JPH0413446B2 - - Google Patents
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/005—Growth of whiskers or needles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/36—Carbides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
Description
本発明は微細繊維の製造方法に関する。更に詳
細には、遷移金属化合物と有機ケイ素化合物と炭
素化合物との混合ガスを、加熱帯域中で高温反応
させることを特徴とする炭素とケイ素からなる微
細繊維の製造方法に関する。 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高強度、高弾性、耐熱性、耐酸化性
の微細繊維であつて、特に樹脂、金属等の強化材
として利用価値の高い材料である。 〔従来の技術〕 炭化ケイ素繊維は、高強度、高弾性、且つ耐熱
性、耐酸化性に優れているため、構造材料として
有望な材料である。炭素繊維はAl等の金属を濡
れにくく且つ反応しやすいという欠点を有してい
るためFRM(繊維強化金属)の強化材としては、
一般的に炭化ケイ素繊維のほうが有効である。従
つてその製造方法も種々検討されている。例え
ば、炭素−ケイ素を主骨格とする有機ケイ素重合
体の紡糸、焼成で炭化ケイ素繊維を得る方法。ま
たは化学気相析出法によつて炭化ケイ素ウイスカ
ーを得る方法等が知られている。しかし前者につ
いては有機ケイ素重合体の合成、紡糸、焼成等の
複雑な工程を有し、製品が高価なものにつくとい
う難点がある。また後者に関しても生産性と収率
が低いためやはり高価となる難点を有している。
そこで上記の問題点を除去するために、金属また
は金属化合物の微粒子を種触媒として存在させた
加熱反応帯域で有機ケイ素化合物を気相熱分解さ
せて炭化ケイ素を主体とする繊維を得る方法(特
願昭57−113689)が知られている。しかしこの方
法では、基板に金属超微粒子をシードする操作
基板を反応炉にセツトする操作 反応炉の
加熱操作 有機ケイ素化合物の気相反応操作
(繊維の生成) 反応炉の冷却操作 繊維の
取り出し操作のため連続製造が極めて困難である
ことが分つた。またこの方法では反応が基板表面
でしか行われないため収率が低く、結果として高
コストになることも分つた。 〔発明の目的〕 それ故、本発明の一般的な目的は、生産性が高
く、製品の低コスト化が可能な炭素とケイ素から
なる微細繊維の連続製造方法を提供することにあ
る。 〔発明の要点〕 この目的を達成するために、この発明に係る炭
素とケイ素からなる微細繊維の製造方法は、遷移
金属化合物と有機ケイ素化合物と炭素化合物との
混合ガスを高温反応させることを特徴とする。ま
た別法として、遷移金属化合物と有機ケイ素化合
物との混合ガスを高温反応させることを特徴とす
る。 本発明者は既に、炭素化合物のガスと有機遷移
金属化合物のガスとキヤリヤガスとの混合ガスを
高温反応させることを特徴とする気相成長炭素繊
維の製造方法を発明し出願した(特願昭58−
162606号)。その場合、炭素繊維が浮遊状態で気
相成長して得られ、前記シード法のような工程の
中断がなく、高い生産性が得られた。 その後引き続き研究改良を重ねた結果、その系
に更に有機ケイ素化合物のガスを混合することに
より、炭素繊維ではなく、炭素とケイ素からなる
微細繊維を高収率且つ高い生産性で得ることが可
能であることを突き止めた。 本発明における炭素化合物とは、炭素の供給源
となり得る炭素化合物全般を対象とし特に限定は
ないが、有効に使用できるものとしては、有機鎖
式化合物又は、有機環式化合物からなる有機化合
物全般と、ガス状またはガス化可能な含炭素無機
化合物等がある。一部例示すると、無機化合物と
しては、CO,CS2等が有利であり又有機化合物
としては、特に脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素
