JP3399069B2 - リング状照明装置 - Google Patents
リング状照明装置Info
- Publication number
- JP3399069B2 JP3399069B2 JP34763993A JP34763993A JP3399069B2 JP 3399069 B2 JP3399069 B2 JP 3399069B2 JP 34763993 A JP34763993 A JP 34763993A JP 34763993 A JP34763993 A JP 34763993A JP 3399069 B2 JP3399069 B2 JP 3399069B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical fiber
- ring
- frame
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、プリント基板
などの被検査対象物の表面に水平方向から光を照射し、
被検査対象物の表面の突起部等の輪郭部分を強調してパ
ターン検査する際に用いられるリング状照明装置に関す
る。
などの被検査対象物の表面に水平方向から光を照射し、
被検査対象物の表面の突起部等の輪郭部分を強調してパ
ターン検査する際に用いられるリング状照明装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、プリント基板などの被検査対象
物の表面をパターン検査する際には、ＣＣＤカメラによ
りプリント基板の表面を撮像しながら、撮像された画像
を画像処理し、該画像中のコントラストにより被検査対
象物の表面の凹凸パターンを認識している。
物の表面をパターン検査する際には、ＣＣＤカメラによ
りプリント基板の表面を撮像しながら、撮像された画像
を画像処理し、該画像中のコントラストにより被検査対
象物の表面の凹凸パターンを認識している。
【０００３】この場合、被検査対象物の表面の凹凸部分
と他の平坦部分とのコントラスト差をより強くするため
に、被検査対象物の検査箇所を照明する照明装置が用い
られ、この種の照明装置としては、従来において、水平
照明用のリングライト等のリング状照明装置が一般的に
用いられている。
と他の平坦部分とのコントラスト差をより強くするため
に、被検査対象物の検査箇所を照明する照明装置が用い
られ、この種の照明装置としては、従来において、水平
照明用のリングライト等のリング状照明装置が一般的に
用いられている。
【０００４】このようなリング状照明装置２１は、図７
および図８に示すように、撮像部分に光を放出する光フ
ァイバ照射部２２が略円環状に形成され、上記光ファイ
バ照射部２２には全周または等間隔に光を放出する光フ
ァイバーが理め込まれており、各光ファイバーは上記光
ファイバ照射部２２から外部の光源に接続されている。
および図８に示すように、撮像部分に光を放出する光フ
ァイバ照射部２２が略円環状に形成され、上記光ファイ
バ照射部２２には全周または等間隔に光を放出する光フ
ァイバーが理め込まれており、各光ファイバーは上記光
ファイバ照射部２２から外部の光源に接続されている。
【０００５】上記光ファイバ照射部２２の各光ファイバ
ーから放出される光Ｌは、図８に示すように、光ファイ
バ照射部２２の中心軸に直交する面に平行な０°を中心
に広角が略７０°の範囲の照射角度に設定され、光ファ
イバ照射部２２の内側を照射できる構造となっている。
尚、図中２３は光ファイバケーブルである。
ーから放出される光Ｌは、図８に示すように、光ファイ
バ照射部２２の中心軸に直交する面に平行な０°を中心
に広角が略７０°の範囲の照射角度に設定され、光ファ
イバ照射部２２の内側を照射できる構造となっている。
尚、図中２３は光ファイバケーブルである。
【０００６】そして、プリント基板などの被検査対象物
２４の表面の撮像しようとする所定箇所が内側となるよ
うに光ファイバ照射部２２をプリント基板２４の表面上
方にセットし、図９に示すように、光ファイバ照射部２
２によってプリント基板２４の所定の表面に光を照射す
ることにより、側えぱ、プリント基板２４の表面の突起
部２４Ａで照明装置２１の照射光Ｌが乱反射され、この
乱反射光により、突起部２４Ａのエッジ部分が周囲の部
分より明るくなり、従って、光ファイバ照射部２２の上
