JPH04157202A - 電池駆動形バルブポジショナ - Google Patents
電池駆動形バルブポジショナInfo
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- JPH04157202A JPH04157202A JP28247290A JP28247290A JPH04157202A JP H04157202 A JPH04157202 A JP H04157202A JP 28247290 A JP28247290 A JP 28247290A JP 28247290 A JP28247290 A JP 28247290A JP H04157202 A JPH04157202 A JP H04157202A
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- Japan
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 12
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012369 In process control Methods 0.000 description 1
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- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010965 in-process control Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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- Servomotors (AREA)
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Safety Devices In Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明はプロセス制御で使用されるダイヤフラム式調
節弁を制御駆動するバルブポジショナ、特に内蔵電池で
の駆動を可能とした電池駆動形バルブポジショナに関す
る。 なお以下各図において同一の符号は同一もしくは相当部
分を示す。
節弁を制御駆動するバルブポジショナ、特に内蔵電池で
の駆動を可能とした電池駆動形バルブポジショナに関す
る。 なお以下各図において同一の符号は同一もしくは相当部
分を示す。
従来、ダイヤフラム式調節弁を制御駆動するものに電−
空ボジショナがある。第３図に電−空ポジショナの動作
ブロック図を示す。同図において、１は調節弁の開度に
相当する電気信号１ａを出力する調節器、２は電−空ポ
ジショナ、３はダイヤフラム式調節弁、４は制御対象で
ある。電−空ボジショナ２はトルクモータ２１．ノズル
フラッパ２２゜フィードバックシャフト・スプリング２
３．レバー９で構成されている。 調節器１より調節弁開度に相当する電気信号（４〜２０
ｄ）ｌａが電−空ボジショナ２のトルクモータ２１に入
力され、トルクモータ２１よりノズルフラッパ２２に力
が加わり、ノズルフラッパのギャップにより空気圧が変
化する。次にこの空気圧の変化によりダイヤフラム式調
節弁３が駆動され、弁軸に付けられたリンク機構を介し
てレバー９に弁開度が伝わる。このレバー９の変位はフ
ィードバックシャフト・スプリング２３により力に変換
され、ノズルフラッパ２２にフィードバックされる。 このようにして調節器１の信号１ａに相当した調節弁３
の弁開度が設定される。
空ボジショナがある。第３図に電−空ポジショナの動作
ブロック図を示す。同図において、１は調節弁の開度に
相当する電気信号１ａを出力する調節器、２は電−空ポ
ジショナ、３はダイヤフラム式調節弁、４は制御対象で
ある。電−空ボジショナ２はトルクモータ２１．ノズル
フラッパ２２゜フィードバックシャフト・スプリング２
３．レバー９で構成されている。 調節器１より調節弁開度に相当する電気信号（４〜２０
ｄ）ｌａが電−空ボジショナ２のトルクモータ２１に入
力され、トルクモータ２１よりノズルフラッパ２２に力
が加わり、ノズルフラッパのギャップにより空気圧が変
