JPH04211113A - 電子ビーム露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［０００１］

【産業上の利用分野】本発明は電子ビーム露光装置に係
り、特に露光パターンのデータ転送制御部を改良した電
子ビーム露光装置に関する。 ［０００２］電子ビーム露光装置はサブミクロンの線幅
のパターンを有する高速かつ高集積密度の半導体集積回
路（Ｉ　Ｃ）のパターンの転写を目的とする装置である
。 電子ビーム露光装置は精度よく集束された電子ビームに
より半導体ウェハ上に０．３μｍ以下の線幅のパターン
の転写が可能である。 ［０００３］

【従来の技術】電子ビーム露光装置は電子ビームにより
パターンが１回で転写される（いわゆる−筆書き）原理
上の制約から一般的にスループットが低いという問題点
を有する。 ［０００４］　この点を解決するために電子ビーム露光
装置の特に電子光学機構について様々な改良が加えられ
ている。 ［０００５］図１２は特願昭６３−２７５３３６で出願
された電子ビーム露光装置の光学機構部１００を示す。 ［０００６］同図中、電子銃１０で発生した電子ビーム
Ｂは電子ビーム制御装置１１により制御されて開口部１
２を通過し整形される。この電子ビームは４つの電子レ
ンズ１４，１６．２０及び２２（電子レンズ部）を通過
し、対物レンズ系２４（集束手段）により移動可能なス
テージ２８上に保持されたウェハ２６（対象物）上に集
束される。この対物レンズ系は電磁偏向式主偏向器２４
ａと静電偏向式副偏向器２４ｂとより構成されている。 これらの偏向器により電子ビームＢをウェハ２６の表面
の指定された位置に集束させることができる。スループ
ットの向上を目的として、電子ビーム露光装置は電子レ
ンズ１６の内部にマスク３４を具備している。このマス
ク３４は図１３に示す如く所定形状の開口部（アパーチ
ャ）３４Ａを例えば縦横に形成してなり、これを通過す
る電子ビームの断面形状を整形する。 ［０００７］電子ビームにより特定のアパーチャを順次
アドレスすることにより、種々の断面形状を有する電子
ビームがウェハ上に露光される。この様に様々なパター
ンを順次転写することによりウェハ２６上に複雑な半導
体のパターンが転写される。図１３はマスク３４上の静
電偏向器（サブデフレクタと称す）３０及び電磁偏向器
３２の（メインデフレクタと称す）の偏向による電子ビ
ームの走査領域の模式図を示す。ここで３ＯＡはサブデ
フレクタ３０の偏向による電子ビームが走査される領域
（サブデフ領域と称す）を示し、３２Ａはメインデフレ
クタ３２の偏向により電子ビームが走査される領域（メ
インデフ領域と称す）を示す。領域３２Ａは例えば最大
５ｍｍＸ５ｍｍの大きさであり、電子ビームは最小１μ
ｍの幅で偏向される。又、領域３０Ａは例えば最大５０
μｍ×５０μｍの大きさであり、電子ビームは最小０．
００５μｍの幅で偏向される。 ［０００８］マスク３４上のアパーチャ３４Ａを指定す
るために、電子ビームＢの光軸の付近にサブデフレクタ
３０とメインデフレクタ３２が配置される。サブデフレ
クタ（静電偏向器）３０は静電偏向器の一般的特性とし
て非常に速い応答を有するが偏向角度を大きくとれない
ためマスク３４上の比較的狭い限られた範囲内の電子ビ
ームの偏向に使用される。又、メインデフレクタ（電磁
偏向器）３２は電磁偏向器の一般的特性として大きな偏
向角度をとれるが応答が遅いため、マスク３４上の広い
領域のアパーチャ群指定に使用される。サブデフレクタ
３０による偏向とメインデフレクタ３２による偏向によ
り個々のアパーチャの指定がなされる。尚、転写の際、
ステージ２９は、図１２の矢印で示す如く光軸と垂直な
平面上を移動し、前記の対物レンズ系２４との組み合わ
せによりウェハ２６上の電子ビームが露光される位置を
指定する。 ［０００９１図１４は従来例のサブデフレクタ３０とメ
インデフレクタ３２の制御システムの構成図を示す。 ［００１０１同図中、ＣＰＵｌ０１は磁気テープ装置１
０２に格納されたプログラムに従い動作する。ＣＰＵｌ
０１は、ウェハ２６上に転写しようとする半導体のパタ
ーンの露光データを磁気テープ装置１０２から読み出し
、バス１０３を介しデータ管理部１０４上にこの露光デ
ータを転送する。データ管理部１０４は磁気テープ１０
２から読み出した露光データからメインデフレクタ３２
を駆動させるための制御データ及びサブデフレクタ３０
を駆動させるための制御データを読み出す。メインデフ
レクタ３２の制御データはライン１１　を介しメインデ
フメモリ１０６に転送され、サブデフレクタ３０の制御
データはデータ管理部１０４からライン１２　を介しバ
ンドメモリ１０５へ転送され、バンドメモリ１０５から
ライン１３　を介しサブデフメモリ１０７に転送される
。バンドメモリ１０５は露光データからステージ２８の
移動速度のデータを取り込むために使用される。 ［００１１］次に、ＰＧ−ＰＣ部１０９にメインデフメ
モリ１０６及びサブデフメモリ１０７の制御データが与
えられ、このＰＧ−ＰＧ部でメインデフレクタとサブデ
フレクタのデジタル偏向制御信号が形成される。このメ
インデフレクタ３２及びサブデフレクタ３０のデジタル
偏向制御信号はＤ／Ａ変換器１１０及び１１１の夫々に
よりアナログ信号に変換され、アンプ１１２，１１３に
より夫々増幅され、各デフレクタ３０．３２に与えられ
る。更に露光処理の制御のためにデータ管理部１０４と
ＰＧ−ＰＣ部１０９を制御するシーケンス部１０８が設
けられている。露光データ処理の中で、シーケンス部１
０８はデータ管理部１０４とＰＧ−ＰＣ部１０９に指示
を出すことにより、データ管理部１０４がライン１１　
を介しメインデフメモリ１０６に格納された偏向データ
を読み出し、ＰＧ−ＰＣ部１０９にこの偏向データを転
送する。ＰＧ−ＰＣ部１０９は更にメインデフメモリ１
０６から読み出した制御データの内容に応じサブデフメ
モリ１０７に格納された偏向制御データを読み出す。 ［００１２］　ＰＧ−ＰＣ部１０９はメモリ１０６，１
０７から読み出した制御データに対応するデジタル偏向
制御信号をＤ／Ａ変換器１１０及び１１１に出力する。 Ｄ／Ａ変換器１１０及び１１１でアナログ信号に変換さ
れたアナログ偏向制御信号はアンプ１１２，１１３によ
り夫々増幅され夫々メインデフレクタ３２及びサブデフ
レクタ３０に与えられる。これにより電子ビームが偏向
され、マスク３４上のアパーチャの指定がなされる。 ［００１３］図１５は従来例のメインデフメモリ１０６
に格納された偏向制御データの内容及びサブデフメモリ
１０７の内容を示すデータ表である。 ［００１４］同図中、メモリ１０６には、例えばアドレ
ス（０）にはビーム偏向データＸ及びＹ座標（０゜０）
　、ＡＤＲ（０）及びｏｐｃ数（３）というデータが格
納されている。メインデフメモリ１０６から上記のデー
タを読み取った後、ＰＧ−ＰＣ部１０９はサブデフメモ
リ１０７のアドレス（０）（前記ＡＤＲ（０）に対応す
る）を指定し、このアドレス（０）に続＜（３）個（前
記ｏｐｃ数（３）に対応する）のアドレスの内容を読み
取る。 ［００１５］サブデフメモリ１０７の各アドレスにはサ
ブデフレクタ３０により偏向され投射方向が設定される
電子ビームの最初の座標データＸｏ　＋　Ｙｏ　、及び
サブデフレクタ３０の偏向により走査される電子ビーム
の領域幅Ｘ＋　、　Ｙｌが格納されている。図１６は上
記のデータ（Ｘｏ　、　Ｙｏ　）とデータ（Ｘ＋　、　
Ｙｌ　）との平面上の位置関係を示す。このデータ（ｘ
ｏ　、　Ｙｏ　）は一般的に前述したメインデフレクタ
３２により指定される電子ビームの偏向データ（Ｘ、　
Ｙ）　　（メモリ１０６のＸ、　Ｙに該当するデータ）
と同一である。各座標データＸｏ。 Ｙｏ　、　Ｘ＋及びＹｌによりマスク３４上を通過する
電子ビームの通過位置が指定され、この座標データに対
応するマスク３４上のアパーチャのパターンにより電子
ビームの断面形状が設定される。すなわち前述の図１４
のメインデフメモリの最初のアドレスに対し、サブデフ
メモリ１０７のアドレス０に続く３つのアドレスに格納
された座標データに応じたマスク３４上のアパーチャの
パターンが指定される。次にＰＧ−ＰＧ部がメインデフ
メモリの第２のデータＸ、Ｙ　（１００，１００）を読
み取ったときも同様にサブデフメモリ１０７のアドレス
３（メインデフメモリのＡＤＲ（３）に対応する）に続
く３個（ｏｐｃ数（３）に対応する）のパターンが指定
される。 ［００１６］

