JPH0416503A - AlN粉体の表面被覆方法 - Google Patents

AlN粉体の表面被覆方法

Info

Publication number
JPH0416503A
JPH0416503A JP2116309A JP11630990A JPH0416503A JP H0416503 A JPH0416503 A JP H0416503A JP 2116309 A JP2116309 A JP 2116309A JP 11630990 A JP11630990 A JP 11630990A JP H0416503 A JPH0416503 A JP H0416503A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
diamine
aln powder
coating
derivative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2116309A
Other languages
English (en)
Inventor
Jiyunko Takada
高田 潤子
Hiroyuki Miyamoto
博幸 宮本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Inax Corp
Original Assignee
Inax Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Inax Corp filed Critical Inax Corp
Priority to JP2116309A priority Critical patent/JPH0416503A/ja
Publication of JPH0416503A publication Critical patent/JPH0416503A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は窒化アルミニウム(AJZN)粉体の表面被覆
方法に係り、特に水分や酸素に対する安定性を改善する
ための高特性被膜をアルキルアルミ法により製造された
Au2N (以下「アルキルアルミAlNJと称す。)
粉体に容易かつ効率的に形成するためのAlN粉体の表
面被覆方法に関する。
[従来の技術及び先行技術] AIN粉体は、大気中で熱力学的に極めて不安定であり
、特にその微粉体は容易に酸素や水分と反応する。例え
ば、AρN粉体は、30℃、80%相対湿度雰囲気下で
40日程度保持すると、以下に示す反応によりBaye
rite。
Boehmi te等の水酸化アルミニウム(Au2 
(OH) 3 )へと変化してしまう。
A42N+3820   AJZ (OH)3 +NH
3このため、AJZN粉体を保存する場合には、乾燥後
、容器に完全密封するか、N2又はNH3ガス雰囲気下
で保管する必要があり、管理が困難である。仮に貯蔵時
にAu2 (OH) 3等への分解が実質的に防止でき
たとしても、焼結体製造時の焼成前の諸工程において分
解不純物が発生することは避けられない。即ち、水を媒
質としてAlN粉体のスラリーを調製すると、Au2N
に一部生成したAu2(OH)2が混入するため、この
ようなスラリーを成形、焼結した場合、焼成中にAu2
(OH)3がα−アルミナ(Am203)に変化し、得
られる焼結体中のAu2 oaが増加する。このため、
熱伝導率等の焼結体の特性を著しく損なう結果となる。
このようなことから、従来においては、水系スラリーと
することができず、有機溶媒及び成形用バインダーを用
いて成形しているため、処理コストが高くつくという欠
点があった。
そこで、AlN粉体の安定化のために、粉体表面に被覆
膜を形成する提案がなされており、最近では、AfN粉
体表面に疎水性被膜を形成した後、親水性被膜を形成し
たもの、具体的には第1次の表面処理としてAj2N粉
体の表面を、無機、有機の表面処理剤で覆い、水との反
応性を抑制した後、第2次の表面処理として、この第1
次処理粉体を、水を媒買とした界面活性剤中で処理し、
水に対する分散性を向上させたAiN粉体が提案されて
いる(特開昭62−207770号)。
しかしながら、特開昭62−207770号に開示され
るAj2N粉体では ■ 被膜の耐熱性が乏しい(200℃に耐えることがで
きない。)。