化する。次にこの空気圧の変化によりダイヤフラム式調
節弁３が駆動され、弁軸に付けられたリンク機構を介し
てレバー９に弁開度が伝わる。このレバー９の変位はフ
ィードバックシャフト・スプリング２３により力に変換
され、ノズルフラッパ２２にフィードバックされる。 このようにして調節器１の信号１ａに相当した調節弁３
の弁開度が設定される。
【発明が解決しようとする課題１
しかしながら、第３図のような従来の電−空ボジショナ
においては、調節器１からの入力信号１ａが断線等で途
絶えた場合、調節弁３は弁を閉じるか或いは開くかどち
らか一方の動作をするように構成されていた。（調節弁
３が止弁、逆弁の何れであるかに応じて、全開あるいは
全開のどちらか一方になる。） そこでこの発明の課題は入力信号１ａが断線等により途
絶えた場合でも、調節弁開度を入力信号ｌａが途絶える
直前の値に保つことのできる電池駆動形パルプポジショ
ナを提供することにある。 【課題を解決するための手段】 前記の課題を解決するために本発明のバルブポジショナ
は、ｒ電池（内蔵バッチ１月８など）を電源とし、ダイ
ヤフラム式調節弁（３など）の開度を（レバー８．角度
検出器８などを介し）検出し、この検出された弁開度（
Ａ／Ｄ変換部出力１５ａなど）を、入力する弁開度設定
値（コントローラ設定値０１ａなど）に一致させるよう
に制御信号（Ｄ／Ａ変換部出力１３ａなど）を出力する
弁開度制御手段（光送受信ユニット１１．マイクロコン
ピュータ１２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ変換部１
５など）と、前記制御信号に応じて空気を噴出するノズ
ル（４２など）とのギャップを可変する圧電素子付フラ
ッパ（４１など）を備え、前記ギャップの可変に基づい
て生ずる前記空気の圧力変化を（パイロット弁４３など
を介し）前記調節弁に与えてこの調節弁の開度を可変す
る弁駆動手段（電気−空気圧変換部０４など）とを備え
た１ものであるようにし、またはさらに、ｒ前記弁開度
制御手段は、前記弁開度設定値の入力が消失したときは
、この消失直前の弁開度設定値を記憶して前記制御信号
を出力するものである１ようにする。
においては、調節器１からの入力信号１ａが断線等で途
絶えた場合、調節弁３は弁を閉じるか或いは開くかどち
らか一方の動作をするように構成されていた。（調節弁
３が止弁、逆弁の何れであるかに応じて、全開あるいは
全開のどちらか一方になる。） そこでこの発明の課題は入力信号１ａが断線等により途
絶えた場合でも、調節弁開度を入力信号ｌａが途絶える
直前の値に保つことのできる電池駆動形パルプポジショ
ナを提供することにある。 【課題を解決するための手段】 前記の課題を解決するために本発明のバルブポジショナ
は、ｒ電池（内蔵バッチ１月８など）を電源とし、ダイ
ヤフラム式調節弁（３など）の開度を（レバー８．角度
検出器８などを介し）検出し、この検出された弁開度（
Ａ／Ｄ変換部出力１５ａなど）を、入力する弁開度設定
値（コントローラ設定値０１ａなど）に一致させるよう
に制御信号（Ｄ／Ａ変換部出力１３ａなど）を出力する
弁開度制御手段（光送受信ユニット１１．マイクロコン
ピュータ１２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ変換部１
５など）と、前記制御信号に応じて空気を噴出するノズ
ル（４２など）とのギャップを可変する圧電素子付フラ
ッパ（４１など）を備え、前記ギャップの可変に基づい
て生ずる前記空気の圧力変化を（パイロット弁４３など
を介し）前記調節弁に与えてこの調節弁の開度を可変す
る弁駆動手段（電気−空気圧変換部０４など）とを備え
た１ものであるようにし、またはさらに、ｒ前記弁開度
制御手段は、前記弁開度設定値の入力が消失したときは
、この消失直前の弁開度設定値を記憶して前記制御信号
を出力するものである１ようにする。
ダイヤフラム式調節弁３を制御する空気圧を低電力消費
の圧電素子付きのノズルフラッパバにより発生させるこ
とにより、電池駆動形とし、且つマイクロコンピュータ
を搭載することにより前記空気圧の制御を行う。 前記のように構成することで、上位コントローラ（調節
器）からの開度設定値をマイクロコンピュータで処理し
、前記開度設定値に相当する弁開度を与えるためにＤ／
