JPH04129616A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ワイヤ放電加工装置において、被加工物で
ある母材やこの母材から切り取った加工品あるいは加ニ
スクラップを運搬処理する装置の改良に間するものであ
る。

［従来の技術］ 第９図は従来のワイヤ放電加工装置を概略的に示す一部
断面構成図である。図において、１はワイヤ電極、１８
は上部の加工液噴出ノズルであり、径方向に２重構造を
有する磁性体で形成すると共に、この２重構造の磁性体
内にワイヤ電極１と同心状に電磁コイル１９を糾み込ん
で一体化した構成とすることにより加工液噴出ノズル１
８を電磁石として構成し、これによって母材１２やこの
母材１２から切り取った加工品１７（第１０図参照）を
吸着して運搬できるようにする。

すなわち、上部の加工液噴出ノズル１８（マグネットノ
ズル）は、上端にフランジ２０ａを有し、かつ内側のリ
ング状磁路な形成する筒状の内側ヨーク２０と、上端が
フランジ２０ａの内面に当接した状態て内側ヨーク２０
の外側に配設され、かつ内側ヨーク２０との間に環状空
隙を形成すると共に、外側のリング状磁路を形成する筒
状の外側ヨーク２１と、これら内側ヨーク２０と外側ヨ
ーク２１との間の環状空隙内に一体に絹み込まれた外部
へのリード線１９ａを有する電磁コイル１９と、上記環
状空隙の下部開口内に充填され、電磁コイル１９への加
工液の進入を防止するための絶縁性樹脂から成る封止材
２２とから構成される。

また、上部の加工液噴出ノズル１８は、Ｚ軸（図示しな
い）に直結されて上下方向に移動できるように構成され
ている。

また、内側ヨーク２０と外側ヨーク２１は、透磁率の高
い鉄系材料を用いるか、あるいは防錆のためにステンレ
ス系材料を用いるか、もしくは鉄系材料を用いてその表
面に防錆メツキを施している。さらに、ワイヤ放電加工
中の電食な防止するために、全体あるいは一部に絶縁コ
ーティングを行っている。この絶縁コーティングとして
、合成樹脂あるいは耐摩耗性の良いセラミック系のコー
ティングが目標寿命に従って一般的に用いられている。

なお、５はワイヤ電極ｌの上部位置決めガイド、６はワ
イヤ電極ｌの下部位置決めガイド、１５は母材１２の支
持基台（第１１図参照）、１８ａは下部の加工液噴出ノ
ズルである。

第１０図及び第１１図は第９図のワイヤ放電加工装置に
おける動作を示す説明図である。

次に、上記第９図に示す従来のワイヤ放電加工装置の動
作について説明する。第１０図において、加工品１７が
母材１２から完全に切り離された時点でワイヤ電極１を
抜き去った後、電磁コイル１９を励磁すると、内側ヨー
ク２０．外側ヨーク２１及び加工品１７とによって磁路
が形成され、第１０図に破線で示す矢印入方向に磁束が
流れ、これにより加工品１７は磁性体から成る上部の加
工液噴出ノズル１８に吸着された状態となる。

このように、磁性体から成る上部の加工液噴出ノズル１
８による磁力によって吸着された加工品１７は、第１１
図に示されるように母材１２から上方向（矢印Ｂ方向）
へ抜き取られた後、水平方向（矢印Ｃ方向）へ移送され
て加工範囲外へ運び出される。加工品１７の上方向及び
水平方向への運搬は、Ｙ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のサーボ制御に
よって自動的に行われる。

次に、新たに加工品１７の加工を始めたい時には、ワイ
ヤ電極自動挿入装置（図示しない）によって各上部及び
下部の加工液噴出ノズル１８，１８ａ間にワイヤ電極１
を通した後、Ｚ軸制御により上部の加工液噴出ノズル１
８を所定の高さ位置に戻し、Ｙ軸、Ｙ軸制御によって次
の任意形状の加工品１７の加工を再開する。

