JPH04197709A - 単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置 - Google Patents
単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置Info
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- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、単結晶引上装置によって引き上けられた単結
晶の絞り部を遠隔操作によって自動的に切断するための
単結晶絞り部自動切断装置に関する。
晶の絞り部を遠隔操作によって自動的に切断するための
単結晶絞り部自動切断装置に関する。
（従来の技術）
シリコン等の単結晶は、単結晶引上装置においてＣｚｏ
ｃｈｒａ １ｓｋｉ法（ＣＺ法）によッテ得うレル。
ｃｈｒａ １ｓｋｉ法（ＣＺ法）によッテ得うレル。
単結晶引上装置は多結晶融液から単結晶インゴットを引
き上げるための装置であって、これはメインチャンハー
内に、多結晶の結晶原料を収容するルツボ、該ルツボの
周囲に配されるヒータ、該ヒータの周囲に配される断熱
材等を収納して構成され、メインチャンバーの上部には
引き上けられた単結晶インゴットを受容すべきプルチャ
ンバーか立設されている。
き上げるための装置であって、これはメインチャンハー
内に、多結晶の結晶原料を収容するルツボ、該ルツボの
周囲に配されるヒータ、該ヒータの周囲に配される断熱
材等を収納して構成され、メインチャンバーの上部には
引き上けられた単結晶インゴットを受容すべきプルチャ
ンバーか立設されている。
ところて、単結晶引上装置においては、ワイヤー等の引
上具の下端に取り付けられた種結晶の下部に単結晶を成
長させるか、種結晶の下部には極めて小径の単結晶絞り
部か形成され、引き上けられた単結晶インゴットを取り
出すには、その絞り部を切断してこれをワイヤー等の引
上具から切り離す必要かある。
上具の下端に取り付けられた種結晶の下部に単結晶を成
長させるか、種結晶の下部には極めて小径の単結晶絞り
部か形成され、引き上けられた単結晶インゴットを取り
出すには、その絞り部を切断してこれをワイヤー等の引
上具から切り離す必要かある。
（発明か解決しようとする課題）
ところか、従来は作業者かニッパ−等の工具で単結晶イ
ンゴットの絞り部を切断しており、単結晶のインゴット
は高温であり、その絞り部は高所に位置するために絞り
部の切断作業は作業者には危険を伴うものてあった。
ンゴットの絞り部を切断しており、単結晶のインゴット
は高温であり、その絞り部は高所に位置するために絞り
部の切断作業は作業者には危険を伴うものてあった。
又、従来の切断作業は、単結晶引上装置の自動化、つま
り結晶原料の投入から単結晶の引き上げを経て単結晶イ
ンゴットの搬出に至る作業の自動化を阻害する要因とな
る。
り結晶原料の投入から単結晶の引き上げを経て単結晶イ
ンゴットの搬出に至る作業の自動化を阻害する要因とな
る。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものて、その目的と
する処は、引き上けられた単結晶の絞り部を遠隔て全自
動的に、且つ安全に切断することかできるとともに、単
結晶引上装置の自動化の実現に資することかてきる単結
晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置を提供すること
にある。
する処は、引き上けられた単結晶の絞り部を遠隔て全自
動的に、且つ安全に切断することかできるとともに、単
結晶引上装置の自動化の実現に資することかてきる単結
晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置を提供すること
にある。
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成すべく本発明は、単結晶引上装置に対し
て上下動し、引き上けられた単結晶の上部を支持するチ
ャック部と、該チャック部に一体的に設けられた絞りク
ランパー、絞り切断機及びモニター装置を含んで単結晶
絞り部自動切断装置を構成したことをその特徴とする。
て上下動し、引き上けられた単結晶の上部を支持するチ
ャック部と、該チャック部に一体的に設けられた絞りク
ランパー、絞り切断機及びモニター装置を含んで単結晶
絞り部自動切断装置を構成したことをその特徴とする。
（作用）
本発明によれば、単結晶引上装置において引上けられた
単結晶の絞り部をテレビカメラ等のモニター装置て監視