Ａ変換部から圧電素子に印加する電圧を設定する。従っ
てこの圧電素子が該電圧に応じた変形をし、この圧電素
子とノズル間のキャップが変化して空気圧出力が変化し
調節弁を動作させる０次に調節弁の弁軸からリンク機構
を通して弁開度を検出し、この弁開度信号をＡ／Ｄｉ換
後、マイクロコンピュータにフィードバックし、この検
出された弁開度と前記開度設定値との差としての、弁開
度の偏差分をマイクロコンピュータにＰ・■演算処理さ
せて、前記Ｄ／Ａ変換部を介し前記偏差分を０とするよ
うに前記圧電素子印加電圧を制御出力させる。
の圧電素子付きのノズルフラッパバにより発生させるこ
とにより、電池駆動形とし、且つマイクロコンピュータ
を搭載することにより前記空気圧の制御を行う。 前記のように構成することで、上位コントローラ（調節
器）からの開度設定値をマイクロコンピュータで処理し
、前記開度設定値に相当する弁開度を与えるためにＤ／
Ａ変換部から圧電素子に印加する電圧を設定する。従っ
てこの圧電素子が該電圧に応じた変形をし、この圧電素
子とノズル間のキャップが変化して空気圧出力が変化し
調節弁を動作させる０次に調節弁の弁軸からリンク機構
を通して弁開度を検出し、この弁開度信号をＡ／Ｄｉ換
後、マイクロコンピュータにフィードバックし、この検
出された弁開度と前記開度設定値との差としての、弁開
度の偏差分をマイクロコンピュータにＰ・■演算処理さ
せて、前記Ｄ／Ａ変換部を介し前記偏差分を０とするよ
うに前記圧電素子印加電圧を制御出力させる。
次に第１図および第２図に基づいて本発明の詳細な説明
する。第１図は本発明のバルブポジショナの一実施例と
しての構成を示すブロック回路図で第３図に対応する。 また第２図は第１図のバルブポジショナの内部構造図で
ある。 第１図においては第３図に対し調節器ｌが上位コントロ
ーラＯ１に置換ねり、電空ポジシヨナ２が電池を内蔵す
る光−空気圧ポジショナ０２に置換わっている。また光
−空気圧ポジシヨナ０２は大別してダイヤプラム式調節
弁３の開度をコントローラ０１よりの設定値０１ａ通り
に制御する制御回路部０３゜この制御回路部の出力信号
１３ａを空気圧に変換して調節弁３を駆動する電気−空
気圧変換部０４． ｍ節弁３の開度を検出し電気信号８
ａとして出力する弁開度検出部０５からなる。 二こで制御回路部０３は光送受信ユニット１１．マイク
ロコンピュータ１２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ
変換部１５．内蔵バッテリ１８からなり、さらに光送受
信ユニット１１は第２図のように光二分器１１Ａ、 ０
／Ｅ変換部１１Ｂ、Ｅ１０変換部１１Ｃからなる。 電気−空気圧変換部（電空変換部とを略記する）０４は
第２図のように圧電素子付フラッパ４１．ノズル４２．
パイロット弁４３によって構成されている。 また弁開度検出部０５はレバー９．角度検出器８によっ
て構成されている。 第１図の動作を述べると、コントローラ０１からはダイ
ヤフラム式調節弁３の開度を設定する設定値としての、
例えば光デジタル信号０１ａが制御回路部０３内の光送
受信ユニット１１へ送信され、この光送受信ユニット１
１内で光二分器１１Ａ、Ｅ１０変換部１１Ｃを介し電気
信号に変換され、マイクロコンピュータ１２に伝えられ
る。マイクロコンピュータ１２は弁開度検出部０５の出
力信号８ａをＡ／Ｄ変換部１５を介しＡ／Ｄ変換してな
る調節弁開度の検出データ１５ａと上位コントローラ０
１からの開度設定値０１ａ との差（偏差）を求め、こ
の差をＯとするように、この偏差にＰＩ（比例・積分）
の演算を施してなる制御出力データ１２ａを出力する。 この制御出力データ１２ａはＤ／Ａ変換部１３を介し電
空変換部０４内の圧電素子付フラッパ４１に印加される
電圧１３ａに変換される。これにより前記フラッパ４１
の圧電素子にこの変換された電圧１３ａが印加され、後
述のようにノズルとのギャップを偏位させ、調節弁３の
制御駆動用の空気圧を発生させている。 この空気圧の変化により調節弁３が駆動され、弁３の開
度が弁軸に取付けられたリンク機構よりレバー９に伝え
られる。このレバー９の変位を検出器（角度センサー）
８を通して、Ａ／Ｄ変換部１５で前述のデジタル信号１
５ａに変換し、マイクロコンピュータ１２にフィードバ
ックしている。従って調節弁３の開度位置を上位コント
