状領域
Claims (15)
- 【請求項１】 入射窓及び出射壁部を有している排気
すべき管器と、発光層及び光電陰極を有している入射ス
クリーンと、近接型電子増強装置と、前記光電陰極から
発生する電子ビームを検出するための出射スクリーンと
を具えているＸ線像増強管において、前記出射スクリー
ンが集積化された検出素子のマトリックスを具え、光電
子によって伝達される画像信号を電気信号に変換し、こ
の電気信号を、位置依存方法で読み出すことができるよ
う構成していることを特徴とするＸ線像増強管。 - 【請求項２】 検出素子のマトリックスを、管器中に
具えていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線像増
強管。 - 【請求項３】 検出素子のマトリックスに、管壁を通
過し、マトリックスを読み出す役割を果たす結線を設け
ていることを特徴とする請求項２に記載のＸ線像増強管
。 - 【請求項４】 蛍光層を、前記光電陰極と、検出素子
の前記マトリックスとの間に挿入し、且つ、前記検出素
子を光ダイオードで構成することを特徴とする請求項１
に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項５】 光ダイオードの前記マトリックスを、
前記管の光透明出射窓の外面に取り付けることを特徴と
する請求項４に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項６】 前記出射窓が、光ファイバプレートで
構成されていることを特徴とする請求項５に記載のＸ線
像増強管。 - 【請求項７】 検出素子の前記マトリックスが、光ダ
イオードの直交マトリックスを有していることを特徴と
する請求項１〜６のいずれか一項に記載のＸ線像増強管
。 - 【請求項８】 前記光検出器が、ダイオードマトリッ
クスと、読出スイッチング素子のＴＦＴ集積マトリック
スとの結合を具えていることを特徴とする請求項１〜７
のいずれか一項に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項９】 前記管が、長方形の形状であることを
特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のＸ線像
増強管。 - 【請求項１０】 前記管器が、スリーブと、入射プレ
ートとを具え、前記入射プレート及び／又は出射プレー
トを、熱圧着封止によって、前記スリーブに接続するこ
とを特徴とする請求項９に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項１１】 融解点が低い材料、例えばスズを間
に用いて、前記管の熱圧着封止を行うことを特徴とする
請求項１０に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項１２】 非金属の入射窓又は出射窓に、適切
な粘着性金属層を設け、熱圧着封止を行うことを特徴と
する請求項１〜１０のいずれか一項に記載のＸ線像増強
管。 - 【請求項１３】 前記管の封止を行う熱圧着封止を、
出射壁部と、スリーブ部との間に設けることを特徴とす
る請求項１１に記載のＸ線像増強管。 - 【請求項１４】 光電陰極を有する前記入射蛍光層を
、据え付けフレームに取り付けられた平らな基板上に設
けることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に
記載のＸ線像増強管。 - 【請求項１５】 前記基板がアルミニウムから成り、
且つ、該基板を、熱圧着封止による張力で、前記フレー
ムに接続することを特徴とする請求項１４に記載のＸ線
像増強管。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL9000267A NL9000267A (nl) | 1990-02-05 | 1990-02-05 | Proximity roentgenbeeldversterkerbuis. |
| NL9000267 | 1990-02-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215238A true JPH04215238A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=19856532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9135242A Pending JPH04215238A (ja) | 1990-02-05 | 1991-02-05 | 近接型ｘ線像増強管 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5138147A (ja) |
| EP (1) | EP0450670B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04215238A (ja) |
| DE (1) | DE69110940T2 (ja) |
| NL (1) | NL9000267A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0644929A (ja) * | 1992-03-06 | 1994-02-18 | Thomson Tubes Electron | イメージ増倍管 |
| JP2003507870A (ja) * | 1999-07-20 | 2003-02-25 | インテバック・インコーポレイテッド | 電子衝撃能動画素センサー |
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|---|---|---|---|---|
| GB9115259D0 (en) * | 1991-07-15 | 1991-08-28 | Philips Electronic Associated | An image detector |
| DE69213375T2 (de) * | 1991-09-27 | 1997-03-20 | Philips Electronics Nv | Röntgendetektor mit Auslesung des Ladungsmusters |
| US5311044A (en) * | 1992-06-02 | 1994-05-10 | Advanced Photonix, Inc. | Avalanche photomultiplier tube |
| BE1007286A3 (nl) * | 1993-07-13 | 1995-05-09 | Philips Electronics Nv | Röntgenbeeldversterkerbuis. |