しなからチャック部及び絞りクランパ一部を位置決めし
て単結晶を支持した後、絞り切断機によって絞り部を遠
隔で自動的に切断することかできるため、作業者による
従来の危険な切断作業か不要となるとともに、単結晶引
上装置の自動化を企図することか可能となる。
単結晶の絞り部をテレビカメラ等のモニター装置て監視
しなからチャック部及び絞りクランパ一部を位置決めし
て単結晶を支持した後、絞り切断機によって絞り部を遠
隔で自動的に切断することかできるため、作業者による
従来の危険な切断作業か不要となるとともに、単結晶引
上装置の自動化を企図することか可能となる。
（実施例）
以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第１図は本発明に係る自動切断装置の側面図、第２図は
第１図の■−■線断面図、第３図は第１図のｍ−ｍ線断
面図、第４図は自動切断装置を備える単結晶引上装置の
側面図である。
第１図の■−■線断面図、第３図は第１図のｍ−ｍ線断
面図、第４図は自動切断装置を備える単結晶引上装置の
側面図である。
先ず、第４図に基づいて単結晶引上袋Ｍ３０の概略構成
を説明すると、該単結晶引上装置１ｉ３０はメインチャ
ンバー３１の上部にプルチャンバー３２を備えており、
メインチャンバー３１内には不図示のルツボ、ヒータ、
断熱材等が収納されている。この単結晶引上装置３０は
ＣＺ法によって単結晶インゴットＷを引き上げる装置て
あって。
を説明すると、該単結晶引上装置１ｉ３０はメインチャ
ンバー３１の上部にプルチャンバー３２を備えており、
メインチャンバー３１内には不図示のルツボ、ヒータ、
断熱材等が収納されている。この単結晶引上装置３０は
ＣＺ法によって単結晶インゴットＷを引き上げる装置て
あって。
これのメインチャンバー３１内のルツボ内に投入された
シリコン等の多結晶原料をヒータによって加熱して溶融
し、加熱して得られた多結晶融液に上方から吊下する不
図示のワイヤーの下端に取り付けられた種結晶３３を浸
漬してこれを回転させなから引き上げることによって所
望の単結晶インゴットＷか引き北げられ、この引上げれ
た単結晶インゴットＷはプルチャンバー３２内に受容さ
れる。
シリコン等の多結晶原料をヒータによって加熱して溶融
し、加熱して得られた多結晶融液に上方から吊下する不
図示のワイヤーの下端に取り付けられた種結晶３３を浸
漬してこれを回転させなから引き上げることによって所
望の単結晶インゴットＷか引き北げられ、この引上げれ
た単結晶インゴットＷはプルチャンバー３２内に受容さ
れる。
ところて、七記重結晶引上装置３０の近くに立設された
支柱４０には、単結晶搬出袋２１５０か引土装Ｍ３０と
は別体に、且つ上下動自在に設けられている。
支柱４０には、単結晶搬出袋２１５０か引土装Ｍ３０と
は別体に、且つ上下動自在に設けられている。
而して、上記単結晶搬出袋ご５０は、前記支柱４０に沿
って上下動自在な上下動ベース５工を有して３つ、該上
下動ベース５１は支柱４０の上下方向に固定されたガイ
トレール５２．５２に沿って摺動する複数のスライダー
５３・・・を介して支柱４０に摺動自在に支持されてい
る。＋シて、この上下動ベース５１は、支柱４０．４０
の上端に＊モに架設されたヒーム４１に吊り下げれられ
た電動チェーンフロック５４から延出するチェーン５５
によフて支持されている。
って上下動自在な上下動ベース５工を有して３つ、該上
下動ベース５１は支柱４０の上下方向に固定されたガイ
トレール５２．５２に沿って摺動する複数のスライダー
５３・・・を介して支柱４０に摺動自在に支持されてい
る。＋シて、この上下動ベース５１は、支柱４０．４０
の上端に＊モに架設されたヒーム４１に吊り下げれられ
た電動チェーンフロック５４から延出するチェーン５５
によフて支持されている。
又、Ｌ肥土下動ベース５１には、横行ベース５６か横方
向（Ｊ：下動ベース５１の摺動方向に対して直角方向）
に移動自在に支持されている。
向（Ｊ：下動ベース５１の摺動方向に対して直角方向）
に移動自在に支持されている。
そして、この横行ベース５６には第１アーム５９かその
基部を軸６０，６０にて枢着されて支持されており、該
第１アーム５９は軸６０を中心として水平旋回可能であ
る。尚、この第１アーム５９は不図示の電動モータを駆
動源とする駆動機構によって角度９０°たけ水平旋回せ
しめられる。
基部を軸６０，６０にて枢着されて支持されており、該
第１アーム５９は軸６０を中心として水平旋回可能であ
る。尚、この第１アーム５９は不図示の電動モータを駆
動源とする駆動機構によって角度９０°たけ水平旋回せ
しめられる。
又、横行ベース５６は不図示の電動モータにて駆動され
るラック・ピニオン機構によって移動せしめられる。
