JPH04149917A - グリーンシート基板のブロック化装置 - Google Patents
グリーンシート基板のブロック化装置Info
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- JPH04149917A JPH04149917A JP27376490A JP27376490A JPH04149917A JP H04149917 A JPH04149917 A JP H04149917A JP 27376490 A JP27376490 A JP 27376490A JP 27376490 A JP27376490 A JP 27376490A JP H04149917 A JPH04149917 A JP H04149917A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Insulating Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、セラミックのグリーンシートから打ち抜かれ
た複数枚のグリーンシート基板を、その焼成処理の前段
階において、ブロック状に積み重ねた状態で一体化する
ブロック化装置に関する。
た複数枚のグリーンシート基板を、その焼成処理の前段
階において、ブロック状に積み重ねた状態で一体化する
ブロック化装置に関する。
〈従来の技術〉
セラミックのグリーンシートから打ち抜かれたグリーン
シート基板は、生産性向上のために、同一のものが複数
枚、互いに積み重ねられ、ブロック状の積み重ね体とし
て、焼成炉内に搬入されることが多い。
シート基板は、生産性向上のために、同一のものが複数
枚、互いに積み重ねられ、ブロック状の積み重ね体とし
て、焼成炉内に搬入されることが多い。
この場合、搬入コンベア等の振動により、積み重ね体の
形が崩れ、グリーンシート基板に位置ずれが起こると、
焼成炉内において各グリーンシート基板毎に焼成条件に
違いが生じ、焼成したものに反りやひび割れ等の焼成不
良が発生することがある。
形が崩れ、グリーンシート基板に位置ずれが起こると、
焼成炉内において各グリーンシート基板毎に焼成条件に
違いが生じ、焼成したものに反りやひび割れ等の焼成不
良が発生することがある。
そのため、従来は、第４図に示すように、複数枚のグリ
ーンシート基板ｐを焼成台板ｑ上に積み重ねた後、グリ
ーンシート基板ｐの積み重ね体Ｂｐの周囲に重量のある
バー２１を立てて、グリーンシート基板ｐの位置ずれが
起こらないようにしている。
ーンシート基板ｐを焼成台板ｑ上に積み重ねた後、グリ
ーンシート基板ｐの積み重ね体Ｂｐの周囲に重量のある
バー２１を立てて、グリーンシート基板ｐの位置ずれが
起こらないようにしている。
こののち、グリーンシート基板ｐの積み重ね体Ｂｐは、
焼成台板ｑごと、搬入コンベア上に載置されて焼成炉内
に搬入される。
焼成台板ｑごと、搬入コンベア上に載置されて焼成炉内
に搬入される。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、このような従来の方法では、積み重ね体
Ｂｐの形崩れ防止効果は充分ではなく、搬送途中のコン
ベア等の振動により、積み重ね体Ｂｐの中でグリーンシ
ート基板ｐの位置ずれが起こり、反り等の焼成不良が発
生する。
Ｂｐの形崩れ防止効果は充分ではなく、搬送途中のコン
ベア等の振動により、積み重ね体Ｂｐの中でグリーンシ
ート基板ｐの位置ずれが起こり、反り等の焼成不良が発
生する。
これに対して、積み重ね体Ｂｐの形崩れを完全に防止し
ようとすると、コンベア等の搬送設備を、動きが滑らか
で振動の少ないものとしなければならず、設備コストが
かさむ。
ようとすると、コンベア等の搬送設備を、動きが滑らか
で振動の少ないものとしなければならず、設備コストが
かさむ。
また、グリーンシート基板ｐの積み重ね体Ｂｐを移し替
える際には、作業者が焼成台板ｑごと取り扱う必要があ
り、人手がかかるものであった。
える際には、作業者が焼成台板ｑごと取り扱う必要があ
り、人手がかかるものであった。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであって
、グリーンシート基板の積み重ね体がワックスによりブ
ロック化されるようにして、積み重ね後のグリーンシー
ト基板の位置ずれをなくすとともに、積み重ね後の取り
扱いを容易にすることを課題とする。
、グリーンシート基板の積み重ね体がワックスによりブ
ロック化されるようにして、積み重ね後のグリーンシー
ト基板の位置ずれをなくすとともに、積み重ね後の取り