方からＣＣＤカメラ２５により撮像された画像を画像処
理することで、プリント基板２４の表面のパターンを認
識し、表面の検査を行うことができる。
２４の表面の撮像しようとする所定箇所が内側となるよ
うに光ファイバ照射部２２をプリント基板２４の表面上
方にセットし、図９に示すように、光ファイバ照射部２
２によってプリント基板２４の所定の表面に光を照射す
ることにより、側えぱ、プリント基板２４の表面の突起
部２４Ａで照明装置２１の照射光Ｌが乱反射され、この
乱反射光により、突起部２４Ａのエッジ部分が周囲の部
分より明るくなり、従って、光ファイバ照射部２２の上
方からＣＣＤカメラ２５により撮像された画像を画像処
理することで、プリント基板２４の表面のパターンを認
識し、表面の検査を行うことができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
リング状照明装置２１によれば、被検査対象物２４の平
坦な部分２４Ｂには照明装置２１の照射光Ｌが殆ど照射
されないため、該平坦な部分２４Ｂを良好な状態で撮像
することができず、これを解決するために、照明装置２
１の上方から被検査対象物２４の表面を照射する直接照
明を追加すると、突起部２４Ａで反射された照明装置２
１の照射光Ｌより大きい光量で上記平坦な部分２４Ｂか
らＣＣＤカメラ２５に反射光が入射され、これにより、
突起部２４Ａのエッジ部分の画像がカブってしまい、特
に、ＣＣＤカメラ２５がカラーである場合には、撮影画
面が見にくくなるという不具合があった。
リング状照明装置２１によれば、被検査対象物２４の平
坦な部分２４Ｂには照明装置２１の照射光Ｌが殆ど照射
されないため、該平坦な部分２４Ｂを良好な状態で撮像
することができず、これを解決するために、照明装置２
１の上方から被検査対象物２４の表面を照射する直接照
明を追加すると、突起部２４Ａで反射された照明装置２
１の照射光Ｌより大きい光量で上記平坦な部分２４Ｂか
らＣＣＤカメラ２５に反射光が入射され、これにより、
突起部２４Ａのエッジ部分の画像がカブってしまい、特
に、ＣＣＤカメラ２５がカラーである場合には、撮影画
面が見にくくなるという不具合があった。
【０００８】そこで、本発明は、プリント基板などの被
検査対象物の表面を撮像しパターン検査する際に、検査
箇所の周囲を直接照明する別の照明を不要とし、被検査
対象物の表面に直接照射されない不要な光を有効に利用
して、光利用率を向上させることができるリング状照明
装置を提供することを目的としている。
検査対象物の表面を撮像しパターン検査する際に、検査
箇所の周囲を直接照明する別の照明を不要とし、被検査
対象物の表面に直接照射されない不要な光を有効に利用
して、光利用率を向上させることができるリング状照明
装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るリング状照明装置は、略々円環状に形
成された枠体と、基端部を光源に接続され先端部を枠体
に装着されてこの枠体の中心側に光を放出する複数の光
ファイバを有しこれら光ファイバからの出射光が該枠体
の主面に平行な面を中心に上下方向の広角を有する光フ
ァイバ照射部と、枠体の内側に設けられ光ファイバ照射
部から上方側に放射される光を乱反射させる間接照明用
の乱反射鏡と、この乱反射鏡を貫通して枠体の略々中央
部に位置して設けられた撮像用の透過開口とを備え、光
ファイバ照射部は、枠体の略々中央部の乱反射鏡よりも
下方に位置する被検査対象物の検査箇所に対し、光ファ
イバからの出射光のうち下方側に放射される光を直接照
射するとともに、該光ファイバからの出射光のうち上方
側に放射される光を乱反射鏡により乱反射させて該検査
箇所及びその周辺の被検査対象箇所に照射することを特
徴とするものである。
め、本発明に係るリング状照明装置は、略々円環状に形
成された枠体と、基端部を光源に接続され先端部を枠体
に装着されてこの枠体の中心側に光を放出する複数の光
ファイバを有しこれら光ファイバからの出射光が該枠体
の主面に平行な面を中心に上下方向の広角を有する光フ
ァイバ照射部と、枠体の内側に設けられ光ファイバ照射
部から上方側に放射される光を乱反射させる間接照明用
の乱反射鏡と、この乱反射鏡を貫通して枠体の略々中央
部に位置して設けられた撮像用の透過開口とを備え、光
ファイバ照射部は、枠体の略々中央部の乱反射鏡よりも
