JPH04121936A - 電子ビーム軸合せ装置 - Google Patents
電子ビーム軸合せ装置Info
- Publication number
- JPH04121936A JPH04121936A JP2243532A JP24353290A JPH04121936A JP H04121936 A JPH04121936 A JP H04121936A JP 2243532 A JP2243532 A JP 2243532A JP 24353290 A JP24353290 A JP 24353290A JP H04121936 A JPH04121936 A JP H04121936A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide base
- electron beam
- coil
- slide
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は電子ビーム発生装置に使用される電子ビーム
軸合せ装置に関するものである。
軸合せ装置に関するものである。
第２図は例えば特開昭６１−１３８４３８号公報に示さ
れた従来の電子ビーム軸合せ装置の断面図であり、図に
おいて、（１）は図示外の電子銃から放呂される電子ビ
ーム、（２）は電子ビーム（１）が通過する円筒状の中
筒、（３）は中筒（２）の外周側に設けられ、電子ビー
ム（１）を集束する集束コイル、（２）は中筒（２）と
同心的に配置された環状の第１のスライドベースであり
、集束コイル（３］が第１の取付ねしく５）で固定され
ている。（６）は中筒（２）の外周側に設けられた偏向
コイルで、電子ビーム（１）に垂直な面内で互いに直交
する２つの方向（Ｘ軸およびＹ軸方向）の成分の磁束を
発生して電子ビーム（１）を偏向させる。（７）は中筒
（２）と同心的の配置された環状の第２のスライドベー
スで、電子ビーム（１）を中心軸とする回転方向にスラ
イド可能となるように僅かな隙間を有するはめ合いて第
１のスライドベース（２）に組込まれ、偏向コイル（６
）が押さえ板（８）と第２の取付ねじ（９）て固定され
ている。α０）はほぼ円筒状の支持体、（１１）（１２
）は第１．第２のコラムてあり、第１のスライドベース
（２）が両コラム（１１）、 ＜１２）に挟まれて、電
子ビーム（１）に垂直な面内で、即ち図において前後左
右方向にスライド可能に支持されている。第１第２のコ
ラム＜１１）、 （１２）により支持体（１０）を構成
している。（１３）は第２のコラム（１２）に９０°ピ
ツチで４個設けられた第１の調整部である押しねじで、
第１のスライドベース！４）を図において前後左右方向
に押すようになっている。（１４）は第２のコラム（１
２）に設けられた第２の調整部である偏心回転軸で、先
端に設けられた偏心部（１５）が第２のスライドベース
ｍに形成された溝（１６）に挿入されている。
れた従来の電子ビーム軸合せ装置の断面図であり、図に
おいて、（１）は図示外の電子銃から放呂される電子ビ
ーム、（２）は電子ビーム（１）が通過する円筒状の中
筒、（３）は中筒（２）の外周側に設けられ、電子ビー
ム（１）を集束する集束コイル、（２）は中筒（２）と
同心的に配置された環状の第１のスライドベースであり
、集束コイル（３］が第１の取付ねしく５）で固定され
ている。（６）は中筒（２）の外周側に設けられた偏向
コイルで、電子ビーム（１）に垂直な面内で互いに直交
する２つの方向（Ｘ軸およびＹ軸方向）の成分の磁束を
発生して電子ビーム（１）を偏向させる。（７）は中筒
（２）と同心的の配置された環状の第２のスライドベー
スで、電子ビーム（１）を中心軸とする回転方向にスラ
イド可能となるように僅かな隙間を有するはめ合いて第
１のスライドベース（２）に組込まれ、偏向コイル（６
）が押さえ板（８）と第２の取付ねじ（９）て固定され
ている。α０）はほぼ円筒状の支持体、（１１）（１２
）は第１．第２のコラムてあり、第１のスライドベース
（２）が両コラム（１１）、 ＜１２）に挟まれて、電
子ビーム（１）に垂直な面内で、即ち図において前後左
右方向にスライド可能に支持されている。第１第２のコ
ラム＜１１）、 （１２）により支持体（１０）を構成
している。（１３）は第２のコラム（１２）に９０°ピ
ツチで４個設けられた第１の調整部である押しねじで、
第１のスライドベース！４）を図において前後左右方向
に押すようになっている。（１４）は第２のコラム（１
２）に設けられた第２の調整部である偏心回転軸で、先
端に設けられた偏心部（１５）が第２のスライドベース
ｍに形成された溝（１６）に挿入されている。
図において右方から見た偏心回転軸（１４）を第３・図
の側面図に示す。たりし、その頭部と第２のコラム（１
２）を除いて図示している。偏心回転軸（１４）を回転