■ 被膜の機械的強度、耐薬品性、耐久性が十分でない
■ ■、■より、ミルやスプレードライヤを用いてミリ
ングする場合等に被膜が破損してAρNの水和が起こり
易い。
等の欠点があった。
上記従来の問題点を解決し、AlN粉体に、耐熱性に優
れ機械的強度が高く、著しく耐久性に優れた、耐水保護
被膜を形成し、AJ2N粉体の水系での処理、成形を可
能とし、もって高特性AlN焼結体を低コストで製造す
ることができる、表面被覆されたAj2N粉体及びその
製造方法として、本出願人は粒子表面がポリアミド樹脂
で被覆されたAIN粉体、及び、このようなALN粉体
を製造するにあたり、カップリング剤等により疎水処理
されたAj2N粉体の粒子表面に二塩基酸又はその誘導
体とジアミン類又はジアミン誘導体との重縮合反応によ
りポリアミド樹脂被膜を生成させる方法を見出し、先に
特許出願した(特願昭63−221871号。以下「先
願」という。)。
[発明が解決しようとする課題] 上記先願の方法によれば、高特性ポリアミド樹脂被膜が
形成されたAj2N粉体を容易かつ効率的に製造するこ
とが可能とされるが、先願の方法により製造される表面
被覆AflN粉体は、AflN粉体粒子の表面にカップ
リング剤層等の疎水処理剤層を介してポリアミド樹脂被
膜が形成されたものであり、製造条件等によっても異な
るが、カップリング剤層に直接ポリアミド樹脂被膜が形
成されたAj2N粉体よりも、むしろ、AAN粉体粒子
の表面に形成されたカップリング剤層との間に、被膜形
成時の残留上ツマ−や有機溶媒の液相を包含してポリア
ミド樹脂被膜が形成されたAJ2N粉体となる。
即ち、先願の方法は、AlN粉体表面にて、例えば二塩
基酸又はその誘導体とジアミン類又はジアミン誘導体を
液相にて反応させる、所謂液−液重合であるため、形成
されるポリアミド樹脂被膜4内に残留上ツマ−や有機溶
媒の液相が包含され易い。
このため、先願の方法により得られる表面被覆AJl!
N粉体では、次のような不具合がある。
■ 成形時のプレス圧力により、被膜が破れて内部の液
相が浸出する。
このため、プレス収縮、焼成収縮が大きく、成形性、焼
結性が損なわれ、製品欠陥が生じ易い。また、浸出した
液相のために金型が汚染されることから、金型の清掃が
必要となり、生産性が低下する。
■ 形成される被膜自体が比較的厚い上に、被膜内に液
相を包含するため、表面被覆AlN粉体に対する被膜及
び液相の有機物の割合が、例えば約20%と、非常に多
いものとなる。このため、使用薬剤量が多く原料コスト
が高騰する上に、厚く形成された被膜及び液相の被覆層
のために、AIN粉体木来の特性が損なわれる場合もあ
る。
本発明は上記先願の問題点を解決し、特にアルキルアル
ミAfN粉体表面に液相を包含することなく、比較的薄
いポリアミド被膜を容易かつ効率的に、高い生産性にて
形成することができる/IN粉体の表面被覆方法を提供
することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明のAl1N粉体の表面被覆方法は、アルキルアル
ミAlN粉体粒子の表面を二塩基酸又はその誘導体で被
覆し、該被覆処理されたAAN粉体をジアミン又はジア
ミン誘導体の溶液に分散させて、A1N粉体の粒子表面
で重合反応させることによりポリアミド樹脂被膜を生成
させることを特徴とする。
以下に本発明の詳細な説明する。
本発明において用いるアルキルアルミAlN粉体は、有
機アルミニウムを原料としてCVD法により合成された
ものであり、 ■ 原料の高純度化が容易である。
■ 原料中に酸素を含有しない。
ことから、超高純度のAl1N粉体とすることができ、
また、CVD法によれば、 ■ 微粒子の生成が容易である。
■ 均一な粒度分布で、凝集の少ない粒子を得ることが
できる。
等の効果が奥されることから、結果として超高線JiA
j2N微粉末として提供される。このアルキルアルミA
lN粉体としては、市販品を用いることができる。
本発明の方法においては、まず、このようなアルキルア
ルミAlN粉体粒子の表面を、二塩基酸又はその誘導体
で被覆するが、この被覆処理に先立ち、アルキルアルミ
AlN粉体を酸化処理するのが好ましい。酸化処理は、
空気等の酸素含有ガス雰囲気にて、アルキルアルミAl
N粉体を加熱することにより容易に行なうことができる
。酸化処理のための加熱条件は、後続の被覆処理条件等