下方に位置する被検査対象物の検査箇所に対し、光ファ
イバからの出射光のうち下方側に放射される光を直接照
射するとともに、該光ファイバからの出射光のうち上方
側に放射される光を乱反射鏡により乱反射させて該検査
箇所及びその周辺の被検査対象箇所に照射することを特
徴とするものである。
【００１０】また、本発明は、上述のリング状照明装置
において、乱反射鏡は、凹凸のある硝子板面にアルミニ
ウムが蒸着されて形成されていることを特徴とするもの
である。
において、乱反射鏡は、凹凸のある硝子板面にアルミニ
ウムが蒸着されて形成されていることを特徴とするもの
である。
【００１１】
【作用】本発明によれば、光ファイバ照射部からの光の
一部が被検査対象物の検査箇所に直接照射されると共
に、該検査箇所に直接照射されない光が、乱反射鏡で乱
反射されて前記検査箇所及びその周辺の被検査対象物箇
所に導かれ、それらの箇所が前記乱反射光により間接照
明される。
一部が被検査対象物の検査箇所に直接照射されると共
に、該検査箇所に直接照射されない光が、乱反射鏡で乱
反射されて前記検査箇所及びその周辺の被検査対象物箇
所に導かれ、それらの箇所が前記乱反射光により間接照
明される。
【００１２】従って、本発明によれば、例えば、前記検
査箇所に凹凸がある場合、その周囲の被検査対象物箇所
を間接照明で明るくし、該被検査対象物箇所の撮影画像
を鮮明にしつつ、該被検査対象物箇所を直接照明した場
合のように、前記検査箇所からの反射光を上回る光量で
前記被検査対象物箇所から光が反射して、肝心の前記検
査箇所の画像がカブってしまうのを防止することができ
るので、前記被検査対象物箇所を照明する直接照明を別
途設ける必要をなくすことができる。
査箇所に凹凸がある場合、その周囲の被検査対象物箇所
を間接照明で明るくし、該被検査対象物箇所の撮影画像
を鮮明にしつつ、該被検査対象物箇所を直接照明した場
合のように、前記検査箇所からの反射光を上回る光量で
前記被検査対象物箇所から光が反射して、肝心の前記検
査箇所の画像がカブってしまうのを防止することができ
るので、前記被検査対象物箇所を照明する直接照明を別
途設ける必要をなくすことができる。
【００１３】また、このリング状照明装置においては、
検査箇所の直接照明と被検査対象物箇所の間接照明とが
同時になされるので、直接照明をせずに間接照明だけを
行った場合にありがちな影が生ずることもない。
検査箇所の直接照明と被検査対象物箇所の間接照明とが
同時になされるので、直接照明をせずに間接照明だけを
行った場合にありがちな影が生ずることもない。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面に基づき説
明する。
明する。
【００１５】図１は本実施例に係るリング状照明装置の
半砕側面図、図２は光ファイバケーブルの接続端子の端
面図、図３はリング状照明装置の底面図、図４はリング
状照明装置を示す図３中のＡ矢視図、図５はプリント基
板の表面のパターン検査を説明する側面図、図６はパタ
ーン検査時の照射光を説明する要部の断面図である。
半砕側面図、図２は光ファイバケーブルの接続端子の端
面図、図３はリング状照明装置の底面図、図４はリング
状照明装置を示す図３中のＡ矢視図、図５はプリント基
板の表面のパターン検査を説明する側面図、図６はパタ
ーン検査時の照射光を説明する要部の断面図である。
【００１６】本実施例のリング状照明装置１は、図１及
び図３に示すように、略円環状に形成された枠体３と、
これに装着された複数の光ファイバ４とにより構成され
た光ファイバ照射部２を備えている。
び図３に示すように、略円環状に形成された枠体３と、
これに装着された複数の光ファイバ４とにより構成され
た光ファイバ照射部２を備えている。
【００１７】上記複数の光ファイバ４はそれぞれの端面
が枠体３内の中央部に向け、且つ、上記枠体３を含む平
面に沿って全周又は所定間隔で配設されており、各々の
光ファイバ４から枠体３の中央部に向けて光が照射され
る。
が枠体３内の中央部に向け、且つ、上記枠体３を含む平
面に沿って全周又は所定間隔で配設されており、各々の
光ファイバ４から枠体３の中央部に向けて光が照射され
る。
【００１８】上記各々の光ファイバ４から放出される光
は、先の図８に示すように、光ファイバ照射部２の中心
に直交する面に平行な０°を中心に広角が略７０°の範