扱いを容易にすることを課題とする。
く課題を解決するための手段〉
本発明は、上記の課題を達成するために、整列手段と塗
布手段とを備え、整列手段は、グリーンシート基板の積
み重ね体の側面を押圧してグリーンノート基板どうしを
互いに整列させるものであり、塗布手段は、整列した積
み重ね体の側面に溶融したワックスを塗布するものとし
て、グリーンシート基板のブロック化装置を構成した。
布手段とを備え、整列手段は、グリーンシート基板の積
み重ね体の側面を押圧してグリーンノート基板どうしを
互いに整列させるものであり、塗布手段は、整列した積
み重ね体の側面に溶融したワックスを塗布するものとし
て、グリーンシート基板のブロック化装置を構成した。
〈作用〉
上記の構成において、互いに積み重ねられた複数枚のグ
リーンシート基板は、整列手段により揃えられて、ブロ
ック状の積み重ね体となる。そして、その積み重ね体の
側面には、塗布手段により溶融したワックスが塗布され
る。
リーンシート基板は、整列手段により揃えられて、ブロ
ック状の積み重ね体となる。そして、その積み重ね体の
側面には、塗布手段により溶融したワックスが塗布され
る。
このワックスは、積み重ね体の側面に付着した状態で固
化することにより、グリーンシート基板どうしを結合し
、積み重ね体を一体のブロックとする。これで、積み重
ね体は一体の物として取り扱いが可能になり、また、積
み重ね体中では、グリーンシート基板の位置ずれは起こ
らない。ワックスは、焼成初期の加熱により除去される
。
化することにより、グリーンシート基板どうしを結合し
、積み重ね体を一体のブロックとする。これで、積み重
ね体は一体の物として取り扱いが可能になり、また、積
み重ね体中では、グリーンシート基板の位置ずれは起こ
らない。ワックスは、焼成初期の加熱により除去される
。
〈実施例〉
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
する。
第１図は、本発明のブロック化装置により得られるグリ
ーンシート基板の積み重ね体の斜視図であり、図中、符
号ｐはグリーンシート基板、Ｂｐはその積み重ね体、ｑ
は焼成台板、■はワックスである。
ーンシート基板の積み重ね体の斜視図であり、図中、符
号ｐはグリーンシート基板、Ｂｐはその積み重ね体、ｑ
は焼成台板、■はワックスである。
グリーンシート基板ｐは、複数枚のものが整列して積み
重ねられている。ワックス１は、グリーンシート基板ｐ
の積み重ね体Ｂｌ）の側面に上下に塗布された状態で固
化しており、この固化したワックスｌにより、グリーン
シート基板ｐは上下に結合されてブロックとして一体化
している。
重ねられている。ワックス１は、グリーンシート基板ｐ
の積み重ね体Ｂｌ）の側面に上下に塗布された状態で固
化しており、この固化したワックスｌにより、グリーン
シート基板ｐは上下に結合されてブロックとして一体化
している。
第２図および第３図は、本発明の一実施例に係るブロッ
ク化装置を示し、第２図は平面図、第３図は正面図であ
る。
ク化装置を示し、第２図は平面図、第３図は正面図であ
る。
これらの図に示すように、この実施例のブロック化装置
は、搬送手段としてのテフロン製ベルトコンベア２と、
整列手段としての前後左右のプッシャ−３，３，４，４
と、ワックス１の塗布手段としてのスポンジヘッド５と
を備えている。
は、搬送手段としてのテフロン製ベルトコンベア２と、
整列手段としての前後左右のプッシャ−３，３，４，４
と、ワックス１の塗布手段としてのスポンジヘッド５と
を備えている。
ベルトコンベア２は、グリーンシート基板ｐの積み重ね
体Ｉ３ｐを載置搬送するもので、グリーンシート基板ｐ
より細幅に形成されている。
体Ｉ３ｐを載置搬送するもので、グリーンシート基板ｐ
より細幅に形成されている。
ブッシャー３．４は、ベルトコンベア２上にある積み重
ね体１３ｐの側面を押圧してグリーンノート基板ｐどう
しを互いに整列させるもので、積み重ね体Ｂｐの前後側
面を押圧するブツシャ−３３と、左右側面を押圧するプ
ッシャー４．４とがある。いずれのブツシャ−３，４も
、ベルトコンベア２の上方位置で待機し、積み重ね体Ｂ
ｐを押圧する際に下降し、下降した位置で積み重ね体Ｂ
ｐに向は前進するようになっている。
ね体１３ｐの側面を押圧してグリーンノート基板ｐどう
しを互いに整列させるもので、積み重ね体Ｂｐの前後側
面を押圧するブツシャ−３３と、左右側面を押圧するプ
ッシャー４．４とがある。いずれのブツシャ−３，４も
、ベルトコンベア２の上方位置で待機し、積み重ね体Ｂ