によっても異なるが、一般には150〜250℃で10
〜60分とするのが好ましい。このような酸化処理を施
すことにより、アルキルアルミAl2N粉体の表面にO
及び/又はOH基が導入され、これによりポリアミド樹
脂被覆をより密着性、均一性良く形成することか可能と
される。
アルキルアルミAlN粉体又は酸化処理を施したアルキ
ルアルミAl2N粉体の表面を二塩基酸又はその誘導体
で被覆するには、具体的には、該AλN粉体と、カップ
リング剤を添加した二塩基酸又はその誘導体の溶液とを
添加混合し、得られた混合スラリーを急熱乾燥するなど
の方法で、溶媒を揮発除去する。
本発明において、カップリング剤としては具体的には、
KBM1003 (信越化学工業味製、ヒニルトリメト
キシシラン)、KR44(味の素株製、イソプロピルト
リ(N−アミノエチル−アミンエチル)チタネート)、
AL−M(味の素■製、アセトアルコキシアルミニウム
ジイソプロピレート)等を用いることができる。
尚、カップリング剤としてチタネート系或いはアルミニ
ウム系のものを用いると、シラン系のものを用いた場合
よりも、AβN焼結体の熱伝導率が高くなる。
また、二塩基酸又はその誘導体としては、1゜8−オク
タンジカルボニルクロリド、1.4−ブタンジカルボン
酸、1.7−へブタンジカルボン酸、1.5−ペンタン
ジカルボン酸、1.6−ヘキサンジカルボン酸及びその
塩化物等を用いることができる。
このような二塩基酸又はその誘導体を溶解させる溶媒と
しては、シクロヘキサン、エチルアルコール、アセトン
、ヘキサン、メチルアルコール、クロロホルム等の1種
又は2種以上の有機溶媒が挙げられる。
カップリング剤の使用量は、AIN粉体100gに対し
て1.0〜4.0m42程度とするのが好ましい。また
、二塩基酸又はその誘導体の溶液の濃度及び該溶液と添
加混合するAl2N粉体の割合等は、製造する表面被覆
Al2N粉体の被膜量等によっても異なるが、通常の場
合、0.1〜0.3m o 1 / A程度の二塩基酸
又はその誘導体の溶液100mj2に対して40〜60
gのAl2N粉体を混合するのが好ましい。
なお、本発明においては、カップリング剤を用いること
なく二塩基酸又はその誘導体で被覆処理することもでき
る。しかしながら、AlN粉体の表面は親木性であるた
め、被覆処理に際して二塩基酸又はその誘導体の溶液に
対する濡れ性が悪く、AfLN粉体の分散性が悪いこと
から、形成される被膜も不均一なものとなり易い。従っ
て、本発明においてはカップリング剤を用いるのが好ま
しい。
このようにして被覆処理されたAJ2N粉体は、次いで
、ジアミン又はジアミン誘導体の溶液に分散させて、A
IN粉体の粒子表面で重合反応させることにより、ポリ
アミド樹脂被膜を生成させる。
具体的には、界面活性剤を加えた水に、上記被覆処理さ
れたAJZN粉体を分散させてスラリーとし、このスラ
リーにジアミン又はジアミン誘導体の溶液を添加して混
合攪拌する。
界面活性剤としては、HLB値の高いノニオン系界面活
性剤、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、
ポリオキシエチレンアルキルアリルエーテル、ポリオキ
シエチレン誘導体、ポリオキシエチレンゾルビタン脂肪
酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル等を用
いることができる。
また、ジアミン又はジアミン誘導体としては、1.6−
ジアミツヘキサン、1.7−ジアミノへブタン、1.8
−ジアミノオクタン、1.9−ジアミノノナン、1.1
0−ジアミノデカン、エチレンジアミン、トリメチレン
ジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジ
アミン及びその誘導体等を用いることができる。
このようなジアミン又はジアミン誘導体を溶解させる溶
媒としては、水が挙げられる。
界面活性剤の使用量は、A42N粉体100gに対して
5〜10ml1程度とするのが好ましい。また、ジアミ
ン又はジアミン誘導体の溶液の濃度及び該溶液と添加混
合するAlN粉体の割合等は、AlN粉体粒子の表面に
付着している二塩基酸又はその誘導体と重合反応を起こ
すに十分な量のジアミン又はジアミン誘導体が添加され
る量であれば良く、製造する表面被覆AJ2N粉体の被
膜量等によフても異なるが、通常の場合、002〜0.
