JPH04170737A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は、優れた光磁気記録特性を有する光磁気記録媒
体に関し、さらに詳しくは、記録パワーマージンが広く
、しかも記録感度の線速依存性が小さく、かつC/N比
が高く、その上長期信頼性に優れた光磁気記録特性を有
する光磁気記録媒体に関する。
体に関し、さらに詳しくは、記録パワーマージンが広く
、しかも記録感度の線速依存性が小さく、かつC/N比
が高く、その上長期信頼性に優れた光磁気記録特性を有
する光磁気記録媒体に関する。
発明の技術的背景
鉄、コバルトなどの遷移金属と、テルビウム(Tb)、
カドリニウム(Gd)などの希土類元素との合金からな
る光磁気記録膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
し、一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化方向と
は逆向きの小さな反転磁区を形成することができること
が知られている。この反転磁区の有無を「1」、「0」
に対応させることによって、上記のような光磁気記録膜
にデジタル信号を記録させることが可能となる。
カドリニウム(Gd)などの希土類元素との合金からな
る光磁気記録膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
し、一方向に全面磁化された膜面にこの全面磁化方向と
は逆向きの小さな反転磁区を形成することができること
が知られている。この反転磁区の有無を「1」、「0」
に対応させることによって、上記のような光磁気記録膜
にデジタル信号を記録させることが可能となる。
このような遷移金属と希土類元素とからなる光磁気記録
膜としては、たとえば特公昭57−20691号公報に
15〜30原子%のTbを含むTb−Fe系光磁気記録
膜が開示されている。またTb−Feに第3の金属を添
加してなる光磁気記録膜も用いられている。さらにTb
−Co系、Tb−Fe−Co系などの光磁気記録膜も知
られている。
膜としては、たとえば特公昭57−20691号公報に
15〜30原子%のTbを含むTb−Fe系光磁気記録
膜が開示されている。またTb−Feに第3の金属を添
加してなる光磁気記録膜も用いられている。さらにTb
−Co系、Tb−Fe−Co系などの光磁気記録膜も知
られている。
このような光磁気記録膜を基板上に積層してなる光磁気
記録媒体では、また記録感度の向上も望まれていた。
記録媒体では、また記録感度の向上も望まれていた。
さらにこのような光磁気記録媒体に情報を書込む際には
、記録パワーマージンが広く、しかも記録感度の線速依
存性が小さいことが望まれている。
、記録パワーマージンが広く、しかも記録感度の線速依
存性が小さいことが望まれている。
ここで情報を書込む際の記録パワーマージンが広いとは
、光磁気記録媒体にレーザ光などによって情報を書込む
際に、書込み光としてのレーザ光のパワーが多少変化し
ても正確に光磁気記録媒体に情報を書込むことかできる
ことを意味し、記録感度の線速依存性が小さいとは、光
磁気記録媒体にレーザ光などによって情報を書込む際に
、記録する位置の回転速度が変化しても書込み光として
のレーザ光の最適の記録パワーの変化のしかたが小さい
ことを意味している。
、光磁気記録媒体にレーザ光などによって情報を書込む
際に、書込み光としてのレーザ光のパワーが多少変化し
ても正確に光磁気記録媒体に情報を書込むことかできる
ことを意味し、記録感度の線速依存性が小さいとは、光
磁気記録媒体にレーザ光などによって情報を書込む際に
、記録する位置の回転速度が変化しても書込み光として
のレーザ光の最適の記録パワーの変化のしかたが小さい
ことを意味している。
このようにC/N比が高く、かつ記録パワーマージンが
広く、その上記緑感度の線速依存性が小さいような光磁
気記録媒体の出現が望まれている。
広く、その上記緑感度の線速依存性が小さいような光磁
気記録媒体の出現が望まれている。
本発明者らは、上記のような光磁気記録媒体を得るべく
鋭意検討したところ、基板上に、特定の第1保護膜と、
光磁気記録膜と、特定の第2保護膜と、特定の金属膜と
をこの順序で積層してなる光磁気記録媒体が優れた諸特
性を有していることを見出して、本発明を完成するに至
った。
鋭意検討したところ、基板上に、特定の第1保護膜と、
光磁気記録膜と、特定の第2保護膜と、特定の金属膜と
をこの順序で積層してなる光磁気記録媒体が優れた諸特
性を有していることを見出して、本発明を完成するに至
った。
発明の目的
本発明は、上記のような従来技術に伴う問題点を解決し
ようとするものであって、C/N比か高く、かつ記録パ
ワーマージンが広く、その上記緑感度の線速依存性が小
さいような光磁気記録媒体を提供することを目的として
いる。
ようとするものであって、C/N比か高く、かつ記録パ
ワーマージンが広く、その上記緑感度の線速依存性が小
さいような光磁気記録媒体を提供することを目的として
いる。
発明の概要
本発明に係る第1の光磁気記録媒体は、基板上に、第1
保護膜(第1エンハンス膜)、光磁気記録膜、第2保護
膜(第2エンハンス膜)および金属膜がこの順序で積層
されてなる光磁気記録媒体であって、 第1保護膜(第1エンハンス膜)および第2保護膜(第
2エンハンス膜)が、SiNxがらなり、光磁気記録膜
が、(i)3d遷移金属から選ばれる少なくとも1種と
、(i)希土類から選ばれる少なくとも1種の元素とか
らなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴として
いる。
保護膜(第1エンハンス膜)、光磁気記録膜、第2保護
膜(第2エンハンス膜)および金属膜がこの順序で積層
されてなる光磁気記録媒体であって、 第1保護膜(第1エンハンス膜)および第2保護膜(第
2エンハンス膜)が、SiNxがらなり、光磁気記録膜
が、(i)3d遷移金属から選ばれる少なくとも1種と
、(i)希土類から選ばれる少なくとも1種の元素とか
らなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴として
いる。
このような本発明に係る光磁気記録媒体は、上記のよう
な膜構成および膜組成を有しているため、C/N比が高
く、かつ記録パワーマージンが広く、その上記緑感度の
線速依存性が小さい。
な膜構成および膜組成を有しているため、C/N比が高
く、かつ記録パワーマージンが広く、その上記緑感度の
線速依存性が小さい。
また本発明に係る第2の光磁気記録媒体は、基板上に、
第1保護膜、光磁気記録膜、第2保護膜、金属膜および
オーバーコート膜がこの順序で積層されてなる光磁気記
録媒体であって、第1保護膜および第2保護膜が、Si
Nxからなり、 光磁気記録膜が、(i)3d遷移金属から選ばれる少な
くとも1種と、(i)希土類から選ばれる少なくとも1
種の元素からなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴として
いる。
第1保護膜、光磁気記録膜、第2保護膜、金属膜および
オーバーコート膜がこの順序で積層されてなる光磁気記
録媒体であって、第1保護膜および第2保護膜が、Si
Nxからなり、 光磁気記録膜が、(i)3d遷移金属から選ばれる少な
くとも1種と、(i)希土類から選ばれる少なくとも1
種の元素からなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴として
いる。
このような光磁気記録媒体は、C/N比が高く、かつ記
録パワーマージンが広く、しかも記録感度の線速依存性
が小さく、長期信頼性に優れている。
録パワーマージンが広く、しかも記録感度の線速依存性
が小さく、長期信頼性に優れている。
発明の詳細な説明
以下本発明に係る光磁気記録媒体について具体的に説明
する。
する。
第1図は、本発明の一実施例に係る光磁気記録媒体の概
略断面図である。
略断面図である。
本発明に係る光磁気記録媒体1は、基板2上に、第1保
護膜3、光磁気記録膜4、第2保護膜5および金属膜6
がこの順序で積層されている。
護膜3、光磁気記録膜4、第2保護膜5および金属膜6
がこの順序で積層されている。
基 板
基板2は、透明基板であることが好ましく、具体的には