【発明が解決しようとする課題】しかるに上記の従来の
電子ビーム露光装置では全ての露光データがデータ管理
部１０４から転送され、前記メイン及びサブデフメモリ
１０６．１０７に格納された後でないと上記メモリ１０
６．１０７から偏向制御データを読み取り露光パターン
の指定をすることができないという問題点がある。これ
は偏向制御データをデータ管理部１０４からメインデフ
メモリ１０６に転送し、格納する際に使用されるライン
１１　がＰＧ−ＰＣ部１０９が偏向制御データの読み取
る際にも使用されるためである。すなわちライン１１が
データのメモリへの格納に使用されている間はメモリの
内容の読み取りができない。 ［００１７１更に、メモリ１０６に書き込まれたデータ
とメモリ１０７に書き込まれたデータとの処理プログラ
ム上の論理的関係上、メモリ１０６からの偏光制御デー
タの読み取りが完了しない内はメモリ１０７の内容の読
み取りが開始できない。又、ＰＧ−ＰＣ部１０９による
メイン及びサブデフレクタ３２．３０の偏向制御データ
の形成が完了しないと電子ビームＢによりウェハ２６へ
の露光が開始できない。すなわち、光学機構１００は磁
気テープ１０２からメモリ１０６，１０７への露光デー
タの転送及びＰＧ−ＰＧ部による偏向制御部データの形
成が全て終了する迄待機する必要がある。上記のデータ
処理工程は各ウェハに対して例えば数１０分を要する。 したがって図１４に示す従来のシステムは電子ビーム露
光装置の有するいわゆる「−筆書き」の露光方式に起因
する低スループットに加え、更に前記のデータ処理工程
に起因する低スループットの問題を有する。 ［００１８］更に上記の低スループットの問題に加え、
図１４のシステムはライン１１，１２．１３等の様々な
ラインによる複雑なデータ転送経路による問題を有する
。すなわちデータ転送時に生ずる予期せぬ信号の漏話、
反射等の問題である。この問題はシステムの動作速度を
速めるためにデータ転送の効率を高める上で特に解決す
る必要のある重要な問題である。 ［００１９］本発明は上記の点に鑑みなされたものであ
り、上記の問題点を解決し、高速な露光処理性能を有す
る電子ビーム露光装置を実現することを目的とする。 ［００２０１

【課題を解決するための手段］電子ビームにより対象物
に所定のパターンを描く電子ビーム露光装置であって、
前記電子ビームを発生する電子ビーム発生部と、第１の
偏向制御信号が与えられ第１の偏向制御信号により電子
ビームの方向を第１の領域に偏向する第１の偏向手段と
、第２の偏向制御信号が与えられ第２の偏向制御信号に
より電子ビームを第２の領域に偏向する第２の偏向手段
とよりなり、上記第２の領域が上記第１の領域より小さ
い構成としてなる偏向手段と、前記電子ビームを前記対
象物上へ集束する集束手段と、前記偏向手段に、前記第
１及び第２の偏向制御信号を与え、偏向手段を制御する
制御手段であり、前記対象物上に描こうとするパターン
をパターンデータとして格納するパターンメモリと、前
記パターンメモリから前記パターンデータを受け、パタ
ーンデータから第１のアドレスデータを取り出すデータ
制御手段と、内部のアドレスに該当する前記第１のアド
レスデータと、第２のアドレスデータと、第１の偏向制
御データとを格納し、第１のアドレスデータの指定によ
り第１の偏向制御データと第２のアドレスデータとを出
力する第１の偏向データメモリと、各アドレスに第２の
偏向制御データ（Ｘｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘ＋　、　Ｙｌ
　）を格納し、前記第１の偏向データメモリから読み出
された前記第２のアドレスデータの指定により前記第２
の偏向制御データを出力する第２の偏向データメモリと
、前記第１の偏向制御データを与えられ、第１の偏向制
御データに応じた第１の偏向制御信号を発生し、更に前
記第２の偏向制御データを与えられ、第２の偏向制御デ
ータに応じた第２の偏向制御信号を発生する偏向制御信
号発生手段と、前記データ制御手段と前記第１の偏向デ
ータメモリとを接続し、データ制御手段から第１の偏向
データメモリへ前記第１のアドレスデータを転送し、更
に第１の偏向データメモリと、前記第２の偏向データメ
モリと、偏向制御信号発生手段とを接続し、第１の偏向
データメモリから読み出された前記第１の偏向制御デー
タを偏向制御信号発生手段へ転送し、第１の偏向データ
メモリから第２の偏向データメモリへ第２のアドレスデ
ータを転送し、更に第２の偏向データメモリから読み出
された前記第２の偏向制御データを偏向制御信号発生手
段へ転送するデータバス手段とを具備してなる制御手段
とを具備してなり、前記データ制御手段が前記データバ
ス手段へ前記第１のアドレスを発信する第１のデータ発
信部を具備し、前記第１の偏向データメモリが前記デー
タバス手段から前記第１のアドレスデータを受信する第
１のデータ受信部と、データバス手段へ前記第２のアド
レスデータを発信する第２のデータ発信部と、データバ
ス手段へ前記第１の偏向制御データを発信する第３のデ
ータ発信部とを具備し、前記第２の偏向データメモリが
、前記データバス手段から前記第２のアドレスデータを
受信する第２のデータ受信部と、データバス手段へ前記
第２の偏向制御データを発信する第４のデータ発信部と
を具備し、前記偏向制御信号発生手段が前記第１の偏向
制御データを前記データバス手段から受信する第３のデ
ータ受信部と、データバス手段から前記第２の偏向制御
データを受信する第４のデータ受信部とを具備した。 【００２１】更に、前記第２の偏向データメモリ内のア
ドレスであり、第２の偏向データメモリから読み出そう
とする最初のデータのアドレスである初期アドレスと、
初期アドレスに続き読み出されるデータのデータ数とを
前記第２のアドレスデータが具備した。 ［００２２］更に前記初期アドレスと初期アドレスに続
き読み出されるデータのデータ数とを前記第１のアドレ
スデータから取り出すデータ処理部を前記第２の偏光デ
ータメモリが具備した。 ［００２３］更に前記制御手段に具備された前記各デー
タ発信部が、互いに実質的に同一の構成としてなり、且
つデータ発信部が、前記データバス手段の使用を要求す
るバス要求信号をデータバス手段に発信するバス要求部
と、前記データバス手段に発信されたデータの転送先を
識別するための装置識別信号を発信する識別信号発信部
と、発信しようとするデータを与えられ、データを前記
データバス手段に発信するデータ入出力部と、前記バス
要求部と、前記識別信号発信部と、前記データ入出力部
を制御する制御部とを具備した。 ［００２４１更に前記制御手段に具備された前記各デー
タ受信部が互いに実質的に同一の構成としてなり、且つ
、データ受信部が、前記データバス手段から前記装置識
別信号を受信し、具備された装置が装置識別信号に該当
する装置であるか否かを識別する識別部と、前記データ
バスからバス要求信号を受信し、具備された装置が前記
装置識別信号に該当する装置であることが前記識別部で
確認されたことに応じ、確認信号を発信する確認部と、
前記データバス手段からデータを受信し、具備された装
置にデータを与えるデータ入出力部と、前記識別部と、
確認部とデータ入出力部とを制御する制御部とを具備し
た。 ［００２５１更に前記データ発信部が前記データバス手
段にデータを発信する時期及びデータの転送先の装置に
具備された前記データ受信器がデータバス手段からデー
タを受信するタイミングを与えるクロックパルスを発生
するクロックパルス発生部を具備し、前記クロックパル
スに対する前記データの発信及び受信のタイミングを各
装置毎に設定することにより該データの誤りの無い受信
を行なう構成とした。更に前記データ入出力部が前記デ
ータバス手段からデータを受信する時期を、前記クロツ
クパルスに対する遅延時間の調整により調整する遅延時
間調整部を前記データ受信部が具備した。 ［００２６］更に前記データバス手段が、各装置に具備
された前記データ発信部と前記データ受信部とを接続し
、データ転送元の装置に具備されたデータ発信器からデ
ータ転送先の装置に具備されたデータ受信部へデータを
伝送するデータバス部と、各装置に具備された前記デー
タ発信部と前記データ受信部とを接続し、前記データ転
送元の装置に具備された該データ発信部から発信するバ
ス要求信号を伝送し、且つ、前記転送先の装置に具備さ
れたデータ受信部が発信する確認信号を伝送する確認バ
ス部と、各装置に具備された前記データ発信部と前記デ
ータ受信部とを接続し、前記装置識別信号を伝送する識
別バス部と、各装置に具備された前記データ発信部と前
記データ受信部とを接続し、前記クロックパルスを伝送
するクロックパルスバス部とを具備した。 ［００２７］更に前記データバス手段が前記データ制御
手段と前記第１の偏向データメモリとを接続する第１の
データバスと、前記第１の偏向データメモリと前記第２
の偏向データメモリと前記パターン発生手段とを接続す
る第２のデータバスとを具備した。 ［００２８］あるいは電子ビームにより対象物に所定の
パターンを描く電子ビーム露光装置であって、前記対象
物を配置するステージと、前記電子ビームを発生する電
子ビーム発生部と、前記電子ビームを前記対象物上へ集
束させる電子レンズ部と、前記電子ビーム発生部と前記
対象物との間に配置され、電子ビームが通過することに
より電子ビームの断面形状を整形する複数の開口部を有
するビーム整形手段と、第１の偏向制御信号が与えられ
第１の偏向制御信号により電子ビームの方向を前記ビー
ム整形手段の第１の領域に偏向する第１の偏向手段と、
第２の偏向制御信号が与えられ第２の偏向制御信号によ
り電子ビームをビーム整形手段の第２の領域に偏向する
第２の偏向手段とよりなり、上記第２の領域が上記第１
の領域より小さい構成としてなる偏向手段と、前記偏向
手段により偏向された電子ビームを前記対象物上へ集束
する集束手段と、前記偏向手段に、前記第１及び第２の
偏向制御信号を与え、偏向手段を制御する制御手段であ
り、前記対象物上に描こうとするパターンをパターンデ
ータとして格納するパターンメモリと、前記パターンメ
モリから前記パターンデータを受け、パターンデータか
ら第１のアドレスデータを取り出すデータ制御手段と、
内部のアドレスに該当する前記第１のアドレスデータと
、第２のアドレスデータと、第１の偏向制御データとを
格納し、第１のアドレスデータの指定により第１の偏向
制御データと第２のアドレスデータとを出力する第１の
偏向データメモリと、各アドレスに第２の偏向制御デー
タを格納し、前記第１の偏向データメモリから読み出さ
れた前記第２のアドレスデータの指定により前記第２の
偏向制御データを出力する第２の偏向データメモリと、
前記第１の偏向制御データを与えられ、該第１の偏向制
御データに応じた第１の偏向制御信号を発生し、更に前
記第２の偏向制御データを与えられ、第２の偏向制御デ
ータに応じた第２の偏向制御信号を発生する偏向制御信
号発生手段と、前記データ制御手段と前記第１の偏向デ
ータメモリとを接続し、データ制御手段から第１の偏向
データメモリへ前記第１のアドレスデータを転送し、更
に第１の偏向データメモリと、前記第２の偏向データメ
モリと、偏向制御信号発生手段とを接続し、第１の偏向
データメモリから読み出された前記第１の偏向制御デー
タを偏向制御信号発生手段へ転送し、第１の偏向データ
メモリから第２の偏向データメモリへ第２のアドレスデ
ータを転送し、更に第２の偏向データメモリから読み出
された前記第２の偏向制御データを偏向制御信号発生手
段へ転送するデータバス手段を具備してなる制御手段と
を具備してなり、前記データ制御手段が前記データバス
手段へ前記第１のアドレスデータを発信する第１のデー
タ発信部を具備し、前記第１の偏向データメモリが前記
データバス手段から前記第１のアドレスデータを受信す
る第１のデータ受信部と、データバス手段へ前記第２の
アドレスデータを発信する第２のデータ発信部と、デー
タバス手段へ前記第１の偏向制御データを発信する第３
のデータ発信部とを具備し、前記第２の偏向データメモ
リが、前記データバス手段から前記第２のアドレスデー
タを受信する第２のデータ受信部と、データバス手段へ
前記第２の偏向制御データを発信する第４のデータ発信
部とを具備し、前記偏向制御信号発生手段が前記第１の
偏向制御データを前記データバス手段から受信する第３
のデータ受信部と、データバス手段から前記第２の偏向
制御データを受信する第４のデータ受信部とを具備した
。 ［００２９］