させると偏心部（１５）が溝（１６）の側面を押し、第
２のスライドベースｍが第３図において左右方向に移動
するようになっている。
の側面図に示す。たりし、その頭部と第２のコラム（１
２）を除いて図示している。偏心回転軸（１４）を回転
させると偏心部（１５）が溝（１６）の側面を押し、第
２のスライドベースｍが第３図において左右方向に移動
するようになっている。
次に動作について説明する。まず弱電子ビームが中筒（
２）の中を通って加工室内のターゲット（図示せず）へ
照射した状態て、ターゲットの照射傷を観測しながら４
個の押しねしく１３）て第１のスライドベース咋を第２
図において前後左右に平行移動させ、集束コイル（３）
の軸合わせを行う。次いて、偏向コイル（６）に通電し
、偏向した電子ビーム（１）による照射傷を見ながら偏
心回転軸（１４）を回転させると偏心部（１５）が移動
し、溝（１６）の側面か押されて第２のスライドベース
α）が電子ビーム（１）乙中心軸とする回転方向に回転
し、偏向コイル（６）のＸ軸Ｙ軸の方向調整が行われる
。
２）の中を通って加工室内のターゲット（図示せず）へ
照射した状態て、ターゲットの照射傷を観測しながら４
個の押しねしく１３）て第１のスライドベース咋を第２
図において前後左右に平行移動させ、集束コイル（３）
の軸合わせを行う。次いて、偏向コイル（６）に通電し
、偏向した電子ビーム（１）による照射傷を見ながら偏
心回転軸（１４）を回転させると偏心部（１５）が移動
し、溝（１６）の側面か押されて第２のスライドベース
α）が電子ビーム（１）乙中心軸とする回転方向に回転
し、偏向コイル（６）のＸ軸Ｙ軸の方向調整が行われる
。
従来の電子ビーム軸合わせ装置は以上のように構成され
ているのて、集束コイルの軸合わせ後、電子ビームを中
心軸とする回転方向に偏向コイルを回転させて調整を行
う際、偏向コイルが取り付けられている第２のスライド
ベースが第１のスライドベースにはめ合いで組込まれて
いるため、集束コイルも同時に回転してしまい、予め軸
合せした集束コイルにずれが生じることがあり、再調整
が必要となる。また、電子ビームの微細な制御を行うに
は上記調整に加えて、電子ビームに垂直な面内で偏向コ
イルを平行移動させて調整できることが望ましいが、そ
のような調整はできないなどの問題があった。
ているのて、集束コイルの軸合わせ後、電子ビームを中
心軸とする回転方向に偏向コイルを回転させて調整を行
う際、偏向コイルが取り付けられている第２のスライド
ベースが第１のスライドベースにはめ合いで組込まれて
いるため、集束コイルも同時に回転してしまい、予め軸
合せした集束コイルにずれが生じることがあり、再調整
が必要となる。また、電子ビームの微細な制御を行うに
は上記調整に加えて、電子ビームに垂直な面内で偏向コ
イルを平行移動させて調整できることが望ましいが、そ
のような調整はできないなどの問題があった。
この発明は上記のような開運点を解消するためになされ
たもので、集束コイルと偏向コイルの調整を相互に影響
を与えることなく行うことができるとともに、電子ビー
ムと垂直な面内で偏向コイルを平行移動させる調整を行
うことがてきる電子ビーム軸合わせ装置を得ることを目
的とする。
たもので、集束コイルと偏向コイルの調整を相互に影響
を与えることなく行うことができるとともに、電子ビー
ムと垂直な面内で偏向コイルを平行移動させる調整を行
うことがてきる電子ビーム軸合わせ装置を得ることを目
的とする。
この発明に係わる電子ビーム軸合せ装置は、集束コイル
が取り付けられた第１のスライドベースと、偏向コイル
が取り付けられた第２のスライドベースと、電子ビーム
を中心軸とする回転方向にスライド可能に第２のスライ
ドベースを支持する第３のスライドベースと、第１およ
び第３のスライドベースをそれぞれ電子ビームに垂直な
面内でスライド可能に支持する支持体とを備え、第１の
スライドベースを上記面内て平行移動させ、第２のスラ
イドベースを上記回転方向に回転させるとともに、第３
のスライドベースを上記面内で平行移動させるようにし
たものである。
が取り付けられた第１のスライドベースと、偏向コイル
が取り付けられた第２のスライドベースと、電子ビーム
を中心軸とする回転方向にスライド可能に第２のスライ
ドベースを支持する第３のスライドベースと、第１およ
び第３のスライドベースをそれぞれ電子ビームに垂直な
面内でスライド可能に支持する支持体とを備え、第１の
スライドベースを上記面内て平行移動させ、第２のスラ
イドベースを上記回転方向に回転させるとともに、第３
のスライドベースを上記面内で平行移動させるようにし
たものである。
この発明における電子ビーム軸合わせ装置ては、集束コ
イルの調整が第１のスライドベースの平行移動によって
行われ、一方、偏向コイルの調整は第２のスライドベー
