JPH0414273A - 和周波発生用半導体レーザ励起固体レーザ - Google Patents
和周波発生用半導体レーザ励起固体レーザInfo
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- JPH0414273A JPH0414273A JP11690490A JP11690490A JPH0414273A JP H0414273 A JPH0414273 A JP H0414273A JP 11690490 A JP11690490 A JP 11690490A JP 11690490 A JP11690490 A JP 11690490A JP H0414273 A JPH0414273 A JP H0414273A
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- Japan
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- resonator
- mirror
- semiconductor laser
- light
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000005086 pumping Methods 0.000 title abstract 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体レーザ光と半導体レーザ励起固体レー
ザ光を光混合して波長の短いレーザ光を与える半導体レ
ーザ励起固体レーザに関する。
ザ光を光混合して波長の短いレーザ光を与える半導体レ
ーザ励起固体レーザに関する。
[従来の技術]
半導体レーザを励起光源として用いた固体レーザは、ビ
ーム品質がよく、高効率、長寿命、小型化が図れること
から、注目を集めている。
ーム品質がよく、高効率、長寿命、小型化が図れること
から、注目を集めている。
半導体レーザ励起固体レーザは通常波長が近赤外域て発
振する。半導体レーザ励起固体レーザ光から更に波長の
短い光を取り出すには、高調波発生技術が知られている
。通常、高調波発生の効率は低いため、高調波変換を行
う非線形光学素子を共振器内に配置することにより効率
の向上を図ることか出来る。
振する。半導体レーザ励起固体レーザ光から更に波長の
短い光を取り出すには、高調波発生技術が知られている
。通常、高調波発生の効率は低いため、高調波変換を行
う非線形光学素子を共振器内に配置することにより効率
の向上を図ることか出来る。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、このような第2高調波発生方法てはモード競合
により出力の大幅な変動を起こすのか難点である。
により出力の大幅な変動を起こすのか難点である。
また、第2高調波光に出力変調をかける時、高速スイッ
チング素子である半導体レーザに変調をかけるのが最も
望ましい方法である。しかし、例えば、固体レーザ素子
であるYAGの蛍光寿命か230に秒であるため5KH
z程度以上の変調をかけることは出来なかった。
チング素子である半導体レーザに変調をかけるのが最も
望ましい方法である。しかし、例えば、固体レーザ素子
であるYAGの蛍光寿命か230に秒であるため5KH
z程度以上の変調をかけることは出来なかった。
尚、固体レーザから短波長光を得る方法として、例えば
、特開昭51−24192号公報等参照によりYAGレ
ーザの第3高調波を得るのにYAGレーザの基本波と第
2高調波の和周波を発生させることか知られている。
、特開昭51−24192号公報等参照によりYAGレ
ーザの第3高調波を得るのにYAGレーザの基本波と第
2高調波の和周波を発生させることか知られている。
本発明はかかる従来の状況に鑑みてなされたものて、半
導体レーザ光と半導体レーザ励起固体レーザ光を光混合
し和周波発生して、安定出力で高速変調可能な短波長光
を発起せしめ、かくして、半導体レーザ励起固体レーザ
からの短波長光発生に置ける従来のa題を解決すべくな
されたものである。
導体レーザ光と半導体レーザ励起固体レーザ光を光混合
し和周波発生して、安定出力で高速変調可能な短波長光
を発起せしめ、かくして、半導体レーザ励起固体レーザ
からの短波長光発生に置ける従来のa題を解決すべくな
されたものである。
[課題を解決するための手段]
本発明の要旨とするところは、半導体レーザ励起固体レ
ーザに於て、共振器ミラー2枚と90゜反射ミラーから
構成される直角折れ曲がり構造を有する共振器の一方の
