JPH04204009A - 磁気ディスク媒体の突起検査装置 - Google Patents
磁気ディスク媒体の突起検査装置Info
- Publication number
- JPH04204009A JPH04204009A JP33042890A JP33042890A JPH04204009A JP H04204009 A JPH04204009 A JP H04204009A JP 33042890 A JP33042890 A JP 33042890A JP 33042890 A JP33042890 A JP 33042890A JP H04204009 A JPH04204009 A JP H04204009A
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- JP
- Japan
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- magnetic disk
- disk medium
- protrusion
- head
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、磁気ディスク媒体の突起検査装置に間し、特
に、小さな突起物も正確に検出することが可能な磁気デ
ィスク媒体の突起検査装置に間する。
に、小さな突起物も正確に検出することが可能な磁気デ
ィスク媒体の突起検査装置に間する。
従来の磁気ディスク媒体の突起検査装置は、磁気ディス
ク媒体を載置して回転せしめる回転台と、同回転台に載
置される磁気ディスク媒体に対して上下動可能に支持さ
れて同磁気ディスクの回転時に当該磁気ディスクに対し
て所定距離だけ浮上する磁気ヘッドと、同磁気ヘッドに
固定された振動センサとを備えて構成されていた。 かかる構成において、磁気ディスク媒体が回転すると上
記磁気ヘッドは同磁気ディスク媒体上にて所定量浮上し
つつ同磁気ディスク媒体上で相対的に移動する。このと
き磁気ディスク媒体上に突起が存在すると、磁気ヘッド
が同突起に接触し、接触時に磁気ヘッドが振動する。す
ると振動センサが当該振動を検出し、同振動センサの出
力によって突起の存在が検出される。
ク媒体を載置して回転せしめる回転台と、同回転台に載
置される磁気ディスク媒体に対して上下動可能に支持さ
れて同磁気ディスクの回転時に当該磁気ディスクに対し
て所定距離だけ浮上する磁気ヘッドと、同磁気ヘッドに
固定された振動センサとを備えて構成されていた。 かかる構成において、磁気ディスク媒体が回転すると上
記磁気ヘッドは同磁気ディスク媒体上にて所定量浮上し
つつ同磁気ディスク媒体上で相対的に移動する。このと
き磁気ディスク媒体上に突起が存在すると、磁気ヘッド
が同突起に接触し、接触時に磁気ヘッドが振動する。す
ると振動センサが当該振動を検出し、同振動センサの出
力によって突起の存在が検出される。
上述した従来の磁気ディスク媒体の突起検査装置におい
ては、小さな突起物であると磁気ヘッドに生しる振動が
小さいが、磁気ディスク媒体が回転するときには細かな
振動が生じているので振動センサの出力にはノイズ成分
が含まれており、同突起物との接触によって生しる振動
が同ノイズ成分に紛れてしまって検出てきないことがあ
るという課題があった。 また、振動センサの感度がそれぞれ異なるため、小さな
突起物も正確に検出することが可能なしきい値を設定し
にくいという課題もあった。 本発明は、上記ＩＪ、Ｈにかんがみてなされたもので、
突起物の大小にかかわらず正確に検出することが可能な
磁気ディスク媒体の突起検査装置の提供を目的とする。
ては、小さな突起物であると磁気ヘッドに生しる振動が
小さいが、磁気ディスク媒体が回転するときには細かな
振動が生じているので振動センサの出力にはノイズ成分
が含まれており、同突起物との接触によって生しる振動
が同ノイズ成分に紛れてしまって検出てきないことがあ
るという課題があった。 また、振動センサの感度がそれぞれ異なるため、小さな