囲の照射角度に設定されている。
は、先の図８に示すように、光ファイバ照射部２の中心
に直交する面に平行な０°を中心に広角が略７０°の範
囲の照射角度に設定されている。
【００１９】上記各々の光ファイバ４の基端部は、図５
に示すように、光ファイバケーブル５および端部の接続
端子６を通じて光源、すなわち、本実施例ではハロゲン
ランプハウス７（光源に相当）に接続されている。
に示すように、光ファイバケーブル５および端部の接続
端子６を通じて光源、すなわち、本実施例ではハロゲン
ランプハウス７（光源に相当）に接続されている。
【００２０】上記光ファイバ照射部２をプリント基板８
上にセットした際に上記光ファイバ４の上部となる枠体
３位置には、図１および図５に示すように、乱反射鏡９
が取付けられている。
上にセットした際に上記光ファイバ４の上部となる枠体
３位置には、図１および図５に示すように、乱反射鏡９
が取付けられている。
【００２１】この乱反射鏡９は、上記光ファイバ照射部
２の枠体３の上部を塞ぐように設けられ、中央部分に
は、図３に示すように、所定の径の撮像用の透過開口１
０が設けられている。
２の枠体３の上部を塞ぐように設けられ、中央部分に
は、図３に示すように、所定の径の撮像用の透過開口１
０が設けられている。
【００２２】尚、上記光ファイバ照射部２をプリント基
板８上にセットした際に、上記透過開口１０の上方とな
る箇所には、図５に示すように、ＣＣＤカメラ１１が配
設され、ＣＣＤカメラ１１は画像処理装置１２に接続さ
れている。
板８上にセットした際に、上記透過開口１０の上方とな
る箇所には、図５に示すように、ＣＣＤカメラ１１が配
設され、ＣＣＤカメラ１１は画像処理装置１２に接続さ
れている。
【００２３】上記乱反射鏡９は、本実施例では、硝子板
の一方の面にアルミを蒸着して乱反射面が形成され、乱
反射面の裏側には黒色でツヤ消しが施されており、これ
により、周囲からの光入射等による撮像妨害が防止でき
るようになっている。
の一方の面にアルミを蒸着して乱反射面が形成され、乱
反射面の裏側には黒色でツヤ消しが施されており、これ
により、周囲からの光入射等による撮像妨害が防止でき
るようになっている。
【００２４】尚、乱反射鏡９としては、アルミ蒸着した
硝子板に限らず、光が乱反射面から裏面へ透過しないも
ので、且つ、光吸収の少ないものであれば適用すること
ができ、例えば、アルミ板を研磨又は研削して形成した
り、また、表面にシワをつけたアルミホイルを板材に貼
着して形成してもよい。
硝子板に限らず、光が乱反射面から裏面へ透過しないも
ので、且つ、光吸収の少ないものであれば適用すること
ができ、例えば、アルミ板を研磨又は研削して形成した
り、また、表面にシワをつけたアルミホイルを板材に貼
着して形成してもよい。
【００２５】更に、上記乱反射鏡９に設けられた透過開
口１０の半径としては、この透過開口１０の上方に設け
られるＣＣＤカメラ１１との関係で決定される。
口１０の半径としては、この透過開口１０の上方に設け
られるＣＣＤカメラ１１との関係で決定される。
【００２６】具体的には、ＣＣＤカメラ１１から得られ
る画像中に乱反射鏡９の像が入らない範囲で、できるだ
け小さい半径となるように設定されている。
る画像中に乱反射鏡９の像が入らない範囲で、できるだ
け小さい半径となるように設定されている。
【００２７】尚、本実施例では、上記ＣＣＤカメラ１１
としてはカラーのタイプを使用しており、この場合の光
源の光量はその光学系にもよるが、具体的には、５０Ｗ
〜１５０Ｗ程度のハロゲンランプを用いれば充分であ
る。
としてはカラーのタイプを使用しており、この場合の光
源の光量はその光学系にもよるが、具体的には、５０Ｗ
〜１５０Ｗ程度のハロゲンランプを用いれば充分であ
る。
【００２８】このようなリング状照明装置１を用いてプ
リント基板８などの被検査対象物の表面をパターン検査
する場合には、図５に示すように、プリント基板８の上
にリング状照明装置１をセットして乱反射鏡９の透過開
口１０の上方にＣＣＤカメラ１１をセットし、リング状
照明装置１の各々の光ファイバ４から枠体３内に光を放
出し、画像処理装置１２により画像処理しながらプリン
ト基板８のパターン検査が行なわれる。
リント基板８などの被検査対象物の表面をパターン検査
する場合には、図５に示すように、プリント基板８の上
