JPH04163774A - 浮動型磁気ヘッドスライダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコンタクトスタートストップ方式の浮動型磁気
ヘッドスライダ−に関する。

〔従来の技術〕

近年、磁気ディスク装置の高密度記録化に伴いヘッド浮
上量の低下が必須の条件となっている。

しかし、ヘッド及びディスクのそれぞれの面粗ささが粗
いと、第２図（ａ）に示すごとく、浮上量１２が高くて
も真のスペーシング１０は小さい。

図中、６はヘッドの表面の面粗さ、７はディスク表面の
面粗さをそれぞれ示している。

そこで、最近のディスク及びヘッドは面を滑らかにして
いる。これにより、第２図（ｂ）に示すごとく、浮上量
１３を低下させても真のスペーシング１１は小さくなら
ない０図中、８はヘッド表面の面粗さ、９はディスク表
面の面粗さをそれぞれ示している。従って、ディスクの
回転中にディスクとヘッドとが接触する危険性を小さく
し、低浮上を実現している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したようにディスク及びヘッドの面粗さを小さくす
ると、ディスクの回転停止時にディスクとヘッドとが吸
着し、再びディスクを回転させる際に、ヘッドが破損し
たり、あるいはディスクが回転しなくなるという欠点が
あった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の磁気ヘッドスライダ−は、浮上面に直径０．５
μｍ　〜１０μｍ、深さ１０Ａ　〜１００Ａの穴を多数
個有している。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。第１図
において、本発明は浮上面２ａ、２ｂの空気流入端にリ
ーディングチャンファ−４ａ。

４ｂを有し、空気流出端に電磁変換器であるエレメント
５ａ、５ｂを有する通常の薄膜ヘッドスライダ−１の浮
上面２ａ、２ｂをラッピング法によって滑らかにした後
、ホトリソグラフィ技術及びエツチング技術を用いて微
小穴３を多数設けたものである。この微小穴３は直径０
，５μｍ〜１０μｍ、深さＩＯÅ〜１００Ａ程度とする
。

第３図は本発明の浮動型磁気ヘッドスライダ−の浮上面
とスペーシングとの関係を示す断面図である。第３図に
示すごとく、本発明のヘッド表面１４はディスク表面に
対して、第２図（ｂ）と同様に、浮上量１７と真のスペ
ーシング１６との差が小さくなるばかりでなく、微小穴
３を多数設けたことにより接触面積も小さくなっている
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、滑らかな浮上面に多数の
微小穴を設けたことにより浮上量と真のスペーシングと
の差が小さくできると共に、ディスクの回転停止時にヘ
ッドとディスクとの接触面積を小さくできるので、吸着
を防ぐという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
の浮動型磁気ヘッドスライダ−の粗さとスペーシングの
関係を示す断面図、第３図は本発明の浮動型磁気ヘッド
スライダ−の粗さとスペーシングの関係を示す断面図で
ある。 １・・・薄膜ヘッドスライダ−１２ａ、２ｂ・・・浮上
面、３・・・微小穴、４ａ、４ｂ・・・リーディングチ
ャンファ−１５ａ、５ｂ・・・エレメント、６，８・・
・ヘッド表面、７，９．１５・・・ディスク表面、１０
゜１１．１６・・・真のスペーシング、１２，１３゜１
７・・・浮上量、１４・・・本発明のヘッド表面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 浮上面に直径０．５μｍ〜１０μｍ、深さ１０Å〜１０
   ０Åの穴を多数個有することを特徴とする浮動型磁気ヘ
   ッドスライダー。