スの回転と第３のスライドベースの平行移動によって行
われる。
イルの調整が第１のスライドベースの平行移動によって
行われ、一方、偏向コイルの調整は第２のスライドベー
スの回転と第３のスライドベースの平行移動によって行
われる。
第１図はこの発明による電子ビーム軸合せ装置を示す断
面図てあり、図において、（１）〜（３］ｉ６）は第２
図の従来例と同様であるのて説明を省略する。
面図てあり、図において、（１）〜（３］ｉ６）は第２
図の従来例と同様であるのて説明を省略する。
（イ）は中筒（２）と同心的に配置された環状の第１の
スライドベースであり、集束コイルＢ）が第１の取付ね
じ（（５）で固定されている。口は中筒（２）と同心的
に配置された環状の第２のスライドベースであり、偏向
コイル（６）が押さえ板（８）と第２の取付ねじ（９）
で周定されている。（１７）は中筒（２）と同心的に配
置された環状の第３のスライドベースてあり、第２のス
ライドベース（７）が電子ビーム（１）を中心軸とする
回転方向にスライド可能となるように僅かな隙間を有す
るほめ合いて挿入されている。（ｌＯ）はほぼ円筒状の
支持体、（＋１．）、 （１２）、 （１８）は第１．
第２゜第３のコラムであり、第１のスライドベース（４
）か第１．第２のコラム（］ ＩＩ、 （１，２） 、
に挟まれ、また第３のスライドベース（１７）が第２．
第３のコラム（１２）、 （１８）に挟まれて、それぞ
れ電子ビーム（１）に垂直な面内て、即ち図において前
後左右方向にスライド可能に支持されている。第１．第
２．第３のコラム（ＩＩ）、 （１２）、 （＋８）で
支持体（１０）を構成している。（１３）は第２のコラ
ム（１２）に９０”ピッチで４個設けられた第１の調整
部である第１の押しねじで、第１にスライドベース（４
］を図において前後左右方向に押すようになっている。
スライドベースであり、集束コイルＢ）が第１の取付ね
じ（（５）で固定されている。口は中筒（２）と同心的
に配置された環状の第２のスライドベースであり、偏向
コイル（６）が押さえ板（８）と第２の取付ねじ（９）
で周定されている。（１７）は中筒（２）と同心的に配
置された環状の第３のスライドベースてあり、第２のス
ライドベース（７）が電子ビーム（１）を中心軸とする
回転方向にスライド可能となるように僅かな隙間を有す
るほめ合いて挿入されている。（ｌＯ）はほぼ円筒状の
支持体、（＋１．）、 （１２）、 （１８）は第１．
第２゜第３のコラムであり、第１のスライドベース（４
）か第１．第２のコラム（］ ＩＩ、 （１，２） 、
に挟まれ、また第３のスライドベース（１７）が第２．
第３のコラム（１２）、 （１８）に挟まれて、それぞ
れ電子ビーム（１）に垂直な面内て、即ち図において前
後左右方向にスライド可能に支持されている。第１．第
２．第３のコラム（ＩＩ）、 （１２）、 （＋８）で
支持体（１０）を構成している。（１３）は第２のコラ
ム（１２）に９０”ピッチで４個設けられた第１の調整
部である第１の押しねじで、第１にスライドベース（４
］を図において前後左右方向に押すようになっている。
（１４）は第３のコラム（１８）に設けられた第２の調
整部である偏心回転軸で、第２図、第３図の従来例に示
したものと同様になっている。（１９）は第３のコラム
（１８）に９０°ピツチで４個設けられた第３の調整部
である第２の押しねして、第３のスライドベース（１７
］を図において前後左右方向に押すようになっている。
整部である偏心回転軸で、第２図、第３図の従来例に示
したものと同様になっている。（１９）は第３のコラム
（１８）に９０°ピツチで４個設けられた第３の調整部
である第２の押しねして、第３のスライドベース（１７
］を図において前後左右方向に押すようになっている。
次に動作について説明する。まず、弱電子ビームを加工
室内のターゲット（図示せず）に照射させ、その照射傷
を観測しなから４個の第１の押しねしく１３）で第１の
スライドベース（４）を図において前後左右方向に平行
移動させ、集束コイル（３）の軸合せを行う。次に、偏
向コイル（６）に通電し、偏向した電子ビーム（１）に
よる照射傷を見ながら偏心回転軸（１４）を回転させ、
電子ビーム（１）を中心軸とする回転方向に第２のスラ
イドベースｍを回転させて偏向コイル（６）のＸ軸、Ｙ
軸の方向調整を行う。
室内のターゲット（図示せず）に照射させ、その照射傷
を観測しなから４個の第１の押しねしく１３）で第１の
スライドベース（４）を図において前後左右方向に平行
移動させ、集束コイル（３）の軸合せを行う。次に、偏
向コイル（６）に通電し、偏向した電子ビーム（１）に
よる照射傷を見ながら偏心回転軸（１４）を回転させ、
電子ビーム（１）を中心軸とする回転方向に第２のスラ
イドベースｍを回転させて偏向コイル（６）のＸ軸、Ｙ
軸の方向調整を行う。
また、集束コイル（３）と偏向コイル（６）の同心度を
