JPH0418246B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0418246B2 JPH0418246B2 JP60227189A JP22718985A JPH0418246B2 JP H0418246 B2 JPH0418246 B2 JP H0418246B2 JP 60227189 A JP60227189 A JP 60227189A JP 22718985 A JP22718985 A JP 22718985A JP H0418246 B2 JPH0418246 B2 JP H0418246B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- field light
- shielding film
- dark
- reflected
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 claims description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 5
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 6
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、表面に凹凸パターンを有する、組
み立て工程中の半導体集積回路素子等の対象物表
面を、撮影のために照明するパターン認識照明装
置に関する。
み立て工程中の半導体集積回路素子等の対象物表
面を、撮影のために照明するパターン認識照明装
置に関する。
［従来の技術］
第３図は従来から使用されているパターン認識
用照明装置を示す縦断面図で、図において１は対
象物である半導体集積回路素子チツプ、２はこの
チツプ１の中心の垂線、３はこの垂線より15°傾
けて配設された光源用ランプ、４はチツプ１とラ
ンプ３間に配設された拡散透過板であるすりガラ
ス板、５は、このすりガラス板４を保持、固定し
ランプ３を囲むランプハウス、６は垂線２に対し
ランプ３と対称に15°傾けて配設されたカメラ装
置、７はチツプ１に当てられ反射しカメラ装置６
に向かう反射光、８は主にこの反射光７が通過す
る反射光域、９はチツプ１の表面で正反射された
光が反射光７の成分となる明視野光、１０は主に
この明視野光９が通過する明視野光域、１１はチ
ツプ１の表面で乱反射された光の一部が反射光７
の成分となる暗視野光、１２は主にその暗視野光
１１が通過する暗視野光域である。
用照明装置を示す縦断面図で、図において１は対
象物である半導体集積回路素子チツプ、２はこの
チツプ１の中心の垂線、３はこの垂線より15°傾
けて配設された光源用ランプ、４はチツプ１とラ
ンプ３間に配設された拡散透過板であるすりガラ
ス板、５は、このすりガラス板４を保持、固定し
ランプ３を囲むランプハウス、６は垂線２に対し
ランプ３と対称に15°傾けて配設されたカメラ装
置、７はチツプ１に当てられ反射しカメラ装置６
に向かう反射光、８は主にこの反射光７が通過す
る反射光域、９はチツプ１の表面で正反射された
光が反射光７の成分となる明視野光、１０は主に
この明視野光９が通過する明視野光域、１１はチ
ツプ１の表面で乱反射された光の一部が反射光７
の成分となる暗視野光、１２は主にその暗視野光
１１が通過する暗視野光域である。
次にその動作について説明する。ランプ３から
発せられた光はすりガラス板４に当たり拡散され
る。この拡散された光の一部はチツプ１の表面へ
明視野光９と暗視野光１１として向かう。チツプ
１の表面は第４図で示すように微細な凹凸面を有
しているので、その平坦な部分に対しては明視野
光９の正反射された光が、傾斜のある部分に対し
ては暗視野光１１の乱反射された光がカメラ装置
６に向かう。これら２種類の光によつてチツプ１
表面の明るさはカメラ装置６側から見た時均一に
なり、カメラ装置６には均一の明るさのチツプ１
の画像が得られる。
発せられた光はすりガラス板４に当たり拡散され
る。この拡散された光の一部はチツプ１の表面へ
明視野光９と暗視野光１１として向かう。チツプ
１の表面は第４図で示すように微細な凹凸面を有
しているので、その平坦な部分に対しては明視野
光９の正反射された光が、傾斜のある部分に対し
ては暗視野光１１の乱反射された光がカメラ装置
６に向かう。これら２種類の光によつてチツプ１
表面の明るさはカメラ装置６側から見た時均一に
なり、カメラ装置６には均一の明るさのチツプ１
の画像が得られる。
［発明が解決しようとする問題点］
従来の装置は以上の様に構成されているので、
明視野光域１０中の光量と暗視野光域中の光量と
の割合、即ち明視野光・暗視野光成分比が一定で
あるため、表面の凹凸状態の異なるチツプ１に対
してはカメラ装置６に向かう反射光７の均一度が
異なつてくる。即ち所定の凹凸面をもつたチツプ
に対し、均一の明るさのチツプ画像が得られて
も、それと異なつた凹凸面をもつたチツプ表面か
らは均一な明るさの画像が得られず、例えばカメ
ラ装置６からの画像信号を２値化処理した場合、
チツプ画像の一部が欠ける等の問題点を有してい
た。
明視野光域１０中の光量と暗視野光域中の光量と
の割合、即ち明視野光・暗視野光成分比が一定で
あるため、表面の凹凸状態の異なるチツプ１に対
してはカメラ装置６に向かう反射光７の均一度が
異なつてくる。即ち所定の凹凸面をもつたチツプ
に対し、均一の明るさのチツプ画像が得られて
も、それと異なつた凹凸面をもつたチツプ表面か
らは均一な明るさの画像が得られず、例えばカメ