等が有利である。即ちメタン、エタン等のアルカ
ン化合物、エチレン、ブタジエン等のアルケン化
合物、アセチレン等のアルキン化合物、ベンゼ
ン、トルエン、スチレン等のアリール炭化水素化
合物、インデン、ナフタリン、フエナントレン等
の縮合環を有する芳香族炭化水素、シクロプロパ
ン、シクロヘキセン等のシクロオレフイン化合
物、ステロイド等の縮合環を有する脂環式炭化水
素化合物等である。また、炭素化合物の2種類以
上の混合物の使用も可能であることは言うに及ば
ない。 また、本発明における有機ケイ素化合物とは、
ケイ素−炭素結合をもつ有機化合物全般を対象と
する他に、シランを便宜上含むものとする。炭素
−ケイ素結合を持つ有機化合物としては、テトラ
メチルシラン、メチルトリフエニルシラン等のオ
ルガノシラン;クロルジフルオルメチルシラン、
ブロムトリプロピルシラン等のオルガノハロゲン
シラン;メトキシトリメチルシラン、トリメチル
フエノキシシラン等のオルガノアルコキシシラ
ン;ジアセトキシジメチルシラン、アセトキシト
リプロピルシラン等のオルガノアセトキシシラ
ン;ヘキサエチルジシラン、ヘキサフエニルジシ
ラン、オクタフエニルシクロテトラシラン等のオ
ルガノポリシラン;ジメチルシラン、トリフエニ
ルシラン等のオルガノヒドロゲノシラン;
(SiH2)nで表示されるシクロシラン;トリフエ
ニルシラザン、ヘキサエチルジシラジン、ヘキサ
フエニルシクロトリシラザン等のオルガノシラザ
ン;(SiH2NH)oで表示されるシクロシラザン;
ジエチルシランジオール、トリフエニルシラノー
ル等のオルガノシラノール;トリメチルシリル酢
酸、トリメチルシリルプロピオン酸等のオルガノ
シランカルボン酸;トリメチルシリコンイソシア
ナート、ジフエニルシリコンジイソシアナート等
のシリコンイソシアナート;トリメチルシリコン
イソチオシアナート、ジフエニルシリコンジイソ
チオシアナート等のオルガノシリコンイソチオシ
アナート;シアン化トリエチルシリル等のオルガ
ノシリコンエステル;ヘキサメチルジシルチア
ン、テトラメチルシクロジシルチアン等のシルチ
アン;(SiH2S)oで表示されるシクロシルチア
ン;ヘキサメチルジシルメチレン、オクタメチル
トリシルメチレン等のオルガノシルメチレン;ヘ
キサメチルジシロキサン、ヘキサプロピルジシロ
キサン等のオルガノシロキサン等が代表的であ
る。また有機ケイ素化合物のポリマー、混合物も
使用可能である。 また本発明における遷移金属とは、スカンジウ
ム、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、
鉄、コバルト、ニツケル、イツトリウム、ジルコ
ニウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジ
ウム、パラジウム、タンタル、タングステン、レ
ニウム、イリジウム、白金等を指すが、鉄、Ni、
Coが最も効果的である。また遷移金属化合物と
は、上記金属の化合物全般を対象としており、無
機化合物、有機化合物、塩等を含む。しかしこの
中で特に有効に利用できるものは、250℃で0.1mm
Hg以上の蒸気圧を有するか、少くとも一種類以
上の炭素化合物又は有機ケイ素化合物に溶解可能
な化合物である。この条件を満たす化合物は非常
に多く、一部代表的なものを例示する。まず無機
遷移金属化合物としては、(1)単独で気化が可能な
化合物:FeCl3,Fe(NO)3Cl,Fe(NO)2Br,Fe
(NO)2I,FeF3等々。(2)少くとも一種類以上の有
機化合物によつて溶解が可能な化合物:(1)で例示
した化合物の他にFe(NO3)2,FeBr3,Fe
(HCOO)3,C27H42FeN9O12,Fe(SO4)3,Fe
(SCN)3,Fe(NO)3NH3,Co(NO)2Cl,Ni(NO)
Cl,Pd(NO)2Cl2,NiCl2等々。また有機遷移金
属化合物の場合には、遷移金属の有機化合物全般
が対象となる。例えばアルキル基と金属が結合し
たアルキル金属、アリル基と金属が結合したアリ
ル金属、炭素間2重結合や3重結合と金属とが結
合したπ−コンプレツクス、キレート型化合物、