ｐを押圧する際に下降し、下降した位置で積み重ね体Ｂ
ｐに向は前進するようになっている。
スポンジヘッド５は、整列した積み重ね体Ｂｐの側面に
溶融したワックスｌを塗布するもので、Ｌ型の塗布アー
ム６の下向き部に取り付けられており、塗布アーム６と
ともに上下動し、上昇位置でベルトコンベア２上の積み
重ね体Ｂｐに対して前進して積み重ね体Ｂｌ）の左右側
面に密接する。
溶融したワックスｌを塗布するもので、Ｌ型の塗布アー
ム６の下向き部に取り付けられており、塗布アーム６と
ともに上下動し、上昇位置でベルトコンベア２上の積み
重ね体Ｂｐに対して前進して積み重ね体Ｂｌ）の左右側
面に密接する。
塗布アーム６の下方には、溶融ワックス１を貯溜するワ
ックス槽７があり、スポンジヘッド５は、下降位置にお
いてワックス槽７の溶融ワックス１中に浸漬されている
。なお、溶融ワックス１は、例えば、パラフィンが用い
られる。
ックス槽７があり、スポンジヘッド５は、下降位置にお
いてワックス槽７の溶融ワックス１中に浸漬されている
。なお、溶融ワックス１は、例えば、パラフィンが用い
られる。
次に、上記構成の動作を説明する。
まず、ベルトコンベア２の始端側に複数枚のグリーンシ
ート基板ｐが積み重ね状に載置される。
ート基板ｐが積み重ね状に載置される。
この段階では、グリーンシート基板ｐどうしは特に整列
していなくてもよい。
していなくてもよい。
ベルトコンベア２により、グリーンシート基板ｐの積み
重ね体Ｂｌ）がワックス槽７上の定位置まで移送される
と、ベルトコンベア２は一旦停止する。これとともに、
それまで上方に待機していたプッシャ−３，４が下降し
てきて、下降した位置で積み重ね体Ｂｌ）に向けて前進
する。これで、積み重ね体Ｂｐの側面が押圧され、グリ
ーンシート基板ｐの位置が揃えられ、互いに整列する。
重ね体Ｂｌ）がワックス槽７上の定位置まで移送される
と、ベルトコンベア２は一旦停止する。これとともに、
それまで上方に待機していたプッシャ−３，４が下降し
てきて、下降した位置で積み重ね体Ｂｌ）に向けて前進
する。これで、積み重ね体Ｂｐの側面が押圧され、グリ
ーンシート基板ｐの位置が揃えられ、互いに整列する。
位置揃えの後、プッシャ−３，４は再び上方に退避する
。
。
ブツシャ−３，４が退避すると、塗布アーム６が上昇し
、これによって、溶融ワックス１中にあったスポンジヘ
ッド５が引き上げられる。このスポンジヘッド５が積み
重ね体Ｂｌ）の左右側面と対向する位置に達すると、塗
布アーム６が積み重ね体Ｉ３ｐに向けて前進する。これ
で、スポンジヘッド５が積み重ね体１３ｐの側面に押し
当てられ、該側面に溶融ワックス１が塗布される。塗布
が済むと、塗布アーム６とスポンジヘッド５とは、前記
と逆の経路で下降位置に戻る。
、これによって、溶融ワックス１中にあったスポンジヘ
ッド５が引き上げられる。このスポンジヘッド５が積み
重ね体Ｂｌ）の左右側面と対向する位置に達すると、塗
布アーム６が積み重ね体Ｉ３ｐに向けて前進する。これ
で、スポンジヘッド５が積み重ね体１３ｐの側面に押し
当てられ、該側面に溶融ワックス１が塗布される。塗布
が済むと、塗布アーム６とスポンジヘッド５とは、前記
と逆の経路で下降位置に戻る。
スポンジヘッド５が後退すると、ベルトコンベア２は再
び搬送移動を始め、ワックスｌを塗布された積み重ね体
Ｉ３ｐは、ワックス槽７上の位置から搬出される。
び搬送移動を始め、ワックスｌを塗布された積み重ね体
Ｉ３ｐは、ワックス槽７上の位置から搬出される。
この搬送中に、積み重ね体Ｂｌ）に塗布された溶融ワッ
クス１は冷されて固化し、グリーンシート基板ｐどうし
を結合し、積み重ね体Ｂｐを一体化する。しｆコかって
、積み重ね体Ｂｐを構成するグリーンノート基板ｐは位
置ずれしなくなる。また、積み重ね体Ｂｐは、一つのブ
ロックとして取り扱うことかできるようになり、その上
面を吸着ヘッドで吸着したり、あるいはチャックで積み
重ね体Ｂｐを直接つかんだりして、積み重ね体Ｂｌ）の
移し替えを行うことができる。
クス１は冷されて固化し、グリーンシート基板ｐどうし
を結合し、積み重ね体Ｂｐを一体化する。しｆコかって
、積み重ね体Ｂｐを構成するグリーンノート基板ｐは位
置ずれしなくなる。また、積み重ね体Ｂｐは、一つのブ
ロックとして取り扱うことかできるようになり、その上
面を吸着ヘッドで吸着したり、あるいはチャックで積み
重ね体Ｂｐを直接つかんだりして、積み重ね体Ｂｌ）の
移し替えを行うことができる。
なお、上記実施例では、直上位置に退避するブツシャ−
３，４を示したが、ブツシャ−を吊り下げ支持して、後
方へのスイングで斜め上方に退避させるようにしてもよ
