JP2542471B2 - イメ―ジ管 - Google Patents
イメ―ジ管Info
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- JP2542471B2 JP2542471B2 JP4063833A JP6383392A JP2542471B2 JP 2542471 B2 JP2542471 B2 JP 2542471B2 JP 4063833 A JP4063833 A JP 4063833A JP 6383392 A JP6383392 A JP 6383392A JP 2542471 B2 JP2542471 B2 JP 2542471B2
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- conductive film
- fop
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
- H01J2231/50057—Imaging and conversion tubes characterised by form of output stage
- H01J2231/50063—Optical
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
- H01J2231/501—Imaging and conversion tubes including multiplication stage
- H01J2231/5013—Imaging and conversion tubes including multiplication stage with secondary emission electrodes
- H01J2231/5016—Michrochannel plates [MCP]
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- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイメージ管に関するもの
で、例えばイメージ・インテンシファイヤ管（Ｉ．Ｉ
管）、フレーミング管、ストリーク管として用いられ
る。
で、例えばイメージ・インテンシファイヤ管（Ｉ．Ｉ
管）、フレーミング管、ストリーク管として用いられ
る。
【０００２】
【従来の技術】光電面と螢光面を有する電子管の一種と
して、例えば特開昭５３−６７３４７号のＸ線螢光増倍
管が知られている。この電子管では、螢光面は電気泳動
法で形成され、ガラス板（出力面板）の内面に透明導電
膜、螢光層および金属薄膜を順次に堆積して構成されて
いる。
して、例えば特開昭５３−６７３４７号のＸ線螢光増倍
管が知られている。この電子管では、螢光面は電気泳動
法で形成され、ガラス板（出力面板）の内面に透明導電
膜、螢光層および金属薄膜を順次に堆積して構成されて
いる。
【０００３】ところで、イメージ管の分野においては、
光出力部における光学的カップリングを向上させるため
に、出力面板としてファイバ光学プレート（ＦＯＰ）が
用いられる。この場合には、ＦＯＰの内面に直接に螢光
層が形成され、この上に金属薄膜が堆積される。この金
属薄膜は、螢光層からの生成光が光電面側にフィードバ
ックするのを防止するもので、メタルバック薄膜とも呼
ばれる。
光出力部における光学的カップリングを向上させるため
に、出力面板としてファイバ光学プレート（ＦＯＰ）が
用いられる。この場合には、ＦＯＰの内面に直接に螢光
層が形成され、この上に金属薄膜が堆積される。この金
属薄膜は、螢光層からの生成光が光電面側にフィードバ
ックするのを防止するもので、メタルバック薄膜とも呼
ばれる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなＦＯＰを
用いたイメージ管では、出力面板に固体撮像素子を直接
にマウントしたりする必要から、これをアース電位とす
るために、透明導電膜を出力面板の外面に形成して接地
することが行われる。すると、螢光層側は一般に正の高
電位とされるため、ＦＯＰの両面間には高い電界が印加
される。
用いたイメージ管では、出力面板に固体撮像素子を直接
にマウントしたりする必要から、これをアース電位とす
るために、透明導電膜を出力面板の外面に形成して接地
することが行われる。すると、螢光層側は一般に正の高
電位とされるため、ＦＯＰの両面間には高い電界が印加
される。
【０００５】このような高電界は、螢光層における部分
的な電荷のチャージをリーク電流によって引き起こし、
部分的な「シミ」を生起させる。また、メタルバック薄
膜とＦＯＰの間で放電が生じ、あるいはＦＯＰからの電
子照射により、螢光面に輝点が生じる。したがって、画
質不良を生じやすかった。
的な電荷のチャージをリーク電流によって引き起こし、