【作用】データバス手段が多数の装置間を接続すること
によりデータの並列処理ができシステムの待ち時間を減
らすことができるとともに上記データバス手段を上記の
多数の装置の共有としたことによりデータバスのライン
数を減らすことができ、データバスで生ずる漏話、反射
等による弊害を減らすことができる。

【００３０】具体的にはデータバス手段でデータ制御手
段から第１のアドレスデータを第１の偏向データメモリ
へ転送すると並列に第１及び第２の偏向データメモリか
ら偏向制御信号発生手段に夫々第１及び第２の偏向制御
データを転送することができる。 ［００３１］又、更に上記処理と並列にデータバス手段
で第１の偏向データメモリから第２の偏向データメモリ
に第２のアドレスデータを転送することができる。 ［００３２］又、第２の偏向データメモリがデータ処理
部を具備することにより第２の偏向データメモリに関わ
る上記の並列処理が実現できる。 ［００３３］又、データ制御手段がデータ発信部を具備
し、第１及び第２の偏向データメモリが夫々データ受信
部及びデータ発信部とを具備することによりこれらの装
置に関わる上記の並列処理が実現できる。 ［００３４］又、上記の夫々のデータ発信部がバス要求
部と、識別信号発信部とデータ入出力部と制御部とを具
備することにより上記の並列処理のうち発信処理が効率
良く実現できる。 ［００３５］又、上記夫々のデータ受信部が識別部と確
認部と、データ入出力部と制御部を具備することにより
、上記の並列処理のうち受信処理が効率良く実現できる
。 ［００３６］又、上記の夫々のデータ発信部がクロック
パルス発生部を具備し、データ受信部が遅延時間調整部
を具備することにより、データの発信と受信のタイミン
グを調整し、データの確実な受信が実現できる。 ［００３７］又、前記データバス手段がデータバス部と
、確認バス部と、識別バス部と、クロックパルスバス部
とを具備することにより、データバスのデータ伝送が確
実に効率良く実現できる。 ［００３８］

【実施例】図１は本発明による一実施例の電子ビーム露
光装置の制御システム（制御手段）の構成図である。 ［００３９］同図のシステムは従来例で示した図１１の
電子ビーム露光装置の光学機構部１００対応したもので
ある。同図中、ＣＰＵ２２１は図１１のＣＰＵｌ０１に
該当し、図１１の磁気テープ装置１０２に該当する磁気
テープ装置２２２　（ＣＰＵ２２１と磁気テープ装置２
２２でパターンメモリを構成する）からウェハ２６上に
転写しようとするパターンデータを読み出し、汎用デー
タバス２２３にこのパターンデータを与える。ここで上
記パターンデータは圧縮されて磁気テープに書き込まれ
てあり、ＣＰＵ２２１はこの圧縮されたデータを拡張し
元のパターンデータに戻す。このパターンデータに加え
ＣＰＵ２２１はバス２２３に様々な命令、制御信号を与
える。このバス２２３には図１３のシーケンス部１０８
に該当するシーケンス部２２８、データ管理部１０４に
該当するデータ管理部２２４（データ制御手段）、メイ
ンデフメモリ１０６に該当するメインデフメモリ２２６
（第１の偏向データメモリ）、サブデフメモリ１０７に
該当するサブデフメモリ２２７（第２の偏向データメモ
リ）、バンドメモリ１０５に該当するバンドメモリ２２
５等が接続されている。 （００４０１更に第１の高速データバス２３１ａ　（第
１のデータバス）がデータ管理部２２４、メインデフメ
モリ２２６、バンドメモリ２２５、及びサブデフメモリ
２２７に接続されており、この間のデータ転送に使用さ
れる。更に第２の高速データバス２３１ｂ　（第２のデ
ータバス）がデータ管理部２２４、メインデフメモリ２
２６、サブデフメモリ２２７、及びシーケンス部２２８
に接続されており、この間のデータ転送に使用される。 更にＰＧ−ＰＣ部１０９に該当するパターン発生手段Ｐ
Ｇ部２２９がこの第２の高速データバス２３１ｂに接続
されておりメインデフメモリ２２６とサブデフメモリ２
２７の夫々からメイン及びサブデフメモリの偏向制御デ
ータ（第１及び第２の偏向制御データ）が発信される。 更にＰＧ部２２９が第２の高速データバス２３１ｂから
この偏向制御データを取り込みこれに対応するデジタル
偏向制御信号（第１及び第２の偏向制御信号）を形成す
る。このデジタル偏向制御信号はメイン及びサブデフレ
クタ３２．３０に印加される電気的エネルギーの大きさ
を示す。メモリ２２６，２２７に書き込まれ、且つここ
から読み出される偏向制御データの内容については従来
例の図１５の説明と同一であるので、その説明を省略す
る。