金属とカルボニルの結合した金属カルボニル等が
代表的なものであつて、具体例を一部示すと、ア
ルキル金属として、(C4H9)4Ti,CH2CHCH2Mn
(Co)5,
細には、遷移金属化合物と有機ケイ素化合物と炭
素化合物との混合ガスを、加熱帯域中で高温反応
させることを特徴とする炭素とケイ素からなる微
細繊維の製造方法に関する。 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高強度、高弾性、耐熱性、耐酸化性
の微細繊維であつて、特に樹脂、金属等の強化材
として利用価値の高い材料である。 〔従来の技術〕 炭化ケイ素繊維は、高強度、高弾性、且つ耐熱
性、耐酸化性に優れているため、構造材料として
有望な材料である。炭素繊維はAl等の金属を濡
れにくく且つ反応しやすいという欠点を有してい
るためFRM(繊維強化金属)の強化材としては、
一般的に炭化ケイ素繊維のほうが有効である。従
つてその製造方法も種々検討されている。例え
ば、炭素−ケイ素を主骨格とする有機ケイ素重合
体の紡糸、焼成で炭化ケイ素繊維を得る方法。ま
たは化学気相析出法によつて炭化ケイ素ウイスカ
ーを得る方法等が知られている。しかし前者につ
いては有機ケイ素重合体の合成、紡糸、焼成等の
複雑な工程を有し、製品が高価なものにつくとい
う難点がある。また後者に関しても生産性と収率
が低いためやはり高価となる難点を有している。
そこで上記の問題点を除去するために、金属また
は金属化合物の微粒子を種触媒として存在させた
加熱反応帯域で有機ケイ素化合物を気相熱分解さ
せて炭化ケイ素を主体とする繊維を得る方法(特
願昭57−113689)が知られている。しかしこの方
法では、基板に金属超微粒子をシードする操作
基板を反応炉にセツトする操作 反応炉の
加熱操作 有機ケイ素化合物の気相反応操作
(繊維の生成) 反応炉の冷却操作 繊維の
取り出し操作のため連続製造が極めて困難である
ことが分つた。またこの方法では反応が基板表面
でしか行われないため収率が低く、結果として高
コストになることも分つた。 〔発明の目的〕 それ故、本発明の一般的な目的は、生産性が高
く、製品の低コスト化が可能な炭素とケイ素から
なる微細繊維の連続製造方法を提供することにあ
る。 〔発明の要点〕 この目的を達成するために、この発明に係る炭
素とケイ素からなる微細繊維の製造方法は、遷移
金属化合物と有機ケイ素化合物と炭素化合物との
混合ガスを高温反応させることを特徴とする。ま
た別法として、遷移金属化合物と有機ケイ素化合
物との混合ガスを高温反応させることを特徴とす
る。 本発明者は既に、炭素化合物のガスと有機遷移
金属化合物のガスとキヤリヤガスとの混合ガスを
高温反応させることを特徴とする気相成長炭素繊
維の製造方法を発明し出願した(特願昭58−
162606号)。その場合、炭素繊維が浮遊状態で気
相成長して得られ、前記シード法のような工程の
中断がなく、高い生産性が得られた。 その後引き続き研究改良を重ねた結果、その系
に更に有機ケイ素化合物のガスを混合することに
より、炭素繊維ではなく、炭素とケイ素からなる
微細繊維を高収率且つ高い生産性で得ることが可
能であることを突き止めた。 本発明における炭素化合物とは、炭素の供給源
となり得る炭素化合物全般を対象とし特に限定は
ないが、有効に使用できるものとしては、有機鎖
式化合物又は、有機環式化合物からなる有機化合
物全般と、ガス状またはガス化可能な含炭素無機
化合物等がある。一部例示すると、無機化合物と
しては、CO,CS2等が有利であり又有機化合物
としては、特に脂肪族炭化水素、芳香族炭化水素
等が有利である。即ちメタン、エタン等のアルカ
ン化合物、エチレン、ブタジエン等のアルケン化
合物、アセチレン等のアルキン化合物、ベンゼ
ン、トルエン、スチレン等のアリール炭化水素化
合物、インデン、ナフタリン、フエナントレン等
の縮合環を有する芳香族炭化水素、シクロプロパ
ン、シクロヘキセン等のシクロオレフイン化合
物、ステロイド等の縮合環を有する脂環式炭化水
素化合物等である。また、炭素化合物の2種類以
上の混合物の使用も可能であることは言うに及ば