るラック・ピニオン機構によって移動せしめられる。
上記第１アーム５９の先部には、第２アーム６エかその
基部を枢着されて支持されており、その下部に突設され
たフラケット６３にはスイングアーム６４の下端部か軸
６５にて枢着されている。尚、第２アーム６１も不図示
の電動モータを駆動源とする駆動機構によって最大角度
１８０゜の範囲て水平旋回せしめられる。
基部を枢着されて支持されており、その下部に突設され
たフラケット６３にはスイングアーム６４の下端部か軸
６５にて枢着されている。尚、第２アーム６１も不図示
の電動モータを駆動源とする駆動機構によって最大角度
１８０゜の範囲て水平旋回せしめられる。
一方、前記スイングアーム６４は輌６５を中心に上下方
向に揺動可能であって、これの上端には前記第１アーム
５９の上部に支持された電動チェーンフロック６６から
延出するチェーン６７の端部か連結されている。そして
、このスイングアーム６４には、第１、第２、第３チヤ
ツク６８゜６９．７０か取り付けられており、第１．第
２チャック６８．６９は第４図に示す単結晶インゴット
Ｗを把持するためのものであり、第３チヤツク７０は単
結晶インゴットＷの芯出しを行なうためのものである。
向に揺動可能であって、これの上端には前記第１アーム
５９の上部に支持された電動チェーンフロック６６から
延出するチェーン６７の端部か連結されている。そして
、このスイングアーム６４には、第１、第２、第３チヤ
ツク６８゜６９．７０か取り付けられており、第１．第
２チャック６８．６９は第４図に示す単結晶インゴット
Ｗを把持するためのものであり、第３チヤツク７０は単
結晶インゴットＷの芯出しを行なうためのものである。
尚、これら第１． 第２．ｉ３チャック６８，６９．７
０は不図示の電動モータにて駆動されるネジ機構によっ
てそのハントか開閉するのものてあフて、特に第１チヤ
ツク６８は電動モータにて駆動されるネジ機構によって
スイングアーム６４の長さ方向に移動可能である。
０は不図示の電動モータにて駆動されるネジ機構によっ
てそのハントか開閉するのものてあフて、特に第１チヤ
ツク６８は電動モータにて駆動されるネジ機構によって
スイングアーム６４の長さ方向に移動可能である。
又、第１．第２チヤツク６８．６９には、インゴットＷ
の有無を検知するセンサー及びこれらのハントに過大な
負荷か生ずるのを防いてインゴフトＷの損傷を回避する
ためのトルクツミツターか設けられている。
の有無を検知するセンサー及びこれらのハントに過大な
負荷か生ずるのを防いてインゴフトＷの損傷を回避する
ためのトルクツミツターか設けられている。
而して、前記第１チヤツク６８には本発明に係る自動切
断装、ＩＩか一体的に取り付けられている。即ち、該自
動切断装Ｍｌは、第１図に詳細に示すように、引き１げ
られた単結晶インゴットＷの絞り部Ｗａをクランプする
ための絞りクランパー２と、該絞りクランパー２の下方
に設けられる監視用のテレビカメラ３と、該テレビカメ
ラ３の下方に設けられる絞り切断機４を含んで構成され
る。
断装、ＩＩか一体的に取り付けられている。即ち、該自
動切断装Ｍｌは、第１図に詳細に示すように、引き１げ
られた単結晶インゴットＷの絞り部Ｗａをクランプする
ための絞りクランパー２と、該絞りクランパー２の下方
に設けられる監視用のテレビカメラ３と、該テレビカメ
ラ３の下方に設けられる絞り切断機４を含んで構成され
る。
上記絞りクランパー２は、第２図に示すように、軸５．
５を中心に略９０°の角度範囲て開閉動する左右一対の
クランプフィンガー６．６と。
５を中心に略９０°の角度範囲て開閉動する左右一対の
クランプフィンガー６．６と。
これらクランプフィンガー６．６を駆動するためのアク
チュエータ７を含んで構成され、アクチュエータ７は不
図示の制御手段によって遠隔操作される。又、各クラン
プフィンガー６の先端内側には単結晶インゴットＷの絞
り部Ｗａを把持すべき把持部８か設けられており、把持
部８の絞り部Ｗａに当接する面には耐熱性の高いテフロ
ン板９か被着されている。
チュエータ７を含んで構成され、アクチュエータ７は不
図示の制御手段によって遠隔操作される。又、各クラン
プフィンガー６の先端内側には単結晶インゴットＷの絞
り部Ｗａを把持すべき把持部８か設けられており、把持
部８の絞り部Ｗａに当接する面には耐熱性の高いテフロ
ン板９か被着されている。
更に、前記監視用テレビカメラ３は単結晶イン゛ゴツト
Ｗの絞り部Ｗａを遠隔で監視するためのものであって、
これによって受像された絞り部Ｗａの映像は遠隔に設置
された不図示のモニターテレビに表示される。
Ｗの絞り部Ｗａを遠隔で監視するためのものであって、
これによって受像された絞り部Ｗａの映像は遠隔に設置
