JPH04168737A - ボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明はキャリアテープ方式の半導体製造用ボンディン
グ装置に関する。

（従来の技術） 従来、ボンディング装置は、インナリード方式、アウタ
リード方式のものがある。第５図及び第６図で、従来の
インナリードボンディング装置を説明する。１は繰出し
リールであり、インナリード２ａが所定の間隔で設けで
あるキャリアテープ２が巻かれている供給側リールであ
る。３は固定ローラであり、繰出しリール１の左下方に
設けられ、繰出しリール１から送り出されるキャリアテ
ープ２をこの下方に位置するキャリアテープ２のたるみ
を防止するテンションローラ４へ導く。５はスプロケッ
トであり、テンションローラ４の右上に水平に連続して
設けられ、キャリアテープ２の両側のパーフォレーショ
ン２ｂ、　２ｃにスプロケット５の外周両側に設けられ
た歯上；シがかみ合ってテンションローラ４から送られ
てくるキャリアテープ２を間欠的に送り出す。６はその
中央部に長円穴が設けられたテープガイドであり、スプ
ロケット５の右側に設けられ、スプロケット５から送り
出されたキャリアテープ２をボンディング位置であるテ
ープガイド６の中央部長円穴の位置に導く。７はボンデ
ィングツールであり、長円穴の上方に上下動自在にツー
ル腕８の前面に設けられている。９はステージであり、
長円穴の下方に設けられ、載置台１０上の半導体素子１
１を搬送アーム１２によりステージ９の所定位置に移載
する。１３は駆動用スプロケットであり、テープガイド
６の右端下方に設けられ、パルスモータ１４により減速
機構１５を介して駆動用スプロケット１３を間欠的に駆
動してテープガイド６から送られてくるキャリアテープ
２を所定ピッチで搬送する。１６はスプロケットであり
、駆動用スプロケット１３の右側に設けられ、駆動用ス
プロケット１３から搬送されたキャリアテープ２をその
下方に位置するテンションローラ１７へ導く。１８は固
定ローラであり、テンションローラ１７の上方に位置し
て、テンションローラ１７から送り出されるキャリアテ
ープ２をその上方に位置する巻取リリール１９へ導く。

このように構成されたインナリードボンティン−３＝ グ装置の動作を以下に説明する。

繰出しリール１と巻取リリール１９を回転させるととも
に、パルスモータ１４により駆動用スプロケット１３で
キャリアテープ２を所定のピッチで右方に送る。これに
より、繰出しリール１よりキャリアテープ２が供給され
て、固定ローラ３、テンションローラ４、スプロケット
５を経てテープガイド６ヘキヤリアテープ２は搬送され
る。所定ピッチでキャリアテープ２が搬送されることに
より、ステージ９の半導体素子１１の真上のボンディン
グ位置にキャリアテープ２のインナリード２ａが位置決
めされる。そして図示しない複動シリンダーによりテー
プクランプ板をテープガイド面に抑圧、保持してクラン
プ位置決めを行う。そしてボンディングツール７を下降
させて半導体素子１１をキャリアテープ２のインナリー
ドにボンディングする。

ボンディング後、パルスモータ１４で所定ピッチ４でキ
ャリアテープを搬送して、以下この動作が繰返し行なわ
れる。

（発明が解決しようとする課題） この従来の装置では、キャリアテープ搬送時にキャリア
テープ２とテープガイド６の接触面において、すべり摩
擦によるインナリード面、半導体素子の傷等の発生が問
題となっている。

また、クランプ板により位置決めを行う際に。

電磁弁の切換えにより複動シリンダのヘッド側とロッド
側に交互にエアー供給を行うことで、クランプ板の昇降
を行なっていた。このクランプ板がキャリアテープ２に
押圧される時の衝撃により振動が発生し、キャリアテー
プ２の位置決めにずれが生じたり、インナリード２ａの
変形が生ずるとい、ったことが問題となっている。