突起物も正確に検出することが可能なしきい値を設定し
にくいという課題もあった。 本発明は、上記ＩＪ、Ｈにかんがみてなされたもので、
突起物の大小にかかわらず正確に検出することが可能な
磁気ディスク媒体の突起検査装置の提供を目的とする。
上記目的を達成するため、第１の請求項にかかる発明は
、磁気ディスク媒体を載置して回転せし。 ぬる回転台と、同回転台に載置される磁気ディスク媒体
に対して上下動可能に支持されて同磁気ディスクの回転
時に当該磁気ディスクに対して所定距離だけ浮上して同
磁気ディスク媒体の半径方向に移動する走査ヘッドと、
同走査ヘッドの上下動の運動と同走査ヘッドの走査位置
近傍の磁気ディスク媒体面の上下動の移動とをそれぞれ
非接触で計測する計測手段と、当該計測手段による上記
ヘッドの運動と上記磁気ディスク媒体面の運動の計測結
果との差分に基づいて上記ディスク媒体上の突起を検出
する検出手段とを備えた構成としである。 また、第２の請求項にかかる発明は、請求項１に記載の
磁気ディスク媒体の突起検査装置において、上記計測手
段を、被計測物体の振動を非接触で計測する振動センサ
て構成しである。
、磁気ディスク媒体を載置して回転せし。 ぬる回転台と、同回転台に載置される磁気ディスク媒体
に対して上下動可能に支持されて同磁気ディスクの回転
時に当該磁気ディスクに対して所定距離だけ浮上して同
磁気ディスク媒体の半径方向に移動する走査ヘッドと、
同走査ヘッドの上下動の運動と同走査ヘッドの走査位置
近傍の磁気ディスク媒体面の上下動の移動とをそれぞれ
非接触で計測する計測手段と、当該計測手段による上記
ヘッドの運動と上記磁気ディスク媒体面の運動の計測結
果との差分に基づいて上記ディスク媒体上の突起を検出
する検出手段とを備えた構成としである。 また、第２の請求項にかかる発明は、請求項１に記載の
磁気ディスク媒体の突起検査装置において、上記計測手
段を、被計測物体の振動を非接触で計測する振動センサ
て構成しである。
上記のように構成した請求項１にかかる発明においては
、回転台が磁気ディスク媒体を載置して回転せし・ぬる
と、同回転台に載！される磁気ディスク媒体に対して上
下動可能に支持された走査ヘッドが当該磁気ディスク上
で所定距離だけ浮上し・て同磁気ディスク媒体の半径方
向に移動し、このとき計測手段が同走査ヘッドの上下動
の運動と同走査ヘッドの走査位置近傍の磁気ディスク媒
体面の上下動の移動とをそれぞれ非接触で計測する。 そして、検出手段は当該計測手段による上記ヘッドの運
動と上記磁気ディスク媒体面の運動の計測結果との差分
に基づいて上記ディスク媒体上の突起を検出する。 また、上記のように構成した請求項２にかかる発明にお
いては、上記計測手段を構成する振動センサが被計測物
体の振動を非接触で計測する。 すなわち、走査ヘッドと磁気ディスク媒体の運動をそれ
ぞれ非接触で同時に計測し、その検出信号の差分を取る
ようにしているので、磁気ディスク媒体が回転するとき
に生しる細かな振動成分を消去することができ、突起物
との接触によって走査ヘッドに生しるわずかな運動や振
動をも検出する。
、回転台が磁気ディスク媒体を載置して回転せし・ぬる
と、同回転台に載！される磁気ディスク媒体に対して上
下動可能に支持された走査ヘッドが当該磁気ディスク上
で所定距離だけ浮上し・て同磁気ディスク媒体の半径方
向に移動し、このとき計測手段が同走査ヘッドの上下動
の運動と同走査ヘッドの走査位置近傍の磁気ディスク媒
体面の上下動の移動とをそれぞれ非接触で計測する。 そして、検出手段は当該計測手段による上記ヘッドの運
動と上記磁気ディスク媒体面の運動の計測結果との差分
に基づいて上記ディスク媒体上の突起を検出する。 また、上記のように構成した請求項２にかかる発明にお
いては、上記計測手段を構成する振動センサが被計測物
体の振動を非接触で計測する。 すなわち、走査ヘッドと磁気ディスク媒体の運動をそれ
ぞれ非接触で同時に計測し、その検出信号の差分を取る