05mou/It程度のジアミン又はジアミン誘導体の
溶液100mIlに対して50〜100gの被覆処理さ
れたAlN粉体を混合するのが好ましい。
このようにして、カップリング剤と二塩基酸又はその誘
導体とで被覆したAlN粉体をジアミン又はジアミン誘
導体の溶液に分散させることにより、AlN粉体の粒子
表面で二塩基酸又はその誘導体とジアミン又はジアミン
誘導体が重縮合反応してポリアミド樹脂被膜を生成する
反応終了後、スラリーを急熱乾燥するなどの方法により
水等の溶媒を揮発させて、ポリアミド樹脂被膜が形成さ
れた表面被覆AJ2N粉体を得る。
このようにして得られる表面被覆AflN粉体は、表面
の少なくとも一部にカップリング剤が付着したAJ2N
粉体粒子の表面に液相を殆ど包含することなくポリアミ
ド樹脂被膜が密着性良く形成されたAlN粉体である。
なお、本発明の方法は、成形、焼成材料として用いるA
lN粉体を製造する場合には、予め所定量のY2O3粉
体等の焼結助剤を混合したAlN粉体に通用することが
できることは言うまでもない。
[作用] 本発明の方法によれば、先願の液−液重合とは異なり、
AJ2N粉体粒子表面の二塩基酸又はその誘導体と、溶
液中のジアミン又はジアミン誘導体とを反応させる、い
わば固−液重合によりポリアミド樹脂被膜を形成するこ
とにより、被膜内に未反応子ツマ−や溶媒等の液相を包
含しない表面被覆A42N粉体を得ることができる。
このため、表面被覆Aj2N粉体に対する被膜の有機物
量が約5%と著しく低減され、AfLN粉体本来の特性
を損なうことなく、耐水性、耐熱性に優れ、かつ機械的
強度も著しく高い被膜を密着性良く、薄く均一な膜厚で
、しかもほぼ単粒子毎の被覆となるように形成すること
が可能とされる。
また、AIN粉体粒子表面に形成される被膜量は、二塩
基酸又はその誘導体の付着量、並びに、ジアミン又はジ
アミン誘導体の使用量等により容易に調整することがで
きる。
[実施例] 以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に
説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の
実施例に限定されるものではない。
なお、以下の実施例及び比較例において、用いた試薬は
下記の通りである。
使用試薬 ■ 1.8−オクタンジカルボニルクロリド:塩化セバ
コイル(和光純薬■製) CILCO(C)12)Is C0CJl=239.1
■ 1.6−ジアミツヘキサン(ヘキサメチレンジアミ
ン)(和光純薬■製) NH2(CH2)6NH2=116.21■ クロロホ
ルム(和光純薬味製) CHCIl3 =119 ■ シクロヘキサン(和光純薬■製) C6HI2=84.2 ■ 界面活性剤 エマルゲンA−60(■花王製) (ポリオキシエチレン話導体HLB=12.8)■ カ
ップリング剤 KBM1003 (信越化学工業■製)CH2CHS 
i (OCHs ) 3=148.2また、原料のアル
キルアルミAItN粉体としては、次の■を、焼結助剤
としては次の■を用いた。
■ MTC高純度窒化アルミニウム粉末(三井東圧■製
) HTタイプ(アルキルアルミ法による高純度、低酸素含
有量AJ2N粉体。高熱伝導率用AlN粉体。) ■  Y203 (信越化学工業■製) 実施例1 塩化セバコイル25gをシクロヘキサン500m1に溶
かし、溶液A (0、2m o 11 / Il)を調
製した。別に、ヘキサメチレンジアミン2.32gを蒸
留水500mj2に溶かし、溶液B(0、04m o 
It / ft)を調製した。
Al1N粉体14.25g及び焼結助剤Y2O3粉体0
.45gをボットミルにて混合すると同時に、塩化セバ
コイルを固定するために、溶液Aを20mj!(好適添
加量は15〜25mIL)、カップリング剤を150μ
m添加し、24時間混合した。得られたスラリーをホッ
トプレート120℃にて急熱乾燥を行ない、シクロヘキ
サンを揮発させて塩化セバコイルで被覆したAlN粉体
を得た。次いで、得られたAlN粉体を界面活性剤15
0μn及び溶液B22rnJ2と共に30〜60分ポッ
トミルにて混合し、Aj2N粉体表面の塩化セバコイル
とへキサメチンジアミンとを重合させた。
反応によりAIN粉体粒子表面にポリアミド樹脂被膜が
生成したので、得られた表面被覆AlN粉体を水から分
離するため、反応液をホットプレート200℃にて急熱
乾燥した。
得られた表面被覆A42N粉体について、下記方法によ
り物性及び特性を調へ、結果を第1表に示した。
成形性、 成体の諸物性 表面被覆AiN粉体を12mmφ及び30mmφの成形