、ガラスあるいはアルミニウム等の無機材料の他に、ポ
リメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリカー
ボネートとポリスチレンとのポリマーアロイ、米国特許
4614778号明細書に示されるような非晶質ポリオ
レフィン、ポリ4−メチル−1−ペンテン、エポキシ樹
脂、ポリエーテルサルフオン、ポリサルフオン、ポリエ
ーテルイミド、エチレン・テトラシクロドデセン共重合
体等の有機材料が使用できる。特に上記米国特許第48
14778号明細書に示されるような非晶質ポリオレフ
ィンが好ましい。
、ガラスあるいはアルミニウム等の無機材料の他に、ポ
リメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリカー
ボネートとポリスチレンとのポリマーアロイ、米国特許
4614778号明細書に示されるような非晶質ポリオ
レフィン、ポリ4−メチル−1−ペンテン、エポキシ樹
脂、ポリエーテルサルフオン、ポリサルフオン、ポリエ
ーテルイミド、エチレン・テトラシクロドデセン共重合
体等の有機材料が使用できる。特に上記米国特許第48
14778号明細書に示されるような非晶質ポリオレフ
ィンが好ましい。
本発明では、保護膜との密着性に優れ、しかも複屈折率
が小さく、光磁気記録膜を酸化から保護しうるという観
点から、下記に示すような基板が好ましく用いられる。
が小さく、光磁気記録膜を酸化から保護しうるという観
点から、下記に示すような基板が好ましく用いられる。
好ましい基板2は、
(a)エチレンと、
(b)下記式[1]または[II]
(式中、nはOまたは1であり、mはOまたは正の整数
であり、qは0または1てあり、R1〜R1Bは、それ
ぞれ独立に、水素原子、・・ロゲン原子または炭化水素
基であり、 R−RおよびR,Rbは、互いに結合して単環または多
環を形成していてもよく、かつ該単環または多環は二重
結合を有していてもよく、また、RとRとて、またはR
17とRlBとてアキリデン基を形成していてもよい。
であり、qは0または1てあり、R1〜R1Bは、それ
ぞれ独立に、水素原子、・・ロゲン原子または炭化水素
基であり、 R−RおよびR,Rbは、互いに結合して単環または多
環を形成していてもよく、かつ該単環または多環は二重
結合を有していてもよく、また、RとRとて、またはR
17とRlBとてアキリデン基を形成していてもよい。
)[式中、gは0または1以上の整数であり、mおよび
nは、0.1または2てあり、R1−R15はそれぞれ
独立に水素原子、/、Xロゲン原子、脂肪族炭化水素基
、芳香族炭化水素基またはアルコキシ基であり、R5(
またはR6)とR9(またはR7)とは、炭素数1〜3
のアルキレン基を介して結合していてもよく、また何の
基も介さずに直接結合していてもよい。] で表わされる不飽和単量体からなる群から選ばれた少な
くとも1種の環状オレフィン との共重合体であって、135℃のデカリン中で測定し
た極限粘度[ηコか0.05〜10dff/gの範囲に
ある環状オレフィン系ランダム共重合体からなっている
。
nは、0.1または2てあり、R1−R15はそれぞれ
独立に水素原子、/、Xロゲン原子、脂肪族炭化水素基
、芳香族炭化水素基またはアルコキシ基であり、R5(
またはR6)とR9(またはR7)とは、炭素数1〜3
のアルキレン基を介して結合していてもよく、また何の
基も介さずに直接結合していてもよい。] で表わされる不飽和単量体からなる群から選ばれた少な
くとも1種の環状オレフィン との共重合体であって、135℃のデカリン中で測定し
た極限粘度[ηコか0.05〜10dff/gの範囲に
ある環状オレフィン系ランダム共重合体からなっている
。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体のうち、
軟化温度(TMA)が70℃以上である環状オレフィン
系ランダム共重合体(以下環状オレフィン系ランダム共
重合体[A]という)が好ましく用いられる。この環状
オレフィン系ランダム系共重合体は一般式[1]または
[II]で示される環状オレフィン類と、エチレンとを
、炭化水素混合溶媒中あるいは上記環状オレフィンから
なる液相中で、該溶媒に可溶性のバナジウム化合物と有
機アルミニウム化合物とからなる触媒の存在下に共重合
させることより製造することができる。
軟化温度(TMA)が70℃以上である環状オレフィン
系ランダム共重合体(以下環状オレフィン系ランダム共
重合体[A]という)が好ましく用いられる。この環状
オレフィン系ランダム系共重合体は一般式[1]または
[II]で示される環状オレフィン類と、エチレンとを
、炭化水素混合溶媒中あるいは上記環状オレフィンから
なる液相中で、該溶媒に可溶性のバナジウム化合物と有
機アルミニウム化合物とからなる触媒の存在下に共重合
させることより製造することができる。
(以下余白)
本発明で用いられる上記式[I]て示される環状オレフ
ィンとしてIL具体的に1i。
ィンとしてIL具体的に1i。
以下のような化合物が挙げられる。
参 考(構造式)
%式%
01“冑−5−ペンタコセン誘導化 7
9 I+ 13 I57
9 月 J3以下にこのような化合物の
具体的な例を示す。
9 I+ 13 I57
9 月 J3以下にこのような化合物の
具体的な例を示す。
C以下余白)
なとのようなビシクロ[2,2,1]ヘプト−2−エン
誘導体。
誘導体。
などのテトラシクロ[4,4,0,1”ゝ t 7.
H] −3−ドデセン誘導体; 1″7.0114]−4−へブタデセン誘導体;オクタ
シクロ など(Dオフ9シ’yロ[8,8,O,I” 、1”
、1” I”I Ill@ 、 0″” 、OI!17
]−5−トコセン誘導体:などのペンタシクロ[6,6
,1,1” 、0″・7.01.+4]−4−へキサデ
セン誘導体; などのヘプタシクロ−5−エイコセン誘導体あるいはへ
ブタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体:などのトリシ
クロ[4,3,0,1”]−]3−デセン誘導体などの
トリシクロ[4,4,0,1”]−3−ウンデセン誘導
体:なトノペンタシフ0 [6,5,1,1” 、Ql
、ff 、Ql、+1]=4−ペンタデセン誘導体: などのジエン化合物; などのペンタシクロ[7,4,O,I’・511+!、
OLH]=3−ペンタデセン誘導体: などのヘプタシクロ[8,7,0,1!、4.11o、
lt 、Ilt、l″。
H] −3−ドデセン誘導体; 1″7.0114]−4−へブタデセン誘導体;オクタ
シクロ など(Dオフ9シ’yロ[8,8,O,I” 、1”
、1” I”I Ill@ 、 0″” 、OI!17
]−5−トコセン誘導体:などのペンタシクロ[6,6
,1,1” 、0″・7.01.+4]−4−へキサデ
セン誘導体; などのヘプタシクロ−5−エイコセン誘導体あるいはへ
ブタシクロ−5−ヘンエイコセン誘導体:などのトリシ
クロ[4,3,0,1”]−]3−デセン誘導体などの
トリシクロ[4,4,0,1”]−3−ウンデセン誘導
体:なトノペンタシフ0 [6,5,1,1” 、Ql
、ff 、Ql、+1]=4−ペンタデセン誘導体: などのジエン化合物; などのペンタシクロ[7,4,O,I’・511+!、
OLH]=3−ペンタデセン誘導体: などのヘプタシクロ[8,7,0,1!、4.11o、
lt 、Ilt、l″。
oLl 、o+1.I@ ]−]4−エイコセン誘導
体などの/す’J’Z口[10,9,1,1” 、1”
!0.11s” 。
体などの/す’J’Z口[10,9,1,1” 、1”
!0.11s” 。
0目 ot・10. Qlt、t+、 0+4.I@
]−]5−ベンタコセン誘導体などのへブタシクロ[
8,4,0,1”、 1”161.u)−3ハキサブセ
ン誘導体;ヘプタシクロ −5−ヘンエイコセン などのヘプタシクロ[8,8,0,1’°7.1+1.
11.1H・lj 011.011.17]−5−ヘン
エイコセン誘導体; ナトノ)tシクロ[10,I O,1,1”、 114
°1゜111°gall。
]−]5−ベンタコセン誘導体などのへブタシクロ[
8,4,0,1”、 1”161.u)−3ハキサブセ
ン誘導体;ヘプタシクロ −5−ヘンエイコセン などのヘプタシクロ[8,8,0,1’°7.1+1.