そこで、本発明の目的は、キャリアテープ搬送時にイン
ナリード面等に傷、変形等を発生することなくクランプ
位置決めを正確に行うことのできるボンディング装置を
提供することにある。

〔発明の構成〕

（ｉｌｌ１題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため第１の発明は、インナリード
が形成されたキャリアテープを供給する繰出しリールと
、 繰出しリールより搬送されるキャリアテープをボンディ
ング位置へ導き位置決め保持を行うテープガイドと、 ボンディング位置でボンディングされた後にテープガイ
ドを通過したキャリアテープを所定のピッチで搬送する
駆動用スプロケットと、駆動用スプロケットにより搬送
されたキャリアテープを収納する巻取りリールとを有す
るボンディング装置において、 キャリアテープ搬送方向に沿って逃げ溝を中央部に形成
して、逃げ溝の外側でキャリアテープと接触し、キャリ
アテープの入口側と出口側の部分のキャリアテープ接触
面よりそれら両者の間に位置する接触面を０．１ｍｍ〜
０．５■上方に設けたテープガイドを有することを特徴
としている。

さらに、第２の発明は、 インナリードが形成されたキャリアテープを供給する繰
出しリールと、 繰出しリールより搬送されるキャリアテープをボンディ
ング位置へ導くテープガイドと、テープガイドにより導
かれたキャリアテープをテープガイド面へ抑圧可能なテ
ープクランプ板と、このテープクランプ板に連動したロ
ッドを昇降させることでテープガイド面上のキャリアテ
ープをテープクランプ板で抑圧、保持させる複動シリン
ダとを有するボンディング装置において、複動シリンダ
の一方の側を常時低圧としてテープクランプ板をテープ
ガイド面から離し、クランプ位置決めの際に複動シリン
ダの他方の側を高圧状態としてテープクランプ板をテー
プガイド面に上昇押圧する複動シリンダを設けたことを
特徴としている。

（作用） 第１の発明においては、繰出しリールから繰出されたキ
ャリアテープを駆動用スプロケットにより所定ピッチで
搬送してテープガイドに導く。テープガイドのキャリア
テープ接触側面には、搬送方向に沿った中央部分に逃げ
溝が形成しであるので、テープガイドを通過中、キャリ
アテープは逃げ溝の外側で接触保持される。さらに、テ
ープガイドにおいて、キャリアテープ搬送路の入口側部
分と出口側部分の接触面より両者の間に位置する部分の
接触面を０．１ｍｎ〜０．５ｍ上方に設けであるので、
テープガイドの入口側と出口側以外の部分では、すきま
を発生させながらキャリアテープは搬送される。そして
、キャリアテープばボンディング位置で位置決め保持さ
れる。ボンディングされた後には、テープガイドを通過
して、巻取リリールに巻取られる。

第２の発明においては、ボンディング位置でテープガイ
ド面でキャリアテープが位置決めされた後に、一方の側
が常時低圧状態の複動シリンダーの他方の側を高圧状態
とすることで、複動シリンダーのロッドに連動したクラ
ンプ板を上昇させてテープガイド面にキャリアテープを
抑圧保持して、クランプ位置決めを行う。

（実施例） 以下本発明の実施例を図面によって説明する。

ただし、第５図および第６図と重複する部分は省く。第
１図および第２図において、５は繰出し側のスプロケッ
トであり、繰出しリール１より供給されるキャリアテー
プ２を間欠的に送り出す。テープガイド部は、ボンディ
ング部を有する中央部ガイド２０と、その両サイドの入
口側Ｒ形ガイド２１と出口側Ｒ形ガイド２２の３つのガ
イドより構成されている。入口側Ｒ形ガイド２１と出口
側Ｒ形ガイド２２の接触面より約０．３＋ｎｍ上方にそ
の接触面が位置するよう中央部ガイド２０が設けられて
いる。第２図は第１図を六方向から見た断面図である。