ラ装置６からの画像信号を２値化処理した場合、
チツプ画像の一部が欠ける等の問題点を有してい
た。
この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、表面の凹凸状態の異なるチツ
プ等の対象物の表面からも均一な明るさを得るこ
とができるパターン認識用照明装置を得ることを
目的とする。
になされたもので、表面の凹凸状態の異なるチツ
プ等の対象物の表面からも均一な明るさを得るこ
とができるパターン認識用照明装置を得ることを
目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明にかかるパターン認識用照明装置は、
すりガラス板等の拡散透過板上に明視野光成分と
暗視野光成分との比を調整するための暗視野光の
一部を遮光する円形リング状遮光膜を設けたもの
である。
すりガラス板等の拡散透過板上に明視野光成分と
暗視野光成分との比を調整するための暗視野光の
一部を遮光する円形リング状遮光膜を設けたもの
である。
［作用］
この発明においては、拡散透過板上に設けたリ
ング状遮光膜により暗視野光の一部を遮光するな
どして対象物の表面状態が異なつても均一な反射
光が得られるよう調整される。
ング状遮光膜により暗視野光の一部を遮光するな
どして対象物の表面状態が異なつても均一な反射
光が得られるよう調整される。
［実施例］
以下この発明の実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図はそれの拡散透過板部を示す下面図である。
図において２〜１２は従来装置と同様のものであ
り、１３は、拡散透過板であるすりガラス板４に
貼り付けたリング状遮光膜、１４はこのリング状
遮光膜１３の内側のすりガラス板４に貼りつけた
半遮光膜、１５は、対象物である従来装置におい
て均一な反射光を得たチツプ１とは異なつた凹凸
状態の表面をもつ品種の異なるチツプである。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図はそれの拡散透過板部を示す下面図である。
図において２〜１２は従来装置と同様のものであ
り、１３は、拡散透過板であるすりガラス板４に
貼り付けたリング状遮光膜、１４はこのリング状
遮光膜１３の内側のすりガラス板４に貼りつけた
半遮光膜、１５は、対象物である従来装置におい
て均一な反射光を得たチツプ１とは異なつた凹凸
状態の表面をもつ品種の異なるチツプである。
次にその動作を説明する。ランプ３から発せら
れた光はすりガラス板４に当たり拡散透過する。
この光がチツプ１５に向かうが、その内リング状
遮光膜１３の貼付された個所からチツプ１５に向
かう光はなく、その分暗視野光１１は減少する。
又、半遮光膜１４によつて明視野光９が減少す
る。このことはリング状遮光膜１３の外径又は半
遮光膜１４の光透過度を変えることによつて明視
野光９と暗視野光１１の成分比が変わることを示
している。従つてカメラ装置６でとらえた品種の
異なるチツプ１５の画像を均一とし、カメラ装置
６でとらえた品種の異なるチツプ１５の画像を均
一の明るさとすることができる。
れた光はすりガラス板４に当たり拡散透過する。
この光がチツプ１５に向かうが、その内リング状
遮光膜１３の貼付された個所からチツプ１５に向
かう光はなく、その分暗視野光１１は減少する。
又、半遮光膜１４によつて明視野光９が減少す
る。このことはリング状遮光膜１３の外径又は半
遮光膜１４の光透過度を変えることによつて明視
野光９と暗視野光１１の成分比が変わることを示
している。従つてカメラ装置６でとらえた品種の
異なるチツプ１５の画像を均一とし、カメラ装置
６でとらえた品種の異なるチツプ１５の画像を均
一の明るさとすることができる。
なお上記実施例ではすりガラス板４にリング状
遮光膜とそれの内側に半遮光膜を貼り付けたもの
を示したが、被対象物の表面凹凸状態によつて
は、リング状遮光膜とそれの外側に半遮光膜を貼
り付けるようにしてもよい。
遮光膜とそれの内側に半遮光膜を貼り付けたもの
を示したが、被対象物の表面凹凸状態によつて
は、リング状遮光膜とそれの外側に半遮光膜を貼
り付けるようにしてもよい。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば拡散透過板上
に暗視野光一部を遮光する円形リング状遮光膜を
設けるようにしたため、対象物の表面状態に応じ
て明視野光と暗視野光との成分比を変えることに
より、品種の異なる対象物からも均一な明るさの
反射光を得ることが、単に遮光膜を貼付する等の
極めて簡単かつ安価な手段によつて可能となるパ
ターン認識用照明装置が得られる効果がある。
に暗視野光一部を遮光する円形リング状遮光膜を
設けるようにしたため、対象物の表面状態に応じ
て明視野光と暗視野光との成分比を変えることに
より、品種の異なる対象物からも均一な明るさの
反射光を得ることが、単に遮光膜を貼付する等の
極めて簡単かつ安価な手段によつて可能となるパ
ターン認識用照明装置が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す縦断面図、
第２図はそれの拡散透過板部を示す下面図、第３
図は従来のパターン認識用照明装置を示す縦断面
図、第４図は対象物である集積回路素子チツプの
表面凹凸状態を示す断面図である。 図において１は集積回路素子チツプ（対象物）、
３は光源用チツプ、４はすりガラス板（拡散透過
板）、６はカメラ装置、７は反射光、８は反射光
域、９は明視野光、１０は明視野光域、１１は暗