11.1H・lj 011.011.17]−5−ヘン
エイコセン誘導体; ナトノ)tシクロ[10,I O,1,1”、 114
°1゜111°gall。
04、@ 、011!!、gl″!0 ]−]5−ヘキ
サコセン誘導体そしてさらには、 を挙げることができる。 (以下余白)上記式[1]
で示される環状オレフィンは、シクロペンタジェン類と
対応するオレフィン類とをディールス・アルダ−反応さ
せることにより容易に製造することができる。
サコセン誘導体そしてさらには、 を挙げることができる。 (以下余白)上記式[1]
で示される環状オレフィンは、シクロペンタジェン類と
対応するオレフィン類とをディールス・アルダ−反応さ
せることにより容易に製造することができる。
この環状オレフィン系ランダム共重合体[A]は、上記
のようにエチレンおよび前記環状オレフィンを必須成分
とするものであるが、該必須の二成分の他に本発明の目
的を損なわない範囲で、必要に応じて他の共重合可能な
不飽和単量体成分を含有していてもよい。任意に共重合
されていてもよい該不飽和単量体として、具体的には、
たとえば生成するランダム共重合体中のエチレン成分単
位と等モル未満の範囲のプロピレン、■−ブテン、4−
メチル−1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテン、
■−デセン、■−ドデセン、■−テトラデセン、l−へ
キサデセン、■−オクタデセン、1−エイコセンなどの
炭素原子数が3〜20のα−オレフィンなどを例示する
ことができる。
のようにエチレンおよび前記環状オレフィンを必須成分
とするものであるが、該必須の二成分の他に本発明の目
的を損なわない範囲で、必要に応じて他の共重合可能な
不飽和単量体成分を含有していてもよい。任意に共重合
されていてもよい該不飽和単量体として、具体的には、
たとえば生成するランダム共重合体中のエチレン成分単
位と等モル未満の範囲のプロピレン、■−ブテン、4−
メチル−1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテン、
■−デセン、■−ドデセン、■−テトラデセン、l−へ
キサデセン、■−オクタデセン、1−エイコセンなどの
炭素原子数が3〜20のα−オレフィンなどを例示する
ことができる。
上記のような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]
では、エチレンに由来する繰り返し単位(a)は、40
〜85モル%、好ましくは50〜75モル%の範囲で存
在しており、また該環状オレフィンに由来する繰り返し
単位(b)は15〜60モル%、好ましくは25〜50
モル%の範囲で存在しており、エチレンに由来する繰り
返し単位(a)および該環状オレフィンに由来する繰り
返し単位(b)は、ランダムに実質上線状に配列してい
る。なお、エチレン組成および環状オレフィン組成は1
3C−NMRによって測定した。この環状オレフィン系
ランダム共重合体が実質上線状であり、ゲル状架橋構造
を有していないことは、該共重合体が135℃のデカリ
ン中に完全に溶解することによって確認できる。
では、エチレンに由来する繰り返し単位(a)は、40
〜85モル%、好ましくは50〜75モル%の範囲で存
在しており、また該環状オレフィンに由来する繰り返し
単位(b)は15〜60モル%、好ましくは25〜50
モル%の範囲で存在しており、エチレンに由来する繰り
返し単位(a)および該環状オレフィンに由来する繰り
返し単位(b)は、ランダムに実質上線状に配列してい
る。なお、エチレン組成および環状オレフィン組成は1
3C−NMRによって測定した。この環状オレフィン系
ランダム共重合体が実質上線状であり、ゲル状架橋構造
を有していないことは、該共重合体が135℃のデカリ
ン中に完全に溶解することによって確認できる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]は、0
.05〜10djll/g、好ましくは0.08〜5
d D / gの範囲にある。
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[η]は、0
.05〜10djll/g、好ましくは0.08〜5
d D / gの範囲にある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[A]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃以上、好ましくは90〜250℃、さ
らに好ましくは100〜200℃の範囲にある。なお軟
化温度(TMA)は、デュポン社製ThermoIII
echanjcal Analyserを用いて1龍厚
さシートの熱変形挙動により測定した。すなわちシート
上に石英製針をのせ、荷重49gをかけ、5℃/分で昇
温しでいき、針か0.635mm侵入した温度をTMA
とした。また、該環状オレフィン系ランダム共重合体[
A]のガラス転移温度(Tg)は、通常50〜230℃
、好ましくは70〜210℃の範囲にあることが望まし
い。
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃以上、好ましくは90〜250℃、さ
らに好ましくは100〜200℃の範囲にある。なお軟
化温度(TMA)は、デュポン社製ThermoIII
echanjcal Analyserを用いて1龍厚
さシートの熱変形挙動により測定した。すなわちシート
上に石英製針をのせ、荷重49gをかけ、5℃/分で昇
温しでいき、針か0.635mm侵入した温度をTMA
とした。また、該環状オレフィン系ランダム共重合体[
A]のガラス転移温度(Tg)は、通常50〜230℃
、好ましくは70〜210℃の範囲にあることが望まし
い。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[A]の
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
本発明では、また上記のような軟化温度(TMA)が7
0℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体[A
]に、エチレンと、上記式[1]またはInI3で表わ
される環状オレフィンとの共重合体であって、135℃
のデカリン中で測定した極限粘度[η]が0.01〜5
clQの範囲にあり、軟化温度(TMA)が70℃未満
である環状オレフィン系ランダム共重合体(以下環状オ
レフィン系ランダム共重合体[B] という)を配合し
てなる環状オレフィン系ランダム共重合体組成物から基
板を形成することが特に好ましい。
0℃以上である環状オレフィン系ランダム共重合体[A
]に、エチレンと、上記式[1]またはInI3で表わ
される環状オレフィンとの共重合体であって、135℃
のデカリン中で測定した極限粘度[η]が0.01〜5
clQの範囲にあり、軟化温度(TMA)が70℃未満
である環状オレフィン系ランダム共重合体(以下環状オ
レフィン系ランダム共重合体[B] という)を配合し
てなる環状オレフィン系ランダム共重合体組成物から基
板を形成することが特に好ましい。
上記のような軟化点(TMA)が70℃未満である環状
オレフィン系ランダム共重合体[B]では、エチレンに
由来する繰り返し単位(a)は、60〜98モル%、好
ましくは60〜95モル%の範囲で存在しており、また
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は2〜
40モル%、好ましくは5〜40モル%の範囲で存在し
ており、エチレンに由来する繰り返し単位(a)および
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は、ラ
ンダムに実質上線状に配列している。なお、エチレン組
成および環状オレフィン組成は13C−NMRによって
測定した。この環状オレフィン系ランダム共重合体[B
]が実質上線状であり、ゲル状架橋構造を有していない
ことは、該共重合体が135℃のデカリン中に完全に溶
解することによって確認できる。
オレフィン系ランダム共重合体[B]では、エチレンに
由来する繰り返し単位(a)は、60〜98モル%、好
ましくは60〜95モル%の範囲で存在しており、また
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は2〜
40モル%、好ましくは5〜40モル%の範囲で存在し
ており、エチレンに由来する繰り返し単位(a)および
該環状オレフィンに由来する繰り返し単位(b)は、ラ
ンダムに実質上線状に配列している。なお、エチレン組
成および環状オレフィン組成は13C−NMRによって
測定した。この環状オレフィン系ランダム共重合体[B
]が実質上線状であり、ゲル状架橋構造を有していない
ことは、該共重合体が135℃のデカリン中に完全に溶
解することによって確認できる。
このような環状オレフィン系ランダム共重合体CB]の
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[ηコは、0
.01〜5dil/g好ましくは0.05〜5d、l!
/g、さらに好ましくは0.08〜3dU/gの範囲に
ある。
135℃のデカリン中で測定した極限粘度[ηコは、0
.01〜5dil/g好ましくは0.05〜5d、l!
/g、さらに好ましくは0.08〜3dU/gの範囲に
ある。
また環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のサーマ
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃未満、好ましくは一10〜60℃、さ
らに好ましくは10〜55℃の範囲にある。さらに、該
環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のガラス転移
温度(Tg)は、通常−30〜60℃、好ましくは一2
0〜50℃の範囲にあることが望ましい。
ル・メカニカル・アナライザーで測定した軟化温度(T
MA)は、70℃未満、好ましくは一10〜60℃、さ
らに好ましくは10〜55℃の範囲にある。さらに、該
環状オレフィン系ランダム共重合体[B]のガラス転移
温度(Tg)は、通常−30〜60℃、好ましくは一2
0〜50℃の範囲にあることが望ましい。
また、この環状オレフィン系ランダム共重合体[B]の
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