型を用いて1000 k g f / cゴでプレス成
形し、窒素雰囲気中、1880℃で2時間焼成して焼成
体を得た。この時の成形性の良否を◎、01△、Xの4
段階で評価し、また、得られた成形体及び焼成体につい
て諸物性を測定した。
熱伝導率 上記で得られた焼成体について、真空理工社製「レーザ
ーフラッシュ熱定数測定装置(TC−7000)Jを用
いて測定した。
電気的特性 上記で得られた焼成体について、YHPliH河ヒュー
レットパッカード)社製r4192Aインピーダンスア
ナライザー」を用いてIMHzにて測定した。
実施例2 AjlN粉体の前処理として、ホットプレートに展開し
て200℃で15分間加熱することにより酸化処理した
こと、溶液Aの添加量を19mj2としたこと以外は、
実施例1と同様に粉体を得、得られた粉体について、実
施例1と同様にして物性及び特性を調べ、結果を第1表
に示した。
比較例1 AfN粉体14.25g、焼結助剤Y203粉体0.7
5g及びバインダー(第一工業製薬社製「G7211」
)0.60gをシクロヘキサン20mItを溶媒として
、24時間混合した。
これをホットプレートに展開し、200℃で急熱乾燥処
理を施して混合粉体を得た。
得られた粉体について、実施例1と同様にして物性及び
特性を調べ、結果を第1表に示した。
比較例2(先願の方法) 塩化セバコイル25gをシクロヘキサン/クロロホルム
=、3:1(体積比)の混合溶媒500mJ2に溶解し
て、0.2moIL/iの溶液■を調製した。別に、ヘ
キサメチレンジアミン2.32gを蒸留水500mj!
に溶解して、0.04m o 11 / 11の溶液I
Iを調製した。
AJ2N粉体14.25g及び焼結助剤Y203粉体0
.75gをカップリング剤約150μmを添加してアセ
トン30mβ中で24時間混合して疎水処理した。混合
後、得られたスラリーを、ホットプレートを用いて12
0℃で急熱乾燥を行ない、得られた乾燥粉体を溶液11
0〜20mfに分散させた。次いで、分散液を、界面活
性剤1m1を含む蒸留水30mAに乳化させ、乳化液に
溶液IIを10〜20mj2加え、重合を起こさせた。
その後、混合溶媒(シクロヘキサン:クロロホルム−3
:1体積比)を加えて反応を停止させ、ホットプレート
約200℃にて乾燥処理を行なって、表面被覆AβN粉
体を得た。
得られた粉体について、実施例1と同様にして物性及び
特性を調べ、結果を第1表に示した。
第1表 3klカツコ内の数値は相対密度(理論密度3,31と
した場合)である。
*2 : 2Rは成形体の直径方向の収縮率である。
*3:hは成形体の厚み(高さ)方向の収縮率である。
第1表より次のことが明らかである。
比較例1で得られる粉体では、成形体の密度が低く、こ
のため焼成収縮が大きく、吸水率も高い 比較例2で得られる粉体は、未反応の千ツマ−及び溶媒
からなる液相が包含されているため、使用薬剤量が多く
なる上に、成形時において液相部の流出による生産性の
低下の問題があり、成形性が悪い。
これに対して、本発明の方法により得られる表面被覆A
fLN粉体によれば、良好な成形性にて、焼成収縮が小
さく、吸水率が低く、嵩比重の大きい成形体及び焼成体
を高い生産性で得ることができる。しかも、液相部の包
含の問題がないため、使用薬剤量も比較例2の方法に比
べて約属となり、原料コストも軽減される。
[発明の効果] 以上詳述した通り、本発明のAJ2N粉体の表面被覆方
法によれば、耐水性、耐熱性、機械的強度に著しく優れ
、Aj2N粉体粒子を十分に保護することができる高特
性ポリアミド樹脂被覆層を容易かつ低コストに、効率的
にアルキルアルミAJ2N粉体粒子表面に形成すること
ができる。
本発明により製造された表面被覆Aj2N粉体によれば
、水系処理、加熱処理、ミリング処理等の処理工程にお
いて保護被膜が破壊されることがないため、これらの処
理工程でAjlN粉体がA1(OH)i&:変化するの
が防止され、A11203の生成のない、熱伝導率が高
く、諸特性に優れたAlN粉体を得ることが可能とされ
る。しかも、ポリアミド樹脂被膜の内部に、未反応子ツ
マ−や溶媒の液相が包含されていないことから、その成
形、焼成に際しては、液相の浸出によるプレス収縮や焼
成収縮の問題もなく、生産性も大幅に向上する。
特許出願人 株式会社イナックス

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)アルキルアルミ法により製造された AlN粉体粒子の表面を二塩基酸又はその誘導体で被覆