ようにしているので、磁気ディスク媒体が回転するとき
に生しる細かな振動成分を消去することができ、突起物
との接触によって走査ヘッドに生しるわずかな運動や振
動をも検出する。
以下、図面にもとづいて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例にががる磁気ディスク媒体の
突起検査装置の概略構成を示す斜？ｌｉ図であり、第２
図は磁気ヘッド部分の拡大側面図である。 同図に示すように、基台ｌ上には、磁気ディスク媒体３
を載置して回転せしめる回転台２と、先端に磁気ヘッド
４が固定されたアーム５を駆動して同磁気ヘッド４を上
記磁気ディスク媒体３上でその半径方向に移動せしめる
磁気ヘッド駆動部６が設置されている。 また、同基台ｌ上には同磁気ヘッド駆動部６による上記
アーム５の駆動に連動して移動するレーザードツプラー
振動計センサ７．８が備えられており、各センサ７．８
はそれぞれ磁気ヘッド４の上下方向への移動速度と当該
磁気ヘッド４の近傍における磁気ディスク媒体３の上下
方向への移動速度を検出して各移動速度を表す検出信号
？ａ。 ８ａを出力している。 各検出信号７ａ、８ａは差分回路９に入力されており、
当該差分回路９は雨検出信号？ ａ ＋ ８ ａの差
分値を表す差分値信号を出力している。同差分値信号９
ａは増幅回路１０に入力されており、同増幅回路１０は
同差分値信号を増復して出力している。 次に、上記構成からなる本実施例の動作を説明する。 回転台２が磁気ディスク媒体３を載置して同磁気ディス
ク媒体３を回転せしめると、磁気ヘッド駆動部６はアー
ム５を駆動して同アームδの先端に固定された磁気ヘッ
ド４を上記磁気ディスク媒体３上に移動せしめる。 磁気ヘッド４が所定距離だけ浮上しつつアーム５によっ
て同磁気ディスク媒体３上でその半径方向に移動すると
、レーザードツプラー振動計センサ７．８はそれぞれ磁
気ヘッド４の上下方向への移動速度と当該磁気ヘッド４
の近傍における磁気ディスク媒体３の上下方向への移動
速度を検出し、各移動速度を表す検出信号７ａ、８ａを
差分回路９に出力する。 第３図（ａ）及び（ｂ）は、雨検出信号７ａ。 ８ａを示しており、差分回路９は検出信号７ａと検出信
号８ａとの差分をとる。具体的には検出信号８ａの正負
を逆転せし・めで検出信号７ａに加算する。 第３図（ｃ）は差分回路９の出力する差分値信号を示し
ており、雨検出信号７ａ、８ａは磁気ディスク媒体３に
おける上下方向へのうねりによって変動が大きいが、差
分値信号には同うねりの成分が差し引かれており、突起
物に接触したときに生した磁気ヘッド４の上下方向への
振動が明確に区別できている。 増幅回路１０は同差分値信号を増幅し、当該増幅された
信号によって外部より突起物の有無を判断する。 なお、上記実施例においては、磁気ヘッド４と磁気ディ
スク媒体３の変位速度をレーザードツプラー振動計セン
サて計測しているが、被計測物の上下動を非接触で計測
するする他のセンサを用いることもてきる。 一例として、フォトニックセンサを用いた場合について
説明する。 フォトニックセンサ１１．１２を上記レーザードツプラ
ー振動計センサ７．８の代わりに取り付けた場合、各セ
ンサ１１，１２からは第４図（ａ）及び（ｂ）に示す検
出信号１１ａ、１２ａが得られた。この場合にも、磁気
ディスク媒体３における上下方向へのうねりによって雨
検出信号１１ ａ。 １２ａの変動は大きいが、第４図（Ｃ）に示す差分値信
号には同うねりの成分が差し引かれている。 このため、同差分値信号に基づいて突起物に接触したと
きに生している磁気ヘッド４の上下方向への振動を明確
に検出することができる。 なお、磁気ヘッド４に振動センサを固定すると磁気ヘッ
ド４の浮上姿勢が変化するため、振動センサを固定した
ときには上記突起物の検査以外を行うことができない。 しかし、本実施例では磁気ヘッドに何も固定していない
ため、他の検査、例えば磁気ヘッドの浮上量を測定した
り、磁気ディスク媒体の機械特性の測定などを行うこと