された不図示のモニターテレビに表示される。
又、前記絞り切ｒ！ｆｒａ１４は４第３図に示すように
、軸ｌＯを中心に略９０°の角度範囲て水平旋回するカ
ッター１１と、該カッター１１を旋回駆動するためのア
クチュエータ１２を含んで構成され、カッター１１の先
部には刃部１３か形成されている。そして、該絞り切断
機４は不図示の制御手段によって遠隔操作されてアクチ
ュエータ１２か駆動、制御される。
、軸ｌＯを中心に略９０°の角度範囲て水平旋回するカ
ッター１１と、該カッター１１を旋回駆動するためのア
クチュエータ１２を含んで構成され、カッター１１の先
部には刃部１３か形成されている。そして、該絞り切断
機４は不図示の制御手段によって遠隔操作されてアクチ
ュエータ１２か駆動、制御される。
次に、本発明に係る自動切断装ａｌｌの作用を説明する
。
。
単結晶引上装＠３０によって引き上けられた単結１イン
ゴツトＷは、第４図に示すように単結晶厳出装置５０の
第１．第２、第３チヤツク６８゜６９．７０によって垂
直に支持されてプルチャンバー３２から取り出されるか
、このとき該単結晶インゴットＷは不図示のワイヤーに
吊り下げられたままであり、その絞り部Ｗａは種結晶３
３に連なっている。
ゴツトＷは、第４図に示すように単結晶厳出装置５０の
第１．第２、第３チヤツク６８゜６９．７０によって垂
直に支持されてプルチャンバー３２から取り出されるか
、このとき該単結晶インゴットＷは不図示のワイヤーに
吊り下げられたままであり、その絞り部Ｗａは種結晶３
３に連なっている。
次に、自動切断装置１の監視用テレビカメラ３によって
映し出される不図示のモニターテレビで切断位置と絞り
切断機４の位置とか合致するよう第１チャック６８全体
を上下動させる。そして。
映し出される不図示のモニターテレビで切断位置と絞り
切断機４の位置とか合致するよう第１チャック６８全体
を上下動させる。そして。
絞りクランパー２のアクチュエータ７を駆動して第２図
に鎖線にて示すように開状態にあるクランプフィンガー
６．６を軸５，５を中心に略９ｏ″水平旋回させてこれ
を第２図に実線にて示すように閉しると、単結晶インゴ
ットＷの絞り部Ｗａかクランクフィンガー６．６の把持
部８，８によって把持されてクランプされる。
に鎖線にて示すように開状態にあるクランプフィンガー
６．６を軸５，５を中心に略９ｏ″水平旋回させてこれ
を第２図に実線にて示すように閉しると、単結晶インゴ
ットＷの絞り部Ｗａかクランクフィンガー６．６の把持
部８，８によって把持されてクランプされる。
その後、監視用テレビカメラ３によって不図示のモニタ
ーテレビに映し出される単結晶インゴットＷの絞り部Ｗ
ａを監視しなから、絞り切断機４のアクチュエータ１２
を駆動して第３図の実線位置にあるカッター１１を軸１
０を中心に鎖線位置まて略９０°水平旋回させると、単
結晶インゴットＷの絞り部Ｗａの最小径部（該部分の直
径は約３ｍｍ）にはカッター１１の刃部１３か当接して
該部分に衝Ｉｔ（剪断力）か加えられ、脆い絞り部Ｗａ
は容易に切断されて単結晶インゴットＷは絞り部Ｗａで
種結晶３３やこれを支持する不図示のワイヤーから切り
離される。そして、切り離された単結晶インゴットＷは
搬出装置５０によって第４図に鎖線にて示すように水平
に旋回せしめられ、その後不図示の台車等に移載せしめ
られる。
ーテレビに映し出される単結晶インゴットＷの絞り部Ｗ
ａを監視しなから、絞り切断機４のアクチュエータ１２
を駆動して第３図の実線位置にあるカッター１１を軸１
０を中心に鎖線位置まて略９０°水平旋回させると、単
結晶インゴットＷの絞り部Ｗａの最小径部（該部分の直
径は約３ｍｍ）にはカッター１１の刃部１３か当接して
該部分に衝Ｉｔ（剪断力）か加えられ、脆い絞り部Ｗａ
は容易に切断されて単結晶インゴットＷは絞り部Ｗａで
種結晶３３やこれを支持する不図示のワイヤーから切り
離される。そして、切り離された単結晶インゴットＷは
搬出装置５０によって第４図に鎖線にて示すように水平
に旋回せしめられ、その後不図示の台車等に移載せしめ
られる。
以上のように、本実施例ては、引き上けられた単結晶イ
ンゴットＷの絞り部Ｗａか自動切断装置１によって遠隔
で全自動的に切断されるため、作業者による従来の危険
な作業を廃することかできる。
ンゴットＷの絞り部Ｗａか自動切断装置１によって遠隔
で全自動的に切断されるため、作業者による従来の危険
な作業を廃することかできる。
又、単結晶インゴットＷの絞り部Ｗａの切断作業を自動
化することによって、単結晶引上装置３０の自動化、つ
まり結晶原料の投入から単結晶の引き上げを経て単結晶
インゴットＷの搬出に至る作業の自動化を企図すること
が可能となる。
