JPH04141843A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH04141843A JPH04141843A JP26488390A JP26488390A JPH04141843A JP H04141843 A JPH04141843 A JP H04141843A JP 26488390 A JP26488390 A JP 26488390A JP 26488390 A JP26488390 A JP 26488390A JP H04141843 A JPH04141843 A JP H04141843A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光磁気記録媒体、特には透明基体の入射側にＨ
を含むＣかうなる保護膜を設けることによって化学的安
定性、熱安定性、光透過性がよく、耐湿性で硬く機械的
強度も大きくした光磁気記録媒体に関するものである。
を含むＣかうなる保護膜を設けることによって化学的安
定性、熱安定性、光透過性がよく、耐湿性で硬く機械的
強度も大きくした光磁気記録媒体に関するものである。
（従来の技術）
近年、情報化社会の進展に伴なって書換可能な光磁気メ
モリが注目を集めており、これについてはその透明基板
としてポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂など
を用いたものが汎用されているが、これらの基板は硬度
、耐摩耗性、耐薬品性、耐水性がわるいし、傷つき易く
、再生信号のＣ／Ｎも十分でないという欠点がある。
モリが注目を集めており、これについてはその透明基板
としてポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂など
を用いたものが汎用されているが、これらの基板は硬度
、耐摩耗性、耐薬品性、耐水性がわるいし、傷つき易く
、再生信号のＣ／Ｎも十分でないという欠点がある。
（発明が解決しようとする課題）
そのため、この種の光磁気記録媒体については従来公知
の透明基板上に紫外線硬化性樹脂を塗布（スピンコード
）シて、これを透明基板の保護膜とすることが行なわれ
ているが、この保護膜についてはざらに耐湿性、耐酸性
がよく、機械的強度、熱安定性がすぐれており、さらに
は光透過性もすぐれているものが求められている。
の透明基板上に紫外線硬化性樹脂を塗布（スピンコード
）シて、これを透明基板の保護膜とすることが行なわれ
ているが、この保護膜についてはざらに耐湿性、耐酸性
がよく、機械的強度、熱安定性がすぐれており、さらに
は光透過性もすぐれているものが求められている。
（課題を解決するための手段）
本発明はこのような課題を解決することのできる光磁気
記録媒体に関するもので、これは光の入射側に置かれた
透明基板上に、誘電体膜、磁性膜、反射膜を有する光磁
気記録媒体において、透明基板の入射側にＨを含むＣか
らなる保護膜を設けてなることを特徴とするものである
。
記録媒体に関するもので、これは光の入射側に置かれた
透明基板上に、誘電体膜、磁性膜、反射膜を有する光磁
気記録媒体において、透明基板の入射側にＨを含むＣか
らなる保護膜を設けてなることを特徴とするものである
。
すなわち、本発明者らは化学的安定性、光透過性がすぐ
れていて、耐湿性が高く、機械的強度が大きい光磁気記
録媒体を開発すべく種々検討した結果、透明基材の表面
に屈折率が基板に近いかまたは同等、あるいは膜厚、屈
折率を調節し任意の特定波長での光の振幅反射率を０と
なるように設計した、Ｈを含むＣからなる保護膜を設け
ると、１）このＨを含むＣからなる保護膜は従来公知の
紫外線硬化性樹脂からなる保護膜とくらべて剥離しにく
く、化学的安定性、熱安定性、耐湿性、耐薬品性、機械