にリング状照明装置１をセットして乱反射鏡９の透過開
口１０の上方にＣＣＤカメラ１１をセットし、リング状
照明装置１の各々の光ファイバ４から枠体３内に光を放
出し、画像処理装置１２により画像処理しながらプリン
ト基板８のパターン検査が行なわれる。
【００２９】この場合、各々の光ファイバ４からは略７
０°の広角範囲に光が放出されるが、直接光が、前記透
過開口１０の下方に位置する前記プリント基板８の例え
ば突起部８Ａ（検査箇所に相当）に直接照射され、これ
により、突起部８Ａのエッジ部分が光り、ＣＣＤカメラ
１１により撮像される。
０°の広角範囲に光が放出されるが、直接光が、前記透
過開口１０の下方に位置する前記プリント基板８の例え
ば突起部８Ａ（検査箇所に相当）に直接照射され、これ
により、突起部８Ａのエッジ部分が光り、ＣＣＤカメラ
１１により撮像される。
【００３０】また、図６に示すように、各々の光ファイ
バ４からは上方へ散逸する光が乱反射鏡９に向けて放出
され、この乱反射鏡９により所定表面の平坦部８Ｂ（検
査箇所の周辺の被検査対象物箇所に相当）が間接照明さ
れ、平坦部８Ｂが一様の明るさに照明される。
バ４からは上方へ散逸する光が乱反射鏡９に向けて放出
され、この乱反射鏡９により所定表面の平坦部８Ｂ（検
査箇所の周辺の被検査対象物箇所に相当）が間接照明さ
れ、平坦部８Ｂが一様の明るさに照明される。
【００３１】したがって、カラータイプのＣＣＤカメラ
１１によりリング状照明装置１の枠体３内を撮像して
も、突起部８Ａのエッジ部分の他に平坦部８Ｂも確実に
撮像することができる。
１１によりリング状照明装置１の枠体３内を撮像して
も、突起部８Ａのエッジ部分の他に平坦部８Ｂも確実に
撮像することができる。
【００３２】このため、従来のように平坦部８Ｂの照明
のために直接照明を追加する必要がなくなり、平坦部が
見にくくなるような写り込みを防止できる。また、平坦
部８Ｂの照明を直接照明でなく間接照明で行った場合に
ありがちな影が生ずることもない。
のために直接照明を追加する必要がなくなり、平坦部が
見にくくなるような写り込みを防止できる。また、平坦
部８Ｂの照明を直接照明でなく間接照明で行った場合に
ありがちな影が生ずることもない。
【００３３】尚、上記実施例では、リング状照明装置１
の枠体３としては円環状に構成したが、これに限ず四角
形状とした場合にも適用できる。また、リング状照明装
置１の光放出手段としては光ファイバ４に限らず、電球
やＬＥＤなどの発光手段であれば適用することが可能で
ある。
の枠体３としては円環状に構成したが、これに限ず四角
形状とした場合にも適用できる。また、リング状照明装
置１の光放出手段としては光ファイバ４に限らず、電球
やＬＥＤなどの発光手段であれば適用することが可能で
ある。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
略々円環状に形成された枠体の中心側に光を放出する複
数の光ファイバを有しこれら光ファイバからの出射光が
該枠体の主面に平行な面を中心に上下方向の広角を有す
る光ファイバ照射部と、枠体の内側に設けられ光ファイ
バ照射部から上方側に放射される光を乱反射させる間接
照明用の乱反射鏡と、前記乱反射鏡を貫通して前記光フ
ァイバ照射部の中央部に設けられた撮像用の透過開口と
を備える構成としたので、例えば、検査箇所に凹凸があ
る場合、その周囲の被検査対象物箇所を間接照明で明る
くし、該被検査対象物箇所の撮影画像を鮮明にしつつ、
該被検査対象物箇所を直接照明した場合のように、前記
検査箇所からの反射光を上回る光量で前記被検査対象物
箇所から光が反射して、肝心の前記検査箇所の画像がカ
ブってしまうのを防止することができるので、前記被検
査対象物箇所を照明する直接照明を別途設ける必要をな
くすことができる。
略々円環状に形成された枠体の中心側に光を放出する複
数の光ファイバを有しこれら光ファイバからの出射光が
該枠体の主面に平行な面を中心に上下方向の広角を有す
る光ファイバ照射部と、枠体の内側に設けられ光ファイ
バ照射部から上方側に放射される光を乱反射させる間接
照明用の乱反射鏡と、前記乱反射鏡を貫通して前記光フ
ァイバ照射部の中央部に設けられた撮像用の透過開口と
を備える構成としたので、例えば、検査箇所に凹凸があ
る場合、その周囲の被検査対象物箇所を間接照明で明る