ローラ０１よりの開度設定値０１ａに相当した開度位置
とすることが可能となる。 ここで光送受信ユニット１１．マイクロコンピュータ１
２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ変換部１５および
角度検出器８は内蔵バッテリ１８を電源としており、緊
急時、すなわち上位コントローラ０１からの設定信号０
１ａが途絶えた場合、マイクロコンピュータ１２で設定
信号０１ａが途絶える直前の設定データを記憶し、調節
弁３の開度を直前の位置に保つようにしている。 次に第２図の内部構成図において、この図は前述のよう
に大別して制御回路部０３． を気−空気圧変換部０４
（４１，４２，４３）、調節弁開度検出部０５（８゜９
）から構成されている。制御回路部０３には１６ビツト
データの光デジタル信号０１ａが人力される。 調節弁３の開度検出部０５には角度検出器８を使用し、
弁開度が電気信号８ａに変換されたのちさらにＡ／Ｄ変
換されてフィードバック信号１５ａ となる。これらの
光入力信号０１ａおよびフィードバック信号１５ａをマ
イクロコンピュータ１２で演算して、この２つの信号０
１ａと１５ａとの偏差に応じた電圧１３ａをＤ／Ａ変換
部１３を介し、圧電素子付フラッパ４１に印加する。圧
電素子付フラッパ４１に前記電圧１３ａが加わるとフラ
ッパ４１が変位し、ノズル４２とフラッパ４１間のギャ
ップを変化させることによって、ノズル４２へ導かれて
いる空気の圧力（ノズル背圧）を変化させる。このノズ
ル背圧の変化をパイロット弁４３で増幅して空気圧を発
生し調節弁３を駆動させる。
する。第１図は本発明のバルブポジショナの一実施例と
しての構成を示すブロック回路図で第３図に対応する。 また第２図は第１図のバルブポジショナの内部構造図で
ある。 第１図においては第３図に対し調節器ｌが上位コントロ
ーラＯ１に置換ねり、電空ポジシヨナ２が電池を内蔵す
る光−空気圧ポジショナ０２に置換わっている。また光
−空気圧ポジシヨナ０２は大別してダイヤプラム式調節
弁３の開度をコントローラ０１よりの設定値０１ａ通り
に制御する制御回路部０３゜この制御回路部の出力信号
１３ａを空気圧に変換して調節弁３を駆動する電気−空
気圧変換部０４． ｍ節弁３の開度を検出し電気信号８
ａとして出力する弁開度検出部０５からなる。 二こで制御回路部０３は光送受信ユニット１１．マイク
ロコンピュータ１２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ
変換部１５．内蔵バッテリ１８からなり、さらに光送受
信ユニット１１は第２図のように光二分器１１Ａ、 ０
／Ｅ変換部１１Ｂ、Ｅ１０変換部１１Ｃからなる。 電気−空気圧変換部（電空変換部とを略記する）０４は
第２図のように圧電素子付フラッパ４１．ノズル４２．
パイロット弁４３によって構成されている。 また弁開度検出部０５はレバー９．角度検出器８によっ
て構成されている。 第１図の動作を述べると、コントローラ０１からはダイ
ヤフラム式調節弁３の開度を設定する設定値としての、
例えば光デジタル信号０１ａが制御回路部０３内の光送
受信ユニット１１へ送信され、この光送受信ユニット１
１内で光二分器１１Ａ、Ｅ１０変換部１１Ｃを介し電気
信号に変換され、マイクロコンピュータ１２に伝えられ
る。マイクロコンピュータ１２は弁開度検出部０５の出
力信号８ａをＡ／Ｄ変換部１５を介しＡ／Ｄ変換してな
る調節弁開度の検出データ１５ａと上位コントローラ０
１からの開度設定値０１ａ との差（偏差）を求め、こ
の差をＯとするように、この偏差にＰＩ（比例・積分）
の演算を施してなる制御出力データ１２ａを出力する。 この制御出力データ１２ａはＤ／Ａ変換部１３を介し電
空変換部０４内の圧電素子付フラッパ４１に印加される
電圧１３ａに変換される。これにより前記フラッパ４１
の圧電素子にこの変換された電圧１３ａが印加され、後
述のようにノズルとのギャップを偏位させ、調節弁３の
制御駆動用の空気圧を発生させている。 この空気圧の変化により調節弁３が駆動され、弁３の開
度が弁軸に取付けられたリンク機構よりレバー９に伝え
られる。このレバー９の変位を検出器（角度センサー）
８を通して、Ａ／Ｄ変換部１５で前述のデジタル信号１
５ａに変換し、マイクロコンピュータ１２にフィードバ
