JPH04125387A - 二重ベローズフレキシブル管 - Google Patents
二重ベローズフレキシブル管Info
- Publication number
- JPH04125387A JPH04125387A JP2242537A JP24253790A JPH04125387A JP H04125387 A JPH04125387 A JP H04125387A JP 2242537 A JP2242537 A JP 2242537A JP 24253790 A JP24253790 A JP 24253790A JP H04125387 A JPH04125387 A JP H04125387A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- pressure
- small diameter
- small
- pressure difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pipe Accessories (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、内外圧力差が大きな場合に、可撓性導管とし
て使用できる二重ベローズフレキシブル管に関するもの
である。
て使用できる二重ベローズフレキシブル管に関するもの
である。
真空を利用する装置と真空ポンプとの間を接続するには
、通常、ベロ、−ズと称する可撓性導管を用いている。
、通常、ベロ、−ズと称する可撓性導管を用いている。
上記可撓性導管は、一般に断面形状が７字状に形成され
た金属板からなる多数の円環を重ね合わせて、外周縁を
それぞれ接合し、多くのひだをちょうちん状に形成した
導管であって、上記導管の内部または外部に圧力を加え
ると、外周部のひだが弾性変形して軸方向に伸縮し、上
記圧力を吸収する（機械工学便覧、Ｃ４−５０、日本機
械学会発行（１９８９年））とともに、連結した振動源
の振動を吸収して（特開昭６２−２６１７２８号）他の
機器や装置等に振動が伝わり戴くしている。
た金属板からなる多数の円環を重ね合わせて、外周縁を
それぞれ接合し、多くのひだをちょうちん状に形成した
導管であって、上記導管の内部または外部に圧力を加え
ると、外周部のひだが弾性変形して軸方向に伸縮し、上
記圧力を吸収する（機械工学便覧、Ｃ４−５０、日本機
械学会発行（１９８９年））とともに、連結した振動源
の振動を吸収して（特開昭６２−２６１７２８号）他の
機器や装置等に振動が伝わり戴くしている。
上記従来技術では、外周部を形成するひだが弾性変形し
て軸方向に伸縮するが、この伸縮には限界があり、大気
中にさらされた上記ベローズの内側の圧力が真空状態に
なると、上記ベローズの内外圧力差は、通常の伸縮によ
る吸収をこえる状態になり、上記ベローズを利用した可
撓性導管の末端における微細な調整が困難で、真空利用
装置の接続部に不具合を生じていた。上記圧力差は、上
記例とは逆に、可撓性導管の内部圧力が外部圧力より大
きい場合にも、もちろん同様に支障を生じることがある
。
て軸方向に伸縮するが、この伸縮には限界があり、大気
中にさらされた上記ベローズの内側の圧力が真空状態に
なると、上記ベローズの内外圧力差は、通常の伸縮によ
る吸収をこえる状態になり、上記ベローズを利用した可
撓性導管の末端における微細な調整が困難で、真空利用
装置の接続部に不具合を生じていた。上記圧力差は、上
記例とは逆に、可撓性導管の内部圧力が外部圧力より大
きい場合にも、もちろん同様に支障を生じることがある
。
本発明は、内外の圧力差が大きな状態でも安全に使用で
きる、二重ベローズフレキシブル管を得ることを目的と
する。
きる、二重ベローズフレキシブル管を得ることを目的と
する。
上記目的は、直径が小さなベローズと同一軸上に、直径
が大きなベローズを二重に配置し、上記大小のベローズ
によって距てられた空間の圧力を上記直径が小さなベロ
ーズの内側の圧力と、上記直径が大きなベローズの外側
の圧力との中間の圧力にすることにより達成される。
が大きなベローズを二重に配置し、上記大小のベローズ
によって距てられた空間の圧力を上記直径が小さなベロ
ーズの内側の圧力と、上記直径が大きなベローズの外側
の圧力との中間の圧力にすることにより達成される。
本発明による二重ベローズフレキシブル管は、直径が異
なる大小のベローズを同軸上に二重に配置して可撓性導
管とし、これら大小のベローズによって距てられた空間
の圧力を、直径が大きなベローズの外側の外部圧力と直
径が小さなベローズ内側の内部圧力との中間の圧力にし
たため、上記大小ベローズのそれぞれにおける内側と外
側との圧力差は、直径が大きなベローズの外側の圧力と
直径が小さなベローズの内側の圧力とにおける、圧力差
よりも十分に小さくすることができるため、これらの大
きなベローズ外側の圧力と小さなベローズ内側の圧力と
の圧力差が大きくても、上記大小のベローズにそれぞれ