的強度、硬度がすぐれており、複屈折もないので透明基
板保護効果が大きい、２）Ｈを含むＣからなる保護膜は
従来公知の紫外線硬化性樹脂からなる保護膜にくらべて
光透過性もすぐれており、特に可視〜赤外領域では極め
て高い透過性を有する、ということを見出し、このＨを
含むＣからなる保護膜の形成方法などについての研究を
進めて本発明を完成させた。
れていて、耐湿性が高く、機械的強度が大きい光磁気記
録媒体を開発すべく種々検討した結果、透明基材の表面
に屈折率が基板に近いかまたは同等、あるいは膜厚、屈
折率を調節し任意の特定波長での光の振幅反射率を０と
なるように設計した、Ｈを含むＣからなる保護膜を設け
ると、１）このＨを含むＣからなる保護膜は従来公知の
紫外線硬化性樹脂からなる保護膜とくらべて剥離しにく
く、化学的安定性、熱安定性、耐湿性、耐薬品性、機械
的強度、硬度がすぐれており、複屈折もないので透明基
板保護効果が大きい、２）Ｈを含むＣからなる保護膜は
従来公知の紫外線硬化性樹脂からなる保護膜にくらべて
光透過性もすぐれており、特に可視〜赤外領域では極め
て高い透過性を有する、ということを見出し、このＨを
含むＣからなる保護膜の形成方法などについての研究を
進めて本発明を完成させた。
以下にこれをさらに詳述する。
（作用）
本発明は透明基板の入射側に保護膜を設けてなる光磁気
記録媒体に関するものである。
記録媒体に関するものである。
本発明の光磁気記録媒体は透明基板の入射側に透明基板
表面の保護膜を、その屈折率が基板に近いかまたは同等
である、あるいは膜厚、屈折率を調節し任意の特定波長
での光の振幅反射率を０となるようい設計した、Ｈを含
むＣからなる保護膜を設けたものとされるが、この光磁
気記録媒体自体は公知のものでよく、したがりてこれは
第１図に示したようにトラッキング用ガイドグループが
形成されたポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂
などからなる透明基板１の上に、Ｓｉ、ＳｉＮなどをタ
ーゲットとするスパッタリング法または化学気相蒸着法
あるいは真空蒸着法で厚さ５０〜２０００人のＳｉＣ，
ＳｉＮ、ＳｉＯ，５ｉＣ−Ｈ，５ＪＮ−Ｈ，５ｊＣＮ−
Ｈなどからなる誘電体膜２を設け、ついでこの誘電体膜
２の上にＴｄ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｎｄなどの希土類元素とＦ
ｅ、（：ｏ、Ｎｉなどの１容金属元素からなるＴｂＦｅ
、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅＧｄＤｙＦｅＣｏなどの
ような非晶質金属からなる磁性膜３をスパッタリング法
や化学気相蒸着法で厚さ２００〜１，０００人に形成さ
せ、この上に上記と同じ誘電体＠４を設け、さらにこの
上に＾ｌ、 Ａｕ、Ａｇ。
表面の保護膜を、その屈折率が基板に近いかまたは同等
である、あるいは膜厚、屈折率を調節し任意の特定波長
での光の振幅反射率を０となるようい設計した、Ｈを含
むＣからなる保護膜を設けたものとされるが、この光磁
気記録媒体自体は公知のものでよく、したがりてこれは
第１図に示したようにトラッキング用ガイドグループが
形成されたポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂
などからなる透明基板１の上に、Ｓｉ、ＳｉＮなどをタ
ーゲットとするスパッタリング法または化学気相蒸着法
あるいは真空蒸着法で厚さ５０〜２０００人のＳｉＣ，
ＳｉＮ、ＳｉＯ，５ｉＣ−Ｈ，５ＪＮ−Ｈ，５ｊＣＮ−
Ｈなどからなる誘電体膜２を設け、ついでこの誘電体膜
２の上にＴｄ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｎｄなどの希土類元素とＦ
ｅ、（：ｏ、Ｎｉなどの１容金属元素からなるＴｂＦｅ