X線回折法によって測定した結晶化度は、0〜10%、
好ましくは0〜7%、とくに好ましくは0〜5%の範囲
である。
本発明において、基板として環状オレフィンランダム共
重合体組成物を用いる場合には、該環状オレフィン系ラ
ンダム共重合体[A] /該環状オレフィン系ランダム
共重合体[B]の重量比は10010.1ないし100
/10、好ましくは10010.3ないし100/7、
とくに好ましくは10010.5ないし10015の範
囲であることが望ましい。CB]成分をこの範囲で[A
]酸成分配合することによって、基板自体の優れた透明
性と表面平滑性を維持したままで本発明で用いる光記録
膜との苛酷な条件下での密着性が[A]酸成分みの場合
に比べさらに向上するという効果があり、[A] と[
B]のブレンドよりなるこの上記の環状オレフィンラン
ダム共重合体組成物を基板に用いれば本発明で用いる光
記録膜との優れた密着性は高温、高湿条件下放置後にお
いてさえも変化がないという特性を有している。
重合体組成物を用いる場合には、該環状オレフィン系ラ
ンダム共重合体[A] /該環状オレフィン系ランダム
共重合体[B]の重量比は10010.1ないし100
/10、好ましくは10010.3ないし100/7、
とくに好ましくは10010.5ないし10015の範
囲であることが望ましい。CB]成分をこの範囲で[A
]酸成分配合することによって、基板自体の優れた透明
性と表面平滑性を維持したままで本発明で用いる光記録
膜との苛酷な条件下での密着性が[A]酸成分みの場合
に比べさらに向上するという効果があり、[A] と[
B]のブレンドよりなるこの上記の環状オレフィンラン
ダム共重合体組成物を基板に用いれば本発明で用いる光
記録膜との優れた密着性は高温、高湿条件下放置後にお
いてさえも変化がないという特性を有している。
本発明における基板を構成する上記の環状オレフィン共
重合体[A]および[B]は、特開昭60−16870
8号公報、特開昭61−120818号公報、特開昭6
1−115912号公報、特開昭81−115918号
公報、特願昭61−95905号公報、特願昭61−9
5906号公報、特開昭61−271308号公報、特
開昭61−272216号公報などにおいて本出願人が
提案した方法に従い適宜条件を選択することにより、製
造することができる。
重合体[A]および[B]は、特開昭60−16870
8号公報、特開昭61−120818号公報、特開昭6
1−115912号公報、特開昭81−115918号
公報、特願昭61−95905号公報、特願昭61−9
5906号公報、特開昭61−271308号公報、特
開昭61−272216号公報などにおいて本出願人が
提案した方法に従い適宜条件を選択することにより、製
造することができる。
また、基板を形成する樹脂として、上記のような環状オ
レフィンランダム共重合体と共に、上述の式[1]で表
わされる環状オレフィンが開環重合することにより形成
される次式[I[[]で表わされる繰り返し単位を含む
重合体もしくは共重合体を用いることもてき、さらに上
記式[II[]で表わされる繰り返し単位を水添するこ
とにより形成される次式[■]て示すような繰り返し単
位を含む重合体あるいは共重合体を用いることもできる
。
レフィンランダム共重合体と共に、上述の式[1]で表
わされる環状オレフィンが開環重合することにより形成
される次式[I[[]で表わされる繰り返し単位を含む
重合体もしくは共重合体を用いることもてき、さらに上
記式[II[]で表わされる繰り返し単位を水添するこ
とにより形成される次式[■]て示すような繰り返し単
位を含む重合体あるいは共重合体を用いることもできる
。
たたし、上記式CIINおよび[IV]にお0て、nお
よびR−R12は、前記式[1]で示される環状オレフ
ィンにおけるnおよびR−R12と同じ意味である。
よびR−R12は、前記式[1]で示される環状オレフ
ィンにおけるnおよびR−R12と同じ意味である。
また上記の環状オレフィン共重合体には、必要に応じ、
耐熱安定剤、耐候安定剤、帯電防止剤、スリップ剤、ア
ンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、顔料、天然
油、合成油、ワックスなどを配合することができ、その
配合割合は適宜量である。たとえば、任意成分として配
合される安定剤として、具体的には、テトラキス[メチ
レン−3(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフ
ェニル)プロピオネートコメタン、β−(3,5−ジ−
t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオン酸ア
ルキルエステル(特に炭素数18以下のアルキルエステ
ルが好ましい) 、2,2°−オキザミドビス[エチル
−3(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニ
ル)プロピオネートなどのフェノール系酸化防止剤、ス
テアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム、12−ヒド
ロキシステアリン酸カルシウムなどの脂肪酸金属塩、グ
リセリンモノステアレート、グリセリンモノラウレート
、グリセリンジステアレート、ペンタエリスリトールモ
ノステアレート、ペンタエリスリトールジステアレート
、ペンタエリスリトールトリステアレート等の多価アル
コール脂肪酸エステルなどを挙げることができる。これ
らは単独で配合してもよいが、組合わせて配合してもよ
く、たとえばテトラキス[メチレン−3(3,5−ジー
1−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネ−ト
コ メタンとステアリン酸亜鉛およびグリセリンモノス
テアレートとの組合せ等を例示することができる。
耐熱安定剤、耐候安定剤、帯電防止剤、スリップ剤、ア
ンチブロッキング剤、防曇剤、滑剤、染料、顔料、天然
油、合成油、ワックスなどを配合することができ、その
配合割合は適宜量である。たとえば、任意成分として配
合される安定剤として、具体的には、テトラキス[メチ
レン−3(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフ
ェニル)プロピオネートコメタン、β−(3,5−ジ−
t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオン酸ア
ルキルエステル(特に炭素数18以下のアルキルエステ
ルが好ましい) 、2,2°−オキザミドビス[エチル
−3(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニ
ル)プロピオネートなどのフェノール系酸化防止剤、ス
テアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム、12−ヒド
ロキシステアリン酸カルシウムなどの脂肪酸金属塩、グ
リセリンモノステアレート、グリセリンモノラウレート
、グリセリンジステアレート、ペンタエリスリトールモ
ノステアレート、ペンタエリスリトールジステアレート
、ペンタエリスリトールトリステアレート等の多価アル
コール脂肪酸エステルなどを挙げることができる。これ
らは単独で配合してもよいが、組合わせて配合してもよ
く、たとえばテトラキス[メチレン−3(3,5−ジー
1−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネ−ト
コ メタンとステアリン酸亜鉛およびグリセリンモノス
テアレートとの組合せ等を例示することができる。
本発明では特に、フェノール系酸化防止剤および多価ア
ルコールの脂肪酸エステルとを組合せて用いることが好
ましく、該多価アルコールの脂肪酸エステルは、3価以
上の多価アルコールのアルコール性水酸基の一部がエス
テル化された多価アルコール脂肪酸エステルであること
が好ましい。
ルコールの脂肪酸エステルとを組合せて用いることが好
ましく、該多価アルコールの脂肪酸エステルは、3価以
上の多価アルコールのアルコール性水酸基の一部がエス
テル化された多価アルコール脂肪酸エステルであること
が好ましい。
このような多価アルコールの脂肪酸エステルとしては、
具体的には、グリセリンモノステアレート、グリセリン
モノラウレート、グリセリンモノミリステート、グリセ
リンモノパルミテート、グリセリンシステアレート、グ
リセリンジラウレート等のグリセリン脂肪酸エステル、
ペンタエリスリトールモノステアレート、ペンタエリス
リトールモノラウレート、ペンタエリスリトールジステ
アレート、ペンタエリスリトールジラウレート、ペンタ
エリスリトールトリステアレート等のペンタエリスリト
ールの脂肪酸エステルが用いられる。
具体的には、グリセリンモノステアレート、グリセリン
モノラウレート、グリセリンモノミリステート、グリセ
リンモノパルミテート、グリセリンシステアレート、グ
リセリンジラウレート等のグリセリン脂肪酸エステル、
ペンタエリスリトールモノステアレート、ペンタエリス
リトールモノラウレート、ペンタエリスリトールジステ
アレート、ペンタエリスリトールジラウレート、ペンタ
エリスリトールトリステアレート等のペンタエリスリト
ールの脂肪酸エステルが用いられる。
このようなフェノール系酸化防止剤は、環状オレフィン
系ランダム共重合体組成物100重量部に対して0.0
1〜10重量部好ましくは0.05〜3重量部さらに好
ましくは0.1〜1重量部の量で用いられ、また多価ア
ルコールの脂肪酸エステルは該組成物100重量部に対
して0.01〜10重量部好ましくは0.05〜3重量
部の量で用いられる。
系ランダム共重合体組成物100重量部に対して0.0
1〜10重量部好ましくは0.05〜3重量部さらに好
ましくは0.1〜1重量部の量で用いられ、また多価ア
ルコールの脂肪酸エステルは該組成物100重量部に対
して0.01〜10重量部好ましくは0.05〜3重量
部の量で用いられる。
本発明に係る光記録媒体では、基板として、上記のよう
な環状オレフィン系ランダム共重合体[A]または該環
状オレフィン系ランダム共重合体[A]を含む組成物か
用いられる場合には、基板と記録膜とは密着性に優れて
おり、したかって記録膜は長期安定性に優れるとともに
記録膜の酸化が効果的に防止される。したがってこの環
状オレフィン系ランダム共重合体組成物からなる基板上
を用いた光記録媒体は、耐久性および長期安定性にも優
れている。また本発明に係る光記録媒体は、割れが生ず