［発明が解決しようとする課題］ 上記した従来のワイヤ放電加工装置は以上のように構成
されているので、特に母材１２からの加ニスクラップの
処理動作時において、加ニスクラップが磁性体から成る
上部の加工液噴出ノズル１８に確実に吸着されていない
場合に、加ニスクラップの水平方向への運搬動作時（Ｙ
軸、Ｙ軸方向への移動時）に加ニスクラップが落下し、
これにより装置あるいは母材１２などに損傷を与える場
合があるという問題点があった。また、これを防止する
ために上部の加工液噴出ノズル１８による加ニスクラッ
プの吸着動作中に、外部より光センサ等によって吸着の
検出を行うなとの方法か取られていたが、■小形状の加
ニスクラップの吸着を検出することは困難である、■そ
の検出が行われ得る位置が固定ないしは限定される、な
どの問題点があった。

また、上部の加工液噴出ノズル１８によって吸着された
加工品１７の検出、加工品１７の運搬中における加工液
噴出ノズル１８からの脱落の検出、及び加工品１７の加
工品回収箱（図示しない）内への搬出の検出等の各検出
動作が困難であり、その結果、加工品１７の残留等によ
りその後における加工の続行が不可能になるという問題
点かあった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ノズル部分において加工品の吸着あるいは衝
突の検出を確実に行い得ると共に、加工品及び加ニスク
ラップの安定した吸着・除去動作を行うことができるワ
イヤ放電加工装置を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係るワイヤ放電加工装置は、上下−対のノズ
ルのうちで一方のノズルを磁性体で形成し、このノズル
内に電磁コイルを組み込み一体化した構成のノズルを電
磁石として構成すると共に、この電磁石のインピーダン
ス変化を検出するインピーダンス検出手段を設け、ノズ
ル部分において被加工物及び加ニスクラップの吸着ある
いは衝突の検出を行うようにしたものである。

また、この発明のワイヤ放電加工装置は、上下一対のノ
ズルのうちで一方のノズルを磁性体で形成し、このノズ
ル内に電磁コイルを組み込み一体化した構成のノズルを
電磁石として構成すると共に、このノズル内に検出用コ
イルを組み込み、この検出用コイルのインピーダンス変
化を検出するインピーダンス検出手段を設け、ノズル部
分において被加工物及び加ニスクラップの吸着あるいは
衝突の検出を行うようにしたものである。

また、この発明のワイヤ放電加工装置は、一対のノズル
を、加工液を供給する一方の非磁性体から成るノズルと
、このノズルと同軸で、かつ内部に電磁コイルが組み込
まれた他方の磁性体から成るノズルとで構成した２重構
造ノズルとなし、さらに、一方の非磁性体のノズルと他
方の磁性体のノズルとの間に検出装置を設け、ノズル部
分において被加工物及び加ニスクラップの吸着あるいは
衝突の検出を行うようにしたものである。

［作用コ この発明におけるワイヤ放電加工装置は、ワイヤ電極の
送給方向の上流側に位置するノズルは電磁石として構成
され、ノズル内に組み込まれた電磁コイルのインピーダ
ンス変化を検出するインピーダンス検出手段により、ノ
ズル部分において被加工物及び加ニスクラップの吸着あ
るいは衝突の検出を行い、ここで、被加工物及び加ニス
クラップ吸着に失敗した場合においては再度の吸着動作
を繰り返して行い、あるいは動作不良として機械の動作
を−たん停止させるなどの処理を行う。

また、この発明におけるワイヤ放電加工装置は、ワイヤ
電極の送給方向の上流側に位置するノズルは電磁石とし
て構成され、ノズル内に電磁コイルと共に組み込まれた
検出用コイルのインピーダンス変化を検出するインピー
ダンス検出手段により、ノズル部分において被加工物及
び加ニスクラップの吸着あるいは衝突の検出を行い、こ
こで、被加工物及び加ニスクラップの吸着に失敗した場
合においては再度の吸着動作を繰り返して行い、あるい
は動作不良として機械の動作を−たん停止させるなどの
処理を行う。

また、この発明におけるワイヤ放電加工装置は、ワイヤ
電極の送給方向の上流側に位置するノズルは電磁石とし
て構成され、ノズルの内部に検出装置を設けた構成とし
たために、ノズル部分において被加工物及び加ニスクラ
ップの吸着あるいは衝突の検出を行うことができる。