【００４１】このデジタル偏向制御信号は図１４のＰＧ
・ＰＣ部１０９に該当するＰＣ部２３０に与えられ図１
１のビーム経路上で生ずる様々な歪みに対する補正のた
めに偏向角度に所定の補正を施す。ｐｃ部で上記の処理
を受けた後、デジタル偏向制御信号はＤ／Ａ変換器２１
０．２１１でアナログ偏向制御信号に変換され（ＰＧ部
２２９、ｐｃ部２３０、Ｄ／Ａ変換器２１０，２１１よ
り偏向制御信号発生手段が構成され）アンプ２１２，２
１３により増幅され、メイン及びサブデフレクタ３２゜
３０（偏向手段）の夫々に与えられ、電子ビームを偏向
する。 ［００４２１更に図１１の対物レンズ系２４の偏向器２
４ａ、２４ｂを駆動するための偏向制御部２５１がバス
２３１ｂに接続されており、ＣＰＵ２２１からパターン
データを受は取り、又、シーケンス部２２８から制御命
令を受は取る。これにより偏向制御部２５１は各偏向器
２４ａ、２４ｂを駆動する駆動信号を形成する。偏向器
２４ａの駆動信号はアンプ２５２を介し出力され、２５
ａの駆動信号はアンプ２５３を介し出力される。 ［００４３］又、ステージ２８を駆動するためにステー
ジコントローラ２５４が設けられており、ＣＰＵ２２１
からバス２２３を介しパターンデータが与えられ、又、
シーケンス部２２８からバス２３１ｂを介し制御命令が
与えられる。偏向制御部２５１及びステージコントロー
ラ２５４の構成は従来の装置と実質的に同一であるので
これ以上の説明を省略する。 ［００４４１次に上記構成の制御システムの動作説明を
行う。データ管理部２２４はバス２２３からパターンデ
ータを取り込みこれをメインデフメモリに格納すメイン
デフ制御データとサブデフメモリに格納するサブデフ制
御データに拡張し、バス２３１ａへ発信する。同時にデ
ータ管理部は上記のメイン及びサブデフ制御データの夫
々が格納されるメインデフメモリとサブデフメモリの夫
々を指定するアドレスデータをメイン及びサブデフメモ
リがバス２３１ａから夫々メイン及びサブデフ制御デー
タを取り込むようにという命令とともにバス２２３へ発
信する。バス２２３上へ発信された上記の命令とアドレ
スデータを受け、メイン及びサブデフメモリはバス２３
１ａ上の夫々メイン及びサブデフ制御データを取り込む
。 ［００４５］更にステージ２８の移動速度を示すデータ
をバス２３１ａ上から取り込むようにという命令をデー
タ管理部２２４がバンドメモリ２２５に対してバス２２
３に発信してもよい。 ［００４６］又、上記の動作を行うために、シーケンス
部２２８が、メモリ２２６，２２７にすでに格納された
内容の読み取りを開始するための命令を発生する。更に
この命令はデータをそのアドレスから読み取るためのメ
インデフメモリ２２６の格納アドレスのデータをも含ん
でいる。シーケンス部２２８のこの命令は、バス２２３
を介し転送され、メモリ２２６，２２７からの読み取り
動作を可能とする。 ［００４７］　この命令を受け、メモリ２２６は指定さ
れた格納アドレス（第１のアドレスデータ）に格納され
た内容を出力する。図１４の説明で示した如く、メモリ
２２６に格納された内容はメインデフレクタ３２により
偏向される電子ビームの位置を示すＸ、　Ｙ座標のデー
タ（第１の偏向制御データ）に加えメモリ２２７内の格
納アドレスＡＤＲ（初期アドレス）とＯＰＣ数（ＡＤＲ
とＯＰＣ数で第２のアドレスデータを構成する）とを含
み、このアドレスＡＤＲからメインデフ制御データが読
み取られ、引き続き読み取るデータのデータ数を示すＯ
ＰＣ数に示されたデータ数のデータが読み出される。こ
のデータはバス２３１ａを介しメモリ２２７に転送され
、これによりメモリ２２７のアドレスデータＡＤＲに格
納されたデータと引き続きＯＰＣ数に示されたデータ数
のデータにより転写パターンが指定され、メモリ２２７
はバス２３１ｂを介しデータＸｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘ＋
及びＹｌ　（第２の偏向制御データ）をＰＧ部２２９に
発信する。更にバンドメモリ２２５はデータ管理部２２
４からバス２３１ａにパターンデータが出力されたこと
を検知し、これに応じバス２３１ｂを介しパターン発生
部２２９に対しステージ２８の移動速度のデータを出力
し且つ上記移動速度のデータをバス２２３を介しシーケ
ンス部２２８に対し出力する。この与えられたデータに
応じて、ＰＧ部は前記デジタル制御信号を出力する。 ［００４８］次に各データバス２３２，２３１ａ、２３
１ｂのより詳細な構成の説明を、特に機能ブロック（装
置）、データ管理部２２４、メモリ２２５〜２２７、シ
ーケンス部２２８及びパターン発生部２２９等を構成す
る装置とともに説明する。 ［００４９］　このバスはデータ管理部２２４の送信及
び受信の如く、複数の機能のために共通に使用されるた
め、このバスはこの様な方式のデータ転送を行うに適し
た構成をもつものである必要がある。 ［００５０１図２は、各機能ブロック及び各データバス
２３１ａ、２３１ｂ及び２３２の構成を示す構成図であ
る。このバスは変換すべきデータを伝送するデータ転送
バス３４１　（データバス部）と例えばデータが転送さ
れる転送先の機能ブロック、例えばサブデフメモリ２２
７等のブロックの照合に使用される機番コード（装置識
別信号）を発信する機番コードライン３４２（識別バス
部）とバス３４１上のデータを取り込むタイミングを与
えるデータフェッチクロック（クロックパルス）を伝送
するクロックバス３４３　（クロックパルスバス部）と
データバス３４１の使用を要求するバスリクエスト信号
（バス要求信号）及びバスリクエスト信号を受は取った
事を確認するアクルッジ信号（確認信号）を伝送するア
ービトレーションライン３４４（確認バス部）とバス３
４１上のデータと同期したストローブ信号を伝送するス
トローブライン３４５との各要素により構成されている
。 ［００５１］バス３４１を介してデータの送信、受信を
するために、例えばデータ管理部２２４、メインデフメ
モリ２２６、サブデフメモリ２２７等の各ブロックは図
２に示すようにデータをバス３４１に送信するためのマ
スタモジュール３５１（データ発信部）及びバス３４１
からデータを受信するためのスレーブモジュール３５２
．３５２“　（データ受信部）を有する。各ブロックは
後述する方式によりマスク及びスレーブモジュールとの
データの送受信を行なう。 ［００５２１図２中、マスタモジュール３５１は、他の
ブロックのマスタモジュール３５１からデータバス３４
１に発信されたデータを受信するデータ人出力バッファ
（データ入出力部）３６６とクロック（データフェッチ
クロック）を発生し、この信号をクロックバス３４３へ
送信するクロック発生器（クロックパルス発信部）３６
２と、バスリクエスト信号を発生し、この信号をアービ
トレーションライン３４４に送信するりクエスタ３６３
（バス要求部）と、ストローブ信号を発生し、この信号
をストローブライン３４５に送信するストローブ発生器
３６４と、機番コードを発信、この信号をバス３４２に
送信する機番発生器３６５（識別信号発信部）とより構
成される。 ［００５３］更に、マスタモジュール３５１はマスクコ
ントローラ３６１　（制御部）を有し、このマスクコン
トローラは同様にマスタモジュール３５１を有する他の
ブロックからデータを受け、これに応じクロック発生器
３６２、リクエスタ３６３、ストローブ発生器３６４、
機番発生器３６５を制御する。 ［００５４］同様に各ブロックはスレーブモジュール３
５２を有し、このスレーブモジュール３５２は、データ
バス３４１上のデータとバス３４５上のストローブ信号
を受信し、このストローブ信号に呼応し、受信したデー
タをこのスレーブモジュール３５２が属するブロックの
データ部への発信するデータ人出力バッファ３７１（デ
−タ入出力部）と、アービトレーションバス３４４から
バスリクエスト信号を受信しバッファ３７１をストロー
ブ信号に呼応できる状態にするアクイジション３６８（
確認部）と、バス３４２から機番コードを受信する機番
照合器３６９（識別部）とを有する。 ［００５５］更にスレーブモジュール３５２は機番照合
器３６９により受信された機番コードに呼応して人出力
バッファ３７１とアクイジション３６８とを制御するス
レーブコントローラ３７０　（制御部）を有する。 ［００５６］更に、バスによるデータ転送の際生ずる時
間遅れを補償する目的でバスの構成要素３４１〜３４５
、並びにスレーブモジュール３５２の関連ユニット３６
８．３６９及び３７１の間を接続した遅延調整器３６７
（遅延時間調整部）が設けられている。 ［００５７］図１中の機能ブロックのうち例えばデータ
管理部２２４、メインデフメモリ２２６、サブデフメモ
リ２２７等は前記マスタモジュール３５１と前記スレー
ブモジュール３５２の双方を有し、例えばバンドメモリ
等はスレーブモジュールのみを有す。又、１のブロック
がバス２３１ａ及びバス２３１ｂの相方からデータを受
信するために複数のスレーブモジュール３５２，３５２
“等を有する場合がある。 ［００５８］図３は図２に示した構成の動作タイミング
チャートである。同図中、データ管理部２２４等はブロ
ックからデータが発信された時、マスクコントローラ３
６１の制御により、バス３４１にブロック２２４のマス
タモジュール３５１の機番発生器３６５が８１に示す機
番コードを発信する。この機番コードは例えばメインデ
メフメモリ２２６等を指名するコードである。 ［００５９］更に、マスタモジュール３５１のクロック
発生器３６３はバス３４３にＳ２に示すクロックを発信
する。 ［００６０１次にリクエスタ３６３がアービトレーショ
ンライン３４４を構成する第１のラインに８３に示すリ
クエストを発信し、機番照合コードにより指名されたブ
ロック例えばメインデフメモリ２２６のスレーブモジュ
ールからの応答がアービトレーションライン３４４の第
２のラインに発信されるのを待つ。 ［００６１］あらかじめ決められた時間内に応答が無い
時、すなわちそれは機番コードで指名した転送先のブロ
ックが存在しないことを意味し、その時はりクエスタ３
６３は論理レベルを反転し、応答が無いことをマスクコ
ントローラ３６１に知らせる信号を発信する。この信号
によりマスクコントローラ３６１はデータ転送を取り消
す。 ［００６２］他方、転送先のメインデフメモリ２２６の
スレーブモジュールはアービトレーションライン３４４
のリクエストを受けた時、メモリ２２６すなわち自己を
指名する機番コードがバス３４３上に有った場合、Ｓ４
に示す確認信号のアクノリツジ１をバス３４４の第２の
ラインに発信する。 ［００６３］　この動作のために転送先メインデフメモ
リ２２６のスレーブモジュール３５２のスレーブコント
ローラ３７０は、機番照合器３６９により受信した機番
コードを照合し、受信した機番コードがメインデフメモ
リ２２６すなわち自己の機番コードと合致した時、アク
イジション３６８から上記アクノリツジ１を発信するよ
う制御する。この時、受信したコードと合致する機番コ
ードを有するブロックが存在しない場合は、各ブロック
のスレーブコントローラ３７０はアクイジション３６８