部分的な「シミ」を生起させる。また、メタルバック薄
膜とＦＯＰの間で放電が生じ、あるいはＦＯＰからの電
子照射により、螢光面に輝点が生じる。したがって、画
質不良を生じやすかった。
【０００６】ここで、ＦＯＰを、特開昭５４- １１１７
５４号公報に開示されたように２枚にすることで、耐圧
対策としては有効ではあるが、このようなＦＯＰは一般
に高価であり、また高耐圧のＦＯＰを選別して使用する
ことは、結果的にイメージ管の高コスト化を招く。ま
た、高耐圧のＦＯＰを使用しても、ＦＯＰを薄くすれば
上記の欠点は生じやすくなり、印加電圧を高くしたとき
も生じやすくなる。本発明は、以上のような課題を解決
するためになされたもので、特に、薄型で高性能なイメ
ージ管を低コストで提供することをその目的としてい
る。
５４号公報に開示されたように２枚にすることで、耐圧
対策としては有効ではあるが、このようなＦＯＰは一般
に高価であり、また高耐圧のＦＯＰを選別して使用する
ことは、結果的にイメージ管の高コスト化を招く。ま
た、高耐圧のＦＯＰを使用しても、ＦＯＰを薄くすれば
上記の欠点は生じやすくなり、印加電圧を高くしたとき
も生じやすくなる。本発明は、以上のような課題を解決
するためになされたもので、特に、薄型で高性能なイメ
ージ管を低コストで提供することをその目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のイメージ管は、
このような問題点を解決したものであって、真空容器
と、この真空容器を構成する受光面板の内面に形成され
た光電面と、真空容器に取り付けられて内部を密封する
出力面板としてのファイバ光学プレートとを備えたイメ
ージ管において、ファイバ光学プレートの内面に形成さ
れた第１の透明導電膜と、ファイバ光学プレートの外面
に形成された第２の透明導電膜と、第１の透明導電膜上
に設けられた螢光層と、第１の透明導電膜に電気的に接
続されると共に螢光層上に形成された導電性反射膜とを
備えたことを特徴とする。
このような問題点を解決したものであって、真空容器
と、この真空容器を構成する受光面板の内面に形成され
た光電面と、真空容器に取り付けられて内部を密封する
出力面板としてのファイバ光学プレートとを備えたイメ
ージ管において、ファイバ光学プレートの内面に形成さ
れた第１の透明導電膜と、ファイバ光学プレートの外面
に形成された第２の透明導電膜と、第１の透明導電膜上
に設けられた螢光層と、第１の透明導電膜に電気的に接
続されると共に螢光層上に形成された導電性反射膜とを
備えたことを特徴とする。
【０００８】ここで、第１の透明導電膜と導電性反射膜
が電気的に接続されると共に正の高電圧が印加され、第
２の透明導電膜は接地されるようにすることが望まし
く、真空容器の内部には、光電面からの放出光電子を増
倍して螢光層に入射する電子増倍部を更に備えてもよ
い。
が電気的に接続されると共に正の高電圧が印加され、第
２の透明導電膜は接地されるようにすることが望まし
く、真空容器の内部には、光電面からの放出光電子を増
倍して螢光層に入射する電子増倍部を更に備えてもよ
い。
【０００９】
【作用】本発明のイメージ管では、出力面板を一枚のＦ
ＯＰ（ファイバ光学プレート）で構成すると共に、この
ＦＯＰを第１の透明導電膜と第２の透明導電膜とで挟み
込んでいる。そして、第１の透明導電膜上に螢光層を直
付けし、第１の透明導電膜に導電性反射膜を接続させる
ことにより、第１の透明導電膜と螢光層と導電性反射膜
とを同電位にすることができる。更に、透明導電膜間に
電圧をかけた場合、ＦＯＰの製造過程で発生する部分的
な抵抗ムラに起因して、ＦＯＰ内部に部分的なリーク電
流が発生しても、螢光層に部分的な電荷のチャージを発
生させることがない。従って、イメージ管に電圧を印加
してイメージングを開始した直後においても、輝点やシ
ミを発生させることはなく、画質の向上（特に撮影開始
直後から数秒ないし数十秒の間の画質の向上）をなし得
る。
ＯＰ（ファイバ光学プレート）で構成すると共に、この
ＦＯＰを第１の透明導電膜と第２の透明導電膜とで挟み
込んでいる。そして、第１の透明導電膜上に螢光層を直
付けし、第１の透明導電膜に導電性反射膜を接続させる
ことにより、第１の透明導電膜と螢光層と導電性反射膜
とを同電位にすることができる。更に、透明導電膜間に
電圧をかけた場合、ＦＯＰの製造過程で発生する部分的
な抵抗ムラに起因して、ＦＯＰ内部に部分的なリーク電
流が発生しても、螢光層に部分的な電荷のチャージを発
生させることがない。従って、イメージ管に電圧を印加
してイメージングを開始した直後においても、輝点やシ
ミを発生させることはなく、画質の向上（特に撮影開始
直後から数秒ないし数十秒の間の画質の向上）をなし得
る。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面により、本発明の実施例を説