共振器ミラーと90°反射ミラーとの間に固体レーザ素
子を配置し、さらにもう一方の共振器ミラーと90″反
射ミラーとの間に配置した非線形光学素子に共振器ミラ
ーを通して光混合用の半導体レーザ光を集光し、和周波
を発生させて90°反射ミラーから短波長光を取り出す
ことを特徴とすることにある。また、共振器ミラー2枚
と90″反射ミラーから構成される直角折れ曲がり構造
を有する共振器の一方の共振器ミラーと90°反射ミラ
ーとの間に固体レーザ素子を配置し、さらにもう一方の
共振器ミラーと90°反射ミラーとの間に配置した非線
形光学素子に90°反射ミラーを通して光混合用の半導
体レーザ光を集光し、和周波を発生させて共振器から短
波長光を取り出すことを特徴とすることにある。さらに
上記半導体レーザ励起固体レーザに於て、固体レーザ素
子とそれに隣接する共振器ミラーをまとめ、固体レーザ
の片側端面を共振器ミラー面とし共振器ミラーを省いた
ことを特徴とすることである。
ーザに於て、共振器ミラー2枚と90゜反射ミラーから
構成される直角折れ曲がり構造を有する共振器の一方の
共振器ミラーと90°反射ミラーとの間に固体レーザ素
子を配置し、さらにもう一方の共振器ミラーと90″反
射ミラーとの間に配置した非線形光学素子に共振器ミラ
ーを通して光混合用の半導体レーザ光を集光し、和周波
を発生させて90°反射ミラーから短波長光を取り出す
ことを特徴とすることにある。また、共振器ミラー2枚
と90″反射ミラーから構成される直角折れ曲がり構造
を有する共振器の一方の共振器ミラーと90°反射ミラ
ーとの間に固体レーザ素子を配置し、さらにもう一方の
共振器ミラーと90°反射ミラーとの間に配置した非線
形光学素子に90°反射ミラーを通して光混合用の半導
体レーザ光を集光し、和周波を発生させて共振器から短
波長光を取り出すことを特徴とすることにある。さらに
上記半導体レーザ励起固体レーザに於て、固体レーザ素
子とそれに隣接する共振器ミラーをまとめ、固体レーザ
の片側端面を共振器ミラー面とし共振器ミラーを省いた
ことを特徴とすることである。
[作用]
和周波数発生用半導体レーザ励起固体レーザの出力特性
は半導体レーザ励起固体レーザのパワー密度と光混合用
半導体レーザのパワー密度の積に比例する。このため、
効率よく出力光を取り出すには、共振器を直角折れ曲が
り構造とし、半導体レーザ励起固体レーザのパワー密度
を高くするために共振器内に非線形光学素子を配置して
、光混合用の半導体レーザ光を共振器ミラーあるいは9
0″反射ミラーを通して集光することが好ましい。
は半導体レーザ励起固体レーザのパワー密度と光混合用
半導体レーザのパワー密度の積に比例する。このため、
効率よく出力光を取り出すには、共振器を直角折れ曲が
り構造とし、半導体レーザ励起固体レーザのパワー密度
を高くするために共振器内に非線形光学素子を配置して
、光混合用の半導体レーザ光を共振器ミラーあるいは9
0″反射ミラーを通して集光することが好ましい。
[実施例]
以下、実施例に基づいて本発明を説明する。
第1図に示すごとく、共振器ミラーl、固体レーザ素子
としてYAGレーザ素子2.90°反射タイクロイック
ミラー3、タイクロイック共振器ミラー4から成る直角
折れ曲がり構造を有する共振器の内部に非線形光学素子
5を配置する。半導体レーザ6の発振光lOをシリンド
リカルレンズ8て集光し、両端面がYAGレーザ波長1
064n−て無反射コートされたYAGレーザ素子2を
側面励起して共振器ミラ−1〜ダイクロイツク共振器ミ
ラー4間で共振させてYAGレーザの基本波を発振させ
る。また、前記共振器外部から半導体レーザ7の発振光
10aをYAGレーザ発振波長1064n■て高反射、
半導体レーザ発振波長808nmで無反射コートされた
ダイクロイック共振器ミラー4を通して非線形光学素子
5に集光して光混合し和周波を発生させ、YAGレーザ
発振波長で高反射、和周波光波長459n−て無反射コ
ートされた906反射反射タイクロイックミラー3波長
459rv (青色)の和周波光11を取り出した。
としてYAGレーザ素子2.90°反射タイクロイック
ミラー3、タイクロイック共振器ミラー4から成る直角
折れ曲がり構造を有する共振器の内部に非線形光学素子
5を配置する。半導体レーザ6の発振光lOをシリンド
リカルレンズ8て集光し、両端面がYAGレーザ波長1
064n−て無反射コートされたYAGレーザ素子2を
側面励起して共振器ミラ−1〜ダイクロイツク共振器ミ
ラー4間で共振させてYAGレーザの基本波を発振させ
る。また、前記共振器外部から半導体レーザ7の発振光