対応する内外の圧力差を、中間の任意な圧力雰囲気に保
持することができるので、ベローズが内外における過大
な圧力差のために支障を生じるのを避けることができる
。
なる大小のベローズを同軸上に二重に配置して可撓性導
管とし、これら大小のベローズによって距てられた空間
の圧力を、直径が大きなベローズの外側の外部圧力と直
径が小さなベローズ内側の内部圧力との中間の圧力にし
たため、上記大小ベローズのそれぞれにおける内側と外
側との圧力差は、直径が大きなベローズの外側の圧力と
直径が小さなベローズの内側の圧力とにおける、圧力差
よりも十分に小さくすることができるため、これらの大
きなベローズ外側の圧力と小さなベローズ内側の圧力と
の圧力差が大きくても、上記大小のベローズにそれぞれ
対応する内外の圧力差を、中間の任意な圧力雰囲気に保
持することができるので、ベローズが内外における過大
な圧力差のために支障を生じるのを避けることができる
。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する。
第１図は本発明による二重ベローズフレキシブル管の断
面を示す構成図である。第１図において、直径が小さな
ベローズ１は、直径が大きなベローズ２の一端に、球形
ジヨイント３により気密で回動自在に結合され、他端は
上記直径が大きなベローズ２と直径が小さなベローズ１
とが、共通のフランジ４に取り付けられている。上記直
径が小さなベローズ１と直径が大きなベローズ２との間
に形成される空間５は、上記フランジ４を所定の個所に
取り付けることにより気密に保たれ、上記直径が大きな
ベローズ２の側壁に設けた枝管６によって流体の導入あ
るいは排出を行い、上記空間６の圧力を所望の状態に保
持できるようになっている。
面を示す構成図である。第１図において、直径が小さな
ベローズ１は、直径が大きなベローズ２の一端に、球形
ジヨイント３により気密で回動自在に結合され、他端は
上記直径が大きなベローズ２と直径が小さなベローズ１
とが、共通のフランジ４に取り付けられている。上記直
径が小さなベローズ１と直径が大きなベローズ２との間
に形成される空間５は、上記フランジ４を所定の個所に
取り付けることにより気密に保たれ、上記直径が大きな
ベローズ２の側壁に設けた枝管６によって流体の導入あ
るいは排出を行い、上記空間６の圧力を所望の状態に保
持できるようになっている。
上記構成の二重ベローズフレキシブル管の一端に設けた
フランジ４を真空ポンプに密着接続し、上記直径が小さ
いベローズ１と直径が大きいベローズ２との間に形成さ
れる空間５を、上記枝管６を介して所望の圧力となるよ
うにし、上記真空ポンプを稼動する。操作を大気中で行
う場合は、上記直径が小さなベローズ１の内側の圧力が
低下するにしたがって、上記大小ベローズの外側および
内側の圧力差は増大するが、上記空間６の圧力を適宜調
整することによって上記圧力差を分割し、それぞれのベ
ローズｌおよび２の内側および外側における圧力差を緩
和して小さくすることができる。そのため、上記各ベロ
ーズ１および２の外周を形成するひだが弾性変形してベ
ローズを軸方向に伸縮させても、各ベローズは異常な変
形を生じることかなく、上記二重ベローズ導管の大きな
内外圧力差によって上記導管および接続部に支障を生じ
るようなことがない。
フランジ４を真空ポンプに密着接続し、上記直径が小さ
いベローズ１と直径が大きいベローズ２との間に形成さ
れる空間５を、上記枝管６を介して所望の圧力となるよ
うにし、上記真空ポンプを稼動する。操作を大気中で行
う場合は、上記直径が小さなベローズ１の内側の圧力が
低下するにしたがって、上記大小ベローズの外側および
内側の圧力差は増大するが、上記空間６の圧力を適宜調
整することによって上記圧力差を分割し、それぞれのベ
ローズｌおよび２の内側および外側における圧力差を緩
和して小さくすることができる。そのため、上記各ベロ
ーズ１および２の外周を形成するひだが弾性変形してベ
ローズを軸方向に伸縮させても、各ベローズは異常な変
形を生じることかなく、上記二重ベローズ導管の大きな
内外圧力差によって上記導管および接続部に支障を生じ
るようなことがない。
なお、上記球形ジヨイント３は、直径が小さなベローズ
１に取り付けた球形の軸と、これを包囲するように設け
られ直径が大きなベローズ２に固定された軸受とからな
り、上記軸と軸受との間は○リングやオイルシールによ
り気密接触が保持されているので、上記空間５に所望の
圧力を加え、それぞれのベローズが伸縮作用によって変
位しても、上記球形ジヨイント３は気密を保持した状態
で自由に回動することができる。
１に取り付けた球形の軸と、これを包囲するように設け
られ直径が大きなベローズ２に固定された軸受とからな
り、上記軸と軸受との間は○リングやオイルシールによ
り気密接触が保持されているので、上記空間５に所望の
圧力を加え、それぞれのベローズが伸縮作用によって変
位しても、上記球形ジヨイント３は気密を保持した状態
で自由に回動することができる。