明する。なお、同一符号を同一要素に付することとし
て、重複した説明は省略する。
明する。なお、同一符号を同一要素に付することとし
て、重複した説明は省略する。
【００１１】図１は第１実施例に係る近接型イメージ管
の断面図であり、同図（ａ）は全体構成、同図（ｂ）は
要部構成を示している。同図（ａ）に示す通り、真空容
器は円筒容器１の一方の開口に出力面板としてのガラス
製の受光面板２を取り付けることで構成され、他方の開
口にはＦＯＰ３が保持具４によって取り付けられてい
る。また、受光面板２の内面にはアルカリ金属などの光
電面５が形成され、ＦＯＰ３の内面には螢光面６が形成
されている。
の断面図であり、同図（ａ）は全体構成、同図（ｂ）は
要部構成を示している。同図（ａ）に示す通り、真空容
器は円筒容器１の一方の開口に出力面板としてのガラス
製の受光面板２を取り付けることで構成され、他方の開
口にはＦＯＰ３が保持具４によって取り付けられてい
る。また、受光面板２の内面にはアルカリ金属などの光
電面５が形成され、ＦＯＰ３の内面には螢光面６が形成
されている。
【００１２】螢光面６は３層で構成される。すなわち、
ＦＯＰ３上には第１の透明導電膜６１がＩＴＯなどで形
成され、その上には絶縁性の高い螢光層６２が堆積さ
れ、さらに螢光層６２上には、Ａｌなどからなる導電性
反射膜（メタルバック電極）６３が第１の透明導電膜６
１と電気的に接続するように被着されている。そして、
ＦＯＰ３の外面にはＩＴＯなどで第２の透明導電膜７が
形成されている。
ＦＯＰ３上には第１の透明導電膜６１がＩＴＯなどで形
成され、その上には絶縁性の高い螢光層６２が堆積さ
れ、さらに螢光層６２上には、Ａｌなどからなる導電性
反射膜（メタルバック電極）６３が第１の透明導電膜６
１と電気的に接続するように被着されている。そして、
ＦＯＰ３の外面にはＩＴＯなどで第２の透明導電膜７が
形成されている。
【００１３】上記構成において、螢光面６は光電面５に
比べて正の高電位とされている。このため、入射光（ｈ
ν）によって光電面５で光電子が生成されると、螢光面
６に入射されて発光する。ここで、ＦＯＰ３の外面に設
けられた第２の透明導電膜７は、アースされるためＦＯ
Ｐ３には高電界が生じ、したがってリーク電流が生じ得
るが、これらは第１の透明導電膜６１を介して外部に放
出されるので、放電が生じたり、螢光層６２に部分的に
チャージアップを生じたりすることはない。
比べて正の高電位とされている。このため、入射光（ｈ
ν）によって光電面５で光電子が生成されると、螢光面
６に入射されて発光する。ここで、ＦＯＰ３の外面に設
けられた第２の透明導電膜７は、アースされるためＦＯ
Ｐ３には高電界が生じ、したがってリーク電流が生じ得
るが、これらは第１の透明導電膜６１を介して外部に放
出されるので、放電が生じたり、螢光層６２に部分的に
チャージアップを生じたりすることはない。
【００１４】このため、イメージ管に電圧を印加した
後、イメージングを開始した直後においても、輝点や
「シミ」などを生じることはない。このため、画質の向
上（特に撮像開始の直後から数秒ないし数十秒の間の画
質の向上）をなし得る。
後、イメージングを開始した直後においても、輝点や
「シミ」などを生じることはない。このため、画質の向
上（特に撮像開始の直後から数秒ないし数十秒の間の画
質の向上）をなし得る。
【００１５】なお、上記の構成において、第１の透明導
電膜６１はＩＴＯに限られるものではないが、画質の低
下を生じない程度の膜厚（例えばＩＴＯでは、１０００
〜数１０００オングストローム程度）であることが望ま
しい。
電膜６１はＩＴＯに限られるものではないが、画質の低
下を生じない程度の膜厚（例えばＩＴＯでは、１０００
〜数１０００オングストローム程度）であることが望ま
しい。
【００１６】図２は第２実施例に係る増倍型のＩ．Ｉ管
の全体構成を示し、出力部については図１（ｂ）と同様
になっている。この実施例では、受光面板２はガラスバ
ルブの一部として構成され、光電面５と螢光面６の間に
は、電子像を結像するための電子レンズ８と、電子像を
増強するための電子増倍部としてのマイクロチャンネル
プレート（ＭＣＰ）９とが設けられている。
の全体構成を示し、出力部については図１（ｂ）と同様
になっている。この実施例では、受光面板２はガラスバ
ルブの一部として構成され、光電面５と螢光面６の間に
は、電子像を結像するための電子レンズ８と、電子像を
増強するための電子増倍部としてのマイクロチャンネル
プレート（ＭＣＰ）９とが設けられている。
【００１７】この実施例の場合には、螢光面６の第２の
透明導電膜７の電位差が一般により大きくなるので、本
発明を採用する効果は大きい。
透明導電膜７の電位差が一般により大きくなるので、本
発明を採用する効果は大きい。
【００１８】
【発明の効果】以上の通り、本発明のイメージ管では、
ＦＯＰ（ファイバ光学プレート）の内面には、第１の透