、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅＧｄＤｙＦｅＣｏなどの
ような非晶質金属からなる磁性膜３をスパッタリング法
や化学気相蒸着法で厚さ２００〜１，０００人に形成さ
せ、この上に上記と同じ誘電体＠４を設け、さらにこの
上に＾ｌ、 Ａｕ、Ａｇ。
Ｃｕなどからなる反射ｌＮｌ５を厚さ２００〜ｉ、ｏｏ
ｏ人で設けたものとすればよいが、これは第２図に示し
たように透明基板８の上に上記と同じ誘電体膜９、磁性
膜１０、誘電体膜１１を形成させた３層構造体であって
もよいし、さらには透明基板上に磁性膜、上記誘電体膜
、反射膜を順次形成させた３層構造体としてもよいが、
これらにおいてはこの透明基板１．８の光の入射側から
光７．１３で入射されると光７は反射膜で反射され、光
１３は磁性膜１０で反射される。
ｏ人で設けたものとすればよいが、これは第２図に示し
たように透明基板８の上に上記と同じ誘電体膜９、磁性
膜１０、誘電体膜１１を形成させた３層構造体であって
もよいし、さらには透明基板上に磁性膜、上記誘電体膜
、反射膜を順次形成させた３層構造体としてもよいが、
これらにおいてはこの透明基板１．８の光の入射側から
光７．１３で入射されると光７は反射膜で反射され、光
１３は磁性膜１０で反射される。
本発明の光磁気記録媒体は第１区、第２図に示したよう
に上記のように構成される光磁気記録媒体の透明基板１
．８の光の入射側であるが誘電体膜、磁性膜、反射膜な
どが形成される面と反対の側にＨを含むＣからなる保護
＠６，１２を設けたものであるが、このＨを含むＣから
なる保護膜は公知の紫外線硬化性樹脂からなる保護膜に
くらべて、剥離しにくく、化学的安定性、熱安定性、耐
湿性、耐薬品性がすぐれているし、機械的強度、硬度も
すぐれており、さらには複屈折もなく、光透過性もすぐ
れているので、本発明の光磁気記録媒体は従来品にくら
べて耐湿性が高く、化学的安定性、光透過性がすぐれて
おり、さらには機械的強度の大きいものになるという有
利性が与えられる。
に上記のように構成される光磁気記録媒体の透明基板１
．８の光の入射側であるが誘電体膜、磁性膜、反射膜な
どが形成される面と反対の側にＨを含むＣからなる保護
＠６，１２を設けたものであるが、このＨを含むＣから
なる保護膜は公知の紫外線硬化性樹脂からなる保護膜に
くらべて、剥離しにくく、化学的安定性、熱安定性、耐
湿性、耐薬品性がすぐれているし、機械的強度、硬度も
すぐれており、さらには複屈折もなく、光透過性もすぐ
れているので、本発明の光磁気記録媒体は従来品にくら
べて耐湿性が高く、化学的安定性、光透過性がすぐれて
おり、さらには機械的強度の大きいものになるという有
利性が与えられる。
なお、このＨを含むＣからなる保護膜の形成はＣあるい
はＳｉをターゲットとするＣＨ４−Ａｒ、ＣＩ４−Ａｒ
またはＣＩ２−ＡｍあるいはＣＩ（４−８２，０２Ｈ４
−）＋２． Ｃ２Ｈ２−８２の混合ガス雰囲気中でスパ
ッタリングする方法、またはＣＨ４，ＣｚＨ＜ −Ｃ２
Ｈ２ガス、あるいはＣＨｔ−ＡｒＣＩ４−Ａｒ、 Ｃ２
Ｈ２−ＡｒさらにはＣＨ４−Ｈ２，Ｃ２Ｈ４−）＋２．
Ｃ２Ｈ２Ｈ２の混合ガス中でプラズマ、光あるいは熱
で分解する化学気相蒸着法または真空蒸着法で行なえば
よいが、このものは屈折率（ｎ）が１．５０〜２．００
の範囲のものとすることがよく、この厚さは２，０００
人〜２０μｍのものとすればよい。
はＳｉをターゲットとするＣＨ４−Ａｒ、ＣＩ４−Ａｒ
またはＣＩ２−ＡｍあるいはＣＩ（４−８２，０２Ｈ４
−）＋２． Ｃ２Ｈ２−８２の混合ガス雰囲気中でスパ
ッタリングする方法、またはＣＨ４，ＣｚＨ＜ −Ｃ２
Ｈ２ガス、あるいはＣＨｔ−ＡｒＣＩ４−Ａｒ、 Ｃ２
Ｈ２−ＡｒさらにはＣＨ４−Ｈ２，Ｃ２Ｈ４−）＋２．
Ｃ２Ｈ２Ｈ２の混合ガス中でプラズマ、光あるいは熱
