JPH0414450Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、コンデンサの製造等においてフイル
ム状素材に金属を連続して蒸着する前にオイルマ
ージンを形成するのに用いられる連続真空蒸着装
置用オイルマージン形成装置に関するものであ
る。

［従来の技術］ 一般に知られているように、コンデンサ用のプ
ラスチツクフイルムや絶縁紙等のフイルム状素材
を連続真空蒸着により金属化処理する場合、フイ
ルム状素材に金属蒸着処理を施す前にマージンを
形成してフイルム状素材上の金属化処理したくな
い部分を予めマスキングしておく必要がある。

マージンの形成法としては、従来、蒸着処理時
にマスキング用のテープ状部材をフイルム状素材
に密着させて一緒に走行させ、テープ状部材で覆
われた部分にマージンを形成するテープマージン
方式およびフイルム状素材が蒸着処理位置に入る
前にフイルム状素材上のマスキングを必要とする
部分にオイルを塗布してマージンを形成するオイ
ルマージン方式がある。

前者のテープマージン方式は、機構が複雑化す
るだけでなく、マージン形成不良が生じやすく生
産性が悪く、またテープ状部材をその都度新しく
しなければならず、コスト高となる欠点がある。

一方、後者のオイルマージン方式は作業性や生
産性、製造コストの面でテープマージン方式より
優れており、現在実用上有効な方法として広く実
施されている。

オイルマージン方式の従来技術の一例としては
特公昭48−1568号公報に記載のものを挙げること
がでる。

［考案が解決しようとする課題］ ところで、近年コンデンサ用として、電気的特
性の良さや価格の安いこと等の観点からポリプロ
ピレンフイルムが脚光をあびており、従来から用
いられてきたポリエステルフイルムに比べて蒸着
作業が困難であるという欠点があるものの今後も
益々利用されるものと考えられている。

そこで、ポリプロピレンフイルムに対してマー
ジン形成のために作業性や生産性、製造コストの
面で優れたオイルマージン方式を用いることが考
えられたが、紙やポリエステルフイルムに対して
行なわれているように、マージン形成用のオイル
ノズルにフイルムを接触させると、ポリプロピレ
ンフイルムは表面に傷を生じ、コンデンサ用とし
ては使用できなくなる。このため、フイルムとオ
イルノズルとは非接触とする必要があるが、あま
り離し過ぎるとマージンボケが生じるという問題
が起り得る。一般的にはフイルムとオイルノズル
との間隔は2/100mm程度で高精度に制御すること
が要求されるが、従来の装置では、このような高
精度の間隔制御をプロセス実行中行なうことがで
きず、そのため、従来の装置では、ポリプロピレ
ンフイルムに対してオイルマージン法を適用する
ことは実質的にできない。

そこで、本考案の目的は、蒸着処理すべきフイ
ルム状素材によつてフイルムとオイルノズルとの
間隔を高精度に調整できる連続真空蒸着装置用オ
イルマージン形成装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、フイルム状素材
に金属を連続して蒸着する前にオイルマージンを
形成するのに用いられる本考案による連続真空蒸
着装置用オイルマージン形成装置は、フイルム状
素材の幅方向に沿つてのび、両端を位置調整可能
な支持部材で支持したオイルマージン形成用ノズ
ルと、上記オイルマージン形成用ノズルとフイル
ム状素材の表面との間隔を検出するセンサと、上
記各支持部材の位置を調節するモータと、上記各
モータを上記センサからの出力信号に応じてそれ
ぞれ独立して駆動制御し、上記オイルマージン形
成用ノズルとフイルム状素材の表面との間隔を予
め設定した間隔に調整する電気的制御装置とを有
することを特徴としている。

［作用］ このように構成した本考案による連続真空蒸着
装置用オイルマージン形成装置においては、セン
サはオイルマージン形成用ノズルとフイルム状素
材の表面との間隔を常に検出監視し、その出力信
号に基づいて各支持部材と組合さつた位置調節用
モータが駆動されるので、予め間隔を設定してお
くことにより、オイルマージン形成用ノズルはフ
イルム状素材の表面に対して最適な位置に位置制
御され得る。これにより、オイルマージン形成用
ノズルとフイルム状素材の表面との間隔の実時間
での微調整が可能となり、また蒸着作業中のオイ
ルマージン形成用ノズルの変位も実質的に補償さ
れ得る。