明導電膜が形成され、この上に螢光層および導電性反射
膜が形成されるので、これらは同一の正の高電位とされ
得る。したがって、ＦＯＰの外面に第２の透明導電膜を
形成し、これを接地したときに、ＦＯＰ内部で部分的に
リーク電流が生じても、螢光層に部分的な電荷のチャー
ジを生じることはない。このため、高耐圧用のＦＯＰを
選別して利用することが不要となるので、高性能のイメ
ージ管を低コストで供給することが可能になる。また、
ＦＯＰを薄くすることも可能になる。
ＦＯＰ（ファイバ光学プレート）の内面には、第１の透
明導電膜が形成され、この上に螢光層および導電性反射
膜が形成されるので、これらは同一の正の高電位とされ
得る。したがって、ＦＯＰの外面に第２の透明導電膜を
形成し、これを接地したときに、ＦＯＰ内部で部分的に
リーク電流が生じても、螢光層に部分的な電荷のチャー
ジを生じることはない。このため、高耐圧用のＦＯＰを
選別して利用することが不要となるので、高性能のイメ
ージ管を低コストで供給することが可能になる。また、
ＦＯＰを薄くすることも可能になる。
【図１】第１実施例に係る近接型イメージ管の全体構成
および要部構成を示す断面図。
および要部構成を示す断面図。
【図２】第２実施例に係る増倍型イメージ管の全体構成
図。
図。
１…円筒容器、２…受光面板、３…ＦＯＰ、４…保持
具、５…光電面、６…螢光面、６１…第１の透明導電
膜、６２…螢光層、６３…メタルバック電極、７…第２
の透明導電膜、８…電子レンズ、９…マイクロチャンネ
ルプレート。
具、５…光電面、６…螢光面、６１…第１の透明導電
膜、６２…螢光層、６３…メタルバック電極、７…第２
の透明導電膜、８…電子レンズ、９…マイクロチャンネ
ルプレート。
Claims (3)
- 【請求項１】 真空容器と、この真空容器を構成する受
光面板の内面に形成された光電面と、前記真空容器に取
り付けられて内部を密封する出力面板としてのファイバ
光学プレートとを備えたイメージ管において、 前記ファイバ光学プレートの内面に形成された第１の透
明導電膜と、前記ファイバ光学プレートの外面に形成さ
れた第２の透明導電膜と、前記第１の透明導電膜上に設
けられた螢光層と、前記第１の透明導電膜に電気的に接
続されると共に前記螢光層上に形成された導電性反射膜
とを備えたことを特徴とするイメージ管。 - 【請求項２】 前記第１の透明導電膜と前記導電性反射
膜が電気的に接続されると共に正の高電圧が印加され、 前記第２の透明導電膜は接地されている請求項１記載の
イメージ管。 - 【請求項３】 前記真空容器の内部には、前記光電面か
らの放出光電子を増倍して前記螢光層に入射する電子増
倍部を更に備える請求項１記載のイメージ管。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4063833A JP2542471B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | イメ―ジ管 |
| DE69300883T DE69300883T2 (de) | 1992-03-19 | 1993-03-17 | Bildröhre. |
| EP93302006A EP0561621B1 (en) | 1992-03-19 | 1993-03-17 | Imaging tube |
| US08/033,345 US5493174A (en) | 1992-03-19 | 1993-03-18 | Imaging tube having improved fluorescent surface structure on fiber optic plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4063833A JP2542471B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | イメ―ジ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05266820A JPH05266820A (ja) | 1993-10-15 |
| JP2542471B2 true JP2542471B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=13240751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4063833A Expired - Lifetime JP2542471B2 (ja) | 1992-03-19 | 1992-03-19 | イメ―ジ管 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5493174A (ja) |
| EP (1) | EP0561621B1 (ja) |