ない。 また、本発明における有機ケイ素化合物とは、
ケイ素−炭素結合をもつ有機化合物全般を対象と
する他に、シランを便宜上含むものとする。炭素
−ケイ素結合を持つ有機化合物としては、テトラ
メチルシラン、メチルトリフエニルシラン等のオ
ルガノシラン;クロルジフルオルメチルシラン、
ブロムトリプロピルシラン等のオルガノハロゲン
シラン;メトキシトリメチルシラン、トリメチル
フエノキシシラン等のオルガノアルコキシシラ
ン;ジアセトキシジメチルシラン、アセトキシト
リプロピルシラン等のオルガノアセトキシシラ
ン;ヘキサエチルジシラン、ヘキサフエニルジシ
ラン、オクタフエニルシクロテトラシラン等のオ
ルガノポリシラン;ジメチルシラン、トリフエニ
ルシラン等のオルガノヒドロゲノシラン;
(SiH2)nで表示されるシクロシラン;トリフエ
ニルシラザン、ヘキサエチルジシラジン、ヘキサ
フエニルシクロトリシラザン等のオルガノシラザ
ン;(SiH2NH)oで表示されるシクロシラザン;
ジエチルシランジオール、トリフエニルシラノー
ル等のオルガノシラノール;トリメチルシリル酢
酸、トリメチルシリルプロピオン酸等のオルガノ
シランカルボン酸;トリメチルシリコンイソシア
ナート、ジフエニルシリコンジイソシアナート等
のシリコンイソシアナート;トリメチルシリコン
イソチオシアナート、ジフエニルシリコンジイソ
チオシアナート等のオルガノシリコンイソチオシ
アナート;シアン化トリエチルシリル等のオルガ
ノシリコンエステル;ヘキサメチルジシルチア
ン、テトラメチルシクロジシルチアン等のシルチ
アン;(SiH2S)oで表示されるシクロシルチア
ン;ヘキサメチルジシルメチレン、オクタメチル
トリシルメチレン等のオルガノシルメチレン;ヘ
キサメチルジシロキサン、ヘキサプロピルジシロ
キサン等のオルガノシロキサン等が代表的であ
る。また有機ケイ素化合物のポリマー、混合物も
使用可能である。 また本発明における遷移金属とは、スカンジウ
ム、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、
鉄、コバルト、ニツケル、イツトリウム、ジルコ
ニウム、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジ
ウム、パラジウム、タンタル、タングステン、レ
ニウム、イリジウム、白金等を指すが、鉄、Ni、
Coが最も効果的である。また遷移金属化合物と
は、上記金属の化合物全般を対象としており、無
機化合物、有機化合物、塩等を含む。しかしこの
中で特に有効に利用できるものは、250℃で0.1mm
Hg以上の蒸気圧を有するか、少くとも一種類以
上の炭素化合物又は有機ケイ素化合物に溶解可能
な化合物である。この条件を満たす化合物は非常
に多く、一部代表的なものを例示する。まず無機
遷移金属化合物としては、(1)単独で気化が可能な
化合物:FeCl3,Fe(NO)3Cl,Fe(NO)2Br,Fe
(NO)2I,FeF3等々。(2)少くとも一種類以上の有
機化合物によつて溶解が可能な化合物:(1)で例示
した化合物の他にFe(NO3)2,FeBr3,Fe
(HCOO)3,C27H42FeN9O12,Fe(SO4)3,Fe
(SCN)3,Fe(NO)3NH3,Co(NO)2Cl,Ni(NO)
Cl,Pd(NO)2Cl2,NiCl2等々。また有機遷移金
属化合物の場合には、遷移金属の有機化合物全般
が対象となる。例えばアルキル基と金属が結合し
たアルキル金属、アリル基と金属が結合したアリ
ル金属、炭素間2重結合や3重結合と金属とが結
合したπ−コンプレツクス、キレート型化合物、
金属とカルボニルの結合した金属カルボニル等が
代表的なものであつて、具体例を一部示すと、ア
ルキル金属として、(C4H9)4Ti,CH2CHCH2Mn
(Co)5,
【式】
(C2H5)2FeBr・(C2H5)FeBr2:
アリル金属として、(C6H5)3PtI;π−コンプレ
ツクスとして、(C5H5)2Fe,(C6H6)2Mo,
(C9H7)2Fe,〔C5H5Fe(Co)2〕2,〔C5H5Fe(Co)2〕
CN,
ツクスとして、(C5H5)2Fe,(C6H6)2Mo,