からアクノリツジ１を発信しないように制御する。 ［００６４１更に、スレーブコントローラはデータ人出
力バッファ３７１を準備状態にすることとともにメモリ
２２６のデータ部の格納の準備をし、バス３４１を介し
たデータ受は入れの準備をする。 ［００６５］上記の準備が完了した時、スレーブコント
ローラ３７０は再度アクイジション３６８からバス３４
４の第３のラインに８５に示す確認信号、アクノリツジ
２を発信するよう制御する。このアクノリツジ２はデー
タ転送の転送先のデータ管理部のマスタモジュール３５
１のリクエスタ３６３により検知され、これに呼応し、
マスクコントローラ３６１はストローブ発生器３６４か
ら発生されたストローブと同期してデータ管理部２２４
のデータ部からデータを発信する。マスクコントローラ
３６１はストローブライン３４５に出力されたＳ７に示
すストローブと同期して上記のデータ管理部から発信し
たデータを人出力バッファ３６６を介し、Ｓ６に示すよ
うにデータバス３４１に発信する。 ［００６６］　これに呼応し引き続き転送先メインデフ
メモリ２２６のスレーブモジュール３５２はバス３４５
のストローブに同期してデータバス３４１からデータを
受信し、メインデフメモリ２２６のデータ部にデータを
格納する。この転送を中断する必要が生じた時は、転送
先のメモリ２２６のスレーブモジュール３５２のスレー
ブコントローラ３７０がアクイジション３６８を介して
アクノリツジ２の論理レベルを反転させ、このアクノリ
ツジ２の反転がアービトレーションライン３４４の監視
しているリクエスタ３６３により検知されることにより
、マスタモジュール３５１がデータの発信を中断する。 この中断はバス３４４のアクノリツジ２の論理レベルが
元に戻る迄継続する。 ［００６７］ストローブライン３４５のストローブＳ７
のパルスは、データバス３４１のデータが有効な論理レ
ベルであるタイミングを示している。すなわち図３に示
すストローブのレベルの下がるタイミングに同期して転
送先のメインデフメモリのスレーブモジュール３５２が
バス３４１のデータを読み取る。一方、転送先のメイン
デフメモリがストローブのレベルが下がったことを検知
し、これに応じスレーブモジュール３５２が受は入れ準
備を開始し、データを受信できる安定した状態になる迄
に若干の時間を要する。 ［００６８部図４に示すように、ストローブのレベルが
下がった時からスレーブモジュール３５２が安定する迄
の時間△ｔだけ遅れた時Ａからデータが読まれた場合、
正しいデータの受信が行なわれる。他方、これがＢのタ
イミングでデータが読まれた場合は、正しいデータの受
信は行なわれない。電子ビーム露光装置のスループット
の向上を目指すためにはこのストローブのパルス幅を極
力短くすることが必要であるがこのためにはスレーブモ
ジュールがトリガを受けてから安定する迄に要する時間
を縮めることがどうしても必要である。 ［００６９］又、図５に示すようにバス３４１上のデー
タＳ２１はデータ転送時に生ずる信号の複雑な反射等の
影響により複雑な波形をしている。従って８２２に示す
ストローブのパルスの間にデータを読み取るのに適した
タイミングＡが存在するがタイミングＣでは波形がレベ
ルの低い方へオーバーシュートした状態であり誤ったデ
ータの読み取りとなる。 ［００７０１この問題の解決は、図２の構成が図３の８
７に示すストローブに加えて図３の８２に示すデータフ
ェッチクロック（クロック）を利用することによりなさ
れる。図６の３３１〜３３は夫々データストローブ及び
クロックの関係を示したタイミングチャートであるがこ
こでクロックがストローブに先んじて与えられ、データ
の読み取りをクロックパルスの立ち上がりからへＴ遅れ
たタイミングで行なう。この遅れ八Ｔは各スレーブモジ
ュール毎に△Ｔの値を設定する遅延調整器３６７により
与えられる。この方式により装置の高速動作のためにス
トローブのパルス幅を短くした場合で確実な誤りの無い
データ転送が実現できる。 ［００７１１尚、上述のデータ転送方式の構成と動作は
図１中の他のブロックについても適用される。 ［００７２］従って図１の他のブロックの組み合わせに
対する図２に示したマスタモジュール、スレーブモジュ
ール及びバスの説明は省略する。 ［００７３部図７はデータ転送元のブロック例えばサブ
デフメモリ２２７のマスタモジュール３５１の一部の回
路を示す。尚、サブデフメモリ２２７のマスタモジュー
ル３５１はメモリ２２７のデータ部に格納された内容を
バス２３１ｂに発信することに使用される。前述した如
く、発信されるメモリ２２７のデータ内容はビーム偏向
の座標データＸｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘｌ、　Ｙｌ　であ
り、メインデフメモリ２２６の内容により設定されるｏ
ｐｃ数に従い複数回読み出しがなされる。 ［００７４部図７中、制御回路３８１は図２で示したり
クエスタ３６３、マスクコントローラ３６１及びストロ
ーブ発生器３６４により構成されている。クロック発生
器３６２と機番発生器３６５は図２と同じ符号を付しで
ある。クロック発生器３６２は２５ＫＨｚの基準クロッ
ク信号を発生する発信回路と、この２５ＫＨｚでのクロ
ック信号から１０ＫＨｚのクロックＣＬＫを発生する分
周回路とより構成される。このブロックＣＬＫは図２の
８２に示すデータフェッチクロックに使用される。前述
の如く、データフェッチクロックはデータ及びストロー
ブとの関係において、データ及びストローブより先んじ
ており、例えば数１ｏｎｓ（ｎｓは１０−９秒）進んで
いる。 この進み時間はデータが転送される転送先進の伝送路上
で発生する遅れ時間に応じて調整される。すなわち、こ
の進み時間の調整は各スレーブモジュールの遅延調整器
３６７により与えられる遅れ量に対応してなされる。機
番発生器３６５は機番コードレジスタ（図示しない）を
有し、この機番コードレジスタで、データ転送先のスレ
ーブモジュールの機番コードが転送元のマスタモジュー
ル３５１により設定される。図７中、この機番コードは
ＲＡＭ　（２：　Ｏ）で示される。 ［００７５］更に制御回路３８１は前記リクエスト（図
３の８３）に応じアービトレーションライン３４４の第
１のラインに＊ＭＲＥＱ信号を出力し、確認された信号
としてアービトレションライン３４４の第２及び第３の
ラインから＊５ＲＥＣ信号と＊５ＲＥＱ信号を受信する
。更に制御回路３８１はストローブライン３４５に＊Ｍ
ＳＴＲＢ信号を発信し、且つ、データバス３４１に＊ｏ
ｐｃｓ信号を発信する。このｏｐｃｓ信号は前記アドレ
スＡＤＲから読み出しを始めるパターン数（ｏｐｃ数）
を示す。 ［００７６１図８は図７の動作タイミングを示す。動作
は基本的には図３の８１〜Ｓ７と同一である。但し、図
８は新たなデータ群の最初に印を付すためにデータバス
３４１に発信される＊ｏｐｃｓ信号を含む。＊ｏｐｃｓ
信号は新たなアドレスＡＤＲからの読み出し開始時毎に
発信される。図８の横軸はｎｓ（ｎｓは１０−９秒）で
示された経過時間を示す。 ［００７７１図９はデータ転送先のブロックのスレーブ
ジュール３５２の１部の回路図を示す。ここでスレーブ
モジュール３５２は例えば前記データ転送元サブデフメ
モリ２２７から発信されたデータを受信する。同図中、
図２で示した部分と同一構成部分には同一符号を付し、
その説明を省略する。 ［００７８部図９に示す回路には遅延調整器３６７を介
しバス３４３からデータフェッチクロックＣＬＫが与え
られる。同様に機番照合器３６９は機番コードライン３
４２より前記機番コードＥＡＭ　（２：　０）信号を受
信し、スレーブコントローラ３７０に、ＥＡＭ　（２：
　Ｏ）信号を受信したことを通知する信号を送る。機番
照合器３６９は例えばあらかじめデイツプスイッチの設
定等により機番コードを、設定しておき、機番照合器３
６９はその自己の機番コードと機番照合器３６９が受信
した機番コードが合致したとき、アクイジション３６８
を準備状態とする。更にアクイジション３６８は前記ア
クノレツジ１とアクノレツジ２に該当する＊５ＲＥＣと
＊ＳＲＥＱを発生する。尚、図９に示すスレーブモジュ
ールの回路がメインデフメモリ又はサブデフメモリに使
用された場合、バス３４１を介して送られて来るデータ
の流れを中断するためにはしばしば上記のメモリから待
機を要求する信号ＷＡＩＴが発信されることになる。こ
の様な待機の要求は例えばメモリがリフレッショ動作を
行なっている状態で発生する。この様な場合、アービト
レーションライン３４４の第２及び第３のラインに＊５
ＲＥＣ信号及び５ＲＥＱ信号を出力しているアクイジシ
ョン３６８は図１０の中程に示す如＜＊５ＲＥＱ信号の
論理レベルを反転させる。この＊５ＲＥＱ信号の反転に
応じ、データを発信中のマスタモジュールはストローブ
ＭＳＴＲＢ信号を反転させる。このように図１０は図３
に該当する。 ［００７９］図１１は図１の構成の一部を構成するＩＣ
を有するサーキットボード上の接続ブロック図を示す。 同図中、ＭＭＢはメインデフメモリ２２６、ＳＭＢはサ
ブデフメモリ２２７、ＳＰＭＣはサブデフメモリ２２７
の管理部、ＢＭＢはバンドメモリ２２５、Ｉｌｏはシー
ケンス部２２８のインターフェイス部に該当する。サー
キットボードを示すＣＰＵは図１に示したデータ管理部
２２４に該当するサーキットボードを示す。同図の各ボ
ードの中で、Ｍはマスタモジュール３５１を示し、Ｓは
スレーブモジュール３５２を示し、ＭＥＭはデータ部に
該当するメモリＩＣを示す。サーキットボードは端子Ａ
〜Ｈを有し、このうち端子Ａ、　Ｂ及びＣはバス２２３
に接続する端子を示し、端子り及びＥはバス２３１ａに
接続する端子、端子Ｆ〜Ｈはバス２３１ｂに接続する端
子を示す。 ［００８０１次に上記の構成のブロック図の動作につい
て説明する。データ管理部２２４からの命令は図１１中
バス２３３の■に示す経路に沿いバンドメモリ２２５、
メインデフメモリ２２６及びサブデフメモリ２２７に転
送される。前述の如く、バンドメモリ２２５はメインデ
フメモリ２２６に格納されているデータから必要な前記
ステージの移動速度のデータを読み取るのに使用される
。 ［００８１１デ一タ管理部２２４が拡張した露光データ
は図１１中バス２３１ａの経路■に沿いメモリ２２６と
メモリ２２７に転送され、各メモリに格納される。上記
メモリの内容を読み出す時、最初にメモリ２２６の内容
がバス２３１ｂに発信され、図１１中経路■に沿い、マ
スタモジュールＭ及びシーケンス部２２８のＩ１０イン
タフェイスを通過する。 ［００８２］次にバス２３１ｂに発信されたデータが、
メモリ２２７のデータ管理部ＳＰＭＣのスレーブモジュ
ールＳにより受信され又、前記アドレスＡＤＲとＯＰＣ
がバス２３１ｂからＳＰＭＣにより取り込まれる。この
ＳＰＭＣに取り込まれたデータはメモリ２２７を構成す
るサーキットボードを経路■に沿い通過し、メモリ２２
７のメモリＭＥＭに送られ、ここでアドレスデータとし
て使用される。更にメモリのメモリＭＥＭで読み出され
たデータは経路■に沿いマスタモジュールＭを介しバス
２３１ｂへ出力される。 ［００８３］上述の動作が前述の図１で説明した内容に
該当する。 ［００８４］