２３はキャリアテープ２をボンディング位置へ尋くガイ
ド溝であり、入口側Ｒ形ガイド２１にキャリアテープ搬
送方向へキャリアテープ２の幅より約１＋ｎｍ大きい幅
を持つ凹部がその接触面に設けである。

このガイド溝２３は中央部ガイド２０、出口側ガイド２
２にも同様に設けである。２４は逃げ溝であり、キャリ
アテープ２のインナリード面の幅より約２Ｉｗ１１大き
い幅を持つ凹部がガイド溝中央部に搬送方向に渡って設
けである。この逃げ溝２４は同様に出口側Ｒ形ガイドに
も設けである。２５はキャリアテープをクランプするク
ランプ板であり、中央部ガイド２０の下方に設けである
。２６は複動シリンダであり、クランプ時にロッドを介
してクランプ板２５を上昇させる。

第３図において、２７はエア源であり、高圧エアを発生
する。２８は減圧弁であり、エア源２７より供給される
高圧エアを減圧して低圧エアを複動シリンダ２６のヘッ
ド側に常時供給してロッドの下降状態を保つ。それによ
り、ロッドに連動したクランプ板２５も下降した状態を
保つ。２９は電磁弁であり、クランプ時にはエア源２７
より供給される高圧エアを複動シリンダ２６のロッド側
に弁の切換により供給し、それによりロッドは上昇する
。ロッドに連動したクランプ板２５も上昇してキャリア
テープ２を中央部ガイド２０に押圧する。

第４図において、９はステージであり、上面にバンプｌ
ｌａを有する半導体素子１１を載置する。７はボンディ
ングツールであり、ステージ９上方の中央部ガイド２０
の開口部へ昇降自在に設けられ、ボンディング時に下降
してステージ９上の半導体素子１１のバンプＩｌａにキ
ャリアテープ２の開孔部に突出しているインナリード２
ａを加圧加熱により接続する。

以上のように構成された実施例の動作を以下に説明する
。

駆動用スプロケット１３により、キャリアテープ２を所
定ピッチで搬送する。その際に、入口側Ｒ形ガイド２１
と出口側Ｒ形ガイド２２のガイド溝２３でインナリード
部両側のキャリアテープ面を接触保　　　　　′持して
、中央部ガイド２０に接触することなく搬送位置決めが
行なわれる。駆動スプロケット１３により所定ピッチ分
キャリアテープ２が搬送された後、電磁弁２９の作動に
より高圧エアが複動ビス１−ン２６のロッド側に供給さ
れるので、ヘッド側の低圧エアを圧縮しながらクランプ
板２５が上昇する。クランプ板２５はキャリアテープ２
を押し上げ、中央部ガイド２０の接触面上にキャリアテ
ープ２を押圧する。こうしてクランプ位置決めが行われ
る。そして、ボンディングツール７が下降して、加圧加
熱によりステージ９上に位置決め支持された半導体素子
１１のバンプーｌａにキャリアテープ２の開孔部に突出
しているインナリードを接続する。

ボンディング後、ボンディングツール７は所定の位置に
上昇し、電磁弁２９の作動により低圧エアが複動ピスト
ン２６のヘッド側に供給されてクランプ板２５は所定の
位置へ下降する。

以上の動作が繰返し行なわれる。

この実施例によれば、キャリアテープ２をボンディング
位置に導くテープガイドを３分割にし、中央部ガイド２
０の接触面を両サイドに位置するＲさ 形ガイド２１．２２の接触面より上方に設けた。そらに
、入口側Ｒ形ガイド２１と出口側Ｒ形ガイド２２のキャ
リアテープ搬送方向にインナリード面を保護する逃げ溝
２４を設けた。そのため搬送時において、インナリード
面はテープガイド面に接触することなく搬送されるため
、接触摩擦によるインナリード面の傷等が発生しない。

さらに、搬送時のキャリアテープ２とテープガイドの接
触面積を小さくすることで、接触摩擦が減少し搬送抵抗
を小さくすることができる。それにより滑らかな搬送が
可能となる。