い。また、プッシャー３，４を退避移動させる替わりに
、積み重ね体Ｂｐの方を上下移動させるようにしてもよ
い。
３，４を示したが、ブツシャ−を吊り下げ支持して、後
方へのスイングで斜め上方に退避させるようにしてもよ
い。また、プッシャー３，４を退避移動させる替わりに
、積み重ね体Ｂｐの方を上下移動させるようにしてもよ
い。
このほか、ワックスｌの塗布には、溶融ワックスを吐出
する広幅のノズルにより直接、積み重ね体Ｂｌ）の側面
に溶融ワックス１を付着させることもでき、塗布手段は
スポンジヘッド５に限らず、必ずしも塗布手段の下方に
ワックス槽７を設ける必要はない。
する広幅のノズルにより直接、積み重ね体Ｂｌ）の側面
に溶融ワックス１を付着させることもでき、塗布手段は
スポンジヘッド５に限らず、必ずしも塗布手段の下方に
ワックス槽７を設ける必要はない。
〈発明の効果〉
以上述べたように、本発明によれば、積み重ねられたグ
リーンシート基板は、ワックスにより互いに結合されて
ブロックとして一体化するから、搬送途中で、形崩れし
てグリーンシート基板の位置がずれるようなことがなく
、整列した状態で焼成炉内に搬入することができ、反り
やひび割れのない良好な焼成ができる。
リーンシート基板は、ワックスにより互いに結合されて
ブロックとして一体化するから、搬送途中で、形崩れし
てグリーンシート基板の位置がずれるようなことがなく
、整列した状態で焼成炉内に搬入することができ、反り
やひび割れのない良好な焼成ができる。
また、グリーンシート基板の積み重ね体は、体のブロッ
クとして取り扱うことができるから、人手によらず、機
械的な手段により移し替えを行うことができ、積み重ね
体の焼成炉への搬入工程の自動化が可能となる。
クとして取り扱うことができるから、人手によらず、機
械的な手段により移し替えを行うことができ、積み重ね
体の焼成炉への搬入工程の自動化が可能となる。
第１図は本発明装置により得られるグリーンシート基板
の積み重ね体の斜視図、第２図は本発明の一実施例に係
るブロック化装置の平面図、第３図はその正面図である
。 第４図は従来のグリーンシート基板の積み重ね体の斜視
図である。 ｐ・・・グリーンシート基板、Ｂｐ・・・積み重ね体、
１ ワックス、３，４・・ブッシャー（整列手段）、５
・・・スポンジヘッド（塗布手段）。
の積み重ね体の斜視図、第２図は本発明の一実施例に係
るブロック化装置の平面図、第３図はその正面図である
。 第４図は従来のグリーンシート基板の積み重ね体の斜視
図である。 ｐ・・・グリーンシート基板、Ｂｐ・・・積み重ね体、
１ ワックス、３，４・・ブッシャー（整列手段）、５
・・・スポンジヘッド（塗布手段）。
Claims (1)
- （１）グリーンシート基板（ｐ）の積み重ね体（Ｂｐ）
をブロック状に整列した状態でワックス（１）により一
体化する装置であって、 整列手段（３、４）と塗布手段（５）とを備え、整列手
段（３、４）は、積み重ね体（Ｂｐ）の側面を押圧して
グリーンシート基板（ｐ）どうしを互いに整列させるも
のであり、塗布手段（５）は、整列した積み重ね体（Ｂ
ｐ）の側面に溶融したワックス（１）を塗布するもので
ある、 ことを特徴とするグリーンシート基板のブロック化装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27376490A JP3227702B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | グリーンシート基板のブロック化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27376490A JP3227702B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | グリーンシート基板のブロック化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149917A true JPH04149917A (ja) | 1992-05-22 |
| JP3227702B2 JP3227702B2 (ja) | 2001-11-12 |
Family