【発明の効果】上記の如く本発明によれば、データバス
手段の各々が多数の装置間を接続することによりデータ
の並列処理ができシステムの待ち時間を減らすことがで
きるとともに上記データバス手段を上記の多数の装置の
共有としたことによりデータバスのライン数を減らすこ
とができ、データバスで生ずる漏話、反射等による弊害
を減らすことができる。 ［００８５］具体的にはデータバス手段でデータ制御手
段から第１のアドレスデータを第１の偏向データメモリ
へ転送すると並列に第１及び第２の偏向データメモリか
ら偏向制御信号発生手段に夫々第１及び第２の偏向制御
データを転送することができる。 ［００８６］又、更に上記処理と並列にデータバス手段
で第１の偏向データメモリから第２の偏向データメモリ
に第２のアドレスデータを転送することができる。 ［００８７］又、第２の偏向データメモリがデータ処理
部を具備することにより第２の偏向データメモリに関わ
る上記の並列処理が実現できる。 ［００８８］又、データ制御手段がデータ発信部を具備
し、第１及び第２の偏向データメモリが夫々データ受信
部及びデータ発信部とを具備することによりこれらの装
置に関わる上記の並列処理が実現できる。 ［００８９］又、上記の夫々のデータ発信部がバス要求
部と、識別信号発信部とデータ入出力部と制御部とを具
備することにより上記の並列処理のうち発信処理が効率
良く実現できる。 ［００９０１又、上記夫々のデータ受信部が識別部と確
認部と、データ入出力部と制御部を具備することにより
、上記の並列処理のうち受信処理が効率良く実現できる
。 【００９１］又、上記の夫々のデータ発信部がクロック
パルス発生部を具備し、データ受信部が遅延時間調整部
を具備することにより、データの発信と受信のタイミン
グを調整し、データの確実な受信が実現できる。 ［００９２］又、前記データバス手段がデータバス部と
、確認バス部と、識別バス部と、クロックパルスバス部
とを具備することにより、データバスのデータ伝送が確
実に効率良く実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になる一実施例の制御システムを示す構
成図である。