視野光、１２は暗視野光域、１３はリング状遮光
膜、１４は半遮光膜、１５はチツプ１とは異なる
品種のチツプ（対象物）である。図中同一符号は
同一或は相当部分を示す。
第２図はそれの拡散透過板部を示す下面図、第３
図は従来のパターン認識用照明装置を示す縦断面
図、第４図は対象物である集積回路素子チツプの
表面凹凸状態を示す断面図である。 図において１は集積回路素子チツプ（対象物）、
３は光源用チツプ、４はすりガラス板（拡散透過
板）、６はカメラ装置、７は反射光、８は反射光
域、９は明視野光、１０は明視野光域、１１は暗
視野光、１２は暗視野光域、１３はリング状遮光
膜、１４は半遮光膜、１５はチツプ１とは異なる
品種のチツプ（対象物）である。図中同一符号は
同一或は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 表面に凹凸パターンの有する対象物の表面に
単一光源から拡散透過板を介して照射し、それか
らの反射波をカメラ装置で撮影するようにしたパ
ターン認識用照明装置において、上記拡散透過板
上に、上記対象物の表面から反射され上記カメラ
装置に向かう反射光中、正反射される明視野光成
分と乱反射される暗視野光成分との比を調整する
ための上記暗視野光の一部を遮光する円形リング
状遮光膜を設けたことを特徴とするパターン認識
用照明装置。 ２ 上記遮光膜の内側中央部に明視野光を減光さ
せる半遮光膜を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のパターン認識用照明装置。 ３ 上記遮光膜の外側に暗視野光の残部を減光さ
せる半遮光膜を設けたことを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載のパターン認識用照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22718985A JPS6285809A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | パタ−ン認識用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22718985A JPS6285809A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | パタ−ン認識用照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285809A JPS6285809A (ja) | 1987-04-20 |
| JPH0418246B2 true JPH0418246B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=16856883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22718985A Granted JPS6285809A (ja) | 1985-10-11 | 1985-10-11 | パタ−ン認識用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285809A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735703A (en) * | 1980-08-13 | 1982-02-26 | Fujitsu Ltd | Film surface inspecting method |
| JPS5767844A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Surface inspecting device |
| JPS59200908A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Hitachi Ltd | ウエハの照明方法およびその装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59149006U (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-05 | 株式会社東芝 | 検出装置 |
-
1985
- 1985-10-11 JP JP22718985A patent/JPS6285809A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735703A (en) * | 1980-08-13 | 1982-02-26 | Fujitsu Ltd | Film surface inspecting method |
| JPS5767844A (en) * | 1980-10-15 | 1982-04-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | Surface inspecting device |
| JPS59200908A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Hitachi Ltd | ウエハの照明方法およびその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6285809A (ja) | 1987-04-20 |
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