(C9H7)2Fe,〔C5H5Fe(Co)2〕2,〔C5H5Fe(Co)2〕
CN,
【式】
【式】
次に、本発明に係る炭化ケイ素繊維の製造方法
を添付図面を参照しながら詳説する。 実施例 1 第1図は、実施例1に使用した実験装置の概略
系統図である。アルミナ製反応管34は、内径52
mm、外径60mm、長さ1700mmであつて、長さ1000mm
にわたりヒーターが等間隔に長さ方向に3分割さ
れる。各々独立に温度制御可能な3回路電気炉3
6によつて覆われており、反応管内部温度を
1.150℃に保つように設定した。温度制御可能な
貯留槽14,22,30には、各々
〔(CH3)3Si〕2(ヘキサメチルジシラン)、
(C5H5)2Fe(フエロセン)、C6H12(シクロヘキサ
ン)を入れ、キヤリヤガス導入管10,18,2
6よりH2ガスを導入し、〔(CH3)3Si〕2のガス
とH2ガスとの混合ガス、(C5H5)2Feのガスと
H2ガスとの混合ガス、C6H12のガスとH2ガス
との混合ガスをそれぞれ作製し、更に〜の混
合ガスを混合し、〔(CH3)3Si〕2ガス、(C5H5)2Fe
ガス、C6H12ガス、H2ガスの混合ガスとし、加熱
導入パイプ32により反応管34に連続的に送り
高温反応を行つた。実験は2時間継続し、貯留槽
14,22,30における各々の化合物の減少量
と反応生成物の量を測定した。反応生成物は、反
応管34内部及びフイルター38に捕捉されたも
のを計量した。 結果を表−1に示す。
を添付図面を参照しながら詳説する。 実施例 1 第1図は、実施例1に使用した実験装置の概略
系統図である。アルミナ製反応管34は、内径52
mm、外径60mm、長さ1700mmであつて、長さ1000mm
にわたりヒーターが等間隔に長さ方向に3分割さ
れる。各々独立に温度制御可能な3回路電気炉3
6によつて覆われており、反応管内部温度を
1.150℃に保つように設定した。温度制御可能な
貯留槽14,22,30には、各々
〔(CH3)3Si〕2(ヘキサメチルジシラン)、
(C5H5)2Fe(フエロセン)、C6H12(シクロヘキサ
ン)を入れ、キヤリヤガス導入管10,18,2
6よりH2ガスを導入し、〔(CH3)3Si〕2のガス
とH2ガスとの混合ガス、(C5H5)2Feのガスと
H2ガスとの混合ガス、C6H12のガスとH2ガス
との混合ガスをそれぞれ作製し、更に〜の混
合ガスを混合し、〔(CH3)3Si〕2ガス、(C5H5)2Fe
ガス、C6H12ガス、H2ガスの混合ガスとし、加熱
導入パイプ32により反応管34に連続的に送り
高温反応を行つた。実験は2時間継続し、貯留槽
14,22,30における各々の化合物の減少量
と反応生成物の量を測定した。反応生成物は、反
応管34内部及びフイルター38に捕捉されたも
のを計量した。 結果を表−1に示す。
【表】
【表】
実施例 2
実施例1と同様の装置を使用し反応管内部温度
を1180℃に保つように設定した。バルブ28を閉
じ、温度制御可能な貯留槽14,22には、
〔(CH3)2SiNH〕4(オクタメチルシクロテトラシラ
ジン)、(C9H7)2Feを入れ、キヤリヤガス導入管
10,18よりHeガスを導入し、
〔(CH3)2SiNH〕4ガスとHeガスの混合ガス及び
(C9H7)2FeガスとHeガスの混合ガスを作製し、
更に混合ガス導入管32にて〔(CH3)2SiNH〕4ガ
スと(C9H7)2FeガスとHeガスとの混合ガスと
し、反応管34に導入し高温反応させた。実験は
2時間継続した。表−2に結果を示す。
を1180℃に保つように設定した。バルブ28を閉
じ、温度制御可能な貯留槽14,22には、
〔(CH3)2SiNH〕4(オクタメチルシクロテトラシラ
ジン)、(C9H7)2Feを入れ、キヤリヤガス導入管
10,18よりHeガスを導入し、
〔(CH3)2SiNH〕4ガスとHeガスの混合ガス及び
(C9H7)2FeガスとHeガスの混合ガスを作製し、
更に混合ガス導入管32にて〔(CH3)2SiNH〕4ガ
スと(C9H7)2FeガスとHeガスとの混合ガスと
し、反応管34に導入し高温反応させた。実験は
2時間継続した。表−2に結果を示す。