ID=17532253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27376490A Expired - Lifetime JP3227702B2 (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | グリーンシート基板のブロック化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3227702B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US7104535B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-09-12 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| US7151981B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-12-19 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| US7372250B2 (en) | 2003-02-20 | 2008-05-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for determining a position of a substrate relative to a support stage |
| US7499767B2 (en) | 2003-02-20 | 2009-03-03 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
| WO2010121702A1 (de) * | 2009-04-25 | 2010-10-28 | Ev Group Gmbh | Vorrichtung zur ausrichtung und vorfixierung eines wafers |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP27376490A patent/JP3227702B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2004253809A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Applied Materials Inc | 支持ステージに対して基板を位置決めする方法および装置 |
| US7104535B2 (en) | 2003-02-20 | 2006-09-12 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for positioning a substrate relative to a support stage |
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| JP4620365B2 (ja) * | 2003-02-20 | 2011-01-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 支持ステージに対して基板を位置決めするアライメント装置および基板較正システム |
| WO2010121702A1 (de) * | 2009-04-25 | 2010-10-28 | Ev Group Gmbh | Vorrichtung zur ausrichtung und vorfixierung eines wafers |
| KR20120014557A (ko) * | 2009-04-25 | 2012-02-17 | 에베 그룹 게엠베하 | 웨이퍼를 정렬하고 프리픽싱 하기 위한 장치 |
| JP2012524985A (ja) * | 2009-04-25 | 2012-10-18 | エーファウ・グループ・ゲーエムベーハー | ウェハを位置調整し予備付着するためのデバイス |
| US8918989B2 (en) | 2009-04-25 | 2014-12-30 | Ev Group Gmbh | Device for aligning and pre-fixing a wafer |
| US9449863B2 (en) | 2009-04-25 | 2016-09-20 | Ev Group Gmbh | Device for aligning and pre-fixing a wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3227702B2 (ja) | 2001-11-12 |
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