| JP (1) | JP2542471B2 (ja) |
| DE (1) | DE69300883T2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5801380A (en) | 1996-02-09 | 1998-09-01 | California Institute Of Technology | Array detectors for simultaneous measurement of ions in mass spectrometry |
| JP3598184B2 (ja) * | 1996-11-07 | 2004-12-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 透過型２次電子面及び電子管 |
| JP4975400B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2012-07-11 | 浜松ホトニクス株式会社 | 撮像管 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3772562A (en) * | 1968-07-12 | 1973-11-13 | Bendix Corp | Phosphor screen assembly |
| US3567947A (en) * | 1969-03-26 | 1971-03-02 | Machlett Lab Inc | Imaging screen assembly for image intensifier tube |
| US3760216A (en) * | 1972-01-25 | 1973-09-18 | Us Army | Anodic film for electron multiplication |
| US3835314A (en) * | 1973-03-05 | 1974-09-10 | Machlett Lab Inc | Intensifier radiographic imaging system |
| JPS5099674A (ja) * | 1973-12-29 | 1975-08-07 | ||
| NL7508792A (en) * | 1975-07-23 | 1977-01-25 | Optische Ind De Oude Delft Nv | Image intensifier of proximity focus type with stabilised layer - has cathode and anode apertures linked by airtight wall with seal |
| JPS54111754A (en) * | 1978-02-22 | 1979-09-01 | Toshiba Corp | Multiplier tube for x-ray fluorescent light |
| DE3804516A1 (de) * | 1988-02-13 | 1989-08-24 | Proxitronic Funk Gmbh & Co Kg | Bildverstaerker |
| US5023511A (en) * | 1988-10-27 | 1991-06-11 | Itt Corporation | Optical element output for an image intensifier device |
-
1992
- 1992-03-19 JP JP4063833A patent/JP2542471B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-03-17 DE DE69300883T patent/DE69300883T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-17 EP EP93302006A patent/EP0561621B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-03-18 US US08/033,345 patent/US5493174A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05266820A (ja) | 1993-10-15 |
| DE69300883D1 (de) | 1996-01-11 |
| EP0561621A1 (en) | 1993-09-22 |
| US5493174A (en) | 1996-02-20 |
| DE69300883T2 (de) | 1996-04-18 |
| EP0561621B1 (en) | 1995-11-29 |
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