| DE4342219C2 (de) * | 1993-12-10 | 1996-02-22 | Siemens Ag | Röntgenbildverstärker |
| JPH11505602A (ja) * | 1995-01-04 | 1999-05-21 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 薄い放射線透過性窓の製造方法 |
| US5567929A (en) * | 1995-02-21 | 1996-10-22 | University Of Connecticut | Flat panel detector and image sensor |
| US7289602B1 (en) * | 1995-06-23 | 2007-10-30 | Science Applications International Corporation | Portable, digital X-ray apparatus for producing, storing, and displaying electronic radioscopic images |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1064073A (en) * | 1963-04-03 | 1967-04-05 | Mullard Ltd | Improvements in or relating to image intensifiers |
| NL168991C (nl) * | 1971-04-16 | 1982-05-17 | Philips Nv | Beeldversterkerbuis met een verminderd doorlaatbare afdeklaag van het elektronenopvangscherm. |
| BE786084A (fr) * | 1971-07-10 | 1973-01-10 | Philips Nv | Ecran luminescent a structure en mosaique |
| US3699375A (en) * | 1971-09-27 | 1972-10-17 | Zenith Radio Corp | Image detector including sensor matrix of field effect elements |
| US4300046A (en) * | 1978-07-12 | 1981-11-10 | Diagnostic Information, Inc. | Panel type X-ray image intensifier tube and radiographic camera system |
| US4447721A (en) * | 1979-08-31 | 1984-05-08 | Diagnostic Information, Inc. | Panel type X-ray image intensifier tube and radiographic camera system |
| US4471378A (en) * | 1979-12-31 | 1984-09-11 | American Sterilizer Company | Light and particle image intensifier |
| DE3026359C2 (de) * | 1980-07-11 | 1982-04-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Röntgendiagnostikeinrichtung mit einem Festkörper-Bildwandler |
| US4599740A (en) * | 1983-01-06 | 1986-07-08 | Cable Arthur P | Radiographic examination system |
| NL8502570A (nl) * | 1985-09-20 | 1987-04-16 | Philips Nv | Roentgenbeeldversterkerbuis met geoeptimaliseerde microstructuur. |
| NL8701222A (nl) * | 1987-05-22 | 1988-12-16 | Philips Nv | Roentgenbeeldversterkerbuis met verbeterd ingangsvenster. |
-
1990
- 1990-02-05 NL NL9000267A patent/NL9000267A/nl not_active Application Discontinuation
-
1991
- 1991-02-01 EP EP91200195A patent/EP0450670B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-02-01 DE DE69110940T patent/DE69110940T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-02-05 JP JP9135242A patent/JPH04215238A/ja active Pending
- 1991-02-05 US US07/650,521 patent/US5138147A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0644929A (ja) * | 1992-03-06 | 1994-02-18 | Thomson Tubes Electron | イメージ増倍管 |
| JP2003507870A (ja) * | 1999-07-20 | 2003-02-25 | インテバック・インコーポレイテッド | 電子衝撃能動画素センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69110940T2 (de) | 1996-03-07 |
| NL9000267A (nl) | 1991-09-02 |
| EP0450670B1 (en) | 1995-07-05 |
| US5138147A (en) | 1992-08-11 |
| DE69110940D1 (de) | 1995-08-10 |
| EP0450670A1 (en) | 1991-10-09 |
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