［実施例コ 第１図はこの発明の実施例であるワイヤ放電加工装置を
概略的に示す一部断面構成図で、第９図と同一符号は同
−又は相当部分を示しており、その詳細な説明は省略す
る。図において、２３は電磁コイル１９を着磁するため
の直流電流を供給する直流電源、２４は電磁コイル１９
を脱磁するための交流電流を供給する交流電源、２５は
制御装置、２６はりり、−２７は電磁コイル１９のイン
ピーダンス変化を検出するインピーダンス検出回路であ
る。

次に、上記第１図に示すこの発明の実施例であるワイヤ
放電加工装置の動作について説明する。

上記第１０図に示す従来例と同様に、加工品１７が母材
１２から完全に切り離された時点でワイヤ電極１を抜き
去った後、第１図に示す直流型Ｒ２３をＯＮＬ／て電磁
コイル１９を励磁すると、内側ヨーク２０．外側ヨーク
２１及び加工品１７とによって磁路が形成され、第１０
図に破線で示す矢印入方向に磁束が流れ、これにより加
工品１７は磁性体から成る上部の加工液噴出ノズル１８
に吸着された状態となる。その際、内側ヨーク２０及び
外側ヨーク２１は残留磁束密度の高い磁性体により形成
されているために、電磁コイル１９に数秒間通電した後
は、その通電電流な０ＦＦｂても磁性体の磁力が半永久
的に保持されている状態となる。ついて、制御装置２５
はインピーダンス検出回路２７を作動させ、このインピ
ーダンス検出回路２７により加工液噴出ノズル１８に加
ニスクラップが吸着されているかどうかが検出される。

このように磁性体から成る加工液噴出ノズル１８の磁力
によって吸着された加ニスクラップは、上記従来例と同
様に上方向に抜き取られた後、水平方向へ移送されて加
工範囲外へ運び出される。

ここで、インピーダンス検出回路２７によって加工液噴
出ノズル１８に加ニスクラップが吸着されていないこと
が確認されると、制御装置２５は再び直流電源２３を作
動させて吸着動作を繰り返す再トライ動作を行う。次に
、制御装置２５により交流電源２４がＯＮされると、加
工液噴出ノズル１８を構成する磁性体の脱磁動作を行い
、加ニスクラップを所定位置にて加工液噴出ノズル１８
から離脱させ、これにより加ニスクラップの処理動作が
完了する。また、上記のような再トライ動作を数回行っ
ても吸着が不可能な場合に、制御装置２５はアラーム（
図示しない）を表示すると共に装置のプログラム運転を
停止させる。

第２図及び第３図は第１図のワイヤ放電加工装置におけ
るインピーダンス検出回路として、ブリッジ回路及び発
振回路を利用した場合を示す回路構成図である。第２図
に示すブリッジ回路を使用したインピーダンス検出回路
２７において、２８ａ、２８ｂ、２８ｃはインピーダン
スｚｌ、　　Ｚ２゜Ｚ３を有する既知のインピーダンス
、２９は交流電源、３０は電流検出器、１９は電磁コイ
ル（インピーダンスＺ４）であり、これらによってブリ
ッジ回路が構成されている。

このように構成されたブリッジ回路では、磁性体から成
る加工液噴出ノズル１８であるノズル部分に何にも吸着
されていない状態において、電流検出器３０に流れる電
流がＯとなるように調整されている。上記ノズル部分に
加ニスクラップが吸着された際には、電磁コイル１９の
インピーダンスＺ４が変化するためにブリッジ回路の平
衡状態がくずれ、これにより電流検出器３０に電流が流
れるために吸着の検出を行うことができる。

第３図に示す発振回路を使用したインピーダンス検出回
路２７において、１９は電磁コイル（インピーダンスＺ
ａ）、４０ａ、４０ｂはコンデンサ、４１．４２はトラ
ンジスタ、４３は微分回路、４４！、を波形整形回路で
ある。