くし、該被検査対象物箇所の撮影画像を鮮明にしつつ、
該被検査対象物箇所を直接照明した場合のように、前記
検査箇所からの反射光を上回る光量で前記被検査対象物
箇所から光が反射して、肝心の前記検査箇所の画像がカ
ブってしまうのを防止することができるので、前記被検
査対象物箇所を照明する直接照明を別途設ける必要をな
くすことができる。
【００３５】また、このリング状照明装置においては、
検査箇所の直接照明と被検査対象物箇所の間接照明とが
同時になされるので、直接照明をせずに間接照明だけを
行った場合にありがちな影が生ずることもない。
検査箇所の直接照明と被検査対象物箇所の間接照明とが
同時になされるので、直接照明をせずに間接照明だけを
行った場合にありがちな影が生ずることもない。
【００３６】すなわち、本発明は、プリント基板などの
被検査対象物の表面を撮像しパターン検査する際に、検
査箇所の周囲を直接照明する別の照明を不要とし、被検
査対象物の表面に直接照射されない不要な光を有効に利
用して、光利用率を向上させることができるリング状照
明装置を提供することができるものである。
被検査対象物の表面を撮像しパターン検査する際に、検
査箇所の周囲を直接照明する別の照明を不要とし、被検
査対象物の表面に直接照射されない不要な光を有効に利
用して、光利用率を向上させることができるリング状照
明装置を提供することができるものである。
【図１】本発明の一実施例に係り、リング状照明装置を
半砕して示す側面図である。
半砕して示す側面図である。
【図２】光ファイバケーブルの接続端子の端面図であ
る。
る。
【図３】リング状照明装置の底面図である。
【図４】リング状照明装置を示す図３中のＡ矢視図であ
る。
る。
【図５】プリント基板の表面のパターン検査を説明する
側面図である。
側面図である。
【図６】パターン検査時の照射光を説明する要部の断面
図である。
図である。
【図７】従来例のリング状照明装置を示す平面図であ
る。
る。
【図８】従来例のリング状照明装置を示す縦断面図であ
る。
る。
【図９】従来例のリング状照明装置による光の照射を説
明する断面図である。
明する断面図である。
１ リング状照明装置、２ 光ファイバ照射部、４ 光
ファイバ、７ ハロゲンランプハウス（光源）、８ 光
検査対象物、８Ａ 突起部（検査箇所）、８Ｂ平坦部
（検査箇所の周辺の被検査対象物箇所）、９ 乱反射
鏡、１０ 透過開口
ファイバ、７ ハロゲンランプハウス（光源）、８ 光
検査対象物、８Ａ 突起部（検査箇所）、８Ｂ平坦部
（検査箇所の周辺の被検査対象物箇所）、９ 乱反射
鏡、１０ 透過開口
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 21/84 - 21/958
F21V 8/00
Claims (2)
- 【請求項１】 略々円環状に形成された枠体と、 基端部を光源に接続され先端部を上記枠体に装着されて
この枠体の中心側に光を放出する複数の光ファイバを有
し、これら光ファイバからの出射光が該枠体の主面に平
行な面を中心に上下方向の広角を有する光ファイバ 照射
部と、上 記枠体の内側に設けられ、上記光ファイバ照射部から
上方側に放射される光を乱反射させる間接照明用の乱反
射鏡と、上 記乱反射鏡を貫通して上記枠体の略々中央部に位置し
て設けられた撮像用の透過開口とを備え、 上記光ファイバ照射部は、上記枠体の略々中央部の上記
乱反射鏡よりも下方に位置する被検査対象物の検査箇所
に対し、上記光ファイバからの出射光のうち下方側に放
射される光を直接照射するとともに、該光ファイバから
の出射光のうち上方側に放射される光を上記乱反射鏡に
より乱反射させて、該 検査箇所及びその周辺の被検査対
象箇所に照射することを特徴とするリング状照明装置。 - 【請求項２】 上記乱反射鏡は、凹凸のある硝子板面に
アルミニウムが蒸着されて形成されていることを特徴と