ることがない。
な環状オレフィン系ランダム共重合体[A]または該環
状オレフィン系ランダム共重合体[A]を含む組成物か
用いられる場合には、基板と記録膜とは密着性に優れて
おり、したかって記録膜は長期安定性に優れるとともに
記録膜の酸化が効果的に防止される。したがってこの環
状オレフィン系ランダム共重合体組成物からなる基板上
を用いた光記録媒体は、耐久性および長期安定性にも優
れている。また本発明に係る光記録媒体は、割れが生ず
ることがない。
また上記のような基板は、高湿雰囲気下での反りが比較
的小さいという利点もある。
的小さいという利点もある。
このような基板2の厚みは特に限定されないが、好まし
くは0.5〜5mm特に好ましくは1〜2Mである。
くは0.5〜5mm特に好ましくは1〜2Mである。
保 護 膜
本発明に係る光磁気記録媒体1で用いられる第1保護膜
3および第2保護膜5は、SiNxで示される組成の膜
から形成されており、SiNx膜としては、たとえば窒
化ケイ素膜または窒化ケイ素含有膜が例示できる。
3および第2保護膜5は、SiNxで示される組成の膜
から形成されており、SiNx膜としては、たとえば窒
化ケイ素膜または窒化ケイ素含有膜が例示できる。
SiNxで示される保護膜では、0<x≦4/3である
ことが好ましく、具体的には、Si3N4 (四窒化三
ケイ素)などの窒化ケイ素膜あるいは0<x<4/3と
なるようにSi3N4とSiとを混合した混合膜が特に
好ましく用いられる。このようなSiNxで示される保
護膜は、たとえばターゲットとして、Si3N4または
Si3N4とStとを用いて、スパッタリング法により
成膜することができる。またStを含窒素雰囲気中(た
とえばAr/N)などでスパッタリングすることによっ
て成膜することもできる。
ことが好ましく、具体的には、Si3N4 (四窒化三
ケイ素)などの窒化ケイ素膜あるいは0<x<4/3と
なるようにSi3N4とSiとを混合した混合膜が特に
好ましく用いられる。このようなSiNxで示される保
護膜は、たとえばターゲットとして、Si3N4または
Si3N4とStとを用いて、スパッタリング法により
成膜することができる。またStを含窒素雰囲気中(た
とえばAr/N)などでスパッタリングすることによっ
て成膜することもできる。
このようなSiNxからなる第1保護膜3および第2保
護膜5は、通常1.8以上好ましくは1.8〜2.2の
屈折率を有していることが望ましく、後述する光磁気記
録膜4を酸化などから保護する働きあるいは光磁気記録
膜4の記録特性を高めるエンハンス膜としての働きある
いはその両方の働きをしている。また5iNx(0<x
≦4/3)からなる第1保護膜3および第2保護膜5は
、特に耐クラツク性に優れている。
護膜5は、通常1.8以上好ましくは1.8〜2.2の
屈折率を有していることが望ましく、後述する光磁気記
録膜4を酸化などから保護する働きあるいは光磁気記録
膜4の記録特性を高めるエンハンス膜としての働きある
いはその両方の働きをしている。また5iNx(0<x
≦4/3)からなる第1保護膜3および第2保護膜5は
、特に耐クラツク性に優れている。
本発明の光磁気記録媒体では、基板上に第1保護膜、特
定の光磁気記録膜、第2保護膜、アルミニウム合金から
なる金属膜を積層した4層構成とし、かつ第1保護膜と
第2保護膜としてSiNxを用いているため、広い記録
パワーマージンを得ることができるとともに線速依存性
も小さくなる。
定の光磁気記録膜、第2保護膜、アルミニウム合金から
なる金属膜を積層した4層構成とし、かつ第1保護膜と
第2保護膜としてSiNxを用いているため、広い記録
パワーマージンを得ることができるとともに線速依存性
も小さくなる。
本発明において、第1保護膜3の膜厚は400〜200
0人好ましくは700〜1500人であり、第2保護膜
5の膜厚は、50〜1000人好ましくは50〜700
人さらに好ましくは100〜400人程度である。
0人好ましくは700〜1500人であり、第2保護膜
5の膜厚は、50〜1000人好ましくは50〜700
人さらに好ましくは100〜400人程度である。
本発明においては、保護膜の膜厚を上記のような範囲に
することによって、良好なC/N比と広い記録パワーマ
ージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる。
することによって、良好なC/N比と広い記録パワーマ
ージンを有する光磁気記録媒体を得ることができる。
また第1保護膜の膜厚を上記のような範囲にすることに
よって、光磁気記録媒体の見かけのθkを大きくするこ
とができる。さらに第2保護膜の膜厚を上記のような範
囲にすることによって、光磁気記録媒体は優れたC/N
比を保ったまま広い記録パワーマージンを有することが
できる。
よって、光磁気記録媒体の見かけのθkを大きくするこ
とができる。さらに第2保護膜の膜厚を上記のような範
囲にすることによって、光磁気記録媒体は優れたC/N
比を保ったまま広い記録パワーマージンを有することが
できる。
光磁気記録膜
光磁気記録膜4は、(i)3d遷移金属から選ばれる少
なくとも1種と、(i)希土類から選ばれる少なくとも
1種の元素とからなっている。
なくとも1種と、(i)希土類から選ばれる少なくとも
1種の元素とからなっている。
(i)3d遷移金属としては、F e N Co −、
T 1sVSCr、Mn、N i、Cu、Znなどが用
いられるが、このうちFeまたはCoあるいはこの両者
であることが好ましい。
T 1sVSCr、Mn、N i、Cu、Znなどが用
いられるが、このうちFeまたはCoあるいはこの両者
であることが好ましい。
この3d遷移金属は、光磁気記録膜4中に好ましくは2
0〜85原子%より好ましくは55〜85原子%とくに
好ましくは60〜80原子%の量で存在している。
0〜85原子%より好ましくは55〜85原子%とくに
好ましくは60〜80原子%の量で存在している。
光磁気記録膜4は、上記のような3d遷移金属に加えて
、下記の群から選ばれる少なくとも1種の希土類元素を
含んで構成されている。
、下記の群から選ばれる少なくとも1種の希土類元素を
含んで構成されている。
G d ST b % D y SHo SE r s
T m s Y b 5LuSLa、Ce、Pr、N
d、Pm、Sm。
T m s Y b 5LuSLa、Ce、Pr、N
d、Pm、Sm。
Eu
このうちGd、Tb5Dy、Ho、Nd55m。
Prが好ましく用いられる。
上記のような群から選ばれる少なくとも1種の希土類元
素は、光磁気記録膜3中に、好ましくは5〜50原子%
さらに好ましくは8〜45原子%とくに好ましくは10
〜40原子%の量で存在している。
素は、光磁気記録膜3中に、好ましくは5〜50原子%
さらに好ましくは8〜45原子%とくに好ましくは10
〜40原子%の量で存在している。
本発明では、光磁気記録膜4が、特に、下記に記載する
ような組成を有することが好ましい。
ような組成を有することが好ましい。
(i)3d遷移元素
本発明に係る光磁気記録膜中には、(i)3d遷移元素
として、好ましくはFeまたはCOあるいはこの両者が
含まれており、Feおよび/またはCOは、希土類元素
と鉄とコバルトとの合計原子数に対して、55原子%以
上85原子%以下好ましくは60原子%以上80原子%
未滴の量で存在していることが望ましい。
として、好ましくはFeまたはCOあるいはこの両者が
含まれており、Feおよび/またはCOは、希土類元素
と鉄とコバルトとの合計原子数に対して、55原子%以
上85原子%以下好ましくは60原子%以上80原子%
未滴の量で存在していることが望ましい。
さらにFeおよび/またはCOは、Co/(Fe十Co
)比[原子比]が0以上0.3以下好ましくは0以上0
.2以下さらに好ましくは0.01以上0.2以下であ
るような量で、光磁気記録膜中に存在していることが望
ましい。
)比[原子比]が0以上0.3以下好ましくは0以上0
.2以下さらに好ましくは0.01以上0.2以下であ
るような量で、光磁気記録膜中に存在していることが望
ましい。
Feおよび/またはCoの量が40原子%以上で80原
子%以下の範囲にあると、耐酸化性に優れ、かつ膜面に
垂直な方向に磁化容易軸をもった光磁気記録膜が得られ
るという利点を有する。
子%以下の範囲にあると、耐酸化性に優れ、かつ膜面に
垂直な方向に磁化容易軸をもった光磁気記録膜が得られ
るという利点を有する。
ところで光磁気記録膜中に、COを添加すると、(イ)
光磁気記録膜のキュリー点が上昇し、また(口)カー回
転角(θk)が大きくなるという現象が認められ、その
結果、Coの添加量により、光磁気記録膜の記録感度を
調整することができ、しかもCoの添加により、再生信
号のキャリアレベルを増加することができる。本発明に
係る光磁気記録膜では、ノイズレベル、C/N比の点か
らCo/(Fe+Co)比[原子比]は0以上0.3以
下好ましくは0以上0.2以下さらに好ましくは0.0
1以上0.2以下であることが望ましい。
光磁気記録膜のキュリー点が上昇し、また(口)カー回
転角(θk)が大きくなるという現象が認められ、その
結果、Coの添加量により、光磁気記録膜の記録感度を
調整することができ、しかもCoの添加により、再生信
号のキャリアレベルを増加することができる。本発明に
係る光磁気記録膜では、ノイズレベル、C/N比の点か
らCo/(Fe+Co)比[原子比]は0以上0.3以
下好ましくは0以上0.2以下さらに好ましくは0.0
1以上0.2以下であることが望ましい。
(i)希土類元素(RE)
本発明に係る光磁気記録膜中には、希土類元素(RE)
が含まれており、この希土類元素としては、Nd、Sm
、P r、Ce、Eu、Gd、Tb。
が含まれており、この希土類元素としては、Nd、Sm
、P r、Ce、Eu、Gd、Tb。
DyまたはHOが用いられる。
これらの中では、Nd5PrSGd、Tb。
Dyが好ましく用いられ、特にTbが好ましい。
また希土類元素は2種以上併用してもよく、この場合に
Tbを希土類元素のうち50原子%以上含有しているこ
とが好ましい。
Tbを希土類元素のうち50原子%以上含有しているこ
とが好ましい。
この希土類元素は、膜面に垂直な方向に磁化容易軸をも
った光磁気記録膜を得るという点からRE/ (RE+
Fe+Co)比[原子比コをXで表わした場合に、0.
15≦X≦0.45好ましくは0.20≦X≦0.4で
あるような量で光磁気記録膜中に存在していることが望
ましい。
った光磁気記録膜を得るという点からRE/ (RE+
Fe+Co)比[原子比コをXで表わした場合に、0.
15≦X≦0.45好ましくは0.20≦X≦0.4で
あるような量で光磁気記録膜中に存在していることが望
ましい。
本発明においては、光磁気記録膜に種々の元素を少量添
加して、キュリー温度や補償温度あるいは保磁力Heや
カー回転角θにの改善あるいは低コスト化を計ることも
できる。これらの元素は、記録膜を構成する全原子数に
対してたとえば10原子%未滴の割合で用いることがで
きる。
加して、キュリー温度や補償温度あるいは保磁力Heや
カー回転角θにの改善あるいは低コスト化を計ることも
できる。これらの元素は、記録膜を構成する全原子数に
対してたとえば10原子%未滴の割合で用いることがで
きる。
併用できる他の元素の例としては、以下のような元素が
挙げられる。
挙げられる。
(I)FeSCo以外の3d遷移元素
具体的には、S c、T i、V、Cr、Mn。
Ni、Cu、Znが用いられる。
これらのうち、Ti、Ni、CuSZnなどが好ましく
用いられる。
用いられる。
(n)4d遷移元素
具体的には、Pds YSZ rSNbSMozT c
s Ru % Rh % A g % Cdが用いら
れる。
s Ru % Rh % A g % Cdが用いら
れる。
このうちPd、Zr5Nbが好ましく用いられる。
(m)5d遷移元素
具体的には、P t、Hf、Tas W% Re。
Os11 r、Au、、Hgが用いられる。
このうちPt5Taが好ましく用いられる。
CrVimB族元素
具体的には、B、Af 、Ga、I n5Tlが用いら
れる。
れる。
このうちBSAJ、Gaが好ましく用いられる。
(V)IVBVB族
元素的には、CSS i、Ge、Sn、Pbが用いられ
る。
る。
このうち、5iSGe、Sn、Pbが好ましく用いられ
る。
る。
(Vl)VB族元素
具体的には、N、PSAsSSbSB iが用いられる
。
。
このうちsbが好ましく用いられる。
(■)VIB族元素
具体的には、5SBe、Te5Poが用いられる。
このうちTeが好ましく用いられる。
上記のような組成を有する光磁気記録膜3は、膜面に垂
直な磁化容易軸を有し、多(はカー・ヒステリシスが良
好な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な
非晶質薄膜となることが、広角X線回折などにより確か
められる。
直な磁化容易軸を有し、多(はカー・ヒステリシスが良
好な角形ループを示す垂直磁気および光磁気記録可能な
非晶質薄膜となることが、広角X線回折などにより確か
められる。
なお本明細書において、カー・ヒステリシスが良好な角
形ループを示すとは、最大外部磁場におけるカー回転角
である飽和カー回転角(θkl)と外部磁場ゼロにおけ
るカー回転角である残留カー回転角(θに2)との比θ
に2/θklが0.8以上であることを意味している。
形ループを示すとは、最大外部磁場におけるカー回転角
である飽和カー回転角(θkl)と外部磁場ゼロにおけ
るカー回転角である残留カー回転角(θに2)との比θ
に2/θklが0.8以上であることを意味している。
この光磁気記録膜4の膜厚は100〜600人好ましく
は100〜400人より好ましくは150〜300人程
度である。
は100〜400人より好ましくは150〜300人程
度である。
金 属 膜
本発明に係る光磁気記録媒体1では、上記のような第2
保護膜5上に、金属膜6が設けられている。
保護膜5上に、金属膜6が設けられている。
本発明では、金属膜6は、アルミニウム合金からなって
いる。このアルミニウム合金は、アルミニウムと、アル
ミニウム以外の少な(とも1種の元素を含んで構成され
ている。
いる。このアルミニウム合金は、アルミニウムと、アル
ミニウム以外の少な(とも1種の元素を含んで構成され
ている。
このような金属膜6を構成するアルミニウム合金として
は、具体的には以下のようなものが例示できる。なお下
記のアルミニウム合金において、各金属の含有量は該ア
ルミニウム合金を構成する全原子数に対する原子%であ
る。
は、具体的には以下のようなものが例示できる。なお下
記のアルミニウム合金において、各金属の含有量は該ア
ルミニウム合金を構成する全原子数に対する原子%であ
る。
An−Cr合金(Cr含有量0.1〜10原子%)、
Aj!−Cu合金(Cu含有量0.1〜10原子%)、
AA’−Mn合金(Mn含有量0.1−10原子%)、
Al−Hf合金(Hf含有量0.1〜10原子%)、
Al−Nb合金(Nb含有量0.1〜10原子%)、
A7−B合金(B含有量0.1〜10原子%)、AI
−T i 合金(T i含有量0.1〜10原子%)、 Aj −T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子
%、Nb含有量0.1〜5原子%)、Al−Ti−Hf
合金(Ti含有量0.1〜5原子%、Hf含有量0,1
〜10原子%)、Al−Cr−Hf合金(Cr含有量0
. 1〜5 。
−T i 合金(T i含有量0.1〜10原子%)、 Aj −T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜5原子
%、Nb含有量0.1〜5原子%)、Al−Ti−Hf
合金(Ti含有量0.1〜5原子%、Hf含有量0,1
〜10原子%)、Al−Cr−Hf合金(Cr含有量0
. 1〜5 。
原子%、Hf含有量0.1〜10原子%)、Al−Cr
−Ti合金(Cr含有量0.1〜5原子%、Ti含有量
0.1〜10原子%)、An−Cr−Zr合金(Cr含
有量0.1.〜5原子%、Zr含有量0.1〜1o原子
%)、Al −T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜
5原子%、Nb含有量0.1〜5原子%)、Al−Ni
合金(Ni含有量0.1〜10原子%)、 Al−Mg合金(Mg含有量0.1〜10原子%)、 AA’−Mg−Ti合金(Mg含有量0.1〜10原子
%、Ti含有量0.1〜10原子%)、Al−Mg−C
r合金(Mg含有量0.1〜10原子%1.Cr含有量
0.1〜10原子%)、Al−Mg−Hf合金(Mg含
有量0.1〜10原子%、Hf含有量0.1〜10原子
%)、Al−Se合金(Se含有量0.1〜10原子%
)、 Al−Zr合金(Zr含有量0.1〜10原子%)、 AA’−Ta合金(Ta含有量0.1〜10原子%)、 AA’ −Ta−Hf合金(Ta含有量0.1〜10原
子%、Hf含有量0.1〜10原子%)、An−8i合
金(St含有量0.1〜10原子%)、 Al−Ag合金(Ag含有量0.1〜10原子%)、 Aj!−Pd合金(Pd含有量0.1〜10原子%)、 Al−Pt合金(pt含有量0.1〜10原子%)。
−Ti合金(Cr含有量0.1〜5原子%、Ti含有量
0.1〜10原子%)、An−Cr−Zr合金(Cr含
有量0.1.〜5原子%、Zr含有量0.1〜1o原子
%)、Al −T 1−Nb合金(Ti含有量0.1〜
5原子%、Nb含有量0.1〜5原子%)、Al−Ni
合金(Ni含有量0.1〜10原子%)、 Al−Mg合金(Mg含有量0.1〜10原子%)、 AA’−Mg−Ti合金(Mg含有量0.1〜10原子
%、Ti含有量0.1〜10原子%)、Al−Mg−C
r合金(Mg含有量0.1〜10原子%1.Cr含有量
0.1〜10原子%)、Al−Mg−Hf合金(Mg含
有量0.1〜10原子%、Hf含有量0.1〜10原子
%)、Al−Se合金(Se含有量0.1〜10原子%
)、 Al−Zr合金(Zr含有量0.1〜10原子%)、 AA’−Ta合金(Ta含有量0.1〜10原子%)、 AA’ −Ta−Hf合金(Ta含有量0.1〜10原
子%、Hf含有量0.1〜10原子%)、An−8i合
金(St含有量0.1〜10原子%)、 Al−Ag合金(Ag含有量0.1〜10原子%)、 Aj!−Pd合金(Pd含有量0.1〜10原子%)、 Al−Pt合金(pt含有量0.1〜10原子%)。
これらの金属膜を構成するアルミニウム合金のうち、特
に以下のようなものが、光磁気記録媒体の線速依存性を
小さくし、かつ耐腐食性に優れているので好ましい。
に以下のようなものが、光磁気記録媒体の線速依存性を
小さくし、かつ耐腐食性に優れているので好ましい。
ハフニウム0,1〜10原子%を含むアルミニウム合金
。
。
ニオブ0.1〜10原子%を含むアルミニウム合金。
チタン0.5〜5原子%とハフニウム0.5〜5原子%
を含み、チタンとハフニウムの合計含有量が1〜5.5
原子%であるアルミニウム合金。
を含み、チタンとハフニウムの合計含有量が1〜5.5
原子%であるアルミニウム合金。
クロム0.1〜5原子%とチタン0.1〜9.5原子%
を含み、クロムとチタンの合計含有量が10原子%以下
であるアルミニウム合金。
を含み、クロムとチタンの合計含有量が10原子%以下
であるアルミニウム合金。
マグネシウム0.1〜10原子%とクロム0.1〜10
原子%を含み、マグネシウムとクロムの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金。
原子%を含み、マグネシウムとクロムの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金。
クロム0.1〜5原子%とハフニウム0.1〜9.5原
子%を含み、クロムとハフニウムの合計含有量が10原
子%以下であるアルミニウム合金。
子%を含み、クロムとハフニウムの合計含有量が10原
子%以下であるアルミニウム合金。
マグネシウム0.1〜10原子%とハフニウム0.1〜
10原子%を含み、マグネシウムとハフニウムの合計含
有量が15原子%以下であるアルミニウム合金。
10原子%を含み、マグネシウムとハフニウムの合計含
有量が15原子%以下であるアルミニウム合金。
クロム0.1〜5原子%とジルコニウム0. 1〜9.