上記のように構成されたインピーダンス検出回路２７に
おいて、電磁コイル１９とコンデンサ４０ａ、４０ｂに
より並列共振回路が形成されているため、トランジスタ
４１を介して電流１１を供給することにより、破線で示
す回路りは定常的な発振状態となっている。磁性体から
成る加工液噴出ノズル１８であるノズル部分に加ニスク
ラップが吸着されると、電磁コイル１９のインピーダン
スＺ４が変化するために電流１１が変化する。それに伴
ってトランジスタ４２のベース電流１２も変化し、また
コレクタ電ｔＲ１３及び電圧■８が変化する。微分回路
４３は電圧■８の変化にょリトリガ信号を出力し、さら
にこの出力は波形整形回路４４によりパルス信号に変換
され、その検出信号が制御装置２５（図示しない）に出
力されて検出が完了する。

なお、上記実施例では、磁性体から成る加工液噴出ノズ
ル１８であるノズル部分に加ニスクラップが吸着された
場合の検出動作について説明したが、ノズルの移動動作
時（例えばＺ軸方向の下降動作時）におけるノズルと被
加工物（母材１２）あるいは機械構造物との衝突の検出
も行うことができる。

第４図はこの発明の別の発明の実施例であるワイヤ放電
加工装置を概略的に示す一部断面構成図で、第１図と同
一符号は同−又は相当部分を示しており、その詳細な説
明は省略する。図において、５０は、電磁コイル１９と
共に２重構造を有する磁性体から成る加工液噴出ノズル
１８内に鞘み込まれた外部へのリード線５０ａを有する
検出用コイルである。

第１図に示すこの発明の実施例では、電磁コイル１９の
インピーダンス変化をインピーダンス検出回路２７によ
って検出するものであるのに対し、第４図に示すこの発
明の別の発明の実施例では、電磁コイル１９てはなく検
出用コイル５０のインピーダンス変化をインピーダンス
検出回路２７によって検出するものであり、この点で両
者は構成上で相違しているが、その他の構成及び動作に
ついてはほぼ同様であるので、その詳細な説明は省略す
る。

第５図及び第６図は第４図のワイヤ放電加工装置におけ
るインピーダンス検出回路として、ブリッジ回路及び発
振回路を利用した場合を示す回路構成図である。第５図
に示すブリッジ回路を使用したインピーダンス検出回路
２７、及び第６図に示す発振回路を使用したインピーダ
ンス検出回路２７については、上記第２図及び第３図に
示す各インピーダンス検出回路２７における電磁コイル
１９を単に検出用コイル５０に置き換えただけの回路構
成を備えており、その他の構成及び動作についてはほぼ
同様であるので、その詳細な説明は省略する。

第７図はこの発明の別の発明の実施例であるワイヤ放電
加工装置を概略的に示す一部断面構成図で、第９図と同
一符号は同−又は相当部分を示しており、その詳細な説
明は省略する。図において、３１は非磁性体から成る加
工液用ノズルであり、この加工液用ノズル３１は、２重
構造を有する磁性体が成り、内部に電磁コイル１９を組
み込んだマグネットノズル１８（第１図に示す加工液噴
出ノズル１８に相当する）と同軸的に配設されている。

そして、加工液用ノズル３１とマグネットノズル１８と
の２種類のノズル閏には、例えは検知スイッチ３５　ａ
、　　３５　ｂから成る検出装置３５が設けられている
。また、マグネットノズル１８は取付はベース３３に支
持バネ３４によって支持されているので、上下方向に約
数ｍｍ程度可動できるようになっている。また、マグネ
ットノズル１８の構成は、フランジ２０ａを有し、かつ
内側のリング状磁路を形成する筒状の内側ヨーク２０と
、上端が内側ヨーク２０のフランジ２０ａの内面に当接
した状態で内側ヨーク２０の外側に配設され、かつ内側
ヨーク２０との間に環状空隙を形成すると共に、外側の
リング状磁路を形成する筒状の外側ヨーク２１と、これ
ら内側ヨーク２０と外側ヨーク２１との間の環状空隙内
に一体に組み込まれた外部へのリード線１９ａを有する
電磁コイル１９とにより構成されている。

第８図は第７図のワイヤ放電加工装置における動作を示
す説明図である。

次に、上記第７図に示すこの発明の別の発明の実施例で
あるワイヤ放電加工装置の動作について説明する。第８
図（ａ）に示すように、加工品１７が母材１２から完全
に切り離された時点でワイヤ電極ｌを抜き去った後、電
磁コイル１９を励磁すると、内側ヨーク２０．外側ヨー
ク２１及び加工品１７とによって磁路が形成されるため
に、加工品１７はマグネットノズル１８に吸着された状
態になる。その後第８図（ｂ）に示すように、取付はベ
ース３３を矢印で示す上方向へ上昇させると、マグネッ
トノズル１８は取付はベース３３より遅れて上昇する。