確保するために４個の第２の押しねしく１９）で第３の
スライドベース（１７）を図において前後左右方向の平
行移動させて偏向コイル（６）の調整を行う。以上にお
いて、第２．第３のスライドベース［７１，（＋７１の
平行移動や回転は第１のスライドベース（２）に影響を
与えることなく行うことができる。
確保するために４個の第２の押しねしく１９）で第３の
スライドベース（１７）を図において前後左右方向の平
行移動させて偏向コイル（６）の調整を行う。以上にお
いて、第２．第３のスライドベース［７１，（＋７１の
平行移動や回転は第１のスライドベース（２）に影響を
与えることなく行うことができる。
以上のように、この発明によれは集束コイルか取り付け
られた第１のスライドベースと、第２のスライドベース
を介して偏向コイルを支持した第３のスライドベースと
を、支持体でそれぞれスライド可能に支持するように構
成したので、集束コイルの調整は第１のスライドベース
の平行移動、により、また、偏向コイルの調整は第２の
スライドベースの回転と第３のスライドベースの平行移
動により行なわれ、両コイルの調整を互いに影響を与え
ることなしに行なうことができる。また、電子ビームと
垂直な面内で偏向コイルを平行移動させる調整も行うこ
とがてきる効果がある。
られた第１のスライドベースと、第２のスライドベース
を介して偏向コイルを支持した第３のスライドベースと
を、支持体でそれぞれスライド可能に支持するように構
成したので、集束コイルの調整は第１のスライドベース
の平行移動、により、また、偏向コイルの調整は第２の
スライドベースの回転と第３のスライドベースの平行移
動により行なわれ、両コイルの調整を互いに影響を与え
ることなしに行なうことができる。また、電子ビームと
垂直な面内で偏向コイルを平行移動させる調整も行うこ
とがてきる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による電子ビーム軸合せ装
置を示す断面図、第２図は従来の電子ビーム軸合せ装置
を示す断面図、第３図は第２図の電子ビーム軸合せ装置
の偏心回転軸を示す側面図である。 図において（１）は電子ビーム、（３）は集束コイル、
（４）は第１のスライドベース、（６）は偏向コイル、
（７）は第２のスライドベース、（ｌＯ）は支持体、（
１３）は第１の押しねじ、（１４）は偏心回転軸、（１
７）は第３のスライドベース、（１９）は第２の押しね
じである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 第１１！１ 重子ヒ゛−ム ＩＯ０支柄支 竿体図 第３図
置を示す断面図、第２図は従来の電子ビーム軸合せ装置
を示す断面図、第３図は第２図の電子ビーム軸合せ装置
の偏心回転軸を示す側面図である。 図において（１）は電子ビーム、（３）は集束コイル、
（４）は第１のスライドベース、（６）は偏向コイル、
（７）は第２のスライドベース、（ｌＯ）は支持体、（
１３）は第１の押しねじ、（１４）は偏心回転軸、（１
７）は第３のスライドベース、（１９）は第２の押しね
じである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 第１１！１ 重子ヒ゛−ム ＩＯ０支柄支 竿体図 第３図
Claims (1)
- 電子ビームを集束する集束コイルが取り付けられた第
１のスライドベースと、上記電子ビームを偏向させる偏
向コイルが取り付けられた第２のスライドベースと、こ
の第２のスライドベースを、上記電子ビームを中心軸と
する回転方向にスライド可能に支持する第３のスライド
ベースと、上記第１および第３のスライドベースをそれ
ぞれ上記電子ビームに垂直な面内でスライド可能に支持
する支持体と、この支持体に設けられて上記第１のスラ
イドベースを上記面内で平行移動させる第１の調整部と
、上記支持体に設けられて上記第２のスライドベースを
上記回転方向に回転させる第２の調整部と、上記支持体
に設けられて上記第３のスライドベースを上記面内で平
行移動させる第３の調整部とを備えた電子ビーム軸合せ
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2243532A JP3032259B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 電子ビーム軸合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2243532A JP3032259B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 電子ビーム軸合せ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04121936A true JPH04121936A (ja) | 1992-04-22 |