［実施例］ 以下、図面を参照して本考案の実施例について
説明する。

第１図には本考案による連続真空蒸着装置用オ
イルマージン形成装置の一実施例を概略的に示
し、１はオイルマージン形成用ノズルで、連続真
空蒸着処理すべきフイルム状素材２に近接してフ
イルム状素材２の幅方向にのび、その両端部はそ
れぞれ位置調整可能な支持部材３により支持され
ており、またオイルマージン形成用ノズル１の各
端部には図示したようにフイルム状素材２と対向
する側に例えばダイヤルゲージのような測定子か
らなるセンサ４が設けられ、オイルマージン形成
用ノズル１の各端部の変位すなわちオイルマージ
ン形成用ノズル１とフイルム状素材２との間隔の
変化を測定する。各位置調整可能な支持部材３に
は位置調整用のステツピングモータ５が設けら
れ、これらのステツピングモータ５は、組合さつ
たセンサ４からの測定信号に応じてフイルム状素
材２に対する支持部材３すなわちオイルマージン
形成用ノズル１の位置を微調整するように駆動さ
れる。この目的で、各センサ４の出力はそれぞれ
真空槽（図示してない）の外部に設けられた電気
的制御装置６に接続され、この電気的制御装置６
の出力はそれぞれのステツピングモータ５に接続
されている。各ステツピングモータ５は1/100mm
程度の精度でオイルマージン形成用ノズル１の位
置を微調整することができ、また各ステツピング
モータ５をそれぞれ独立して駆動制御することが
できるので、オイルマージン形成用ノズル１の両
端を別々に微調整することとができる。なお、第
１図の装置においてステツピングモータ５の代わ
りにオイルマージン形成用ノズル１の位置を微調
整できるものであれば他の適当な駆動装置を用い
ることができる。

第２図には、本考案を実施している巻取り式連
続真空蒸着装置を概略的に示し、真空槽７内に巻
出しローラ８、巻取りローラ９、冷却ドラム１
０、蒸発源１１および多数の案内ローラ１２等が
略示されており、蒸着処理すべきフイルム状素材
１３は巻出しローラ８から案内ローラ１２、冷却
ドラム１０および案内ローラ１２を通つて巻取り
ローラ９へ走行するように駆動される。本考案に
よるオイルマージン形成装置１４は、蒸着処理す
べきフイルム状素材１３が蒸着部すなわち冷却ド
ラム１０の周囲に接触する手前の位置でフイルム
状素材１３の通路に近接して配置され、フイルム
状素材１３が蒸着部に入る前にフイルム状素材１
３に所要のオイルマージンを形成するようにす
る。なお、第２図には単に本考案によるオイルマ
ージン形成装置の配置関係を示し、連続真空蒸着
装置の実際の細部の構成については省略してい
る。

第３図には二つの蒸着部を備えた連続真空蒸着
装置に本考案を実施した例を示し、第２図の装置
における各部に対応した部分は第２図と同じ符号
で示す。この場合には、オイルマージン形成装置
１４は各蒸着部すなわち冷却ドラム１０のフイル
ム状素材１３の進入してくる側においてフイルム
状素材１３の走行通路に近接してそれぞれ配置さ
れている。

なお、本考案によるオイルマージン形成装置は
第２図や第３図に示す巻取り式の連続真空蒸着装
置だけでなく、巻取り室、蒸着室、冷却室、脱ガ
ス室、マージン形成室等を連接した方式のような
他の方式の連続真空蒸着装置にも同様に適用する
ことができる。

［考案の効果］ 以上説明してきたように、本考案による連続真
空蒸着装置用オイルマージン形成装置において
は、オイルマージン形成用ノズルとフイルム状素
材の表面との間隔を常にセンサで検出監視し、そ
の出力信号に基づいて各支持部材と組合さつた位
置調節用モータを駆動させて、オイルマージン形
成用ノズルをフイルム状素材の表面に対して予め
設定した最適な位置に位置制御するように構成し
ているので、オイルマージン形成用ノズルとフイ
ルム状素材の表面との間隔の実時間での微調整が
可能となり、また蒸着作業中のオイルマージン形
成用ノズルの変位も実質的に補償することがで
き、従来、困難であつたポリプロピレンフイルム
のオイルマージンの形成も容易に行なうことがで
き、さらには蒸着フイルムの品質を飛躍的に向上
させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による連続真空蒸着装置用オイ
ルマージン形成装置の一実施例を示す概略斜視
図、第２図および第３図は本考案を実施している
巻取り式連続真空蒸着装置の異なる例を示す概略
構成図である。 図中、１……オイルマージン形成用ノズル、２
……蒸着処理すべきフイルム素材、３……位置調
整可能な支持部材、４……センサ、５……ステツ
ピングモータ、６……電気的制御装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. フイルム状素材に金属を連続して蒸着する前に
   オイルマージンを形成するのに用いられる連続真
   空蒸着装置用オイルマージン形成装置において、
   フイルム状素材の幅方向に沿つてのび、両端を位
   置調整可能な支持部材で支持したオイルマージン
   形成用ノズルと、上記オイルマージン形成用ノズ
   ルとフイルム状素材の表面との間隔を検出するセ
   ンサと、上記各支持部材の位置を調節するモータ
   と、上記各モータを上記センサからの出力信号に
   応じてそれぞれ独立して駆動制御し、上記オイル
   マージン形成用ノズルとフイルム状素材の表面と
   の間隔を予め設定した間隔に調整する電気的制御
   装置とを有することを特徴とする連続真空蒸着装
   置用オイルマージン形成装置。