これは、マグネットノズル１８が支持バネ３４によフて
支持されているためである。ここでこの支持バネ３４は
、マグネットノズル１Ｂに何らの吸着物が無い場合に、
検出装置３５から検出信号が出力されない位置になるよ
うな強さに調整しである。マグネットノズル１８に加工
品１７が吸着され、なおかつこの加工品１７を上方向に
引き抜いても加工品１７が脱落しない場合は、加工品１
７を水平方向へ移送して加工範囲外に設けられた加工品
回収箱（図示しない）に加工品１７を回収し、これによ
り加工処理が終了することになる。

以上の記述は正常な動作時の場合であるが、次に異常な
動作時の場合について説明する。例えば、マグネットノ
ズル１８による加工品１７の吸着位置においてこの加工
品１７を吸着できない場合には、検出装置３５から検出
信号が出力されないため、検出信号が出力されないこと
により電磁コイル１９に対する励磁電流を上げてその電
磁力を高め、再度の加工品１７の吸着動作を試行する。

また、加工品１７を加工品回収箱内に回収できない場合
には、検出装置３５の検知スイッチ３５ｂが継続してＯ
Ｎ動作して検出信号が出力され続けるので、電磁コイル
】９に対する励磁電流の方向を変えるなどの方法により
、加工品１７をマグネットノズル１８から引き離すよう
にする。また、加工品１７を加工品回収箱まて移送途中
て加工品】７がマグネットノズル１８から脱落した場合
には、加工品１７がどこに落下したか分からないために
、その場で移送を停止して異常信号を出すようになって
いる。

また、検出装置３５は、マグネットノズル１８による加
工品１７の吸着時に出力する検出信号の他に衝突時に検
出信号を出力することも可能である。これは、マグネッ
トノズル１８が下降中に母材１２等に接触してさらに下
降しようとすると、マグネットノズル１８は上方向へ押
し上げられ、検出装置３５の検知スイッチ３５ａがＯＮ
動作して衝突時の検出信号が出力される。この場合に、
この衝突時の検出信号によってマグネットノズル１８が
下降できないようにすれば良い。

［発明の効果］ 以上述べたように、この発明のワイヤ放電加工装置によ
れば、上下一対のノズルのうちで一方のノズルを磁性体
で形成し、このノズル内に電磁コイルを組み込み一体化
した構成のノズルを電磁石として構成すると共に、この
電磁石のインピーダンス変化を検出するインピーダンス
検出手段を設け、ノズル部分において被加工物及び加ニ
スクラップの吸着あるいは衝突の検出を行うように構成
したので、装置あるいは被加工物の損傷が防止でき、ひ
いては確実な加ニスクラップの処理、自動加工を行うこ
とができるワイヤ放電加工装置が得られるという優れた
効果を奏する。

また、この発明のワイヤ放電加工装置によれば、上下一
対のノズルのうちで一方のノズルを磁性体で形成し、こ
のノズル内に電磁コイルを朝み込み一体化した構成のノ
ズルを電磁石として構成すると共に、このノズル内に検
出用コイルを朝み込み、この検出用コイルのインピーダ
ンス変化を検出するインピーダンス検出手段を設け、ノ
ズル部分において被加工物及び加ニスクラップの吸着あ
るいは衝突の検出を行うように構成したので、装置ある
いは被加工物の損傷が防止でき、ひいては確実な加ニス
クラップ処理、自動加工を行うことができるワイヤ放電
加工装置が得られるという優れた効果を奏する。