化することによって、単結晶引上装置３０の自動化、つ
まり結晶原料の投入から単結晶の引き上げを経て単結晶
インゴットＷの搬出に至る作業の自動化を企図すること
が可能となる。
（発明の効果）
以上の説明で明らかな如く、本発明によれば、単結晶引
上装置に対して上下動し、引き上けられた単結晶の上部
を支持するチャック部と、該チャック部に一体的に設け
られた絞りクランパー、絞り切断機及びモニター装置を
含んで単結晶絞り部自動切断装置を構成したため、引き
上けられた単結晶の絞り部を遠隔て全自動的に、且つ安
全に切断することかてきるとともに、単結晶引上装置の
自動化の実現を企図することかできるという効果か得ら
れる。
上装置に対して上下動し、引き上けられた単結晶の上部
を支持するチャック部と、該チャック部に一体的に設け
られた絞りクランパー、絞り切断機及びモニター装置を
含んで単結晶絞り部自動切断装置を構成したため、引き
上けられた単結晶の絞り部を遠隔て全自動的に、且つ安
全に切断することかてきるとともに、単結晶引上装置の
自動化の実現を企図することかできるという効果か得ら
れる。
第１図は本発明に係る自動切断装置の側面図、第２図は
第１図のＵ−ＩＩ線断面図、第３図は第１図の■−ｍ線
断面図、第４図は自動切断装置を備える単結晶引上装置
の側面図である。 ｌ・・・絞り部自動切断装置、２・・・絞りクランパー
１３・・・監視用テレビカメラ、４・・・絞り切断機、
６・・・クランプフィンガー、７．１２・・・アクチュ
エータ、１１・・・カッター、１３・・・刃部、３０・
・・単結晶引上装置、６８・・−第１チヤツク（チャッ
クｔ！Ｂ＞、ｗ−・−単結晶インゴット、Ｗ ａ−・・
絞り部。 特許出願人 信越半導体株式会社 代 理 人 弁理士 山 下 亮 −第１図 ホ ←−＝−→ 第２図 □ 第３図
第１図のＵ−ＩＩ線断面図、第３図は第１図の■−ｍ線
断面図、第４図は自動切断装置を備える単結晶引上装置
の側面図である。 ｌ・・・絞り部自動切断装置、２・・・絞りクランパー
１３・・・監視用テレビカメラ、４・・・絞り切断機、
６・・・クランプフィンガー、７．１２・・・アクチュ
エータ、１１・・・カッター、１３・・・刃部、３０・
・・単結晶引上装置、６８・・−第１チヤツク（チャッ
クｔ！Ｂ＞、ｗ−・−単結晶インゴット、Ｗ ａ−・・
絞り部。 特許出願人 信越半導体株式会社 代 理 人 弁理士 山 下 亮 −第１図 ホ ←−＝−→ 第２図 □ 第３図
Claims (4)
- （１）単結晶引上装置に対して上下動し、引き上けられ
た単結晶の上部を支持するチャック部と、該チャック部
に一体的に設けられた絞りクランパー、絞り切断機及び
モニター装置を含んで構成されることを特徴とする単結
晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置。 - （２）前記絞りクランパーは、略９０゜の角度範囲で水
平に開閉動する２本のクランプフィンガーと、該クラン
プフィンガーを駆動するためのアクチュエータを含んで
構成され、遠隔操作されることを特徴とする請求項１記
載の単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置。 - （３）前記絞り切断機は、先部に刃部を有し、略９０゜
の角度範囲で水平旋回するカッターと、該カッターを駆
動するためのアクチュエータを含んで構成され、遠隔操
作されることを特徴とする請求項１記載の単結晶引上装
置の単結晶絞り部自動切断装置。 - （４）前記モニター装置は、前記チャック部に取り付け
られた監視用テレビカメラと、該テレビカメラによって
受像された単結晶絞り部の映像を遠隔で表示するための
モニターテレビを含んで構成されることを特徴とする請
求項１記載の単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2325571A JPH078495B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置 |
| US07/800,307 US5135727A (en) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | Automatic single crystal ingot disconnector for single crystal pulling apparatus |
| EP91311117A EP0488785B1 (en) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | An automatic device for cutting the neck of a pulled single crystal ingot |
| DE69107422T DE69107422T2 (de) | 1990-11-29 | 1991-11-29 | Eine automatische Vorrichtung zum Schneiden des Halsteiles eines gezogenen Einkristalles. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2325571A JPH078495B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04197709A true JPH04197709A (ja) | 1992-07-17 |
| JPH078495B2 JPH078495B2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=18178376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2325571A Expired - Lifetime JPH078495B2 (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 単結晶引上装置の単結晶絞り部自動切断装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5135727A (ja) |
| EP (1) | EP0488785B1 (ja) |
| JP (1) | JPH078495B2 (ja) |
| DE (1) | DE69107422T2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09165289A (ja) * | 1995-12-13 | 1997-06-24 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 単結晶インゴット把持装置および把持方法 |
| DE19610894A1 (de) * | 1996-03-20 | 1997-09-25 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen aus einer in einem Tiegel befindlichen Schmelze |
| US5741171A (en) * | 1996-08-19 | 1998-04-21 | Sagitta Engineering Solutions, Ltd. | Precision polishing system |
| JP3596226B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2004-12-02 | 信越半導体株式会社 | 単結晶保持装置 |
| JP3376877B2 (ja) * | 1997-09-02 | 2003-02-10 | 信越半導体株式会社 | 種結晶保持具 |
| JP4079548B2 (ja) * | 1999-04-30 | 2008-04-23 | 株式会社荏原製作所 | 結晶の連続引き上げ装置 |
| US6203614B1 (en) * | 1999-05-28 | 2001-03-20 | Memc Electronic Materials, Inc. | Cable assembly for crystal puller |
| US6238483B1 (en) | 1999-08-31 | 2001-05-29 | Memc Electronic Materials, Inc. | Apparatus for supporting a semiconductor ingot during growth |
| EP2066592B1 (en) * | 2007-01-30 | 2012-08-22 | Corning Incorporated | Ultra thin glass drawing and blowing |
| TWI447835B (zh) * | 2012-05-29 | 2014-08-01 | Gigastorage Corp | A ingot holding composition and a method of sandwiching the ingot |
| CN108957041A (zh) * | 2018-07-17 | 2018-12-07 | 国网河南省电力公司南阳供电公司 | 一种变电站智能高压挂线器及使用方法 |
| CN109763167B (zh) * | 2019-03-15 | 2021-01-26 | 内蒙古和光新能源有限公司 | 一种半导体单晶硅提拉机 |
| CN115489037B (zh) * | 2022-11-18 | 2023-02-24 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 晶体截断方法及晶体生长设备 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US702014A (en) * | 1901-01-08 | 1902-06-10 | James A Chambers | Method of drawing glass. |
| US921861A (en) * | 1908-09-21 | 1909-05-18 | Salle Machine & Tool Company | Metal-shearing machine. |
| DE1061527B (de) * | 1953-02-14 | 1959-07-16 | Siemens Ag | Verfahren zum zonenweisen Umschmelzen von Staeben und anderen langgestreckten Werkstuecken |
| US2893847A (en) * | 1954-02-23 | 1959-07-07 | Siemens Ag | Apparatus for preparing rod-shaped, crystalline bodies, particularly semiconductor bodies |
| US3372003A (en) * | 1963-07-19 | 1968-03-05 | Shin Nippon Chisso Hiryo Kabus | Apparatus and method for producing silicon single crystals for semiconductor |
| FR1583432A (ja) * | 1968-03-05 | 1969-10-31 | ||
| DE3604739A1 (de) * | 1986-02-14 | 1987-08-20 | Wacker Chemitronic | Mehrblattinnenlochsaege fuer das zersaegen von kristallstaeben sowie vermittels dieser saege durchgefuehrte trennverfahren |
| EP0313714B1 (en) * | 1987-10-29 | 1993-10-13 | Tokyo Seimitsu Co.,Ltd. | Apparatus and method for slicing a wafer |
| JPH02243586A (ja) * | 1989-03-15 | 1990-09-27 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 単結晶引上装置における単結晶搬出装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2325571A patent/JPH078495B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-11-29 EP EP91311117A patent/EP0488785B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-11-29 US US07/800,307 patent/US5135727A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-11-29 DE DE69107422T patent/DE69107422T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69107422T2 (de) | 1995-10-05 |
| US5135727A (en) | 1992-08-04 |
| DE69107422D1 (de) | 1995-03-23 |
| EP0488785B1 (en) | 1995-02-15 |
| JPH078495B2 (ja) | 1995-02-01 |
| EP0488785A1 (en) | 1992-06-03 |
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