5原子%を含み、クロムとジルコニウムの合計含有量が
10原子%以下であるアルミニウム合金。
5原子%を含み、クロムとジルコニウムの合計含有量が
10原子%以下であるアルミニウム合金。
タンタル0.1〜10原子%とハフニウム0.1〜10
原子%とを含み、タンタルとハフニウムの合計含有量が
15原子%以下であるアルミニウム合金。
原子%とを含み、タンタルとハフニウムの合計含有量が
15原子%以下であるアルミニウム合金。
チタン0.5〜5原子%とニオブ0.5〜5原子%を含
み、チタンとニオブの合計含有量が1〜5.5原子%で
あるアルミニウム合金。
み、チタンとニオブの合計含有量が1〜5.5原子%で
あるアルミニウム合金。
マグネシウム0.1〜10原子%とチタン0.1〜10
原子%を含み、マグネシウムとチタンの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金。
原子%を含み、マグネシウムとチタンの合計含有量が1
5原子%以下であるアルミニウム合金。
ハウニウム0.1〜9.5原子%、クロム0.1〜5原
子%およびチタン0.1〜9.5原子%を含み、ハフニ
ウムとクロムとチタンとの合計含有量が10原子%以下
であるアルミニウム合金。
子%およびチタン0.1〜9.5原子%を含み、ハフニ
ウムとクロムとチタンとの合計含有量が10原子%以下
であるアルミニウム合金。
ハフニウム0.1〜10原子%、マグネシウム0.1〜
10原子%およびチタン0.1〜10原子%を含み、ハ
フニウムとクロムとマグネシウムとの合計含有量が15
原子%以下であるアルミニウム合金。
10原子%およびチタン0.1〜10原子%を含み、ハ
フニウムとクロムとマグネシウムとの合計含有量が15
原子%以下であるアルミニウム合金。
ハフニウム0.1〜10原子%、マグネシウム0.1〜
10原子%およびクロム10原子%以下とを含み、ハフ
ニウムとマグネシウムとクロムの合計含有量が15原子
%以下であるアルミニウム合金。
10原子%およびクロム10原子%以下とを含み、ハフ
ニウムとマグネシウムとクロムの合計含有量が15原子
%以下であるアルミニウム合金。
ハフニウム0.1−10原子%、マグネシウム0.1〜
10原子%、チタン0.1〜10原子%およびクロム1
0原子%以下とを含み、ハフニウムとマグネシウムとチ
タンとクロムとの合計含有量が15原子%未満であるア
ルミニウム合金。
10原子%、チタン0.1〜10原子%およびクロム1
0原子%以下とを含み、ハフニウムとマグネシウムとチ
タンとクロムとの合計含有量が15原子%未満であるア
ルミニウム合金。
チタン0.1〜10原子%、マグネシウム0.1〜10
原子%およびクロム10原子%以下とを含み、チタンと
マグネシウムとクロムとの合計含有量が15原子%以下
であるアルミニウム合金。
原子%およびクロム10原子%以下とを含み、チタンと
マグネシウムとクロムとの合計含有量が15原子%以下
であるアルミニウム合金。
このような金属膜6はたとえば第2保護膜上に上記元素
の複合ターゲットまたはその合金ターゲットを用い、ス
パッタリング法等によって成膜することができる。
の複合ターゲットまたはその合金ターゲットを用い、ス
パッタリング法等によって成膜することができる。
また上記のような金属膜6は、それぞれの金属膜6を構
成する金属以外に下記のような金属(元素)を1種また
は2種以上含ませることもできる。
成する金属以外に下記のような金属(元素)を1種また
は2種以上含ませることもできる。
このような金属としては、たとえば、チタン(Ti)
、ハフニウム(Hl) 、ニオブ(Nb) 、クロム(
Cr) 、シリコン(Si) 、タンタル(Tり、銅(
Co) 、タングステン(W)、ジコルニウム(X+)
、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg) 、バナジ
ウム(V)などが挙げられ、このような他の金属は通常
5原子%以下好ましくは2原子%以下の量で含まれる。
、ハフニウム(Hl) 、ニオブ(Nb) 、クロム(
Cr) 、シリコン(Si) 、タンタル(Tり、銅(
Co) 、タングステン(W)、ジコルニウム(X+)
、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg) 、バナジ
ウム(V)などが挙げられ、このような他の金属は通常
5原子%以下好ましくは2原子%以下の量で含まれる。
(ただし、金属膜6には、上記に例示するような金属(
元素)のうち、既に金属膜6に含まれている金属(元素
)をさらに上記の量で重ねて含ませることはないものと
する。たとえば、金属膜6を構成するアルミニウム合金
が、上記したAl−Ti合金、Al−Ti−Hf合金等
である場合には、上記の金属(元素)のうちでチタン(
Ti)がさらに上記のような量で上記アルミニウム合金
中に含まれることはない。) このような金属膜6の膜厚は、100〜5000人好ま
しくは500〜3000人さらに好ましくは700〜2
000人程度であることが望ましい。
元素)のうち、既に金属膜6に含まれている金属(元素
)をさらに上記の量で重ねて含ませることはないものと
する。たとえば、金属膜6を構成するアルミニウム合金
が、上記したAl−Ti合金、Al−Ti−Hf合金等
である場合には、上記の金属(元素)のうちでチタン(
Ti)がさらに上記のような量で上記アルミニウム合金
中に含まれることはない。) このような金属膜6の膜厚は、100〜5000人好ま
しくは500〜3000人さらに好ましくは700〜2
000人程度であることが望ましい。
本発明において、アルミニウム合金からなる金属層は、
熱良伝導体層としての機能を果しており、この金属層が
存在することによって記録層に記録されたビットの中心
部が記録レーザ光によって過度に高温になることが防止
され、その結果、記録パワーの線速依存性が小さくなる
と考えられる。
熱良伝導体層としての機能を果しており、この金属層が
存在することによって記録層に記録されたビットの中心
部が記録レーザ光によって過度に高温になることが防止
され、その結果、記録パワーの線速依存性が小さくなる
と考えられる。
また本発明における金属層は、耐肩食性に優れているた
め、長期間使用した後においても、記録媒体の線速依存
性が小さいという特徴を有しており、記録層に対する保
護作用にも優れている。
め、長期間使用した後においても、記録媒体の線速依存
性が小さいという特徴を有しており、記録層に対する保
護作用にも優れている。
上記のような第1保護膜、光磁気記録膜、第2保護膜お
よび反射金属膜は、基板上に、スパッタリング法、電子
ビーム蒸着法、真空蒸着法、イオンブレーティング法な
どの従来公知の方法によって成膜することができる。
よび反射金属膜は、基板上に、スパッタリング法、電子
ビーム蒸着法、真空蒸着法、イオンブレーティング法な
どの従来公知の方法によって成膜することができる。
また本発明では、金属膜の上にオーバーコートを施して
もよい。オーバーコート剤としては、紫外線硬化樹脂、
たとえばアクリル型紫外線硬化樹脂が用いられ、通常、
1〜100μm程度の膜厚にコートされる。また、保護
膜とは反対側の基板上にトップコートを施してもよい。
もよい。オーバーコート剤としては、紫外線硬化樹脂、
たとえばアクリル型紫外線硬化樹脂が用いられ、通常、
1〜100μm程度の膜厚にコートされる。また、保護
膜とは反対側の基板上にトップコートを施してもよい。
オーバーコート膜を有する光磁気記録媒体は、長期信頼
性にも優れている。
性にも優れている。
発明の効果
上記のような本発明に係る光磁気記録媒体は、特定の膜
構成および膜組成を有しているため、C/N比が高く、
かつ記録パワーマージンが広く、その上記緑感度の線速
依存性が小さい。また本発明に係る光磁気記録媒体は、
特定の4層構造(すなわち基板/ S i N xから
なる第1保護膜/光磁気記録膜/ S i N xから
なる第2保護膜/金属膜)をとり、さらに金属膜として
アルミニウム合金を用いているので、記録パワーマージ
ンが広い。さらに本発明に係る光磁気記録媒体は、アル
ミニウム合金からなる金属膜を有しているので、記録感
度の線速依存性が小さい。
構成および膜組成を有しているため、C/N比が高く、
かつ記録パワーマージンが広く、その上記緑感度の線速
依存性が小さい。また本発明に係る光磁気記録媒体は、
特定の4層構造(すなわち基板/ S i N xから
なる第1保護膜/光磁気記録膜/ S i N xから
なる第2保護膜/金属膜)をとり、さらに金属膜として
アルミニウム合金を用いているので、記録パワーマージ
ンが広い。さらに本発明に係る光磁気記録媒体は、アル
ミニウム合金からなる金属膜を有しているので、記録感
度の線速依存性が小さい。
なお、本明細書において、最適記録パワーとはf=IM
Hz、du17 50%の書込ミ信号ニ対シて再生信号
の2次高調波が最小となる記録パワーのことを表わし、
線速による最適記録パワーの差が小さい程線速依存性が
小さい。
Hz、du17 50%の書込ミ信号ニ対シて再生信号
の2次高調波が最小となる記録パワーのことを表わし、
線速による最適記録パワーの差が小さい程線速依存性が
小さい。
以下本発明を実施例によって説明するが、本発明はこれ
ら実施例に限定されるものではない。
ら実施例に限定されるものではない。
以下の実施例において、光磁気記録膜および金属膜の組
成は、原子%である。
成は、原子%である。
実施例1
エチレンと1.4.5.8−ジメタノ−1,2,3,4
,41,5,8゜以下DMONと略記する)とを共重合
させて得られる非品性共重合体[”’C−NMR分析で
測定したエチレン含量59モル%、DMON含量41モ
ル%、135℃デカリン中で測定した極限粘度[η]が
0.42dl/g、軟化温度(TMA)154℃コから
なる基板上に、S 1 a N 4ターゲツトを用いて
、スパッタリング法により第1保護膜としてのSi3N