【表】
実施例 3
第2図は、実施例3に使用した実験装置の概略
系統図である。またアルミナ製反応管60及びヒ
ーター62は実施例−1に使用した装置と同一の
仕様であり、1100℃に設定した。低流量ポンプ装
着貯留槽50及び54には(C5H5)2FeをC6H6に
0.1mole/lの濃度に溶解せしめた溶液及び
〔(CH3)2SiNH〕3(ヘキサメチルシクロトリシラザ
ン)を準備し、各貯留槽に装着された低流量ポン
プ(日機装(株)製インフユージヨンポンプ1P−21)
によつて、各々の溶液を0.1g/min及び0.3g/
minの速度で反応管60に送つた。尚キヤリヤガ
ス導入管58からH2:N2=1:1の組成比のH2
ガスとN2ガスの混合キヤリヤガスを500ml/min
の速度で送つた。実験を1時間実施し微細繊維の
形状、収量、組成(X線回析により測定)を測定
した。 結果を表−3に示す。
系統図である。またアルミナ製反応管60及びヒ
ーター62は実施例−1に使用した装置と同一の
仕様であり、1100℃に設定した。低流量ポンプ装
着貯留槽50及び54には(C5H5)2FeをC6H6に
0.1mole/lの濃度に溶解せしめた溶液及び
〔(CH3)2SiNH〕3(ヘキサメチルシクロトリシラザ
ン)を準備し、各貯留槽に装着された低流量ポン
プ(日機装(株)製インフユージヨンポンプ1P−21)
によつて、各々の溶液を0.1g/min及び0.3g/
minの速度で反応管60に送つた。尚キヤリヤガ
ス導入管58からH2:N2=1:1の組成比のH2
ガスとN2ガスの混合キヤリヤガスを500ml/min
の速度で送つた。実験を1時間実施し微細繊維の
形状、収量、組成(X線回析により測定)を測定
した。 結果を表−3に示す。
第1図は本発明に係る炭素とケイ素からなる微
細繊維の製造方法を実施する第1及び第2実施例
装置の概略系統図、第2図は同じく第3実施例装
置の概略系統図である。 第1図、10……キヤリヤガス導入管、12…
…バルブ、14……温度制御器付有機ケイ素化合
物貯留槽、16……混合ガス導入加熱管、18…
…キヤリヤガス導入管、20……バルブ、22…
…温度制御器付遷移金属化合物貯留槽、24……
混合ガス導入加熱管、26……キヤリヤガス導入
管、28……バルブ、29……混合ガス導入加熱
管、30……温度制御器付炭素化合物貯留槽、3
2……混合ガス導入加熱管、34……反応管、3
6……温度制御可能な3回路電気路、38……繊
維捕集フイルター、40……排気管。第2図、5
0……低流量ポンプ装着溶液貯留槽、52……溶
液導入管、54……低流量ポンプ装着溶液貯留
槽、56……溶液導入管、58……キヤリヤガス
導入管、60……反応管、62……温度制御可能
な3回路電気路、64……繊維捕集フイルター、
66……排気管。
細繊維の製造方法を実施する第1及び第2実施例
装置の概略系統図、第2図は同じく第3実施例装
置の概略系統図である。 第1図、10……キヤリヤガス導入管、12…
…バルブ、14……温度制御器付有機ケイ素化合
物貯留槽、16……混合ガス導入加熱管、18…
…キヤリヤガス導入管、20……バルブ、22…
…温度制御器付遷移金属化合物貯留槽、24……
混合ガス導入加熱管、26……キヤリヤガス導入
管、28……バルブ、29……混合ガス導入加熱
管、30……温度制御器付炭素化合物貯留槽、3
2……混合ガス導入加熱管、34……反応管、3
6……温度制御可能な3回路電気路、38……繊
維捕集フイルター、40……排気管。第2図、5
0……低流量ポンプ装着溶液貯留槽、52……溶
液導入管、54……低流量ポンプ装着溶液貯留
槽、56……溶液導入管、58……キヤリヤガス
導入管、60……反応管、62……温度制御可能
な3回路電気路、64……繊維捕集フイルター、
66……排気管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 遷移金属化合物のガスと有機ケイ素化合物と
炭素化合物のガスとからなる混合ガスを高温で反
応させ、浮遊状態で気相成長繊維を生成させるこ
とを特徴とする炭素とケイ素からなる微細繊維の
製造方法。 2 加熱反応帯域の温度が700〜1400℃である特