ックしている。従って調節弁３の開度位置を上位コント
ローラ０１よりの開度設定値０１ａに相当した開度位置
とすることが可能となる。 ここで光送受信ユニット１１．マイクロコンピュータ１
２． Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ変換部１５および
角度検出器８は内蔵バッテリ１８を電源としており、緊
急時、すなわち上位コントローラ０１からの設定信号０
１ａが途絶えた場合、マイクロコンピュータ１２で設定
信号０１ａが途絶える直前の設定データを記憶し、調節
弁３の開度を直前の位置に保つようにしている。 次に第２図の内部構成図において、この図は前述のよう
に大別して制御回路部０３． を気−空気圧変換部０４
（４１，４２，４３）、調節弁開度検出部０５（８゜９
）から構成されている。制御回路部０３には１６ビツト
データの光デジタル信号０１ａが人力される。 調節弁３の開度検出部０５には角度検出器８を使用し、
弁開度が電気信号８ａに変換されたのちさらにＡ／Ｄ変
換されてフィードバック信号１５ａ となる。これらの
光入力信号０１ａおよびフィードバック信号１５ａをマ
イクロコンピュータ１２で演算して、この２つの信号０
１ａと１５ａとの偏差に応じた電圧１３ａをＤ／Ａ変換
部１３を介し、圧電素子付フラッパ４１に印加する。圧
電素子付フラッパ４１に前記電圧１３ａが加わるとフラ
ッパ４１が変位し、ノズル４２とフラッパ４１間のギャ
ップを変化させることによって、ノズル４２へ導かれて
いる空気の圧力（ノズル背圧）を変化させる。このノズ
ル背圧の変化をパイロット弁４３で増幅して空気圧を発
生し調節弁３を駆動させる。
本発明によれば、バルブポジショナが、内蔵バッテリ１
８を電源とし、ダイヤフラム式調節弁３の開度をレバー
８．角度検出器８などを介し検出し、この検出された弁
開度としてのＡ／Ｄ変換部出力１５ａを、コントローラ
０１から入力する弁開度設定値０１ａに一致させるよう
に制御信号としてのＤ／Ａ変換部出力１３ａを出力する
弁開度制御手段としての光送受信ユニット１１．マイク
ロコンピュータ１２） Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ
変換部１５などと、前記制御信号１３ａに応じて空気を
噴出するノズル４２とのギャップを可変する圧電素子付
フラッパ４１を備え、前記ギャップの可変に基づいて生
ずる前記空気の圧力変化をパイロット弁４３を介し前記
調節弁３に与えてこの調節弁３の開度を可変する弁駆動
手段としての電気−空気圧変換部０４とを備えるように
し、さらに前記弁開度制御手段は、前記弁開度設定値０
１ａの入力が消失したときは、この消失直前の弁開度設
定値を記憶して前記制御信号１３ａを出力するものであ
るようにしたので、従来の電−空ボンジョナではできな
かった上位コントローラ信号０１ａが途絶えた場合（緊
２１時）、その直前の調節弁３の開度を保つことが可能
となる。
８を電源とし、ダイヤフラム式調節弁３の開度をレバー
８．角度検出器８などを介し検出し、この検出された弁
開度としてのＡ／Ｄ変換部出力１５ａを、コントローラ
０１から入力する弁開度設定値０１ａに一致させるよう
に制御信号としてのＤ／Ａ変換部出力１３ａを出力する
弁開度制御手段としての光送受信ユニット１１．マイク
ロコンピュータ１２） Ｄ／Ａ変換部１３． Ａ／Ｄ
変換部１５などと、前記制御信号１３ａに応じて空気を
噴出するノズル４２とのギャップを可変する圧電素子付
フラッパ４１を備え、前記ギャップの可変に基づいて生
ずる前記空気の圧力変化をパイロット弁４３を介し前記
調節弁３に与えてこの調節弁３の開度を可変する弁駆動
手段としての電気−空気圧変換部０４とを備えるように
し、さらに前記弁開度制御手段は、前記弁開度設定値０
１ａの入力が消失したときは、この消失直前の弁開度設
定値を記憶して前記制御信号１３ａを出力するものであ
るようにしたので、従来の電−空ボンジョナではできな
かった上位コントローラ信号０１ａが途絶えた場合（緊
２１時）、その直前の調節弁３の開度を保つことが可能
となる。
第１図は本発明の一実施例としてのバルブポジショナの
構成を示すブロック回路図、 第２図は同じく第１図のバルブポジショナの内部構造図
、 第３図は第１図に対応する従来のブロック回路図である