する請求項１記載のリング状照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34763993A JP3399069B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | リング状照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34763993A JP3399069B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | リング状照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07190923A JPH07190923A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3399069B2 true JP3399069B2 (ja) | 2003-04-21 |
Family
ID=18391585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34763993A Expired - Fee Related JP3399069B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | リング状照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3399069B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP34763993A patent/JP3399069B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07190923A (ja) | 1995-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6783257B2 (en) | Lighting apparatus for inspection of an object | |
| KR101318483B1 (ko) | 유리 시트의 표면 및 바디 결함을 식별하기 위한 검사 시스템 및 방법 | |
| US4735497A (en) | Apparatus for viewing printed circuit boards having specular non-planar topography | |
| CN106851074A (zh) | 一种图像采集装置及电子设备 | |
| JP3399069B2 (ja) | リング状照明装置 | |
| JPH08265472A (ja) | 実物画像機器 | |
| JP2003124700A (ja) | 撮像装置 | |
| JP2002199253A (ja) | 書画カメラの原稿照明装置 | |
| CN212112514U (zh) | 基于组合光源的明场和暗场定向反射光源总成 | |
| JP2756765B2 (ja) | 複写機等の原稿撮像装置 | |
| JPH03262275A (ja) | 透過型照明装置 | |
| CN111598057B (zh) | 一种基于组合光源的明场和暗场定向反射光源总成 | |
| CN115420752B (zh) | 输液袋异物识别灯检系统 | |
| JPH1012011A (ja) | 照明装置 | |
| JP2502074B2 (ja) | 原稿読取装置の照明装置 | |
| JPS61105977A (ja) | 物体観測装置 | |
| JP2001249083A (ja) | 外観検査装置用照明装置及び外観検査装置 | |
| CN206728126U (zh) | 一种图像采集装置及电子设备 | |
| JP2808856B2 (ja) | 基板の観察装置 | |
| JP2979521B2 (ja) | 照明光伝達治具 | |
| JPH10222715A (ja) | ワーク画像取込装置 | |
| JP3197814B2 (ja) | 印刷面検査装置 | |
| JP2000205841A (ja) | ウエハ形状認識方法 | |
| JPH02155106A (ja) | 照明装置 | |
| JP2002125095A (ja) | 画像撮像装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030121 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080221 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |