JPH0412634B2 - - Google Patents
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- JPH0412634B2 JPH0412634B2 JP59162670A JP16267084A JPH0412634B2 JP H0412634 B2 JPH0412634 B2 JP H0412634B2 JP 59162670 A JP59162670 A JP 59162670A JP 16267084 A JP16267084 A JP 16267084A JP H0412634 B2 JPH0412634 B2 JP H0412634B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/875—Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
Landscapes
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は変位発生素子、焦電素子、あるいは振
動子として使用できる柔軟性に優れた圧電素子に
係り、特に高分子圧電体と可撓性電極シートと保
護膜よりなり、信号取り出しや電圧印加のための
リード線を直接ハンダ付けすることが可能な可撓
性圧電素子に関する。
動子として使用できる柔軟性に優れた圧電素子に
係り、特に高分子圧電体と可撓性電極シートと保
護膜よりなり、信号取り出しや電圧印加のための
リード線を直接ハンダ付けすることが可能な可撓
性圧電素子に関する。
高分子圧電体は薄膜形成が容易で、且つ可撓性
を有するので、省スペースで取り付けることがで
き、特に屈曲部への取り付けが容易であり、大き
な変形を与えることができる等の優れた性質を有
している。
を有するので、省スペースで取り付けることがで
き、特に屈曲部への取り付けが容易であり、大き
な変形を与えることができる等の優れた性質を有
している。
高分子圧電体の表面から電極を通して電気信号
を取り出したり、あるいは電極に電圧を印加して
変位を生じせしめるために、両電極に信号取り出
しや電圧印加のためのリード線を接続する場合が
ある。
を取り出したり、あるいは電極に電圧を印加して
変位を生じせしめるために、両電極に信号取り出
しや電圧印加のためのリード線を接続する場合が
ある。
しかし高分子圧電体は低い軟化温度を有してい
るので、高温度に耐える無機圧電体のようにその
両電極にリード線を直接ハンダ付けすることがで
きない欠点を有している。また、ソケツトに高分
子圧電体を直接挿入してその電極よりソケツトを
通して信号を取り出そうとしても、高分子圧電体
の種類にもよるが、柔らか過ぎて挿入できない
か、あるいは硬いが脆くて繰り返しの挿入・抜き
出しに耐えられない等の欠点を有している。
るので、高温度に耐える無機圧電体のようにその
両電極にリード線を直接ハンダ付けすることがで
きない欠点を有している。また、ソケツトに高分
子圧電体を直接挿入してその電極よりソケツトを
通して信号を取り出そうとしても、高分子圧電体
の種類にもよるが、柔らか過ぎて挿入できない
か、あるいは硬いが脆くて繰り返しの挿入・抜き
出しに耐えられない等の欠点を有している。
従来は高分子圧電体の両電極にリード線を接続
するため第５図Ａ〜Ｃに示すような手段が用いら
れている。
するため第５図Ａ〜Ｃに示すような手段が用いら
れている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
第５図Ａの例は高分子圧電体１の両電極２ａ，
２ｂにリード線３ａ，３ｂを導電性接着剤４によ
つて接着した場合である。導電性接着剤４は高分
子圧電体１の可撓性を損なわないようにその一部
にのみ塗布されるので、リード線３ａ，３ｂと電
極２ａ，２ｂとの接着強度は弱く、特に振動子と
して用いるにはその接着強度が不足し耐久性に欠
ける欠点がある。また、曲げ変形時に圧電体１の
両面に発生する電荷量がほぼ等しくなるため小さ
な出力信号しか得られないという致命的な欠点が
ある。
２ｂにリード線３ａ，３ｂを導電性接着剤４によ
つて接着した場合である。導電性接着剤４は高分
子圧電体１の可撓性を損なわないようにその一部
にのみ塗布されるので、リード線３ａ，３ｂと電
極２ａ，２ｂとの接着強度は弱く、特に振動子と
して用いるにはその接着強度が不足し耐久性に欠
ける欠点がある。また、曲げ変形時に圧電体１の
両面に発生する電荷量がほぼ等しくなるため小さ
な出力信号しか得られないという致命的な欠点が
ある。
第５図Ｂの例は高分子圧電体１の両面に電極を
兼ねに導電性ゴムシート５ａ，５ｂを圧着させ、
この導電性ゴムシート５ａ，５ｂと高分子圧電体
１との間にそれぞれ部分的に金属片６ａ，６ｂを
挿入し、この各金属片６ａ，６ｂにリード線３
ａ，３ｂをハンダ付けする場合である。低い導体
抵抗を実現するため導電性ゴムシート５ａ，５ｂ
は、例えば両面合わせて１mm以上の厚さになつて
しまい、大きな変位を生じせしめることが困難に
なり、省スペースで取り付けることができなくな
る欠点がある。また、曲げ変形時の信号を大きく
するには相対する導電性ゴムシート５ａ，５ｂの
厚さに大差をつけなければならないなど構造上の
欠点を有している。
兼ねに導電性ゴムシート５ａ，５ｂを圧着させ、
この導電性ゴムシート５ａ，５ｂと高分子圧電体
１との間にそれぞれ部分的に金属片６ａ，６ｂを
挿入し、この各金属片６ａ，６ｂにリード線３
ａ，３ｂをハンダ付けする場合である。低い導体
抵抗を実現するため導電性ゴムシート５ａ，５ｂ
は、例えば両面合わせて１mm以上の厚さになつて
しまい、大きな変位を生じせしめることが困難に
なり、省スペースで取り付けることができなくな
る欠点がある。また、曲げ変形時の信号を大きく
するには相対する導電性ゴムシート５ａ，５ｂの
厚さに大差をつけなければならないなど構造上の
欠点を有している。
第５図Ｃの例は高分子圧電体１の両面にリード
線接続部７ａ，７ｂを有する金属箔よりなる薄い
電極８ａ，８ｂを添着し、その各リード接続部７
ａ，７ｂにリード線３ａ、３ｂをハンダ付けする
場合である。これでは素子全体が硬くなつてしま
い、大きな曲げ変位を必要とする素子には不適当
である。素子に柔軟性をもたせるため電極８ａ，
８ｂを薄くし過ぎると、リード接続部７ａ，７ｂ
の強度が低下し使用に耐えない欠点を生じる。
線接続部７ａ，７ｂを有する金属箔よりなる薄い
電極８ａ，８ｂを添着し、その各リード接続部７
ａ，７ｂにリード線３ａ、３ｂをハンダ付けする
場合である。これでは素子全体が硬くなつてしま
い、大きな曲げ変位を必要とする素子には不適当
である。素子に柔軟性をもたせるため電極８ａ，
８ｂを薄くし過ぎると、リード接続部７ａ，７ｂ
の強度が低下し使用に耐えない欠点を生じる。
本発明はかかる従来例の欠点に鑑みてなされた
ものであつて、その目的とするところは、厚さが
薄く可撓性と機械的強度に優れ適度の剛性を有
し、省スペースで取り付けることができると共に
大きな変位を生じせしめたり、大きな曲げ変位を
与えたりすることができ、大きな信号出力を得る
ことができることは勿論、リード線を十分な強度
で取り付けることができ、かつリード部のソケツ
トへの挿入・抜き出しも容易に行える可撓性圧電
素子を提供することである。
ものであつて、その目的とするところは、厚さが
薄く可撓性と機械的強度に優れ適度の剛性を有
し、省スペースで取り付けることができると共に
大きな変位を生じせしめたり、大きな曲げ変位を
与えたりすることができ、大きな信号出力を得る
ことができることは勿論、リード線を十分な強度
で取り付けることができ、かつリード部のソケツ
トへの挿入・抜き出しも容易に行える可撓性圧電
素子を提供することである。
本発明素子は上記の目的を達成するため、第１
図及び第２図示のように一方の面に薄膜電極１１
ａを有する高分子圧電体１と、この高分子圧電体
１の一方の面の薄膜電極１１ａに接続される薄膜
リード部１３ａと、高分子圧電体１の他方の面に
接合するリード部１３ｂを有する薄膜電極１１と
を備えた可撓性電極シート９と、高分子圧電体１
の一方の面の薄膜電極１１ａと薄膜リード部１３
ａに跨がつて接合された接続用導電体１２と、こ
の接続用導電体１２の表面と高分子圧電体１の一
方の面の薄膜電極１１ａ露出面に接合された保護
膜１０とよりなる構成としたもので、薄形部品の
使用により素子全体の厚さを薄く可撓性と機械的
強度に優れ適度の剛性を有するものとすることが
できると共に、両リード部１３ａ，１３ｂにリー
ド線を接続したり、ソケツトに両リード部１３
ａ，１３ｂを挿入し、これより抜き出したりする
ことができるようにしたものである。
図及び第２図示のように一方の面に薄膜電極１１
ａを有する高分子圧電体１と、この高分子圧電体
１の一方の面の薄膜電極１１ａに接続される薄膜
リード部１３ａと、高分子圧電体１の他方の面に
接合するリード部１３ｂを有する薄膜電極１１と
を備えた可撓性電極シート９と、高分子圧電体１
の一方の面の薄膜電極１１ａと薄膜リード部１３
ａに跨がつて接合された接続用導電体１２と、こ
の接続用導電体１２の表面と高分子圧電体１の一
方の面の薄膜電極１１ａ露出面に接合された保護
膜１０とよりなる構成としたもので、薄形部品の
使用により素子全体の厚さを薄く可撓性と機械的
強度に優れ適度の剛性を有するものとすることが
できると共に、両リード部１３ａ，１３ｂにリー
ド線を接続したり、ソケツトに両リード部１３
ａ，１３ｂを挿入し、これより抜き出したりする
ことができるようにしたものである。
高分子圧電体１としては、例えばポリアセター
ル樹脂とアクリロニトリル・ブタジエンラバーの
混合物等のプラスチツクにチタン酸・ジルコン酸
鉛やチタン酸鉛もしくはチタン酸バリウム等の強
誘電性セラミツクスの微粉末を分散させ、これを
高電圧下で分極処理して得られた圧電体、あるい
はポリ弗化ビニリデン樹脂やポリ（シアン化ビニ
リデン・酢酸ビニル）共重合体樹脂のキヤストフ
イルムもしくは加熱成形フイルムを延伸した配向
フイルム等を高電圧下で分極処理して得られた圧
電体を用いることができるが、延伸工程を経るこ
とにより得られた配向性を有する圧電体をユニモ
ルフ型素子として用いる場合には、配向と直角方
向には小さな圧電性しか得られないので、その延
伸方向が素子の屈曲方向と同一方向となるように
構成する必要がある。また本発明の構成による素
子を可撓性を有する焦電素子として屈曲部に貼付
して用いる場合には方向に留意する必要がないこ
とは記す迄もない。
ル樹脂とアクリロニトリル・ブタジエンラバーの
混合物等のプラスチツクにチタン酸・ジルコン酸
鉛やチタン酸鉛もしくはチタン酸バリウム等の強
誘電性セラミツクスの微粉末を分散させ、これを
高電圧下で分極処理して得られた圧電体、あるい
はポリ弗化ビニリデン樹脂やポリ（シアン化ビニ
リデン・酢酸ビニル）共重合体樹脂のキヤストフ
イルムもしくは加熱成形フイルムを延伸した配向
フイルム等を高電圧下で分極処理して得られた圧
電体を用いることができるが、延伸工程を経るこ
とにより得られた配向性を有する圧電体をユニモ
ルフ型素子として用いる場合には、配向と直角方
向には小さな圧電性しか得られないので、その延
伸方向が素子の屈曲方向と同一方向となるように
構成する必要がある。また本発明の構成による素
子を可撓性を有する焦電素子として屈曲部に貼付
して用いる場合には方向に留意する必要がないこ
とは記す迄もない。
高分子圧電体１の一方の面には薄膜電極１１ａ
を必要とするが、他方の面には設けなくてもよ
い。この場合、可撓性電極シート９の薄膜電極１
１が高分子圧電体１の他方の薄膜電極を兼ねるこ
とになるが、高分子圧電体１との接触を良好にす
るため、高分子圧電体１の他方の面にも図示のよ
うに薄膜電極１１ｂを設けることが望ましい。薄
膜電極１１ａ，１１ｂは蒸着やスパツタリング等
の公知の方法によつて高分子圧電体１の面に設け
られる。
を必要とするが、他方の面には設けなくてもよ
い。この場合、可撓性電極シート９の薄膜電極１
１が高分子圧電体１の他方の薄膜電極を兼ねるこ
とになるが、高分子圧電体１との接触を良好にす
るため、高分子圧電体１の他方の面にも図示のよ
うに薄膜電極１１ｂを設けることが望ましい。薄
膜電極１１ａ，１１ｂは蒸着やスパツタリング等
の公知の方法によつて高分子圧電体１の面に設け
られる。
可撓性電極シート９はフレキシブル・プリン
ト・サーキツト（FPC）と呼ばれているもので、
高分子圧電体１を保持すると共に、信号取り出し
や電圧印加のための役目を果たし、高分子フイル
ム１４上に薄膜リード部１３ａと、リード部１３
ｂを有する薄膜電極１１が形成されてなるもので
ある。
ト・サーキツト（FPC）と呼ばれているもので、
高分子圧電体１を保持すると共に、信号取り出し
や電圧印加のための役目を果たし、高分子フイル
ム１４上に薄膜リード部１３ａと、リード部１３
ｂを有する薄膜電極１１が形成されてなるもので
ある。
薄膜リード部１３ａと薄膜電極１１は、高分子
フイルム１４に金属箔を接着し、この金属箔をエ
ツチングすることにより所要パターンに形成する
ことができる。
フイルム１４に金属箔を接着し、この金属箔をエ
ツチングすることにより所要パターンに形成する
ことができる。
高分子フイルムとしては厚さ25〜50μｍのポリ
イミドや厚さ50〜250μｍのポリエステルあるい
はナイロンなどの耐薬品性、耐熱性に優れ、また
剛性が高く機械的強度の大きなプラスチツクフイ
ルムが用いられ、金属箔としては厚さ35μｍ程度
の銅箔等が用いられる。
イミドや厚さ50〜250μｍのポリエステルあるい
はナイロンなどの耐薬品性、耐熱性に優れ、また
剛性が高く機械的強度の大きなプラスチツクフイ
ルムが用いられ、金属箔としては厚さ35μｍ程度
の銅箔等が用いられる。
リード部１３ａ，１３ｂはフイルム１４の端部
に形成されるが、第１図示のように同一面上に隣
接して並設しても、また第３、第４図示のように
スルーホールなどの公知技術により一方のリード
部１３ｂを他方のリード部１３ａ側とは反対の面
に相対向して並設してもよい。
に形成されるが、第１図示のように同一面上に隣
接して並設しても、また第３、第４図示のように
スルーホールなどの公知技術により一方のリード
部１３ｂを他方のリード部１３ａ側とは反対の面
に相対向して並設してもよい。
接続用導電体１２としては銅箔導電塗料等が用
いられ、保護膜１０としては可撓性電極シート９
と共に内部を保護するもので、可撓性を有し、高
分子圧電体１よりも弾性率の小さいものが圧電素
子の特性を損なわないので好ましく、上記高分子
フイルム１４と同様のものあるいはシリコンゴム
などの可撓性シートや各種のコーテイング剤を用
いることができる。
いられ、保護膜１０としては可撓性電極シート９
と共に内部を保護するもので、可撓性を有し、高
分子圧電体１よりも弾性率の小さいものが圧電素
子の特性を損なわないので好ましく、上記高分子
フイルム１４と同様のものあるいはシリコンゴム
などの可撓性シートや各種のコーテイング剤を用
いることができる。
高分子圧電体１、可撓性電極シート９及び接続
用導電体１２の相互の導電部間は可撓性を有し圧
電特性を低下させない公知の各種導電性粘着剤や
接着剤によつて接着されるが、高分子圧電体１に
生じた表面電荷を有効にシート９上のリード部１
３ａ，１３ｂに集め、またリード線あるいはソケ
ツトを通じて該シート９上のリード部１３ａ，１
３ｂに供給された電気信号を有効に高分子圧電体
１に印加するため、粘着剤や接着剤の厚さは電気
信号を伝えるに充分な厚さにすることが好まし
い。絶縁性粘着剤や接着剤を用いることもできる
が、この場合は部分的に接着し、導通状態を確保
し信号の取り出しや電圧印加ができるようにする
ことは勿論である。
用導電体１２の相互の導電部間は可撓性を有し圧
電特性を低下させない公知の各種導電性粘着剤や
接着剤によつて接着されるが、高分子圧電体１に
生じた表面電荷を有効にシート９上のリード部１
３ａ，１３ｂに集め、またリード線あるいはソケ
ツトを通じて該シート９上のリード部１３ａ，１
３ｂに供給された電気信号を有効に高分子圧電体
１に印加するため、粘着剤や接着剤の厚さは電気
信号を伝えるに充分な厚さにすることが好まし
い。絶縁性粘着剤や接着剤を用いることもできる
が、この場合は部分的に接着し、導通状態を確保
し信号の取り出しや電圧印加ができるようにする
ことは勿論である。
接続用導電体１２として金属箔を用いた場合の
接着には導電性粘着剤あるいは接着剤付きのもの
を用いると、金属箔が補強され施工性が増大する
ので好ましい。金属箔１２の接着によつてリード
部１３ａ，１３ｂが導通する場合には、第１図示
のようにリード部１３ｂの当該部分に絶縁塗料１
５を塗布すればよい。
接着には導電性粘着剤あるいは接着剤付きのもの
を用いると、金属箔が補強され施工性が増大する
ので好ましい。金属箔１２の接着によつてリード
部１３ａ，１３ｂが導通する場合には、第１図示
のようにリード部１３ｂの当該部分に絶縁塗料１
５を塗布すればよい。
保護膜１０としてシートを用いる場合の接着に
は公知の各種粘着剤や接着剤を用いることがで
き、また、シートに代えてリード部１３ａ，１３
ｂの端部を除く素子全体に絶縁塗料を塗布するこ
とにより保護膜を形成することもできる。
は公知の各種粘着剤や接着剤を用いることがで
き、また、シートに代えてリード部１３ａ，１３
ｂの端部を除く素子全体に絶縁塗料を塗布するこ
とにより保護膜を形成することもできる。
本発明によつて構成された可撓性圧電素子は、
例えば素子に曲げ変形あるいは振動を与えると高
分子圧電体１の相対する面に異なつた力学的歪を
与えることができ、リード部１３ａ，１３ｂより
大きな信号出力を得ることができる。また、リー
ド部１３ａ，１３ｂ間に交流電圧を印加すると、
交流電圧が高分子圧電体１の両面に加わり、その
周波数に同期して素子を振動させることができ
る。
例えば素子に曲げ変形あるいは振動を与えると高
分子圧電体１の相対する面に異なつた力学的歪を
与えることができ、リード部１３ａ，１３ｂより
大きな信号出力を得ることができる。また、リー
ド部１３ａ，１３ｂ間に交流電圧を印加すると、
交流電圧が高分子圧電体１の両面に加わり、その
周波数に同期して素子を振動させることができ
る。
信号の取り出しや電圧印加のためリード線を接
続する場合は、リード部１３ａ，１３ｂにリード
線をハンダ付けにより接続し、またソケツトを用
いる場合にはリード部１３ａ，１３ｂをソケツト
に挿入すればよい。この場合、素子は柔軟性と適
度の剛性を有しているので、リード部１３ａ，１
３ｂのソケツトへの挿入・抜き出しも容易に行え
るものである。
続する場合は、リード部１３ａ，１３ｂにリード
線をハンダ付けにより接続し、またソケツトを用
いる場合にはリード部１３ａ，１３ｂをソケツト
に挿入すればよい。この場合、素子は柔軟性と適
度の剛性を有しているので、リード部１３ａ，１
３ｂのソケツトへの挿入・抜き出しも容易に行え
るものである。
第１図は本発明素子の第１実施例を示す部分分
解斜視図、第２図はその断面図である。
解斜視図、第２図はその断面図である。
第１、第２図において１は高分子圧電体、１１
ａ，１１ｂはその薄膜電極である。９は可撓性電
極シートで、高分子フイルム１４の一面に、一方
の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リード部１３
ａと、他方の薄膜電極１１ｂに接着される、リー
ド部１３ｂを有する薄膜電極１１とを、両リード
部１３ａ，１３ｂが一端部に幅方向に隣接して並
設されるよう形成してなるものである。
ａ，１１ｂはその薄膜電極である。９は可撓性電
極シートで、高分子フイルム１４の一面に、一方
の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リード部１３
ａと、他方の薄膜電極１１ｂに接着される、リー
ド部１３ｂを有する薄膜電極１１とを、両リード
部１３ａ，１３ｂが一端部に幅方向に隣接して並
設されるよう形成してなるものである。
１２は導電性粘着剤付き銅箔、１０は高分子フ
イルムよりなる保護シートである。
イルムよりなる保護シートである。
そして可撓性電極シート９の薄膜電極１１に高
分子圧電体１の他方の薄膜電極１１ｂを導電性接
着剤によつて接着し、その一方の薄膜電極１１ａ
と薄膜リード部１３ａを両者に跨がつて導電性粘
着剤付き銅箔１２を接着して接続すると共に、こ
の銅箔１２の表面と一方の薄膜電極１１ａの露出
面に保護シート１０を接着剤によつて接着せしめ
る。１５は絶縁塗料である。
分子圧電体１の他方の薄膜電極１１ｂを導電性接
着剤によつて接着し、その一方の薄膜電極１１ａ
と薄膜リード部１３ａを両者に跨がつて導電性粘
着剤付き銅箔１２を接着して接続すると共に、こ
の銅箔１２の表面と一方の薄膜電極１１ａの露出
面に保護シート１０を接着剤によつて接着せしめ
る。１５は絶縁塗料である。
第３図は第２実施例を示す部分分解斜視図、第
４図はその断面図である。
４図はその断面図である。
この第２実施例では高分子フイルム１４の一面
に、一方の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リー
ド部１３ａと、他方の薄膜電極１１ｂに接着され
る薄膜電極１１とを長さ方向に隣接するよう形成
し、高分子フイルム１４の他面において一面の薄
膜電極１１とスルーホールで連通するリード部１
３ｂをリード部１３ａと相対向して形成してなる
可撓性電極シート９を用いる以外、第１実施例と
同様に構成されている。
に、一方の薄膜電極１１ａに接続される薄膜リー
ド部１３ａと、他方の薄膜電極１１ｂに接着され
る薄膜電極１１とを長さ方向に隣接するよう形成
し、高分子フイルム１４の他面において一面の薄
膜電極１１とスルーホールで連通するリード部１
３ｂをリード部１３ａと相対向して形成してなる
可撓性電極シート９を用いる以外、第１実施例と
同様に構成されている。
上記のような構成の第１、第２実施例による可
撓性圧電素子は、信号取り出しや電圧印加のた
め、リード部１３ａ，１３ｂにリード線を接続
し、あるいはリード部１３ａ，１３ｂをソケツト
に差し込むことにより外部電気回路と接続するこ
とができる。
撓性圧電素子は、信号取り出しや電圧印加のた
め、リード部１３ａ，１３ｂにリード線を接続
し、あるいはリード部１３ａ，１３ｂをソケツト
に差し込むことにより外部電気回路と接続するこ
とができる。
具体例を示すと、高分子圧電体１としてポリア
セタール樹脂とアクリロニトリル・ブタジエンラ
バーの混合物にチタン酸・ジルコン酸鉛やチタン
酸鉛・チタン酸バリウム等の強誘電性セラミツク
スの微粉末を分散させ、これを高電圧下で分極処
理して得られた厚さ100μｍ、幅10mm、長さ30mm
の大きさを有し圧電定数d31＝17PC／Ｎである圧
電体の両面に蒸着法によりアルミ薄膜電極１１
ａ，１１ｂを形成したものを用い、可撓性電極シ
ート９として厚さ150μｍ、幅10mm、長さ50mmの
大きさのポリエステルフイルム１４の一面に、銅
薄膜リード部１３ａと薄膜電極１１とを35μｍの
厚さに長さ方向に隣接するよう形成し、該フイル
ム１４の他面に薄膜電極１１とスルーホールで連
通するリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向
して形成したものを用い、接続用金属箔１２とし
て厚さ35μｍ、縦10mm、横10mmの大きさの銅箔を
用い、保護シート１０として厚さ10μｍ、幅10
mm、長さ40mmの大きさのポリエステルフイルムを
用いて本発明素子を構成し、素子先端に１mmP-P
の変位を与えたところ、0.25VP-Pの電圧が得られ
た。
セタール樹脂とアクリロニトリル・ブタジエンラ
バーの混合物にチタン酸・ジルコン酸鉛やチタン
酸鉛・チタン酸バリウム等の強誘電性セラミツク
スの微粉末を分散させ、これを高電圧下で分極処
理して得られた厚さ100μｍ、幅10mm、長さ30mm
の大きさを有し圧電定数d31＝17PC／Ｎである圧
電体の両面に蒸着法によりアルミ薄膜電極１１
ａ，１１ｂを形成したものを用い、可撓性電極シ
ート９として厚さ150μｍ、幅10mm、長さ50mmの
大きさのポリエステルフイルム１４の一面に、銅
薄膜リード部１３ａと薄膜電極１１とを35μｍの
厚さに長さ方向に隣接するよう形成し、該フイル
ム１４の他面に薄膜電極１１とスルーホールで連
通するリード部１３ｂをリード部１３ａと相対向
して形成したものを用い、接続用金属箔１２とし
て厚さ35μｍ、縦10mm、横10mmの大きさの銅箔を
用い、保護シート１０として厚さ10μｍ、幅10
mm、長さ40mmの大きさのポリエステルフイルムを
用いて本発明素子を構成し、素子先端に１mmP-P
の変位を与えたところ、0.25VP-Pの電圧が得られ
た。
上述のように本発明素子によれば、高分子圧電
体１、可撓性電極シート９、接続用導電体１２及
び保護膜１０等の薄形部分で構成さるているの
で、素子全体の厚さを薄く可撓性と機械的強度に
優れ、適度の剛性を有するものとすることができ
るため、省スペースで取り付けることができると
共に、大きな変位を生じせしめたり、大きな曲げ
変位を与えたりすることができ、大きな信号出力
を得ることができることは勿論、リード部１３
ａ，１３ｂにリード線をハンダ付け等により十分
な強度で取り付けることができ、かつリード部１
３ａ，１３ｂのソケツトへの挿入・抜き出しも容
易に行えるという効果を奏する。
体１、可撓性電極シート９、接続用導電体１２及
び保護膜１０等の薄形部分で構成さるているの
で、素子全体の厚さを薄く可撓性と機械的強度に
優れ、適度の剛性を有するものとすることができ
るため、省スペースで取り付けることができると
共に、大きな変位を生じせしめたり、大きな曲げ
変位を与えたりすることができ、大きな信号出力
を得ることができることは勿論、リード部１３
ａ，１３ｂにリード線をハンダ付け等により十分
な強度で取り付けることができ、かつリード部１
３ａ，１３ｂのソケツトへの挿入・抜き出しも容
易に行えるという効果を奏する。
第１図は本発明素子の第１実施例を示す部分分
解斜視図、第２図はその断面図、第３図は第２実
施例を示す部分分解斜視図、第４図はその断面
図、第５図Ａ〜Ｃは従来素子の各例を示す斜視図
である。 １……高分子圧電体、９……可撓性電極シー
ト、１０……保護膜、１１ａ，１１ｂ，１１……
薄膜電極、１２……接続用導電体、１３ａ……薄
膜リード部、１３ｂ……リード部。
解斜視図、第２図はその断面図、第３図は第２実
施例を示す部分分解斜視図、第４図はその断面
図、第５図Ａ〜Ｃは従来素子の各例を示す斜視図
である。 １……高分子圧電体、９……可撓性電極シー
ト、１０……保護膜、１１ａ，１１ｂ，１１……
薄膜電極、１２……接続用導電体、１３ａ……薄
膜リード部、１３ｂ……リード部。
Claims (1)
- １ 一方の面に薄膜電極１１ａを有する高分子圧
電体１と、この高分子圧電体１の一方の面の薄膜
電極１１ａに接続される薄膜リード部１３ａと、
高分子圧電体１の他方の面に接合するリード部１
３ｂを有する薄膜電極１１とを備えた可撓性電極
シート９と、高分子圧電体１の一方の面の薄膜電
極１１ａと薄膜リード部１３ａに跨がつて接合さ
れた接続用導電体１２と、この接続用導電体１２
の表面と高分子圧電体１の一方の面の薄膜電極１
１ａ露出面に接合された保護膜１０とよりなる可
撓性圧電素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267084A JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16267084A JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6140071A JPS6140071A (ja) | 1986-02-26 |
| JPH0412634B2 true JPH0412634B2 (ja) | 1992-03-05 |
Family
ID=15759049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16267084A Granted JPS6140071A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 可撓性圧電素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6140071A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7105988B2 (en) | 2003-04-30 | 2006-09-12 | Vibration-X Di Bianchini Emanulee E C. Sas | Piezoelectric device and method to manufacture a piezoelectric device |
| WO2017013224A1 (en) | 2015-07-21 | 2017-01-26 | Koninklijke Philips N.V. | Transducer laminate |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16267084A patent/JPS6140071A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6140071A (ja) | 1986-02-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |