JPH04196339A - ウェハカセットケース - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造におけるウェハ保持及び収納、搬
送等に用いるカセットケースに係り、該ケースに製造条
件指示及び実績収集機能を具備したウェハカセットケー
スに関する。

〔従来の技術〕

半導体集積回路は、能動素子とこれら素子を結ぶ配線を
シリコンウェハ上に形成することによって得られる。こ
の実現のためには層構造を形成する必要があり、その製
造は、素子パターン、回路パターン、薄膜などの形成を
繰返し実施する各工程により構成されており、必然的に
製造工程数が増大するから、回路パターンの形成などの
実態は・異なる工程の作業を同一の設備を利用して実施
する場合が多く見られる。

従って製品の製造加工作業の実施には、工程進度とか作
業条件などは、予め作業者に情報として告知されている
必要があり、従来は、作業者が紙に書かれた前記情報の
内容を理解してから作業を実施していた。また、通常、
ウェハはカセットケースに収納され、さらに、内部では
ウェハホルダーに保持され製造されているが、作業毎に
ウェハは該ケースよりとり出され作業後再びケースに収
納されるが、ケースに取り付けた紙の前記情報とウェハ
とが異なる間違い作業等が発生している。

さらに、この作業を機械により自動化する場合、すなわ
ち製造設備機械の動作条件を自動的に設定できるように
したり、ウェハの自動輸送を行なうように構成したライ
ンでは、製品の工程進度と製造条件を自動的に認識し、
製造設備に対して加工条件を設定して作業を実施する方
式が特開昭６３−５０３２６０号公報及び特開昭６３−
５０３２５９号公報に開示されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術においては、製造ラインの設備全般に対し
て、ウェハを受は払いする搬送機構や製造工程、製造条
件等を取り込むことが可能な通信インタフェースを設け
ることが自動化の必要条件である。このため、従来から
の既存ラインを自動化するには大規模な投資と時間を要
するという問題があり、自動化したラインで製造途中の
ウェハを、自動化されていない別のラインで製造する場
合に、製造に必要な情報を自動化されていない前記別の
ラインに伝達しておく方式については配慮されていない
。本発明は従来技術の上記課題を解決し、前記自動化ラ
インと自動化されていないライン、すなわち製造設備と
作業者の双方に対してウェハの製造工程の進行度と製造
作業条件を指示することができ、さらにその作業実績を
入力し記憶する機能を備えたウェハカセットであり、更
に、ウェハ自体を保持するウェハホルダーのＩＤと該ウ
ェハホルダーの収納されるウェハカセットケースのＩＤ
とを照合させる機能を有したウェハカセットケースを提
供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的は、下記条件を備えたウェハカセットケース
により達成される。

半導体の製造工程順序と工程名、及び製造条件等の情報
を記憶させておき、製造設備との接続により、前記情報
を製造設備に転送可能な通信機能を備え、作業者に対し
ては工程名と前記製造条件を指示装置に設けた表示部に
表示し、製造装置と作業者の双方に製造工程と製造条件
を指示することができるようにする。

また、前記通信機能による製造条件、表示された製造条
件による作業実績の入力は、製造設備からの通信により
受信する機能と、前記指示装置にテンキーまたはファン
クションキー等の入カキ−を操作して作業者が入力する
ことができる機能とを備え、入力された実績データは、
前記指示装置に記憶されるようにする。

さらにまた、指示装置による指示は、事前に記憶してい
る製造工程順序、各工程に対応した製造条件のデータを
指示装置内部に記憶し、前記データの出力は、製造工程
順序にしたがって順次製造装置または作業者に出力され
るが、このとき記憶している作業の実績データの有無に
より作業が終了した工程を判別し指示情報を出力するよ
うにする。

ウェハを保持するウェハホルダーは、作業毎にウェハカ
セットケースより取り出される。その時に、ウェハホル
ダーはＩＤ信号を発生し、作業終了後、ウニバカセント
に戻される。このとき、ウェハホルダーとウェハカセッ
トケースに間違いが生じた場合、ウェハカセットケース
は、そのＩＤ信号を認識し、音声や、発光による手段で
間違いを作業者に知らせるとともに、搬送ロボット等の
設備には、電気信号として間違いを知らせる。

〔作用〕

上記の構成により、半導体装置の製造において、製品の
製造条件が製造工程毎に正確に、製造装置と作業者に指
示することができ、また、製造装置または作業者による
製造作業実績を記録し表示することができる。

〔実施例〕

本発明の一実施例を図面と共に説明する。

第１図は、本発明の構成を示すブロック図である。本発
明に係る半導体装置の製造指示装置は、装置全般を制御
する制御部１０１と、キーボードによる入力部１０２と
、作業者に作業条件を表示する表示部１０５と、表示さ
れた画面のスクロールなどの制御を行なう表示制御部１
０３と、表示された製造工程、製造条件データ、製造実
績データ及び制御部１０１が装置全体を制御するプログ
ラムを収納する記憶部（メモリ）】０４と、製造装置に
製造条件を伝達する通信出力部１０７と、前記製造条件
による作業実績データを製造装置からの受信内容を入力
する通信入力部１０８と、前記通信出力部１０７及び通
信入力部１０８を制御する通信制御部１０６とウェハホ
ルダのＩＤ信号例えば、マイクロ波を受信するアンテナ
１１０、及びそのＩＤ信号を認識する周波数カウンタと
、その周波数が本体に割り当てられたものかをチエツク
するＩＤ認識部１０９より構成されている。

第２図は、本発明に係るウェハカセットケース２０１の
外観の斜視図を示し、２０２は表示器で液晶または発光
素子を使用し、製造する製品の製造品種名、製造番号、
製造工程を表示する。２０３は発光素子により製造装置
にデータを送信する通信出力端、２０４は製造装置から
作業の実績データを受信する受光素子の通信入力端を示
しキーボードは、表示内容をスクロールする表示制御キ
ー２０５、工程表示キー２１１、製造条件表示キー２１
０、通信送信キー２０９、通信受信キー２０８、実績入
力キー２０７等の各種のファンクションキーと、テンキ
ー２０６などから構成されている。

第２図実施例では、表示器２０１には、品種名ＨＧＯＯ
ＯＩ、前工程名の洗浄、当該工程名の酸化、次工程名検
査が表示されている状態を示す。

本発明のウェハカセットケース２０１では、作業者が製
造条件を見て作業を実施する場合は、工程表示キー２１
１を押下し、作業対象である製品の製造品種名、製造番
号及び当該作業着手対象工程名、及びその前後の作業工
程名とを表示させる。

この表示は制御キー２０５の上下方向矢印のスクロール
キーの押下により以後の工程名称、または、既に加工を
終了した工程名称を表示させることができる。さらに左
右方向矢印のスクロールキーの押下により工程実績を検
査することができる。

この実績データは、検査結果を示すものもあり例えば、
これから作業する工程がパターンを形成するドライエツ
チング工程であるならば、その前工程の成膜工程の厚さ
からエツチング時間を設定するのに参考となる。これか
ら実施する工程が表示された後、条件表示キー２１０を
押下することにより作業条件が表示される。この条件は
１作業を実施するときの設備への設定値であり、例えば
、第２図の表示部２０２に表示された酸化工程であれば
、酸化における雰囲気、酸化ガスの流量、酸化温度、酸
化時間、検査するときの酸化膜の厚さ規格、設備のレシ
ピ番号などがこれに該当する表示器２０２に表示された
内容により、作業者は製造装置に対して製造条件を設定
し作業を実施する。

作業終了後は、作業者が実績入カキ−２０７を押下し、
さらにテンキー２０６を操作することにより、ウニバカ
セントケース２０１の内部にあるメモリ１０４に作業実
績が入力される。

この時に、ウェハカセットケース２０１に収納されたウ
ェハホルダのＩＤ信号が、ウェハカセットケース２０１
と異なる場合には、アラーム音を発するアラームスピー
カ２１２により音を発するとともに、アラーム発光部２
１３が発光し、作業者に内部のウェハが間違っているこ
とを知らせる。

次に、製造装置３０１に対して自動的に条件設定する状
況について第３図を用いて説明する。ウェハカセットケ
ース２０１と製造装置３０１とは、指示データ通信イン
タフェース３０３を介して接続されており、これにより
、ウェハカセットケース２０１からの出力を製造設備３
０１の制御用コンピュータ３０２の信号に変換し、製造
装置３０１に製造条件を設定することができる。

指示データ通信インタフェース３０３は、第３図では製
造装置３０１の制御用コンピュータ３０２へのデータ変
換用として設置したが、制御用コンピュータ３０２の内
部にウェハカセットケース２０１のデータを取り込める
インタフェースを設置しても、第３図と同様に製造装置
３０１に製造条件を設定することができる。

第４図は、実際に製造ラインで、自動的に製造条件を設
定できる通信機能付製造装置４０３と、通信機能を装置
に組み込んだ製造装［４０３’　と、通信機能のない製
造装Ｗ４０４とが混在している製造ラインに本発明のウ
ェハカセットケース２０１を適用した製造条件指示シス
テムの実施例を示す図である。

通信手段により制御用コンピュータ３０２を用いて製造
条件を設定可能な製造装＠４０３．４０３′にはウェハ
カセットケース２０１により製造条件の自動設定が可能
であり、また、通信機能のない製造装置４０４は、作業
者がウェハカセットケース２０１の条件指示内容を見て
作業を実施する。

第４図実施例に示すように、半導体装置の製造ライン全
体が、ホストコンピュータによるネットワークシステム
を導入しなくても、正確な製造条件を製造装置に指示す
ることができ、コンピュータネットワークによる製造ラ
インに対しても適用が可能である。さらには、製造装置
や半導体製造用のウェハの搬送をロボットなどにより自
動化したライン、及び自動化されていないラインの双方
を含む製造ラインにおいても、正確な製造条件の指示並
びにその作業実績を入力し、記憶し、出力させることが
できる。

〔発明の効果〕

本発明の実施により、半導体装置の製造ライン全体が、
ホストコンピュータによるネットワークシステムを導入
しなくても、正確な製造条件を製造装置に指示すること
ができ、製品の製造条件を製造工程毎に正確に、製造装
置と作業者に指示することができ、製造条件の選択の誤
りによる不良の発生率を低減し、また作業実績データを
保管し表示することにより、作業内容を製造終了後に詳
細にチエツクすることができるため、製品特性の解析に
よる不良内容の究明並びに製品歩留りの向上に寄与する
ことができる等の顕著な効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る半導体装置の製造指示装置の第１
実施例の構成ブロック図、第２図は本発明に係る作業者
指示用指示装置の外観斜視図、第３図は第１図の構成に
よる本発明の製造指示装置と半導体製造装置の組合せを
示す実施例の斜視図。 第４図は第１図、第２図、第３図による製造条件指示シ
ステムの構成を示す実施例図である。 １０３・・・表示制御部、１ｏ４・・・記録部。 １０５・・・表示部、１０６・・通信制御部。 １０７・通信圧力部、１０８・・通信入力部。 ２０１・　ウェハカセットケース、　　　２０２山表示
器。 ２０３・通信出力端、２０４・通信久方端。 ２０５・・表示制御キー、２０６・テンキー。 ２０７・・実績入カキ−２２０８・通信受信キー。 ２０９　　通信送信キー、２１ｏ・・条件表示キー。 ２１１・・工程表示キー、２１２・・アラームスピーカ
。 ２１３・アラーム発光部、３０１・・製造装置。 ３０２・・製造装置制御コンピュータ。 ３０３・・指示データ通信インタフェース。 ４０３・・通信機能付製造装置。 ４０３′・・制御コンピュータに指示データ通信インタ
フェース付製造装置。 ４０４・通信機能なしの製造装置。 第　１　図 １０ｓ １０３−−−一表示制ｊ穆ｐ邦 ＋０４−−−一吉己４示、符ｐ（メモリ）＋０５−−−
−　Ａ元部 ＋０６−−−−通４制竹ｐ邦 ｒｏ　７−−−一通／１ｇ土乃邦 １０８−−−−垣イ盲人力仲 ％　２　図 ２０３　２ρ４ ｚｏｒ−−−−一つエバ勾セ゛ソトケース　　　　２ｏ
７−−−−’ｊＣＡＫ入カキ−２０２−−−−一表・干
４Ｌ　　　　　　　　　　　　　２ｒ）Ｂ−−−−４イ
Ａ受／ｌｔ”−２０３−−−−Ｕイ宮出り塙　　　　　
　　　　　ｚｏｑ−−＊イｔｘＬ４言４−２０４−−−
−−Ａ’Ｉ””　　　　　　　　　　　　”ｏ−−−−
−＄ｌＬ、４４’ｔ、＆Ａ＊−ｚｏｓ−−−−−表示４
９イｉＦｌ］Ｊ−２１１−−−−−Ｌ第４Ｌ−しｊ−Ｎ
　−第　３図 ０ｔ ｚｏｒ−−−−ワエハｔＪｔツＬケース３０１〜−一−
ｆ！ｈＬ装置 ３０２−−−一惨ムｉ」え１牛り９卸コレビー〜り３０
３−−−−４記テテ゛ニタｍイ吉仁グフェース第　４　
図 ４０３　　　　　４０３’　　　　　　　４０４２ｏト
□−ラエハカセットヶー人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、半導体装置を製造するウェハを保持するウェハカセ
   ットケースにおいて、 製造工程順序と前記製造工程に対応する製造条件を記憶
   する記憶部と、 前記記憶部から前記製造装置に前記製造条件を指令する
   手段と、 前記製造工程の名称と製造条件を作業者が目視可能のよ
   うに表示する、キー入力部を含む出力表示手段と、 前記記憶部、前記製造条件を指令する手段、前記キー入
   力部と出力表示手段を含む全装置を制御する制御部とを
   具備し、 前記製造装置若しくは作業者による製造作業実績を、前
   記記憶部に記憶させると共に前記キー入力部を含む出力
   表示手段を介して選択表示が可能のように構成したこと
   を特徴とするウェハカセットケース。 ２、前記作業者が目視可能な出力表示手段は、当該作業
   工程及びその前後工程を表示すると共に前記各工程の製
   造条件若しくは作業条件を表示可能な手段を備えている
   ことを特徴とする請求項１記載のウェハカセットケース
   。 ３、前記記憶部から前記製造装置に前記製造条件を出力
   する手段は、前記製造設備が認識可能なデータ形式に信
   号変換する通信インタフェースを介してなされることを
   特徴とする請求項１記載のウェハカセットケース。 ４、前記ウェハカセットケースは、収納するウェハホル
   ダーからのＩＤ信号を認識する手段を備えていることを
   特徴とする請求項１記載のウェハカセットケース。