。
構成を示すブロック回路図、 第２図は同じく第１図のバルブポジショナの内部構造図
、 第３図は第１図に対応する従来のブロック回路図である
。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）電池を電源とし、ダイヤフラム式調節弁の開度を検
出し、この検出された弁開度を、入力する弁開度設定値
に一致させるように制御信号を出力する弁開度制御手段
と、 前記制御信号に応じて空気を噴出するノズルとのギャッ
プを可変する圧電素子付フラッパを備え、前記ギャップ
の可変に基づいて生ずる前記空気の圧力変化を前記調節
弁に与えてこの調節弁の開度を可変する弁駆動手段とを
備えたことを特徴とする電池駆動形バルブポジショナ。 ２）特許請求の範囲第１項に記載のバルブポジショナに
おいて、前記弁開度制御手段は、前記弁開度設定値の入
力が消失したときは、この消失直前の弁開度設定値を記
憶して前記制御信号を出力するものであることを特徴と
する電池駆動形バルブポジショナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28247290A JPH04157202A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 電池駆動形バルブポジショナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28247290A JPH04157202A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 電池駆動形バルブポジショナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04157202A true JPH04157202A (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=17652875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28247290A Pending JPH04157202A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 電池駆動形バルブポジショナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04157202A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62113901A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ制御装置 |
| JPS62288701A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-15 | Yokogawa Electric Corp | 電空ポジシヨナ |
| JPH0211205B2 (ja) * | 1981-12-22 | 1990-03-13 | Iseki Agricult Mach |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP28247290A patent/JPH04157202A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211205B2 (ja) * | 1981-12-22 | 1990-03-13 | Iseki Agricult Mach | |
| JPS62113901A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-25 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ制御装置 |
| JPS62288701A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-15 | Yokogawa Electric Corp | 電空ポジシヨナ |
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