さらに常時低圧エアがヘッド側に供給されている複動シ
リンダ２６のロッド側に高圧エアを供給し、低圧エアを
圧縮しながらクランプ板２５が上昇してキャリアテープ
２を押圧する。そのため低圧エアがダンパーの働きをし
て、クランプ板２５はキャリアテープ２に衝撃を与える
ことなくキャリアテープ２を押圧する。このように安定
して正確なりランプ位置決めを行なうことができる。

〔発明の効果〕

このように第１の本発明によれば、テープガイドのキャ
リアテープ入口側と出口側のキャリアテープ接触面より
その両者の間に位置する接触面を上方に配置した。また
、キャリアテープ入口側と出口側のテープガイドのガイ
ド溝にキャリアテープ搬送方向へその中央部に逃げ溝を
形成した。

これにより、キャリアテープ搬送時にキャリアテープ入
口側と出口側の逃げ溝を有するガイド溝でインナリード
面に接触せずキャリアテープを接触保持するので、接触
面積が小さくなり、接触摩擦による傷等の発生を防止す
るボンディング装置を提供することができる。

第２の発明によれば、常時低圧状態の複動シリンダの一
方の側に対して他方の側を高圧状態としてテープクラン
プ板をキャリアテープに押しあてる。そのため、複動シ
リンダの一方の低圧状態側のダンパー効果によりテープ
クランプ板は衝撃をキャリアテープに与えることなく、
安定した正確なりランプ位置決めを行うボンディング位
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるインナリードボンディング装置の
構成図、第２図は第１図の入方向から見た断面図、第３
図はテープクランプ板の昇降を制御するエア回路図、第
４図はボンディング部の詳細図、第５図は従来のインナ
リードボンディング装置の構成図、第６図は従来のイン
ナリードボンディング装置の外観図である。 １・・・繰出しリール、　　２０・・・中央部ガイド、
２１・・・入口側Ｒ形ガイド、２２・・・出口側Ｒ形ガ
イド、１３　　駆動用スプロケット、 ２５・・・テープクランプ板、２６・・・複動シリンダ
、２７・・・エア源、　　　　　２８・・・減圧弁、２
９・・・電磁弁。 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 （ゝ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）インナリードが形成されたキャリアテープを供給
   する繰出しリールと、 繰出しリールより搬送されるキャリアテープをボンディ
   ング位置へ導くテープガイドと、ボンディング位置でボ
   ンディングされた後にテープガイドを通過したキャリア
   テープを所定のピッチで搬送する駆動用スプロケットと
   、 駆動用スプロケットにより搬送されたキャリアテープを
   収納する巻取りリールとを有するボンディング装置にお
   いて、 キャリアテープ搬送方向に沿って逃げ溝を中央部に形成
   し、逃げ溝の外側でキャリアテープと接触し、キャリア
   テープの入口側と出口側の部分のキャリアテープ接触面
   よりそれら両者の間に位置する接触面を０．１ｍｍ〜０
   ．５ｍｍ上方に設けたテープガイドを有することを特徴
   とするボンディング装置。
2. （２）インナリードが形成されたキャリアテープを供給
   する繰出しリールと、 繰出しリールより搬送されるキャリアテープをボンディ
   ング位置へ導くテープガイドと、テープガイドにより導
   かれたキャリアテープをテープガイド面へ押圧可能なテ
   ープクランプ板と、このテープクランプ板に連動したロ
   ッドを昇降させることでテープガイド面上のキャリアテ
   ープをテープクランプ板で押圧させる複動シリンダとを
   有するボンディング装置において、 複動シリンダの一方の側を常時低圧としてテープクラン
   プ板をテープガイド面から離し、クランプ位置決めの際
   に複動シリンダの他方の側を高圧状態としてテープクラ
   ンプ板をテープガイド面に上昇押圧する複動シリンダを
   設けたことを特徴とするボンディング装置。