で分解する化学気相蒸着法または真空蒸着法で行なえば
よいが、このものは屈折率（ｎ）が１．５０〜２．００
の範囲のものとすることがよく、この厚さは２，０００
人〜２０μｍのものとすればよい。
（実施例）
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例、比較例
直径が１３０ｍｍ、厚さが１．２ｍｍであるポリカーボ
ネート樹脂製の透明基板上に、 ＳｉＣをターゲットと
しアルゴン−水素ガス混合ガス雰囲気中でのスパッタリ
ング法で厚さ１４００人のＨを含むＳｉＣ膜（ＳｉＣ−
Ｈ）からなる話電体膜を形成し、この上にアルゴンガス
圧７ トール、高周波電力２００ｗという条件のスパッ
タリング法で厚さ２００人のＴｂＦｅ磁性膜と厚さ３０
０人の上記と同じ５ｉＣ−Ｈからなる話電体膜を形成し
たのち、さらにこの上に上記と同じ条件のスパッタリン
グ法で厚さ５００人のアルミニウム反射膜を順次形成し
、このものの最適記録パワーを測定したところ、これは
５．５ｍＷであった。
ネート樹脂製の透明基板上に、 ＳｉＣをターゲットと
しアルゴン−水素ガス混合ガス雰囲気中でのスパッタリ
ング法で厚さ１４００人のＨを含むＳｉＣ膜（ＳｉＣ−
Ｈ）からなる話電体膜を形成し、この上にアルゴンガス
圧７ トール、高周波電力２００ｗという条件のスパッ
タリング法で厚さ２００人のＴｂＦｅ磁性膜と厚さ３０
０人の上記と同じ５ｉＣ−Ｈからなる話電体膜を形成し
たのち、さらにこの上に上記と同じ条件のスパッタリン
グ法で厚さ５００人のアルミニウム反射膜を順次形成し
、このものの最適記録パワーを測定したところ、これは
５．５ｍＷであった。
つぎにこのようにして作成した光磁気記録媒体をＡ、Ｂ
２ｆｉ準備し、このＡについてはその透明基板の光の入
射側に紫外線硬化性樹脂を塗布（スピンコード）して保
護膜を作ると共に、このＢについてはその透明基板の光
の入射側にＣをターゲットとしＣＨ，−Ａｒ混合ガス雰
囲気下に、５ｍトール、１００Ｗの条件でのプラズマＣ
ＶＤ法によってＨを含むＣからなる保護膜を厚さ２μｍ
に作成し、このＡ、Ｂの８５℃、８５％ＲＨにおける耐
久性をしらべたところ、第３図に示したとおりの結果が
得られ、本発明によるＨを含むＣからなる保護膜を設け
たＢは紫外線硬化性樹脂からなる保護膜を設けたＡより
も耐久性のすぐれたものであることが確認された。
２ｆｉ準備し、このＡについてはその透明基板の光の入
射側に紫外線硬化性樹脂を塗布（スピンコード）して保
護膜を作ると共に、このＢについてはその透明基板の光
の入射側にＣをターゲットとしＣＨ，−Ａｒ混合ガス雰
囲気下に、５ｍトール、１００Ｗの条件でのプラズマＣ
ＶＤ法によってＨを含むＣからなる保護膜を厚さ２μｍ
に作成し、このＡ、Ｂの８５℃、８５％ＲＨにおける耐
久性をしらべたところ、第３図に示したとおりの結果が
得られ、本発明によるＨを含むＣからなる保護膜を設け
たＢは紫外線硬化性樹脂からなる保護膜を設けたＡより
も耐久性のすぐれたものであることが確認された。
（発明の効果）
本発明は透明基板の光の入射側に屈折率が基板に近いか
または同等である、あるいは膜厚、屈折率を調節し任意
の特定波長での光の振幅反射基を０となるように設計し
た、Ｈを含むＣからなる保護膜を設けてなる光磁気記録
媒体に関するものであるが、これによればこのＨを含む
Ｃからなる保護膜が公知の紫外線硬化性樹脂から作られ
る保護膜にくらべて剥離しにくく、化学的安定性、熱安
定性、耐湿性、耐薬品性がすぐれており、機械的強度、
硬度がすぐれていて光透過性もよいことがら、この保護
膜を設けた光磁気記録媒体は従来品にくらべて耐湿性が
高く、化学的安定性、光透過性がすぐれており、さらに
は機械的強度の大きいものになるという有利性が与えら
れる。
または同等である、あるいは膜厚、屈折率を調節し任意