上記のように本発明による二重ベローズフレキシブル管
は、直径が小さなベローズと同一軸上に、直径が大きな
ベローズを二重に配置し、上記大小のベローズによって
距てられた空間の圧力を、上記直径が小さなベローズの
内側の圧力と、上記直径が大きなベローズの外側の圧力
との、中間の圧力にしたことにより、上記大小ベローズ
の外側および内側の圧力差が大きくても、それぞれのベ
ローズの内外圧力差が緩和でき、上記ベローズによる可
撓性導管を容易、かつ安全に使用することができる。
は、直径が小さなベローズと同一軸上に、直径が大きな
ベローズを二重に配置し、上記大小のベローズによって
距てられた空間の圧力を、上記直径が小さなベローズの
内側の圧力と、上記直径が大きなベローズの外側の圧力
との、中間の圧力にしたことにより、上記大小ベローズ
の外側および内側の圧力差が大きくても、それぞれのベ
ローズの内外圧力差が緩和でき、上記ベローズによる可
撓性導管を容易、かつ安全に使用することができる。
第１図は本発明による二重ベローズフレキシブル管の断
面を示す構成図である。 １・・・直径が小さなベローズ ２・・・直径が大きなベローズ ５・・・両ベローズ間の空間 代理人弁理士 中 村 純之助
面を示す構成図である。 １・・・直径が小さなベローズ ２・・・直径が大きなベローズ ５・・・両ベローズ間の空間 代理人弁理士 中 村 純之助
Claims (1)
- １、直径が小さなベローズと同一軸上に、直径が大きな
ベローズを二重に配置し、上記大小のベローズによって
距てられた空間の圧力を、上記直径が小さなベローズの
内側の圧力と、上記直径が大きなベローズの外側の圧力
との中間の圧力にした二重ベローズフレキシブル管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242537A JPH04125387A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 二重ベローズフレキシブル管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2242537A JPH04125387A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 二重ベローズフレキシブル管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04125387A true JPH04125387A (ja) | 1992-04-24 |
Family
ID=17090588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2242537A Pending JPH04125387A (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 二重ベローズフレキシブル管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04125387A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10132186A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｕ型金属ベローズ |
| JP2002257268A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Sony Corp | 真空配管装置 |
| KR20180062635A (ko) * | 2016-12-01 | 2018-06-11 | 한국항공우주연구원 | 축형 벨로우즈 모듈 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP2242537A patent/JPH04125387A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10132186A (ja) * | 1996-11-01 | 1998-05-22 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Ｕ型金属ベローズ |
| JP2002257268A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-11 | Sony Corp | 真空配管装置 |
| JP4691802B2 (ja) * | 2001-02-28 | 2011-06-01 | ソニー株式会社 | 電子ビーム照射装置 |
| KR20180062635A (ko) * | 2016-12-01 | 2018-06-11 | 한국항공우주연구원 | 축형 벨로우즈 모듈 |
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