| JP3032259B2 JP3032259B2 (ja) | 2000-04-10 |
Family
ID=17105296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2243532A Expired - Lifetime JP3032259B2 (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 電子ビーム軸合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3032259B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6422561B1 (ja) * | 2017-09-04 | 2018-11-14 | 国家納米科学中心 | フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 |
-
1990
- 1990-09-12 JP JP2243532A patent/JP3032259B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6422561B1 (ja) * | 2017-09-04 | 2018-11-14 | 国家納米科学中心 | フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3032259B2 (ja) | 2000-04-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4916322A (en) | Arrangement for stabilizing an irradiated mask | |
| US4425506A (en) | Stepped gap achromatic bending magnet | |
| KR20000075779A (ko) | 상호 120°각도를 이루는 3개의 코일 시스템을 갖는 위치결정디바이스 및 이러한 위치결정 디바이스를 포함하는 전사 디바이스 | |
| JPS5972658A (ja) | 放射ビ−ムを偏向又は位置調整する光学装置 | |
| US5386097A (en) | Device for machining thin-walled hollow cylinders using a laser beam | |
| JPH04121936A (ja) | 電子ビーム軸合せ装置 | |
| JPH10312763A (ja) | 電子顕微鏡用試料ホールダ | |
| JP3133928B2 (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPS5819743A (ja) | 記録情報読取装置における光学系駆動装置 | |
| US4455489A (en) | Quadrupole singlet focusing for achromatic parallel-to-parallel devices | |
| JP2826615B2 (ja) | 電子ビーム集束装置 | |
| US5867556A (en) | Anode mounting apparatus with thermal growth compensation for x-ray tube | |
| JPS61138438A (ja) | 電子ビ−ム軸合せ装置 | |
| JPH0247600A (ja) | コリメータ | |
| JP3431967B2 (ja) | 回転駆動装置 | |
| JP3313274B2 (ja) | 電子レンズ装置 | |
| JPH0331049Y2 (ja) | ||
| JPS6127811B2 (ja) | ||
| JP2003168249A (ja) | 光ディスク原盤露光装置 | |
| JP3133925B2 (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JPS6350926A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JP3378169B2 (ja) | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ | |
| JPS61122941A (ja) | 対物レンズ駆動装置 | |
| JPS596468B2 (ja) | 陰極線管用偏向装置 | |
| JPH0192707A (ja) | カメラのレンズ駆動装置 |