10aをYAGレーザ発振波長1064n■て高反射、
半導体レーザ発振波長808nmで無反射コートされた
ダイクロイック共振器ミラー4を通して非線形光学素子
5に集光して光混合し和周波を発生させ、YAGレーザ
発振波長で高反射、和周波光波長459n−て無反射コ
ートされた906反射反射タイクロイックミラー3波長
459rv (青色)の和周波光11を取り出した。
同様にして、第2図に示すごとく、半導体レーザ7の発
振光をYAGレーザ波長1064n■て高反射、半導体
レーザ波長808n■て無反射コートした90°タイク
ロイツクミラー3を通して非線形光学素子5に集光して
光混合し和周波を発生させ、YAGレーザ発振波長11
064nて高反射、和周波光波長4S9nwて無反射コ
ートされた共振器ミラー4aから波長459nsの和周
波光を取り出した。
振光をYAGレーザ波長1064n■て高反射、半導体
レーザ波長808n■て無反射コートした90°タイク
ロイツクミラー3を通して非線形光学素子5に集光して
光混合し和周波を発生させ、YAGレーザ発振波長11
064nて高反射、和周波光波長4S9nwて無反射コ
ートされた共振器ミラー4aから波長459nsの和周
波光を取り出した。
また、第3図に示すごとく、YAGレーザ発振波長11
064nて高反射、半導体レーザ波長808nmて無反
射コートされたYAGレーザ素子2の端面である共振器
面aを通して半導体レーザ6の発振光を集光しYAGレ
ーザ素子2を端面励起して、共振器面a〜ダイクロイッ
ク共振器ミラー4間でYAGレーザの基本波を共振させ
、第1図と同様な方法て90″反射ダイクロイックミラ
ー3から波長459n■の和周波光を取り出した。
064nて高反射、半導体レーザ波長808nmて無反
射コートされたYAGレーザ素子2の端面である共振器
面aを通して半導体レーザ6の発振光を集光しYAGレ
ーザ素子2を端面励起して、共振器面a〜ダイクロイッ
ク共振器ミラー4間でYAGレーザの基本波を共振させ
、第1図と同様な方法て90″反射ダイクロイックミラ
ー3から波長459n■の和周波光を取り出した。
さらに、第4図に示すごとく、YAGレーザ発振波長1
1064nて高反射、半導体レーザ808n■て無反射
コートされたYAGレーザ素子2の端面の共振器面aを
通して半導体レーザ6の発振光を集光しYAGレーザ素
子2を端面励起して、共振器面a〜タイクロイック共振
器ミラー4a間てYAGレーザの基本波を共振させ、第
2図と同様な方法て共振器ミラー4aから波長459n
mの和周波光を取り出した。
1064nて高反射、半導体レーザ808n■て無反射
コートされたYAGレーザ素子2の端面の共振器面aを
通して半導体レーザ6の発振光を集光しYAGレーザ素
子2を端面励起して、共振器面a〜タイクロイック共振
器ミラー4a間てYAGレーザの基本波を共振させ、第
2図と同様な方法て共振器ミラー4aから波長459n
mの和周波光を取り出した。
[発明の効果]
和周波発生用固体レーザとしてかかる構成を持つ固体レ
ーザは効率よく短波長光を得ることかてき、また半導体
レーザの出力を変調することにより短波長光を容易に高
速変調することか出来る。
ーザは効率よく短波長光を得ることかてき、また半導体
レーザの出力を変調することにより短波長光を容易に高
速変調することか出来る。
第1図は本発明の一実施例である半導体レーザ側面励起
固体レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生さ
せる固体レーザの模式図、第2図は本発明の他の実施例
である半導体レーザ側面励起固体レーザ共振器内て半導
体レーザとの和周波を発生させる固体レーザに於て半導
体レーザの入射方向を入れ変えたものの模式図、第3図
は本発明のさらに他の実施例である半導体レーザ端面励
起固体レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生
させる固体レーザの模式図、第4図は本発明のまた、さ
らに他の実施例である同しく半導体レーザ端面励起固体
レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生させる
固体レーザに於て半導体レーザの入射方向を入れ変えた
ものの模式図である。 図中。 1、共振器ミラー 2、固体レーザ素子 3 : 90”反射タイクロイックミラー4.4a :
ダイクロイック共振器ミラー5:非線形光学素子 6:励起用半導体レーザ 7:光混合用半導体レーザ 8:集光用シリンドリカルレンズ 9:集光レンズ 10、10a :半導体レーザ光 ll゛和周波出力光 12、12a :集光レンズ a:共振器面 代理人 弁理士 1)北 嵩 晴 第 図 りへ12C1 第 図 第 図 口〜12′ 第 図