また、この発明のワイヤ放電加工装置によれば、一対の
ノズルを、加工液を供給する一方の非磁性体から成るノ
ズルと、このノズルと同軸で、かつ内部に電磁コイルが
組み込まれた他方の磁性体から成るノズルとて構成した
２重構造ノズルとなし、さらに、一方の非磁性体のノズ
ルと他方の磁性体のノズルとの間に検出装置を設け、ノ
ズル部分において被加工物及び加ニスクラップの吸着あ
るいは衝突の検出を行うように構成したので、検出装置
を一対のノズルから構成される２重構造ノズル内に容易
に取り付は得ると共に、この検出装置からの検出信号に
よって異常時における対策を容易に行うことができるの
で、完全な自動加工による運転が可能となるワイヤ放電
加工装置が得られるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例であるワイヤ放電加工装置を
概略的に示す一部断面構成図、第２図及び第３図は第１
図のワイヤ放電加工装置におけるインピーダンス検出回
路として、ブリッジ回路及び発振回路を利用した場合を
示す回路構成図、第４図はこの発明の別の発明の実施例
であるワイヤ放電加工装置を概略的に示す一部断面構成
図、第５図及び第６図は第４図のワイヤ放電加工装置に
おけるインピーダンス検出回路として、ブリッジ回路及
び発振回路を利用した場合を示す回路構成図、第７図は
この発明の別の発明の実施例であるワイヤ放電加工装置
を概略的に示す一部断面構成図、第８図は第７図のワイ
ヤ放電加工装置における動作を示す説明図、第９図は従
来のワイヤ放電加工装置を概略的に示す一部断面構成図
、第１０図及び第１１図は第９図のワイヤ放電加工装置
における動作を示す説明図である。 図において、１・・・ワイヤ電極、５・・・上部位置決
めガイド、６・・・下部位置決めガイド、】２・・・母
材１５−・−支片茎亀 （被加工物ＬＡ１７・・・加工品、１８・・・上部の加
工液噴出ノズル、１８ａ・・・下部の加工液噴出ノズル
、１９・・・電磁コイル、　１９ａ・・・リート線、２
０・・・内側ヨーク、２０ａ・・・フランジ、２１・・
・外側ヨーク、２２・・・封止材、２３・・・直流電源
、２４・・・交流電源、２５・・・制御装置、２６・−
・リレー　２７・・・インピーダンス検出回路、２８　
ａ　＋　　２８　ｂ　＋　　２８　ｃ　・＝既知のイン
ピーダンス、２９・・・交流電源、３０・・・電流検出
器、３１・・・加工液用ノズル、３３・・・取付はベー
ス、３４・・・支持バネ、３５・・・検出装置、３５ａ
。 ３５ｂ・・・検知スイッチ、４０　ａ、　　４０　ｂ・
・・コンデンサ、４１．４２・・・トランジスタ、４３
・・・微分回路、４４・・・波形整形回路、５０・・・
検出用コイル、５０ａ・・・リード線　である。 なお、図中、同一符号は同一　又は相当部分を示す。 代　　理　　人　　　　　　　　　大　　岩　　増　　
雄第 図 １９：　噌１１コイル ２７：　　インピーダンス検出回路 ２８ａ、２Ｂｂ、２Ｂｃ−計知のイン乙°−ダンス２９
：　欠乏１滉 ３０：　ｔ＊砿団暑４ 第 図 １９： ２７： ４０Ｇ、４０ｂ： ４１　４２： り ４３： ４４： を砿コイ）レ インピーダンス検出回路 コンデンサ トランジスタ 歓介回是 兼形整形回給 第 図 インピーグン人梗±回斤 既知のインビータンス 交洗電沈 ｔｆｌＬ捜工器 塗工器コイ）し 第 図 イ〉ど°−グンス捜土回跨 コンテンサ トランジスタ 敷今回跨 液形！形回距 旅比用］イ］し 第 （ａ） −ｉ；ｉｎ＜被加工桝） 力ｎ１否す １郁の加工度咲エノズル 電在１コイフレ 内＠１ヨーク フフンン タト狽り＝３−り 加工＊用ノズ）し 禾４守１ｊベース 支？バネ Ｓ！土荻ｌ 第 図 ｂ よ郭倍厘炭めカイト 丁ｎ位Ｊ１処め力゛イド 母料（梢加工膓） 父性基台 加工面 １８：　　１部の加工溌噴止ノズル １８ａ゛　下ｔＦ／）７７［ＩＴｉｒＩＬｆｆｉノズ′
ル１９：　　電植コイル 手続補正書く自発） 平成 ２、発明の名称 ワイヤ放電加工装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　　　　東京都千代田区丸の内二丁目２番３号。 名　称　　（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４、代理人 住所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 （途線先０３（ｎ１３）３４２１特許部）５、補正の対