【図２】本発明になる一実施例の各機能ブロックと各デ
ータバスの構成を示す構成図である。

【図３】図２の構成の動作を示すタイミングチャートで
ある。

【図４】ストローブとデータの関係を示すタイミングチ
ャートである。

【図５】ストローブとデータの関係を示すタイミングチ
ャートである。

【図６】データ、ストローブ、クロックの関係を示すタ
イミングチャートである。

【図７】データ転送元のブロックのマスタモジュールの
１部を示す回路図である。

【図８】図７の回路の動作タイミングを示すタイミング
チャートである。

【図９】データ転送先のブロックのスレーブモジュール
の１部を示す回路図である。

【図１０】図８のタイミングチャートの途中−時停止モ
ードを示すタイミングチャートである。

【図１１】図１の構成の１部のサーキットボード上の接
続ブロック図である。

【図１２】従来例の光学機構部を示す構成図である。

【図１３】マスク上のメインデフレクタとサブデフレク
タの偏向による電子ビームの走査領域を示す模式図であ
る。

【図１４】従来例のサブデフレクタとメインデフレクタ
の制御システムを示す構成図である。

【図１５】メインデフメモリとサブデフメモリに格納さ
れたデータを示すデータ表である。

【図１６】サブデフメモリに格納されたデータＸｏ　、
　Ｙｏ　、　Ｘ＋　、　Ｙ＋　の平面上の位置関係を示
す模式図である。

【符号の説明】

２２８　シーケンス部 ２２４　データ管理部 ２２６　メインデフメモリ ２２７　サブデフメモリ ２２９　　ＰＧ部 ２３ＯＰＣ部 ２２３　汎用データバス ２３１ａ、２３１ｂ　　高速データバス１００　光学機
構部 ３０　サブデフメモリ ３２　メインデフメモリ ３４　マスク ３４１　データ転送バス ３４２　機番コードライン ３４３　クロックバス ３４４　アービトレーションライン ３５１　マスタモジュール ３５２．３５２”　スレーブモジュール３６１　マスタ
コントローラ ３６２　クロック発生器 ３６３　リクエクタ ３６５　機番発生器 ３６７　遅延調整器 ３６８　アクイジション ３６９　機番照合器 ３７０　スレーブコントローラ