    し、該被覆処理されたAlN粉体をジアミン又はジアミ
    ン誘導体の溶液に分散させて、AlN粉体の粒子表面で
    重合反応させることによりポリアミド樹脂被膜を生成さ
    せることを特徴とするAlN粉体の表面被覆方法。
JP2116309A 1990-05-02 1990-05-02 AlN粉体の表面被覆方法 Pending JPH0416503A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2116309A JPH0416503A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 AlN粉体の表面被覆方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2116309A JPH0416503A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 AlN粉体の表面被覆方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0416503A true JPH0416503A (ja) 1992-01-21

Family

ID=14683814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2116309A Pending JPH0416503A (ja) 1990-05-02 1990-05-02 AlN粉体の表面被覆方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0416503A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080105085A1 (en) Method Of Production Of High Purity Silver Particles
JPH08259847A (ja) 被覆無機粉体およびその製造方法
EP0625965B1 (en) Process of preparing an acqueous slip containing a moisture-resistant aluminum nitride powder
JPH0416503A (ja) AlN粉体の表面被覆方法
JPH0571526B2 (ja)
US7998263B2 (en) Sintered silicon oxide for film vapor deposition, its production method, and method for producing silicon oxide vapor deposition film
JPH02296708A (ja) AlN粉体の表面被覆方法
JP2001525310A (ja) セラミックス用の架橋ポリアミドバインダー
JPH0544402B2 (ja)
EP0487728B1 (en) Process for manufacturing powdery aluminum nitride coated on the surface with oxide, oxynitride or nitride of yttrium.
JPS59213664A (ja) セラミツクス前駆体フイルムおよびその製造法
JP3191320B2 (ja) プラスチック被覆用材料および被覆プラスチックフィルム
JPH11240709A (ja) 金属珪素粉末
JPH0262483B2 (ja)
JPH06219850A (ja) 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JP3053881B2 (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPH11114403A (ja) セラミック粉末の成形方法
JPH0597523A (ja) 窒化アルミニウム焼結体の製造方法
JPH0483759A (ja) 窒化ほう素複合焼結体の製造方法
JPH01119573A (ja) 多孔質体およびその製造方法
JPS62143806A (ja) 窒化アルミニウム粉末およびその製造方法
JPH04305052A (ja) α−アルミナ−ジルコニア複合粉末およびその製造法
JP2683704B2 (ja) 窒化アルミニウムの製造方法
JPH08259843A (ja) 複合被覆無機粉体およびその製造法
JPH0647683B2 (ja) 金属粉末の焼結方法