ができ、検査工程の簡素化や検査の効率化をはかること
もてきる。
突起検査装置の概略構成を示す斜？ｌｉ図であり、第２
図は磁気ヘッド部分の拡大側面図である。 同図に示すように、基台ｌ上には、磁気ディスク媒体３
を載置して回転せしめる回転台２と、先端に磁気ヘッド
４が固定されたアーム５を駆動して同磁気ヘッド４を上
記磁気ディスク媒体３上でその半径方向に移動せしめる
磁気ヘッド駆動部６が設置されている。 また、同基台ｌ上には同磁気ヘッド駆動部６による上記
アーム５の駆動に連動して移動するレーザードツプラー
振動計センサ７．８が備えられており、各センサ７．８
はそれぞれ磁気ヘッド４の上下方向への移動速度と当該
磁気ヘッド４の近傍における磁気ディスク媒体３の上下
方向への移動速度を検出して各移動速度を表す検出信号
？ａ。 ８ａを出力している。 各検出信号７ａ、８ａは差分回路９に入力されており、
当該差分回路９は雨検出信号？ ａ ＋ ８ ａの差
分値を表す差分値信号を出力している。同差分値信号９
ａは増幅回路１０に入力されており、同増幅回路１０は
同差分値信号を増復して出力している。 次に、上記構成からなる本実施例の動作を説明する。 回転台２が磁気ディスク媒体３を載置して同磁気ディス
ク媒体３を回転せしめると、磁気ヘッド駆動部６はアー
ム５を駆動して同アームδの先端に固定された磁気ヘッ
ド４を上記磁気ディスク媒体３上に移動せしめる。 磁気ヘッド４が所定距離だけ浮上しつつアーム５によっ
て同磁気ディスク媒体３上でその半径方向に移動すると
、レーザードツプラー振動計センサ７．８はそれぞれ磁
気ヘッド４の上下方向への移動速度と当該磁気ヘッド４
の近傍における磁気ディスク媒体３の上下方向への移動
速度を検出し、各移動速度を表す検出信号７ａ、８ａを
差分回路９に出力する。 第３図（ａ）及び（ｂ）は、雨検出信号７ａ。 ８ａを示しており、差分回路９は検出信号７ａと検出信
号８ａとの差分をとる。具体的には検出信号８ａの正負
を逆転せし・めで検出信号７ａに加算する。 第３図（ｃ）は差分回路９の出力する差分値信号を示し
ており、雨検出信号７ａ、８ａは磁気ディスク媒体３に
おける上下方向へのうねりによって変動が大きいが、差
分値信号には同うねりの成分が差し引かれており、突起
物に接触したときに生した磁気ヘッド４の上下方向への
振動が明確に区別できている。 増幅回路１０は同差分値信号を増幅し、当該増幅された
信号によって外部より突起物の有無を判断する。 なお、上記実施例においては、磁気ヘッド４と磁気ディ
スク媒体３の変位速度をレーザードツプラー振動計セン
サて計測しているが、被計測物の上下動を非接触で計測
するする他のセンサを用いることもてきる。 一例として、フォトニックセンサを用いた場合について
説明する。 フォトニックセンサ１１．１２を上記レーザードツプラ
ー振動計センサ７．８の代わりに取り付けた場合、各セ
ンサ１１，１２からは第４図（ａ）及び（ｂ）に示す検
出信号１１ａ、１２ａが得られた。この場合にも、磁気
ディスク媒体３における上下方向へのうねりによって雨
検出信号１１ ａ。 １２ａの変動は大きいが、第４図（Ｃ）に示す差分値信
号には同うねりの成分が差し引かれている。 このため、同差分値信号に基づいて突起物に接触したと
きに生している磁気ヘッド４の上下方向への振動を明確
に検出することができる。 なお、磁気ヘッド４に振動センサを固定すると磁気ヘッ
ド４の浮上姿勢が変化するため、振動センサを固定した
ときには上記突起物の検査以外を行うことができない。 しかし、本実施例では磁気ヘッドに何も固定していない
ため、他の検査、例えば磁気ヘッドの浮上量を測定した
り、磁気ディスク媒体の機械特性の測定などを行うこと
ができ、検査工程の簡素化や検査の効率化をはかること
もてきる。
以上説明したように本発明は、走査ヘッドと磁気ディス
ク媒体の運動を表す信号の差分を取るようにし・ている
ので、磁気ディスク媒体が回転するときに生しる細かな
振動成分を消去することができ、突起物との接触によフ