【図１】

【図４】

【図１６】

【図２】

【図３】

【図５】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　電子ビームにより対象物（２６）に所定
   のパターンを描く電子ビーム露光装置であって、前記電
   子ビームを発生する電子ビーム発生部（１０，１１）と
   、第１の偏向制御信号が与えられ該第１の偏向制御信号
   により該電子ビームの方向を第１の領域（３２Ａ）に偏
   向する第１の偏向手段（３２）と、第２の偏向制御信号
   が与えられ該第２の偏向制御信号により該電子ビームを
   第２の領域（３０Ａ）に偏向する第２の偏向手段（３０
   ）とよりなり、上記第２の領域が上記第１の領域より小
   さい構成としてなる偏向手段（３０，３２）と、前記電
   子ビームを前記対象物上へ集束する集束手段（２４）と
   、前記偏向手段に、前記第１及び第２の偏向制御信号を
   与え、該偏向手段を制御する制御手段であり、前記対象
   物上に描こうとするパターンをパターンデータとして格
   納するパターンメモリ（２２１，２２２）と、前記パタ
   ーンメモリから前記パターンデータを受け、該パターン
   データから第１のアドレスデータ（Ａ１）を取り出すデ
   ータ制御手段（２２４）と、内部のアドレスに該当する
   前記第１のアドレスデータと、第２のアドレスデータ（
   ＡＤＲ，０ＰＣ）と、第１の偏向制御データ（Ｘ。 Ｙ）とを格納し、該第１のアドレスデータの指定により
   該第１の偏向制御データ（ｘ、　ｙ）と該第２のアドレ
   スデータ（ＡＤＲ，０ＰＣ）とを出力する第１の偏向デ
   ータメモリ　（２２６）と、各アドレスに第２の偏向制
   御データ（Ｘｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘ＋　、　Ｙ＋　）を
   格納し、前記第１の偏向データメモリから読み出された
   前記第２のアドレスデータの指定により前記第２の偏向
   制御データを出力する第２の偏向データメモリ（２２７
   ）と、前記第１の偏向制御データを与えられ、該第１の
   偏向制御データに応じた第１の偏向制御信号を発生し、
   更に前記第２の偏向制御データを与えられ、該第２の偏
   向制御データに応じた第２の偏向制御信号を発生する偏
   向制御信号発生手段（２２９，２３０）と、前記データ
   制御手段（２２４）と前記第１の偏向データメモリ（２
   ２６）とを接続し、該データ制御手段から該第１の偏向
   データメモリへ前記第１のアドレスデータ（Ａ１）を転
   送し、更に該第１の偏向データメモリと、前記第２の偏
   向データメモリと、偏向制御信号発生手段（２２９，２
   ３０）とを接続し、該第１の偏向データメモリから読み
   出された前記第１の偏向制御データを該偏向制御信号発
   生手段へ転送し、該第１の偏向データメモリから該第２
   の偏向データメモリへ該第２のアドレスデータを転送し
   、更に該第２の偏向データメモリから読み出された前記
   第２の偏向制御データを該偏向制御信号発生手段へ転送
   するデータバス手段（２３１ａ、２３１ｂ）とを具備し
   てなる制御手段とを具備してなり、前記データ制御手段
   が前記データバス手段へ前記第１のアドレスを発信する
   第１のデータ発信部（３５１）を具備し、前記第１の偏
   向データメモリ（２２６）が前記データバス手段から前
   記第１のアドレスデータを受信する第１のデータ受信部
   （３５２）と、該データバス手段へ前記第２のアドレス
   データ（ＡＤＲ，０ＰＣ）を発信する第２のデータ発信
   部（３５１）と、該データバス手段へ前記第１の偏向制
   御データ（ｘ、　ｙ）を発信する第３のデータ発信部（
   ３５１）とを具備し、前記第２の偏向データメモリ（２
   ２７）が、前記データバス手段から前記第２のアドレス
   データ（ＡＤＲ，０ＰＣ）を受信する第２のデータ受信
   部（３５２）と、該データバス手段へ前記第２の偏向制
   御データ（Ｘｏ　。 Ｙｏ　、　Ｘ＋　、　Ｙ＋　）を発信する第４のデータ
   発信部（３５１）とを具備し、前記偏向制御信号発生手
   段（２２９，２３０）が前記第１の偏向制御データを前
   記データバス手段から受信する第３のデータ受信部（３
   ５２）と、該データバス手段から前記第２の偏向制御デ
   ータを受信する第４のデータ受信部（３５２”）とを具
   備してなることを特徴とする電子ビーム露光装置。
2. 【請求項２】　前記第２の偏向データメモリ内のアドレ
   スであり、該第２の偏向データメモリから読み出そうと
   する最初のデータのアドレスである初期アドレス（ＡＤ
   Ｒ）と、該初期アドレスに続き読み出されるデータのデ
   ータ数（ＯＰＣ）とを前記第２のアドレスデータが具備
   してなることを特徴とする請求項１記載の電子ビーム露
   光装置。
3. 【請求項３】　前記初期アドレス（ＡＤＲ）と該初期ア
   ドレスに続き読み出されるデータのデータ数（ＯＰＣ）
   とを前記第１のアドレスデータから取り出すデータ処理
   部（ＳＰＭＣ）を前記第２の偏光データメモリ（２２７
   ）が具備してなることを特徴とする請求項２記載の電子
   ビーム露光装置。
4. 【請求項４】　前記制御手段に具備された前記各データ
   発信部（３５１）が、互いに実質的に同一の構成として
   なり、且つ該データ発信部が、前記データバス手段の使
   用を要求するバス要求信号を該データバス手段に発信す
   るバス要求部（３６３）と、前記データバス手段に発信
   されたデータの転送先を識別するための装置識別信号を
   発信する識別信号発信部（３６５）と、発信しようとす
   るデータを与えられ、該データを前記データバス手段に
   発信するデータ入出力部（３６６）と、前記バス要求部
   と、前記識別信号発信部と、前記データ入出力部を制御
   する制御部（３６１）とを具備してなることを特徴とす
   る請求項１記載の電子ビーム露光装置。
5. 【請求項５】　前記制御手段に具備された前記各データ
   受信部（３５２，３５２”）が互いに実質的に同一の構
   成としてなり、且つ、該データ受信部が、前記データバ
   ス手段から前記装置識別信号を受信し、具備された装置
   が該装置識別信号に該当する装置であるか否かを識別す
   る識別部（３６９）と、前記データバスからバス要求信
   号を受信し、具備された装置が前記装置識別信号に該当
   する装置であることが前記識別部で確認されたことに応
   じ、確認信号を発信する確認部（３６８）と、前記デー
   タパス手段（２３１ａ、２３１ｂ）からデータを受信し
   、具備された装置に該データを与えるデータ入出力部（
   ３７１）と、前記識別部と、前記確認部と前記データ入
   出力部とを制御する制御部（３７０）とを具備してなる
   ことを特徴とする請求項４記載の電子ビーム露光装置。
6. 【請求項６】　前記データ発信部（３５１）が、前記デ
   ータバス手段にデータを発信する時期、及び該データの
   転送先の装置に具備された前記データ受信器が該データ
   バス手段から該データを受信するタイミングを与えるク
   ロックパルスを発生するクロックパルス発生部を具備し
   、前記クロックパルスに対する前記データの発信及び受
   信のタイミングを各装置毎に設定することにより該デー
   タの誤りの無い受信を行なう構成としてなることを特徴
   とする請求項４記載の電子ビーム露光装置。
7. 【請求項７】　前記データ入出力部（３７１）が前記デ
   ータバス手段からデータを受信する時期を、前記クロッ
   クパルスに対する遅延時間の調整により調整する遅延時
   間調整部（３６７）を前記データ受信部（３５２，３５
   ２”）が具備してなることを特徴とする請求項５記載の
   電子ビーム露光装置。
8. 【請求項８】　前記データバス手段（２３１ａ、２３１
   ｂ）が、各装置に具備された前記データ発信部（３５１
   ）と前記データ受信部（３５２，３５２”）とを接続し
   、データ転送元の装置に具備された該データ発信器から
   データ転送先の装置に具備された該データ受信部へデー
   タを伝送するデータバス部（３４１）と、各装置に具備
   された前記データ発信部と前記データ受信部とを接続し
   、前記データ転送元の装置に具備された該データ発信部
   から発信するバス要求信号を伝送し、且つ、前記転送先
   の装置に具備された該データ受信部が発信する確認信号
   を伝送する確認バス部（３４４）と、各装置に具備され
   た前記データ発信部と前記データ受信部とを接続し、前
   記装置識別信号を伝送する識別バス部（３４２）と、各
   装置に具備された前記データ発信部と前記データ受信部
   とを接続し、該データ発信部の前記クロックパルス発生
   部より発生された前記クロックパルスを伝送するクロッ
   クパルスバス部（３４３）とを具備してなることを特徴
   とする請求項７記載の電子ビーム露光装置。
9. 【請求項９】　前記データバス手段（２３１ａ、２３１
   ｂ）が前記データ制御手段と前記第１の偏向データメモ
   リとを接続する第１のデータバス（２３１ａ）と、前記
   第１の偏向データメモリと前記第２の偏向データメモリ
   と前記偏向制御信号発生手段とを接続する第２のデータ
   バス（２３ｌ　ｂ）とを具備してなることを特徴とする
   請求項１記載の電子ビーム露光装置。
10. 【請求項１０】　　電子ビームにより対象物（２６）に
    所定のパターンを描く電子ビーム露光装置であって、前
    記対象物（２６）を配置するステージ（２８）と、前記
    電子ビームを発生する電子ビーム発生部（１０，１１）
    と、前記電子ビームを前記ステージ上の前記対象物上へ
    集束させる電子レンズ部（１４，１６，２０，２２）と
    、前記電子ビーム発生部と前記対象物との間に配置され
    、前記電子ビームが通過することにより該電子ビームの
    断面形状を整形する複数の開口部（３４Ａ）を有するビ
    ーム整形手段（３４）と、第１の偏向制御信号が与えら
    れ該第１の偏向制御信号により前記電子ビームの方向を
    前記ビーム整形手段の第１の領域（３２Ａ）に偏向する
    第１の偏向手段（３２）と、第２の偏向制御信号が与え
    られ該第２の偏向制御信号により該電子ビームを該ビー
    ム整形手段の第２の領域（３０Ａ）に偏向する第２の偏
    向手段（３０）とよりなり、上記第２の領域が上記第１
    の領域より小さい構成としてなる偏向手段（３０，３２
    ）と、前記偏向手段により偏向された前記電子ビームを
    前記対象物上へ集束する集束手段（２４，２４ａ、　　
    ２４ｂ）と、前記偏向手段に、前記第１及び第２の偏向
    制御信号を与え、該偏向手段を制御する制御手段であり
    、前記対象物上に描こうとするパターンをパターンデー
    タとして格納するパターンメモリ（２２１，２２２）と
    、前記パターンメモリから前記パターンデータを受け、
    該パターンデータから第１のアドレスデータ（ＡＩ）を
    取り出すデータ制御手段（２２４）と、内部のアドレス
    に該当する前記第１のアドレスデータと、第２のアドレ
    スデータ（ＡＤＲ，０ＰＣ）と、第１の偏向制御データ
    （ｘ、　ｙ）とを格納し、該第１のアドレスデータの指
    定により該第１の偏向制御データ（ｘ、　ｙ）と該第２
    のアドレスデータ（ＡＤＲ，０ＰＣ）とを出力する第１
    の偏向データメモリ（２２６）と、各アドレスに第２の
    偏向制御データ（Ｘｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘ＋　、　Ｙ＋
    　）を格納し、前記第１の偏向データメモリから読み出
    された前記第２のアドレスデータの指定により前記第２
    の偏向制御データを出力する第２の偏向データメモリ（
    ２２７）と、前記第１の偏向制御データを与えられ、該
    第１の偏向制御データに応じた第１の偏向制御信号を発
    生し、更に前記第２の偏向制御データを与えられ、該第
    ２の偏向制御データに応じた第２の偏向制御信号を発生
    する偏向制御信号発生手段（２２９，２３０）と、前記
    データ制御手段（２２４）と前記第１の偏向データメモ
    リ（２２６）とを接続し、該データ制御手段（２２４）
    から該第１の偏向データメモリへ前記第１のアドレスデ
    ータ（ＡＩ）を転送し、更に該第１の偏向データメモリ
    と、前記第２の偏向データメモリと、偏向制御信号発生
    手段（２２９，２３０）とを接続し、該第１の偏向デー
    タメモリから読み出された前記第１の偏向制御データを
    該偏向制御信号発生手段へ転送し、該第１の偏向データ
    メモリから該第２の偏向データメモリへ該第２のアドレ
    スデータを転送し、更に該第２の偏向データメモリから
    読み出された前記第２の偏向制御データを該偏向制御信
    号発生手段へ転送するデータバス手段（２３１ａ、２３
    １ｂ）とを具備してなる制御手段とを具備してなり、前
    記データ制御手段が前記データバス手段へ前記第１のア
    ドレスデータを発信する第１のデータ発信部（３５１）
    を具備し、前記第１の偏向データメモリが前記データバ
    ス手段から前記第１のアドレスデータを受信する第１の
    データ受信部（３５２）と、該データバス手段へ前記第
    ２のアドレスデータ（ＡＤＲ，０ＰＣ）を発信する第２
    のデータ発信部（３５１）と、該データバス手段へ前記
    第１の偏向制御データ（ｘ、　ｙ）を発信する第３のデ
    ータ発信部（３５１）とを具備し、前記第２の偏向デー
    タメモリ（２２７）が、前記データバス手段から前記第
    ２のアドレスデータ（ＡＤＲ，０ＰＣ）を受信する第２
    のデータ受信部（３５２）と、該データバス手段へ前記
    第２の偏向制御データ（Ｘｏ　、　Ｙｏ　、　Ｘ＋　、
    　Ｙ＋　）を発信する第４のデータ発信部（３５１）と
    を具備し、前記偏向制御信号発生手段（２２９，２３０
    ）が前記第１の偏向制御データを前記データバス手段か
    ら受信する第３のデータ受信部（３５２）と、該データ
    バス手段から前記第２の偏向制御データを受信する第４
    のデータ受信部（３５２“）とを具備してなることを特
    徴とする電子ビーム露光装置。