象 明細書の「特許請求の範囲」。 「発明の詳細な説明」の欄 ６　補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」を別紙のとおりに補
正する。 （２）同書第８頁第３行目及び第１１行目の「一方の」
を、「少なくとも一方の」と補正する。 （３）同書第２１頁第２行目及び第１４行目の「−方の
」を、「少なくとも一方の」と補正する。 別　　　　　　　　紙 ２、特許請求の範囲 １、上下一対のノズルのうちで少スＬＸ」−Ｌニ一方の
ノズルを磁性体で形成し、このノズル内に電磁コイルを
組み込み一体化した構成のノズルを電磁石として構成し
、この電磁石により被加工物の一部又は全部の吸着・運
搬を可能としたワイヤ放電加工装置において、上記被加
工物の吸着又は衝突の検出を行うために、上記電磁コイ
ルのインピーダンス変化を検出するインピーダンス検出
手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。 ２、上下一対のノズルのうちで／Ｊ−７’　　＞を一方
のノズルを磁性体で形成し、このノズル内に電磁コイル
を組み込み一体化した構成のノズルを電磁石として構成
し、この電磁石により被加工物の一部又は全部の吸着・
運搬を可能としたワイヤ放電加工装置において、上記被
加工物の吸着又は衝突の検出を行うために、上記ノズル
内に検出用コイルを組み込み、この検出用コイルのイン
ピーダンス変化を検出するインピーダンス検出手段を備
えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。 ３、微小間隙を置いて対向させた被加工物とワイヤ電極
との間に電圧を印加して放電を発生させ、上記微小間隙
に一対のノズルから加工液を供給しながら被加工物の放
電加工を行うワイヤ放電加工装置において、上記一対の
ノズルを、加工液を供給する一方の非磁性体から成るノ
ズルと、このノズルと同軸で、かつ内部に電磁コイルが
組み込まれた他方の磁性体から成るノズルとで構成した
２重構造ノズルとなし、この２重構造ノズルにより被加
工物の一部又は全部の吸着・運搬を可能となし、また、
上記２重構造ノズルの内部に、上記被加工物の吸着又は
衝突の検出を行うための検出手段を備えたことを特徴と
するワイヤ放電加工装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、上下一対のノズルのうちで一方のノズルを磁性体で
   形成し、このノズル内に電磁コイルを組み込み一体化し
   た構成のノズルを電磁石として構成し、この電磁石によ
   り被加工物の一部又は全部の吸着・運搬を可能としたワ
   イヤ放電加工装置において、上記被加工物の吸着又は衝
   突の検出を行うために、上記電磁コイルのインピーダン
   ス変化を検出するインピーダンス検出手段を備えたこと
   を特徴とするワイヤ放電加工装置。 ２、上下一対のノズルのうちで一方のノズルを磁性体で
   形成し、このノズル内に電磁コイルを組み込み一体化し
   た構成のノズルを電磁石として構成し、この電磁石によ
   り被加工物の一部又は全部の吸着・運搬を可能としたワ
   イヤ放電加工装置において、上記被加工物の吸着又は衝
   突の検出を行うために、上記ノズル内に検出用コイルを
   組み込み、この検出用コイルのインピーダンス変化を検
   出するインピーダンス検出手段を備えたことを特徴とす
   るワイヤ放電加工装置。 ３、微小間隙を置いて対向させた被加工物とワイヤ電極
   との間に電圧を印加して放電を発生させ、上記微小間隙
   に一対のノズルから加工液を供給しながら被加工物の放
   電加工を行うワイヤ放電加工装置において、上記一対の
   ノズルを、加工液を供給する一方の非磁性体から成るノ
   ズルと、このノズルと同軸で、かつ内部に電磁コイルが
   組み込まれた他方の磁性体から成るノズルとで構成した
   ２重構造ノズルとなし、この２重構造ノズルにより被加
   工物の一部又は全部の吸着・運搬を可能となし、また、
   上記２重構造ノズルの内部に、上記被加工物の吸着又は
   衝突の検出を行うための検出手段を備えたことを特徴と
   するワイヤ放電加工装置。