許請求の範囲第1項記載の炭素とケイ素からなる
微細繊維の製造方法。 3 遷移金属化合物の金属が第族のFe,Ni,
Coである特許請求の範囲第1項記載の炭素とケ
イ素からなる微細繊維の製造方法。 4 遷移金属化合物が有機金属化合物である特許
請求の範囲第1項記載の炭素とケイ素からなる微
細繊維の製造方法。 5 遷移金属化合物のガスと有機ケイ素化合物の
ガスとからなる混合ガスを高温で反応させ、浮遊
状態で気相成長繊維を生成させることを特徴とす
る炭素とケイ素からなる微細繊維の製造方法。 6 加熱反応帯域の温度が700〜1400℃である特
許請求の範囲第5項記載の炭素とケイ素からなる
微細繊維の製造方法。 7 繊維金属化合物の金属が第族のFe,Ni,
Coである特許請求の範囲第5項記載の炭素とケ
イ素からなる微細繊維の製造方法。 8 遷移金属化合物が有機金属化合物である特許
請求の範囲第5項記載の炭素とケイ素からなる微
細繊維の製造方法。
Priority Applications (4)
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---|---|---|---|
JP59192050A JPS6170013A (ja) | 1984-09-13 | 1984-09-13 | 微細繊維の製造方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
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---|---|
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Family
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US4572813A (en) * | 1983-09-06 | 1986-02-25 | Nikkiso Co., Ltd. | Process for preparing fine carbon fibers in a gaseous phase reaction |
-
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- 1984-09-13 JP JP59192050A patent/JPS6170013A/ja active Granted
-
1985
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- 1985-09-07 DE DE8585111323T patent/DE3583317D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-09-09 US US06/774,015 patent/US4640830A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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JPS599220A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-18 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 炭化けい素繊維の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3583317D1 (de) | 1991-08-01 |
EP0174622A3 (en) | 1988-06-22 |
EP0174622A2 (en) | 1986-03-19 |
JPS6170013A (ja) | 1986-04-10 |
US4640830A (en) | 1987-02-03 |
EP0174622B1 (en) | 1991-06-26 |
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