て走査ヘッドに生しるわずかな運動や振動をも検出する
ことが可能な磁気ディスク媒体の突起検査装置を提供す
ることができる。
ク媒体の運動を表す信号の差分を取るようにし・ている
ので、磁気ディスク媒体が回転するときに生しる細かな
振動成分を消去することができ、突起物との接触によフ
て走査ヘッドに生しるわずかな運動や振動をも検出する
ことが可能な磁気ディスク媒体の突起検査装置を提供す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例にかかる磁気ディスク媒体の
突起検査装置の概略構成を示す斜視図てあり、第２図は
磁気ヘッド部分の拡大側面図、第３図及び第４図は信号
波形図である。 ノ ２・・・回転台、３・・・磁気ディスク媒体、４・・・
磁気ヘッド、５・・・アーム、６・・・磁気ヘッド駆動
部、７゜８・・・レーザードツプラー振動計センサ、９
・・・差分回路、１０・・・増幅回路。
突起検査装置の概略構成を示す斜視図てあり、第２図は
磁気ヘッド部分の拡大側面図、第３図及び第４図は信号
波形図である。 ノ ２・・・回転台、３・・・磁気ディスク媒体、４・・・
磁気ヘッド、５・・・アーム、６・・・磁気ヘッド駆動
部、７゜８・・・レーザードツプラー振動計センサ、９
・・・差分回路、１０・・・増幅回路。
Claims (2)
- （１）磁気ディスク媒体を載置して回転せしめる回転台
と、同回転台に載置される磁気ディスク媒体に対して上
下動可能に支持されて同磁気ディスクの回転時に当該磁
気ディスクに対して所定距離だけ浮上して同磁気ディス
ク媒体の半径方向に移動する走査ヘッドと、同走査ヘッ
ドの上下動の運動と同走査ヘッドの走査位置近傍の磁気
ディスク媒体面の上下動の移動とをそれぞれ非接触で計
測する計測手段と、当該計測手段による上記ヘッドの運
動と上記磁気ディスク媒体面の運動の計測結果との差分
に基づいて上記ディスク媒体上の突起を検出する検出手
段とを具備することを特徴とする磁気ディスク媒体の突
起検査装置。 - （２）上記請求項１に記載の磁気ディスク媒体の突起検
査装置において、上記計測手段を、被計測物体の振動を
非接触で計測する振動センサで構成したことを特徴とす
る磁気ディスク媒体の突起検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33042890A JPH04204009A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気ディスク媒体の突起検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33042890A JPH04204009A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気ディスク媒体の突起検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04204009A true JPH04204009A (ja) | 1992-07-24 |
Family
ID=18232506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33042890A Pending JPH04204009A (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 磁気ディスク媒体の突起検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04204009A (ja) |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33042890A patent/JPH04204009A/ja active Pending
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