固体レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生さ
せる固体レーザの模式図、第2図は本発明の他の実施例
である半導体レーザ側面励起固体レーザ共振器内て半導
体レーザとの和周波を発生させる固体レーザに於て半導
体レーザの入射方向を入れ変えたものの模式図、第3図
は本発明のさらに他の実施例である半導体レーザ端面励
起固体レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生
させる固体レーザの模式図、第4図は本発明のまた、さ
らに他の実施例である同しく半導体レーザ端面励起固体
レーザ共振器内で半導体レーザとの和周波を発生させる
固体レーザに於て半導体レーザの入射方向を入れ変えた
ものの模式図である。 図中。 1、共振器ミラー 2、固体レーザ素子 3 : 90”反射タイクロイックミラー4.4a :
ダイクロイック共振器ミラー5:非線形光学素子 6:励起用半導体レーザ 7:光混合用半導体レーザ 8:集光用シリンドリカルレンズ 9:集光レンズ 10、10a :半導体レーザ光 ll゛和周波出力光 12、12a :集光レンズ a:共振器面 代理人 弁理士 1)北 嵩 晴 第 図 りへ12C1 第 図 第 図 口〜12′ 第 図
Claims (3)
- (1)共振器ミラー2枚と90゜反射ミラーから構成さ
れる直角折れ曲がり構造を有する共振器の一方の共振器
ミラーと90゜反射ミラーとの間に固体レーザ素子を配
置し、さらにもう一方の共振器ミラーと90゜反射ミラ
ーとの間に配置した非線形光学素子に共振器ミラーを通
して光混合用の半導体レーザ光を集光し、和周波を発生
させて90゜反射ミラーから短波長光を取り出すことを
特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ。 - (2)共振器ミラー2枚と90゜反射ミラーから構成さ
れる直角折れ曲がり構造を有する共振器の一方の共振器
ミラーと90゜反射ミラーとの間に固体レーザ素子を配
置し、さらにもう一方の共振器ミラーと90゜反射ミラ
ーとの間に配置した非線形光学素子に90゜反射ミラー
を通して光混合用の半導体レーザ光を集光し、和周波を
発生させて共振器ミラーから短波長光を取り出すことを
特徴とする半導体レーザ励起固体レーザ。 - (3)請求項(1)ないし(2)のいずれかの項に記載
の半導体レーザ励起固体レーザに於て、固体レーザ素子
とそれに隣接する共振器ミラーをまとめて固体レーザの
片側端面を共振器ミラー面として共振器ミラーを省いた
半導体レーザ励起固体レーザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11690490A JPH0414273A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 和周波発生用半導体レーザ励起固体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11690490A JPH0414273A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 和周波発生用半導体レーザ励起固体レーザ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0414273A true JPH0414273A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14698521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11690490A Pending JPH0414273A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 和周波発生用半導体レーザ励起固体レーザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0414273A (ja) |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP11690490A patent/JPH0414273A/ja active Pending
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