の特定波長での光の振幅反射基を０となるように設計し
た、Ｈを含むＣからなる保護膜を設けてなる光磁気記録
媒体に関するものであるが、これによればこのＨを含む
Ｃからなる保護膜が公知の紫外線硬化性樹脂から作られ
る保護膜にくらべて剥離しにくく、化学的安定性、熱安
定性、耐湿性、耐薬品性がすぐれており、機械的強度、
硬度がすぐれていて光透過性もよいことがら、この保護
膜を設けた光磁気記録媒体は従来品にくらべて耐湿性が
高く、化学的安定性、光透過性がすぐれており、さらに
は機械的強度の大きいものになるという有利性が与えら
れる。
第１図、第２図は本発明の光磁気記録媒体の構成図、第
３図は実施例、比較例で作られた光磁気記録媒体（Ｂ、
Ａ）の８５℃、８５％ＲＨにおける耐久性試験結果のグ
ラフを示したものである。
３図は実施例、比較例で作られた光磁気記録媒体（Ｂ、
Ａ）の８５℃、８５％ＲＨにおける耐久性試験結果のグ
ラフを示したものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光の入射側に置かれた透明基板上に、誘電体膜、磁
性膜、反射膜を有する光磁気記録媒体において、透明基
板の入射側にＨを含むＣからなる保護膜を設けてなるこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。 ２、Ｈを含むＣからなる保護膜がモル比として２〜５０
％のＨを含む非晶質材料からなるものとされる請求項１
に記載した光磁気記録媒体。 ３、Ｈを含むＣからなる保護膜が屈折率（ｎ）＝１．５
０〜２．００のものとされる請求項１に記載した光磁気
記録媒体。 ４、Ｈを含むＣからなる保護膜がスパッタリング法、化
学的気相成長法または真空蒸着法によって形成されてな
るものである請求項１に記載した光磁気記録媒体。 ５、Ｈを含むＣからなる保護膜がＣＨ＿４，Ｃ＿２Ｈ＿
４またはＣ＿２Ｈ＿２ガスのプラズマ、光あるいは熱に
よる分解によって形成されてなるものである請求項１ま
たは４に記載した光磁気記録媒体。 ６、Ｈを含むＣからなる保護膜がＣＨ＿４−Ａｒ，Ｃ＿
２Ｈ＿４−ＡｒまたはＣ＿２Ｈ＿２＿−Ａｒの混合ガス
あるいはＣＨ＿４−Ｈ＿２，Ｃ＿２Ｈ＿４−Ｈ＿２また
はＣ＿２Ｈ＿２−Ｈ＿２の混合ガスのプラズマ、光ある
いは熱による分解によって形成されてなるものである請
求項１，４または５に記載した光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26488390A JPH04141843A (ja) | 1990-10-02 | 1990-10-02 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26488390A JPH04141843A (ja) | 1990-10-02 | 1990-10-02 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04141843A true JPH04141843A (ja) | 1992-05-15 |
Family
ID=17409553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26488390A Pending JPH04141843A (ja) | 1990-10-02 | 1990-10-02 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04141843A (ja) |
-
1990
- 1990-10-02 JP JP26488390A patent/JPH04141843A/ja active Pending
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