4膜を1000人の膜厚で被着させた。
,41,5,8゜以下DMONと略記する)とを共重合
させて得られる非品性共重合体[”’C−NMR分析で
測定したエチレン含量59モル%、DMON含量41モ
ル%、135℃デカリン中で測定した極限粘度[η]が
0.42dl/g、軟化温度(TMA)154℃コから
なる基板上に、S 1 a N 4ターゲツトを用いて
、スパッタリング法により第1保護膜としてのSi3N
4膜を1000人の膜厚で被着させた。
このSi3N4膜上に、FeとCOとからなるターゲッ
トにTbチップを載置してなる複合ターゲットを用いて
、スパッタリング法によりTb3゜Fe66Co4膜を
270人の膜厚で被着させた。
トにTbチップを載置してなる複合ターゲットを用いて
、スパッタリング法によりTb3゜Fe66Co4膜を
270人の膜厚で被着させた。
さ ら に こ の T b F e CO4膜
上に、Si3N4ターゲットを用いて、スパッタリング
法により第2保護膜としての813N 4膜を160人
の膜厚で被着させた。
上に、Si3N4ターゲットを用いて、スパッタリング
法により第2保護膜としての813N 4膜を160人
の膜厚で被着させた。
次にこのSi3N4膜上に、Aj−Cr−Hfの複合タ
ーゲットを用いて、スパッタリング法によりA I
Cr Hf 2膜を1800人の膜厚で被着させた。
ーゲットを用いて、スパッタリング法によりA I
Cr Hf 2膜を1800人の膜厚で被着させた。
このようにして得られた光磁気記録媒体の特性を、下記
のようにして測定した。
のようにして測定した。
最適記録パワー二記録周波数IMHz、デユーティ−比
(Duj7比)50%で記録し、再生レーザーパワー1
mWで線速 5.7m/ss 11.3m/sについて評価し、た。
(Duj7比)50%で記録し、再生レーザーパワー1
mWで線速 5.7m/ss 11.3m/sについて評価し、た。
パワーマージン:下記の条件で測定したC/Nの最高値
から3dB低下するまでの記 録パワーの範囲をパワーマージンとし た。
から3dB低下するまでの記 録パワーの範囲をパワーマージンとし た。
C/N (dB):記録周波数3.7MHz。
DutI比33.3%、再生レーザーパワーは1.0m
Wとした。
Wとした。
基板とエンハンス層との密着性を、以下のようにして評
価した。
価した。
密着性試験[基盤目試験(JIS K5400 )]
:試料の記録膜、エンハンス膜上に、直交する縦横1
1本ずつの平行線をカッターナイフを用いて1mの間隔
でひく。1cIlの中に100個の升目ができるように
基盤目状の切傷を付ける。
:試料の記録膜、エンハンス膜上に、直交する縦横1
1本ずつの平行線をカッターナイフを用いて1mの間隔
でひく。1cIlの中に100個の升目ができるように
基盤目状の切傷を付ける。
セロハンテープにチバン製)を用いて剥離評価する。
結果を表1に示す。
実施例2
実施例1で用いた基板と同様の基板上に、813N <
ターゲットを用いて、スパッタリング法により第1保護
膜としての31 a N 4膜 を1100人の膜厚で
被着させた。
ターゲットを用いて、スパッタリング法により第1保護
膜としての31 a N 4膜 を1100人の膜厚で
被着させた。
このSi3N4膜上に、FeとCoとからなるターゲッ
トにTbチップを載置してなる複合ターゲットを用いて
、スパッタリング法によりTb3゜F e 66CO4
膜を300人の膜厚で被着させた。
トにTbチップを載置してなる複合ターゲットを用いて
、スパッタリング法によりTb3゜F e 66CO4
膜を300人の膜厚で被着させた。
さ ら に この T b ao F e 6a C
O4膜上に1St3N4ターゲツトを用いて、スパッタ
リング法により第2保護膜としての513N4膜を22
0人の膜厚で被着させた。
O4膜上に1St3N4ターゲツトを用いて、スパッタ
リング法により第2保護膜としての513N4膜を22
0人の膜厚で被着させた。
次にこのSi3N4膜上に、Aj−Mg−Hfの複合タ
ーゲットを用いて、スパッタリング法によりAz M
g Hf2膜を1500人の膜厚で被着させた。
ーゲットを用いて、スパッタリング法によりAz M
g Hf2膜を1500人の膜厚で被着させた。
得られた光磁気記録媒体を用いて、実施例1と同様にし
て緒特性を測定した。
て緒特性を測定した。
結果を表1に示す。
実施例3
実施例1と同じ基板上に、実施例1と同様にして第1保
護膜としてのSi3N4を1100人の膜厚で被着させ
た。
護膜としてのSi3N4を1100人の膜厚で被着させ
た。
このSi3N4膜上に実施例1と同様にして原子%でT
b ao F e ee CO4の組成を有する記録
膜を280人の膜厚で被着させた。
b ao F e ee CO4の組成を有する記録
膜を280人の膜厚で被着させた。
さらにこのT b a o F e e e CO4膜
上に、実施例1と同様にして5t3N4膜を250人の
膜厚で被着させた。
上に、実施例1と同様にして5t3N4膜を250人の
膜厚で被着させた。
次にこの5t8N4膜上に、実施例1と同様にして原子
%でA II T t Hf 2の組成を有するア
ルミニウム合金膜を1700人の膜厚で被着させた。
%でA II T t Hf 2の組成を有するア
ルミニウム合金膜を1700人の膜厚で被着させた。
次いでこの金属膜上にアクリル系紫外線硬化樹脂(SD
IOI 大日本インキ製)をスピンコーターで塗布し
、紫外線照射し、厚さ10μmのオーバーコート膜を形
成した。
IOI 大日本インキ製)をスピンコーターで塗布し
、紫外線照射し、厚さ10μmのオーバーコート膜を形
成した。
得られた光磁気記録媒体を用いて、実施例1と同様にし
て緒特性を測定した。
て緒特性を測定した。
結果を表2に示す。
また得られ・た光磁気記録媒体のバイトエラーレート(
BER)は、初期及び該記録媒体を65℃から一40℃
に24時間で変化させるヒートサイクルに20回付した
後に測定した。バイトエラーレートは初期にはlXl0
−’であり、20回のヒートサイクル後には、1×10
1であった。
BER)は、初期及び該記録媒体を65℃から一40℃
に24時間で変化させるヒートサイクルに20回付した
後に測定した。バイトエラーレートは初期にはlXl0
−’であり、20回のヒートサイクル後には、1×10
1であった。
第1図は、本発明に係る光磁気記録媒体の概略断面図で
ある。 1・・・光磁気記録媒体 2・・・基板3・・・第
1保護膜 4・・・光磁気記録膜5・・・第2
保護膜 6・・・金属展出 願 人 三井石
油化学工業株式会社代 理 人 弁理士
鈴 木 俊一部j 鴫 特許庁長官 深 沢 亘 殿 「; 】 光磁気記録媒体 内容に変更なし) Eの内容 :1)明細書第8頁下から5行目に記載の日よびR−、
RbJを削除する。 :2)明細書第8頁下から7行目に記載のく1〜R18
」と、 「は、それぞれ」との間にシらびにR・および
Rb」との記載を挿入する。 −以上一
ある。 1・・・光磁気記録媒体 2・・・基板3・・・第
1保護膜 4・・・光磁気記録膜5・・・第2
保護膜 6・・・金属展出 願 人 三井石
油化学工業株式会社代 理 人 弁理士
鈴 木 俊一部j 鴫 特許庁長官 深 沢 亘 殿 「; 】 光磁気記録媒体 内容に変更なし) Eの内容 :1)明細書第8頁下から5行目に記載の日よびR−、
RbJを削除する。 :2)明細書第8頁下から7行目に記載のく1〜R18
」と、 「は、それぞれ」との間にシらびにR・および
Rb」との記載を挿入する。 −以上一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)基板上に、第1保護膜、光磁気記録膜、第2保護膜
および金属膜がこの順序で積層されてなる光磁気記録媒
体であって、 第1保護膜および第2保護膜が、SiNxからなり、 光磁気記録膜が、(i)3d遷移金属から選ばれる少な
くとも1種と、(ii)希土類から選ばれる少なくとも
1種の元素とからなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴とする
光磁気記録媒体。 2)基板上に、第1保護膜、光磁気記録膜、第2保護膜
、金属膜およびオーバーコート膜がこの順序で積層され
てなる光磁気記録媒体であって、第1保護膜および第2
保護膜が、SiNxからなり、 光磁気記録膜が、(i)3d遷移金属から選ばれる少な
くとも1種と、(ii)希土類から選ばれる少なくとも
1種の元素とからなり、 金属膜が、アルミニウム合金からなることを特徴とする
光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29810990A JPH04170737A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29810990A JPH04170737A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04170737A true JPH04170737A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17855281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29810990A Pending JPH04170737A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04170737A (ja) |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29810990A patent/JPH04170737A/ja active Pending
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