JP6422561B1 - フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 - Google Patents
フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6422561B1 JP6422561B1 JP2017236668A JP2017236668A JP6422561B1 JP 6422561 B1 JP6422561 B1 JP 6422561B1 JP 2017236668 A JP2017236668 A JP 2017236668A JP 2017236668 A JP2017236668 A JP 2017236668A JP 6422561 B1 JP6422561 B1 JP 6422561B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- positioning
- holder
- adjustment mechanism
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/067—Replacing parts of guns; Mutual adjustment of electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/18—Assembling together the component parts of electrode systems
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
- G06T7/73—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Fastening Of Light Sources Or Lamp Holders (AREA)
Abstract
【課題】本発明は、従来のフィラメント位置決めの効率が低く、精度が低いという問題を解決する。【解決手段】本フィラメント位置決めシステムは、底板と、フィラメントホルダーの底板での位置を調整して位置決めすることで、各種タイプのフィラメントホルダーが底板に固定できるようにする第1の位置決め調整機構と、フィラメントを位置決めして調整するための第2の位置決め調整機構と、前記フィラメント先端と前記フィラメントホルダーの位置情報を収集して表示する検出モジュールとを備え、前記第1の位置決め調整機構と前記第2の位置決め調整機構とは前記位置情報に基づいて前記フィラメントホルダーと前記フィラメント先端の位置を対応調整する。本システム及び該システムを用いた方法は、各種タイプのフィラメントの位置決めに適用できると同時に、従来のフィラメントの位置決め精度と効率を向上させる。【選択図】図1
Description
本発明は機械工学・自動化分野に関し、特にフィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法に関する。
電子顕微鏡は微視的形態を観察するために有用なツールとして、迅速、且つ幅広く冶金、鉱物、化学工業、医薬、生物、生物医学、食品、ナノ材料等の分野に適用される。電子顕微鏡は主に、透過型電子顕微鏡と走査型電子顕微鏡を含む。透過型電子顕微鏡(TEM)は集束電子ビームを照明源とし、電子ビームに対して透明なフィルムサンプルを用い、試験片を透過した透過電子ビーム又は回折電子ビームで形成される画像で試験片の内部の微細構造を分析する。走査型電子顕微鏡は2次電子反射による高エネルギー電子ビームを用いて試験片を走査し、各種の物理情報を励起する。これらの情報に対する受信、拡大及び表示結像を経て、テストサンプル表面の2次元構造形態を取得する。
顕微鏡の電子光学部全体は鏡筒内に設置されており、電子銃、収束レンズ、対物レンズ、中間レンズ、投影レンズ、観察室、蛍光スクリーン、CCD等の装置が上から下へ順に配列される。電子銃、収束レンズ等の装置で構成される照明システムは結像システムに輝度が高くコヒーレンスが高い照明光源を提供する。電子銃は、陰極、制御極(ゲート)及び陽極で構成される。真空中で高圧加熱した後に、陰極から放出された電子は高い運動エネルギーを取得して、所定方向の高速電子フロー(電子ビーム)を形成する。所定の範囲内では、フィラメント電流が大きいほど、フィラメント温度が高く、放出された電子が多いほど、フィラメントの表面蒸発が速い。従って、フィラメントは耐用年数に限界があり、例えば、タングステンフィラメントが一般的に100〜150時間であり、六ホウ化ランタンフィラメントが1000時間より長く、六ホウ化セリウムフィラメントが約1500時間である。このため、フィラメントを頻繁に交換する必要がある。
電子顕微鏡フィラメントを交換する場合、フィラメントの位置も非常に厳しく限定され、フィラメントの先端が電子銃の中心位置に位置しなければならないことが要求される。フィラメントの位置が外れると、フィラメント輝度が低くなりやすく、輝度を向上させるには、操作者がバイアス又は電流を増加させる必要があるため、フィラメントのダメージを引き起こす。従来、フィラメント交換は手動で実施され、装置管理者の時間を大量に浪費するとともに、調整時、フィラメント先端とグリッドキャップ孔中心とが同じ平面に位置しないため、操作者の視覚差異によってフィラメントの取り付け位置のずれを引き起こす恐れがあり、程度が異なるが、顕微鏡の結像品質に悪影響を与える。同時に、メーカーによりフィラメントタイプに違いがあるため、異なる電子顕微鏡フィラメントは異なるフィラメント位置決め座とフィラメント台座を有し、異なるタイプのフィラメントを位置決めする際に、異なる固定取り付けモジュールでフィラメントの取り付けと調整を行う必要があり、時間と労力がかかってしまい、且つ効率が低く、資源を浪費するとともに、位置決め精度を確保しにくい。
本発明は、各種タイプの電子顕微鏡フィラメントの正確且つ高効率な位置決めを実現するために、フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法を提供する。
上記目的を実現するために、本発明は下記の技術案を用いる。
フィラメント位置決めシステムであって、底板と、第1の位置決め調整機構と、第2の位置決め調整機構と、検出モジュールとを備え、
前記底板にフィラメントを固定するためのフィラメントホルダーが設置され、前記第1の位置決め調整機構は、前記フィラメントホルダーの前記底板での位置を調整するように、前記底板に取り付けられ、
前記位置決め座は第1の位置決め中心を有し、前記第2の位置決め調整機構は前記フィラメントが前記第1の位置決め中心に位置するように、前記フィラメントを調整し、
検出モジュールは、前記フィラメントのフィラメント先端と前記フィラメントホルダーの位置情報を収集して表示するように用いられ、前記第1の位置決め調整機構と前記第2の位置決め調整機構とは前記位置情報に基づいて前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置を対応調整する、フィラメント位置決めシステム。
前記底板にフィラメントを固定するためのフィラメントホルダーが設置され、前記第1の位置決め調整機構は、前記フィラメントホルダーの前記底板での位置を調整するように、前記底板に取り付けられ、
前記位置決め座は第1の位置決め中心を有し、前記第2の位置決め調整機構は前記フィラメントが前記第1の位置決め中心に位置するように、前記フィラメントを調整し、
検出モジュールは、前記フィラメントのフィラメント先端と前記フィラメントホルダーの位置情報を収集して表示するように用いられ、前記第1の位置決め調整機構と前記第2の位置決め調整機構とは前記位置情報に基づいて前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置を対応調整する、フィラメント位置決めシステム。
本発明に係るフィラメント位置決めシステムは、第1の位置決め調整機構によって、各種タイプの電子顕微鏡フィラメントの位置決めに適用でき、異なるタイプのフィラメントを位置決めする際に、フィラメント固定装置を再配置する必要があるという不便さを回避し、フィラメント位置決めの効率を向上させるとともに、検出モジュールによってフィラメント先端とフィラメントホルダーの画像位置を検出して表示することで、従来のフィラメント手動位置決め過程に、裸眼での直接観測によるフィラメント先端の第1の位置決め中心位置に対する視覚誤差を回避し、フィラメントの位置決め精度を向上させ、フィラメントの耐用年数を延ばし、且つ手動調整と装置検出の共同作用によってフィラメント位置決めがより容易になり、装置管理者の作業負担を軽減させて作業時間を短縮させる。
好ましくは、前記底板は第2の位置決め中心を有し、前記第1の位置決め調整機構は、前記フィラメントホルダーの軸線が前記第2の位置決め中心を貫通するように前記フィラメントホルダーを調整し、前記第1の位置決め中心は、前記第2の位置決め中心の真上に位置する。第2の位置決め中心を決定することで、各種タイプのフィラメントホルダーにいずれも固定された位置決め点を持たせて、システム全体によるフィラメント位置決め・調整を容易にする。
好ましくは、前記第1の位置決め調整機構は、前記第2の位置決め中心を円心として放射状に均等に分布し、前記第2の位置決め中心に接近又は離遠する方向に移動できることで、端部が前記フィラメントホルダーに当接して前記フィラメントホルダーを固定する複数の位置決めロッドを備える。当該調整機構は、構造が簡単で、調整時、位置決めロッドが第2の位置決め中心に接近又は離遠する方向に移動するだけで正確な位置決めと固定作用を実現できる。
好ましくは、前記第1の位置決め調整機構は、ナットが前記底板に固定され、スクリューが前記ナットと嵌合して前記位置決めロッドを形成する複数のスクリューナットユニットを備える。
好ましくは、前記フィラメントホルダーは、フィラメント台座と、フィラメント位置決め座とを備え、前記フィラメント位置決め座が前記フィラメント台座に取り付けられ、前記フィラメントが前記フィラメント位置決め座に取り付けられる。フィラメント位置決め座はフィラメント型番と生産メーカーに応じて形状が異なり、底板に直接位置決め且つ取り付けにくく、フィラメント台座はフィラメントの型番に応じて異なるが、その下端がいずれも円筒状であるので、底板での取り付け位置決めを実現しやすい。
好ましくは、前記フィラメント位置決め座の上端面は、中心が前記第1の位置決め中心であるグリッドキャップ孔を有する。フィラメント位置決め座が電子顕微鏡に備えるフィラメント位置決め部材であり、電子ビームがグリッドキャップ孔を介してテストサンプルに照射し、フィラメント位置決め座でフィラメントを位置決めし、位置決めしたフィラメントを電子顕微鏡に直接取り付けることができ、すなわちフィラメント先端が電子銃の中心位置に位置する要件を実現し、改めて取り付けて位置決めする必要がない。
好ましくは、前記第2の位置決め調整機構は、前記フィラメントと前記フィラメント位置決め座との接続ねじを調整することで、前記フィラメント先端の位置を調整するための六角棒スパナを備える。接続ねじが締め付けて固定される場合、各ねじの締め付け力が異なるため、フィラメント先端の位置が第1の位置決め中心の真上からずれ、六角棒スパナで接続ねじを調整しやすく、スパナで接続ねじを締め付け又は緩めることができ、すなわちフィラメント先端の位置を調整できる。
好ましくは、前記検出モジュールは、前記フィラメント先端と前記フィラメントホルダーの位置画像情報を収集するための画像収集モジュールと、前記画像収集モジュールに接続され、前記位置画像情報を表示するための画像表示モジュールとを備える。画像表示モジュールは、画像収集モジュールと一体に結合されてもよく、すなわち画像収集装置は同時に画像表示機能を有し、また、収集した位置画像情報を更に処理しやすくするために、両方が異なる装置であるようにしてもよい。
好ましくは、前記画像収集モジュールは前記第2の位置決め中心の真上に位置することで、画像収集モジュールの収集中心が第2の位置決め中心から外れることによるフィラメント先端とフィラメント位置決め座の位置画像誤差を減少させ、画像収集の精度を向上させ、更に位置決め精度を向上させることができる。
好ましくは、前記画像表示モジュールは、位置画像と前記位置画像における前記フィラメント先端と前記第1の位置決め中心との距離情報を含む前記位置画像情報を受信して処理するコンピュータ端末である。コンピュータ端末は、情報処理能力が高く、位置画像情報を各種の方式で処理したり表示したりすることができ、ヒューマンコンピュータインタラクションを容易に実現できる。位置画像の表示は、操作者がフィラメント先端の第1の位置決め中心に対する位置を視覚的に観察し、更に必要に応じて各ステップの調整精度を変えることに役立つ。距離情報は、裸眼観測による視覚誤差を更に回避して、システムによる正確なフィラメント位置決めを実現する。
好ましくは、前記検出モジュールは、前記位置画像グレースケールによって前記フィラメント先端と前記第1の位置決め中心の位置を識別するとともに、前記フィラメント先端の前記フィラメントホルダーの上端面での正投影と前記第1の位置決め中心との距離を計算する。
好ましくは、前記検出モジュールは、前記位置決めロッドの前記フィラメントホルダーに向く端面に固定され、且つ検出した圧力値を表示する前記画像表示モジュールに接続される圧力センサーを更に備える。圧力センサーは、位置決めロッドがフィラメントホルダーに当接するか否かを検出し、且つ圧力値の大きさに基づいて、各位置決めロッドとフィラメントホルダーとの当接程度を判断できるので、位置決めロッドの調整による各位置決めロッドの移動距離誤差を減少させ、フィラメントホルダーの位置決め精度を向上させ、更にフィラメントの位置決め精度を向上させる。
好ましくは、前記第1の位置決め調整機構と前記第2の位置決め調整機構とに接続され、前記第1の位置決め調整機構及び/又は前記第2の位置決め調整機構が調整作動するように駆動するための駆動ユニットを更に備える。駆動ユニットをシステムに導入することにより、第1の位置決め調整機構又は第2の位置決め調整機構の手動調整による調整誤差を低減させ、フィラメントの位置決め精度を向上させ、同時に管理者の作業負担を軽減させて、管理者のフィラメント調整時間を節約することができる。
好ましくは、前記駆動ユニットは、前記第1の位置決め調整機構に接続され、前記第1の位置決め調整機構が作動するように駆動することで、前記フィラメントホルダーの軸線位置を調整するための第1の駆動ユニットを備える。第1の位置決め調整機構を駆動する駆動ユニットの独立設置により、駆動ユニットが故障した場合、第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構が全て駆動できないことを回避し、システムの信頼性を向上させる。
好ましくは、前記第1の駆動ユニットは、第1のモーター又は油圧シリンダを備え、この2種の駆動装置は一般的に使用されるためのものであるため、別の駆動装置を設計する必要がなく、システムコストを削減させる。
好ましくは、前記駆動ユニットは、前記第2の位置決め調整機構に接続され、前記フィラメント先端の位置を調整するように、前記第2の位置決め調整機構が作動するように駆動するための第2の駆動ユニットを更に備える。第1の位置決め調整機構を駆動する駆動ユニットと第2の位置決め調整機構を駆動する駆動ユニットの独立設置により、同じ駆動ユニットで第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構を同時に駆動することを回避し、システム制御の複雑さを低減させる。
好ましくは、前記第2の駆動ユニットは、第2のモーターを備える。
好ましくは、前記第2のモーターはステップモーター又はサーボモーターである。ステップモーター又はサーボモーターはパルス数を制御することによって角変位量を制御して、正確な位置決めを実現でき、同時に、パルス周波数を制御することによってモーターの回転速度と加速度を制御して、速度調整の目的を実現し、また、駆動信号が失われる場合、タイムリーに停止でき、応答が速く、駆動制御の精度を確保する。
好ましくは、前記第2のモーターの調整精度が100μmより小さいことにより、フィラメントの正確な調整を実現し、フィラメントの位置決め精度を確保する。
好ましくは、前記検出モジュールと前記駆動ユニットとにそれぞれ電気的に接続され、前記検出モジュールにより送信された前記位置情報を受信するとともに、前記駆動ユニットが前記第1の位置決め調整機構及び/又は第2の位置決め調整機構の作動を駆動するように制御する制御ユニットを更に備える。制御ユニットをシステムに導入することにより、システムによるフィラメント全自動位置決めを実現でき、手動調整による位置決め誤差を最大限に回避し、位置決め精度を向上させ、同時に、管理者の作業負担を大幅に軽減させ、システム管理時間を節約することができる。
好ましくは、前記制御ユニットは、コントローラと、ドライバとを備え、前記コントローラは、前記コンピュータ端末に接続され、前記コンピュータ端末により送信された調整命令と調整パラメータを受信し、信号を前記ドライバに送信し、前記ドライバはそれぞれ前記駆動ユニット及び前記コントローラに接続され、前記信号を受信して前記駆動ユニットが運動するように駆動する。コントローラによって制御信号をドライバに送信することで、モーターの正確な制御を実現でき、コントローラが1つのパルス信号を送信するごとに、ドライバによってモーターに1つのステップ角分回転させることから、モーターの回転数がパルス信号の周波数と正比例し、そのため、ステップパルス信号の周波数を制御することにより、モーター速度を正確に調整でき、ステップパルスの数を制御することにより、モーターの正確な位置決めを実現できる。
好ましくは、前記調整命令は、フィラメント調整命令及び/又はフィラメントホルダー調整命令を含み、前記フィラメント調整命令は前記フィラメント先端の第1の位置決め中心に対する位置を調整して固定するために用いられ、前記フィラメントホルダー調整命令は前記フィラメントホルダーの第2の位置決め中心に対する位置を調整するとともに、前記フィラメント台座を固定するために用いられる。異なる調整命令を送信することにより、フィラメントホルダーの位置決め・調整とフィラメント位置決め・調整は全て全自動方式で行うことができる。
好ましくは、前記調整パラメータは、モーターの軸数、ホイールベース、回転角度及びフィードステップ数を含む。これらのパラメータはモーターがフィラメントを正確に調整するように制御できる。
本発明は、手動調整方式でフィラメント位置決めを実現する下記のフィラメント位置決め方法を更に提供する。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、第1の位置決め調整機構が前記フィラメントホルダーの位置を調整するように手動で駆動することで、前記フィラメントホルダーを前記底板に固定するステップと、
前記位置情報に基づいて、第2の位置決め調整機構が前記フィラメントを調整するように手動で駆動することで、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させるステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、第1の位置決め調整機構が前記フィラメントホルダーの位置を調整するように手動で駆動することで、前記フィラメントホルダーを前記底板に固定するステップと、
前記位置情報に基づいて、第2の位置決め調整機構が前記フィラメントを調整するように手動で駆動することで、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させるステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
本発明に係る手動フィラメント位置決め方法は、検出モジュールが提供した、位置画像情報と位置距離情報を含む位置情報を用いることで、従来のフィラメント手動位置決めのように、フィラメント先端とフィラメント位置決め座との相対位置を裸眼で直接観測することによる視覚誤差を引き起こすことを回避し、フィラメントの位置決め精度を向上させ、フィラメントの耐用年数を延長させ、フィラメント調整がより容易且つ迅速になり、フィラメント調整に必要な作業時間を短縮させて作業負担を軽減させ、同時に、各種タイプのフィラメントの位置決めに適用できる。
本発明は、半自動調整方式によってフィラメント位置決めを実現する下記のフィラメント位置決め方法を更に提供する。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニットを手動で駆動することで、前記駆動ユニットは、第1の位置決め調整機構が前記フィラメントホルダーの位置を調整するように駆動し、前記フィラメントホルダーの軸線が前記第2の位置決め中心を貫通するようにするステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニットを手動で駆動することで、前記駆動ユニットは、前記第2の位置決め調整機構が前記フィラメントを調整するように駆動することにより、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心の真上に位置するステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニットを手動で駆動することで、前記駆動ユニットは、第1の位置決め調整機構が前記フィラメントホルダーの位置を調整するように駆動し、前記フィラメントホルダーの軸線が前記第2の位置決め中心を貫通するようにするステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニットを手動で駆動することで、前記駆動ユニットは、前記第2の位置決め調整機構が前記フィラメントを調整するように駆動することにより、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心の真上に位置するステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
本発明に係る半自動フィラメント位置決め方法は、駆動ユニットを手動で駆動することで、駆動ユニットは、第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構が調整作動するように駆動し、それによって、調整機構の手動駆動による誤差を回避し、フィラメント位置決めがより正確になる。
本発明は、システムの全自動調整方式によってフィラメント位置決めを実現する下記のフィラメント位置決め方法を更に提供する。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、コンピュータ端末が調整パラメータを計算して調整命令を送信するステップと、
制御ユニットが前記調整命令と調整パラメータを受信するステップと、
前記駆動ユニットを駆動することで、前記ユニットは、前記第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構が作動するように駆動することにより、前記フィラメントホルダーの軸線が前記第2の位置決め中心を貫通して前記フィラメント先端が前記第1の位置決め中心に位置するようにするステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
フィラメントホルダーとフィラメントとをそれぞれ底板とフィラメントホルダーとに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダーと前記フィラメントの位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、コンピュータ端末が調整パラメータを計算して調整命令を送信するステップと、
制御ユニットが前記調整命令と調整パラメータを受信するステップと、
前記駆動ユニットを駆動することで、前記ユニットは、前記第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構が作動するように駆動することにより、前記フィラメントホルダーの軸線が前記第2の位置決め中心を貫通して前記フィラメント先端が前記第1の位置決め中心に位置するようにするステップとを含む、フィラメント位置決め方法。
本発明に係る全自動フィラメント位置決め方法は、制御ユニットによって第1の位置決め調整機構と第2の位置決め調整機構を制御し、機械駆動と検出装置を共同作用させ、それによって、人的要因の影響を最大限に減少させ、フィラメント位置決めがより正確になり、同時に装置管理者のフィラメント位置決め作業の負担を大幅に低減させて作業時間を短縮させ、装置の作動効率を向上させる。
好ましくは、前記位置情報は、フィラメント先端と第1の位置決め中心との位置画像情報及び距離情報、並びに、前記フィラメントホルダーの軸線の第2の位置決め中心に対する距離情報を含み、前記位置情報を利用してフィラメントホルダー位置決めとフィラメント位置決めの過程を確実且つリアルタイムに監視してフィードバックすることができ、フィラメントホルダー位置決めとフィラメント位置決めの精度を確保する。
本発明の有益な効果は(1)〜(4)である。
(1)各種タイプのフィラメントの位置決めに適用できるため、各種タイプのフィラメントを位置決めする際に、フィラメント固定装置を再配置する必要があるという不便さを避け、フィラメント位置決めの効率を向上させる。
(2)検出モジュールでフィラメントとフィラメントホルダーの画像を検出することで、フィラメントの位置の裸眼での直接観測による視覚誤差を回避し、フィラメントの位置決め精度を向上させ、更に電子顕微鏡の結像品質を向上させ、フィラメントの耐用年数を延長させる。
(3)従来のフィラメントの手動位置決めのように、フィラメント先端とグリッドキャップ孔中心とのわずかな距離を裸眼で観察することにより、装置管理者の視力損傷を引き起こすことを防止し、フィラメント位置決めがより容易且つ迅速になり、装置管理者の作業負担を軽減させて作業時間を短縮させ、装置の作動効率を向上させる。
(4)また、該システムの使用により、プリセンタリング電子顕微鏡フィラメントの購入数量を減少させ、電子顕微鏡の使用費用を大幅に削減させる。
以下、図面と実施例を参照しながら本発明を更に詳細に説明する。なお、ここで説明される具体的な実施例は本発明を解釈するためのものにすぎず、本発明を限定するものではない。また、説明の便宜上、図中、本発明に関連する全ての構造ではなく、一部だけを示している。
図1と図2に示すように、本発明の実施例1は、底板11、第1の位置決め調整機構12、第2の位置決め調整機構13、検出モジュール、駆動ユニット5及び制御ユニット6を備えるフィラメント位置決めシステムを提供する。底板11は第1の位置決め調整機構及びフィラメントホルダー2を固定するために用いられ、第1の位置決め調整機構12は各種タイプのフィラメントホルダー2を位置決めして固定し、第2の調整機構13は各種タイプのフィラメント3を位置決め・調整することで、本フィラメント位置決めシステムが各種タイプのフィラメント3の位置決めに適用できるようにし、検出モジュールはフィラメント3とフィラメントホルダー2の調整に必要なパラメータを検出し、駆動ユニット5は第1の位置決め調整機構12と第2の位置決め調整機構13が調整作動をするように駆動し、制御ユニット6は駆動ユニット5が作動を実行するように制御する。
具体的に、底板11は第2の位置決め中心14を有し、第1の位置決め調整機構12が底板11に取り付けられる。第1の位置決め調整機構12は、第2の位置決め中心14を円心として放射状に均等に分布する複数の位置決めロッド121を備える。位置決めロッド121は底板11に接続され、且つ、第1の位置決め調整機構12がフィラメントホルダー2の型番に応じて調整し、フィラメントホルダー2の中心軸線が第2の位置決め中心14を貫通できるように、第2の位置決め中心14に接近又は離遠する方向に移動でき、且つ位置決めロッド121の端部がフィラメントホルダー2に当接されることでフィラメントホルダー2を固定することを実現する。
位置決めロッド121の移動は様々な伝動機構で実現できる。例えば、第1の位置決め調整機構12は、ナットが底板11に固定され、スクリューがナットと嵌合して位置決めロッド121を形成する複数のスクリューナットユニットであってもよく、スクリューを正反回転させると、位置決めロッド121を往復移動させて、フィラメントホルダー2の位置を調整して固定する。第1の位置決め調整機構12は更に、上記調整位置決め機能を実現可能な他の構造であってもよく、例えば、エアーシリンダー、油圧シリンダ等によって位置決めロッド121を移動させてもよく、且つ位置決めをより正確にするために、位置決めロッド121は少なくとも3本である。
フィラメントホルダー2は、フィラメント台座21と、フィラメント位置決め座22とを備え、フィラメント台座21は、上記底板11に取り付けられ、且つ軸線が第2の位置決め中心14を貫通し、フィラメント位置決め座22は、フィラメント台座21に取り付けられ、フィラメント3が少なくとも1つの接続ねじでフィラメント位置決め座22に取り付けられる。上記フィラメント位置決め座22とフィラメント台座21は、選択されたフィラメント3とマッチするフィラメント3の位置決め部材と固定部材であり、且つフィラメント位置決め座22は電子顕微鏡に備えるフィラメント3の位置決め部材であり、フィラメント位置決め座22の上端面はグリッドキャップ孔を有し、グリッドキャップ孔の中心は第1の位置決め中心となり、電子銃から放射された電子ビームはグリッドキャップ孔を介してテストサンプルに照射するので、フィラメント3を調整する目的は、フィラメント3のフィラメント先端を電子銃の中心位置に位置し、すなわち、フィラメント先端を第1の位置決め中心に位置することにある。
第2の位置決め調整機構13は、フィラメント3の位置決めを実現するように、フィラメント3を調整する。第2の位置決め調整機構13はフィラメント3とフィラメント位置決め座22との接続ねじを調整するための六角棒スパナを備え、接続ねじを締め付け又は緩めることで、固定フィラメント先端の位置を調整し、フィラメント3を位置決めするという目的を実現する。
検出モジュールは、フィラメント先端とフィラメントホルダー2の位置情報を収集して表示する。検出モジュールは、第2の位置決め中心14の真上に位置し、フィラメント先端とフィラメントホルダー2の位置画像情報を収集するための画像収集モジュール41と、画像収集モジュール41に接続され、位置画像情報を表示するための画像表示モジュール42とを備える。
フィラメント3を交換する時、電子顕微鏡に使用されるフィラメント3の型番及び生産メーカーが異なることから、電子顕微鏡フィラメント3は異なる形状を有し、フィラメント3とマッチするフィラメント位置決め座22とフィラメント台座21にも差異があり、例えば、異なるフィラメント台座21が異なる底端直径を有する。それに対し、第1の位置決め調整機構12は様々な直径を有するフィラメント台座21に対して調整・位置決めを行うことができ、それにより、本発明に係るフィラメント位置決めシステムは、各種タイプの電子顕微鏡フィラメント3に適用できる。画像収集モジュール41が第2の位置決め中心14の真上に設置され、フィラメント台座21の軸線が第2の位置決め中心14を通過するため、フィラメント3とフィラメント位置決め座22は画像検出モジュールの検出中心に位置し、それによって、画像収集モジュール41によるフィラメント3のフィラメント先端と第1の位置決め中心との相対位置の検出誤差を減少させ、位置決め精度を向上させ、且つ交換したいフィラメント3の形状が異なることによるフィラメント台座21の固定装置の再配置、及び検出中心の再調整の不便さを避け、従来のフィラメント台座21に固定位置決め中心がないことによる位置決め誤差を低減させる。同時に、画像表示モジュール42を設置することにより、フィラメント3とフィラメント位置決め座22との相対位置画像を明瞭に拡大して表示し、且つフィラメント先端と第1の位置決め中心との距離情報を表示し、このように、システムが手動モードでフィラメント3を位置決め・調整する場合、従来のフィラメント3の調整過程のように、フィラメントの先端位置を裸眼だけで観察することにより視覚誤差を引き起こすことを防止し、フィラメント3の手動調整による位置決め精度を向上させる。
駆動ユニット5は第1の駆動ユニット51と第2の駆動ユニット52を備え、第1の位置決め調整機構12及び/又は第2の位置決め調整機構13が調整作動するように駆動する。第1の駆動ユニット51は第1の位置決め調整機構12に接続され、第1の位置決め調整機構12を駆動して、フィラメントホルダー2の軸線位置を調整する。第1の駆動ユニット51は、第1のモーター又は油圧シリンダを備えてもよい。第2の駆動ユニット52はシャフトカップリング、マウント、溶接又は接着等の方式によって第2の調整機構に接続され、第2の調整機構が調整作動するように駆動することで、フィラメント先端の位置を調整する。第2の駆動ユニット52は、ステップモーター又はサーボモーターである第2のモーターを備えてもよく、モーター回転を正確に制御し、更にフィラメント3の調整時の正確な位置決めを実現する。フィラメント先端と第1の位置決め中心との誤差が小さいため、フィラメント3の位置決め調整精度を向上させるように、第2のモーターの調整精度は100μmより小さく、例えば、0.01μm、0.1μm、0.2μm、0.5μm、0.6μm、0.8μm、1μm、2μm、5μm、10μm、12μm、15μm、20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、70μm、80μm、90μm又は100μmであってもよい。システムが駆動ユニット5を一括して制御するために、第1の駆動ユニット51と第2の駆動ユニット52のいずれもステップモーターを用いることで、フィラメント3とフィラメントホルダー2に対する正確な制御位置決めを実現し、フィラメントホルダー2とフィラメント3の位置決め精度を向上させる。
駆動ユニット5を設置することにより、システムは半自動方式でフィラメント3とフィラメントホルダー2に対する位置決め・調整を実現できる。例えば、フィラメント3を調整する際に、画像表示モジュール42で表示された位置画像情報と距離情報を観測して、第2のモーターのステップを手動で調整することで、第2のモーターは、第2の位置決め調整機構13は、画像中のフィラメント先端が第1の位置決め中心と重なるまでネジを調整するように駆動する。フィラメントホルダー2を位置決め・調整する場合、第1のモーターを手動で駆動することで、第1のモーターは第1の位置決め調整機構12が調整作動するように駆動し、第1の位置決め調整機構12は、複数本の位置決めロッド121の末端がいずれもフィラメント台座21に当接する、すなわちフィラメント台座21の位置決めが完了するまで、複数本の位置決めロッド121を同時に移動させる。フィラメント3とフィラメントホルダー2の半自動位置決め方法の実現は、手動調整の作業量を軽減させて調整時間を短縮させ、同時にフィラメント3の位置決め精度を向上させることができる。
上記画像表示モジュール42は、画像収集モジュール41に接続され、フィラメント3とフィラメント位置決め座22の位置画像情報を受信するとともに、位置画像情報を検出して処理し、すなわち位置画像情報をコンピュータにより識別可能な形式に変換し、更に位置画像識別及び調整パラメータの計算を行うコンピュータ端末であってもよい。位置画像識別は、画像グレースケールによって画像でのフィラメント先端と第1の位置決め中心の位置を識別し、続いてフィラメント先端と第1の位置決め中心との間の距離を計算し、キャリブレーション方法で上記距離を実際の駆動距離に変換することで、フィラメント3の調整パラメータを計算する。前記キャリブレーション方法は本分野の公知方法であるため、詳細な説明を省略する。調整パラメータは、モーターの軸数、ホイールベース、回転角度及びフィードステップ数(モーターフィードステップ数=実際の駆動距離/第1のモーターのステップ幅)を含み、フィラメント3の位置決め・調整過程において、算出した調整パラメータに基づいて第1のモーターのステップを手動で調整することでフィラメント3の半自動位置決めを実現できる。
コンピュータ端末は更に、調整命令を送信することもでき、上記コンピュータ端末は、位置画像検出及び処理、位置画像識別及び調整命令のいずれも集積制御ソフトウェアによって実施される。集積制御ソフトウェアはフィラメント3の位置画像検出及び処理を行うソフトウェア、フィラメント3の位置画像識別を行うソフトウェア、フィラメント3の位置調整命令を送信するソフトウェア、及びフィラメントホルダー2の調整命令を送信するソフトウェアを含む。
検出モジュールは、位置決めロッド121がフィラメントホルダー2に向く端面に固定され、各位置決めロッド121がフィラメントホルダー2と当接するか否かを検出するためのセンサユニットを更に備える。センサユニットはコンピュータ端末に接続されて検出信号をコンピュータ端末にリアルタイムに転送し、コンピュータ端末は検出信号を受信して測定値を表示する。センサユニットは距離センサーや圧力センサー等であってもよく、好ましくは圧力センサーである。圧力センサーは、位置決めロッド121がフィラメントホルダー2に当接する場合にのみ圧力数値を発生させるため、制御しやすい。
制御ユニット6はコントローラ62とドライバ61を備える。モーターが直流又は交流電源に直接接続して作動できないため、専用の駆動電源、すなわちステップモータードライバ61を使用しなければならない。コントローラ62はそれぞれドライバ61と端末とに接続され、コンピュータ端末により送信された調整命令と調整パラメータを受信するとともに、信号をドライバ61に送信する。ドライバ61はそれぞれ第1のモーターと第2のモーターに接続され、コントローラ62により送信された信号を受信して第1のモーター又は第2のモーターが運転するように駆動する。コントローラ62が1つのパルス信号を送信するごとに、ドライバ61によってモーターを1つのステップアングル分回転させるため、モーターの回転速度がパルス信号の周波数と正比例し、そのため、ステップパルス信号の周波数を制御することにより、モーターの速度を正確に調整でき、ステップパルスの数を制御することにより、モーターの正確な位置決めを実現できる。
制御ユニット6はシステムによるフィラメントホルダー2とフィラメント3の全自動調整を実現できる。フィラメントホルダー2を調整する場合、コンピュータ端末はセンサユニットにより伝達された検出情報、すなわち複数の圧力センサーの圧力値を受信し、少なくとも1つの圧力値が予定値より小さい場合、フィラメントホルダー2の調整命令を送信し、コントローラ62は命令を受信してドライバ61にパルス信号を送信し、ドライバ61は信号を受信して第1のモーターを回転させ、第1のモーターは第1の位置決め調整機構12を駆動することで、複数本の位置決めロッド121が同時に第2の位置決め中心14に接近する方向に移動するようにし、且つ各位置決めロッド121の移動距離を制御でき、それにより、フィラメントホルダー2の軸線が第2の位置決め中心14を貫通し、全ての圧力センサーにより検出した圧力値が予定値以上になると、フィラメントホルダー2に対する位置決め・調整作動は完了し、すなわち、フィラメントホルダー2に対する位置決め固定は実現される。フィラメント3を調整する場合、画像収集モジュール41はフィラメント3とフィラメント位置決め座22の位置画像情報を収集してコンピュータ端末に転送し、コンピュータ端末は位置画像情報を受信して位置画像情報の検出処理、フィラメント3の画像位置識別及びフィラメント3の調整命令の送信を行い、コントローラ62は調整命令と調整パラメータを受信するとともに、信号をドライバ61に送信し、ドライバ61は信号を受信して第2のモーターが運転するように駆動し、第2のモーターは第2の位置決め調整装置が調整作動するように駆動し、最終的にフィラメント3のフィラメント先端を第1の位置決め中心にし、フィラメント3の位置決めを完了する。
本発明の実施例2は手動調整によってフィラメント3の位置決めを実現するフィラメント位置決め方法を提供し、ステップ1〜ステップ4を含む。
ステップ1では、フィラメントホルダー2とフィラメント3とをそれぞれ底板11とフィラメントホルダー2とに取り付ける。
選択された交換すべきフィラメント3に対し、フィラメント3のタイプに応じて、電子顕微鏡に備えるフィラメント位置決め座22とフィラメント台座21とを含む適切なフィラメントホルダー2を選択する。フィラメント3を4つの接続ねじでフィラメント位置決め座22に取り付け、フィラメント位置決め座22をフィラメント台座21に取り付け、フィラメント台座21を底板11にセットする。
ステップ2では、検出モジュールがフィラメントホルダー2とフィラメント3の位置情報を表示する。
検出モジュールは、画像収集モジュール41、画像表示モジュール42、及び圧力センサーを備えてもよい。画像収集モジュール41はフィラメントホルダー2とフィラメント3の位置画像情報を収集し、画像表示モジュール42は上記位置画像情報を表示し、画像表示モジュール42がコンピュータ端末である場合、コンピュータ端末は更に画像でのフィラメント先端と第1の位置決め中心との距離情報を計算でき、圧力センサーは各位置決めロッド121とフィラメントホルダー2との当接関係を検出するとともに、検出した圧力値をコンピュータ端末に転送して表示させる。従って、上記位置情報はフィラメント先端とフィラメントホルダー2の位置画像、フィラメント先端と第1の位置決め中心との同じ正投影面での実際の距離及びフィラメントホルダー2の軸線の第2の位置決め中心14に対する距離情報、すなわち各圧力センサーの圧力値を含む。
ステップ3では、位置情報に基づいて、第1の位置決め調整機構12が前記フィラメントホルダー2の位置を調整するように手動で駆動する。
位置情報中の各圧力センサーの圧力値に基づいて、各位置決めロッド121が第2の位置決め中心14に接近する方向に移動するように手動で交互に駆動し、手動駆動過程において、各圧力値の変化をリアルタイムに観測し、各圧力値がともに予め設定された値より大きいと、各位置決めロッド121は全てフィラメントホルダー2と当接することを示す。各圧力値が同じであると、各位置決めロッド121とフィラメントホルダー2との当接状態は同じであり、すなわちフィラメントホルダー2の軸線は第2の位置決め中心14位置を貫通することを示し、つまり、フィラメントホルダー2の位置決め調整は完了したことになる。
ステップ4では、前記位置情報に基づいて、第2の位置決め調整機構13が前記フィラメント3を調整するように手動で駆動することで、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させる。
位置情報中のフィラメント先端とフィラメントホルダー2の位置画像、フィラメント先端と第1の位置決め中心との同じ正投影面での実際の距離に基づいて、接続ねじを手動で交互に調整し、接続ねじを締め付け且つ緩めることでフィラメント先端の位置を調整し、フィラメント先端を第1の位置決め中心に位置させる。
本実施例2に係るフィラメントの手動位置決め方法は、従来のフィラメント3の手動位置決めのように、フィラメント先端とフィラメント位置決め座22の相対位置を裸眼で直接観測することにより視覚誤差を引き起こすことを防止し、フィラメント3の位置決め精度を向上させる。同時に、各種タイプのフィラメント3の位置決めに適用できる。
本発明の実施例3は、半自動方式でフィラメント3の位置決めを実現するフィラメント位置決め方法を提供し、実施例2との区別は、ステップ3とステップ4では駆動ユニットによって第1の位置決め調整機構及び/又は第2の位置決め調整機構が作動するように駆動する以外、ステップは実施例2と概ね同様であり、具体的には後述する。
ステップ3では、前記駆動ユニット5を手動で駆動することで、前記駆動ユニット5は、第1の位置決め調整機構12が前記フィラメントホルダー2の位置を調整するように駆動し、前記フィラメントホルダー2の軸線が第2の位置決め中心14を貫通するようにする。
位置情報中の各圧力センサーの圧力値に基づいて、第1の駆動ユニット51、具体的に第1のモーターを手動で駆動することで、第1のモーターは各位置決めロッド121が同時に移動するように駆動し、各圧力値がともに予め設定された値より大きい場合、第1のモーターの駆動を停止し、すなわちフィラメントホルダー2の位置決め及び固定は完了し、且つ、フィラメントホルダー2の軸線は第2の位置決め中心14を貫通する。
ステップ4では、前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニット5を手動で駆動することで、前記駆動ユニット5は、前記第2の位置決め調整機構13が前記フィラメント3を調整するように駆動し、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させる。
位置情報中のフィラメント先端とフィラメントホルダー2の位置画像、フィラメント先端と第1の位置決め中心との同じ正投影面での実際の距離に基づいて、第2のモーターを手動で駆動することで、第2のモーターは第2の位置決め調整機構13がフィラメント3を位置決め・調整するように駆動する。或いは、コンピュータ端末は、フィラメント先端と第1の位置決め中心との間の実際の距離に基づいて、第2のモーターの実際の駆動距離を計算し、第2のモーターのステップ数を取得し、算出したステップ数に基づいて、第2のモーターのステップを手動で調整し、それにより、第2のモーターは第2の位置決め調整機構13がフィラメント3を位置決め・調整するように駆動し、フィラメント3のフィラメント先端を第1の位置決め中心に位置させる。
本実施例3に係る半自動フィラメント位置決め方法は、調整機構の手動駆動による誤差を避け、フィラメント3の位置決めがより正確になると同時に、管理者の作業量を減少させる。
本実施例4は全自動フィラメント位置決め方法を提供し、ステップ2の後続ステップでは制御ユニットによって駆動ユニットが運動するように制御し、第1の位置決め調整機構12及び/又は第2の位置決め調整機構13を作動させる以外、ステップ1とステップ2は実施例2と同様であり、詳細は後述する。
ステップ3では、前記位置情報に基づいて、コンピュータ端末は調整パラメータを計算して調整命令を送信する。
前記位置情報は実施例2における位置情報と同様であるため、詳細な説明を省略する。コンピュータ端末は、位置情報中のフィラメント先端と第1の位置決め中心との距離に基づいて、キャリブレーション方法で上記距離を実際の駆動距離に変換するとともに、フィラメント3を調整するための調整パラメータを計算する。調整パラメータは、第1のモーターの軸数、ホイールベース、回転角度及びフィードステップ数(第1のモーターのフィードステップ数=実際の駆動距離/第1のモーターのステップ幅)を含む。算出した調整パラメータに基づいて、フィラメント3の調整命令を送信し、各圧力センサーが検出した圧力値に基づいて、少なくとも1つの圧力センサーの圧力値が予め設定された値より小さい場合、フィラメントホルダー2の調整命令を送信する。
ステップ4では、制御ユニット6は前記調整命令と調整パラメータを受信する。
コントローラ62はコンピュータ端末により送信された調整命令と調整パラメータを受信するとともに、信号をドライバ61に送信する。ドライバ61は調整命令タイプに基づいて、第1のモーターにパルス信号を送信し又は第2のモーターにパルス信号を送信して、第1のモーター又は第2のモーターを駆動する。
ステップ5では、ドライバ61が前記駆動ユニット5を駆動することで、駆動ユニット5は第1の位置決め調整機構12と第2の位置決め調整機構13が作動するように駆動し、フィラメントホルダー2の軸線が前記第2の位置決め中心14を貫通するようにし、フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させる。
ステップ5では、ドライバ61が前記駆動ユニット5を駆動することで、駆動ユニット5は第1の位置決め調整機構12と第2の位置決め調整機構13が作動するように駆動し、フィラメントホルダー2の軸線が前記第2の位置決め中心14を貫通するようにし、フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させる。
ステップ4での調整命令がフィラメントホルダー2の調整命令である場合、コントローラ62は第1のモーターを駆動し、第1のモーターは第1の位置決め調整機構12が調整作動するように駆動し、複数本の位置決めロッド121を同時に移動させ、各圧力センサーの圧力値がともに予め設定された値より大きくなると、コンピュータ端末はフィラメントホルダー2の調整命令の送信を停止し、第1のモーターの駆動を停止し、すなわち、フィラメントホルダー2の位置決めは完了し、フィラメントホルダー2の軸線は第2の位置決め中心14を貫通する。
ステップ4での調整命令がフィラメント3の調整命令である場合、コントローラ62は第2のモーターを駆動することで、第2のモーターは調整パラメータに基づいて第2の位置決め調整機構13が調整作動するように駆動し、調整フィラメント先端が第1の位置決め中心に位置するようになり、すなわちフィラメント3の位置決めは完了したことになる。
ステップ4での調整命令がフィラメント3の調整命令である場合、コントローラ62は第2のモーターを駆動することで、第2のモーターは調整パラメータに基づいて第2の位置決め調整機構13が調整作動するように駆動し、調整フィラメント先端が第1の位置決め中心に位置するようになり、すなわちフィラメント3の位置決めは完了したことになる。
本発明の実施例4に係る全自動フィラメント位置決め方法は、機械駆動とリアルタイム検出の共同作用を用い、システムの原理がシンプルで、フィラメント3の位置決め・調整過程における人的要因による影響を最大限に避け、フィラメント3の位置決め精度を向上させ、結像品質を向上させ、フィラメント3の耐用年数を延長させ、装置をより確実に作動できる。同時に、装置管理者の作業負担を軽減させ、装置管理の時間を節約する。科学研究時の結像研究に有利であるだけでなく、フィラメント3と電子顕微鏡の使用品質を確保し、装置使用者の効率を向上させる。
ただし、上記は本発明の好適な実施例及び用いる技術原理にすぎない。当業者にとっては、本発明がここに記載の特定実施例に制限されないことは自明なことであり、当業者であれば、本発明の技術的範囲から逸脱することなく、各種の顕著な変化、再調整や置換が可能であることは理解できる。従って、上記実施例によって本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施例に限定されず、本発明の思想から逸脱することなく、より多くの他の等価実施例を含むことができ、本発明の範囲は添付の請求項範囲により決定される。
11−底板、12−第1の位置決め調整機構、121−位置決めロッド、13−第2の位置決め調整機構、14−第2の位置決め中心、
2−フィラメントホルダー、21−フィラメント台座、22−フィラメント位置決め座、
3−フィラメント、
41−画像検出モジュール、42−画像表示モジュール、
5−駆動ユニット、51−第1の駆動ユニット、52−第2の駆動ユニット、
6−制御ユニット、61−ドライバ、62−コントローラ。
2−フィラメントホルダー、21−フィラメント台座、22−フィラメント位置決め座、
3−フィラメント、
41−画像検出モジュール、42−画像表示モジュール、
5−駆動ユニット、51−第1の駆動ユニット、52−第2の駆動ユニット、
6−制御ユニット、61−ドライバ、62−コントローラ。
Claims (27)
- 底板(11)と、第1の位置決め調整機構(12)と、第2の位置決め調整機構(13)と、検出モジュールとを備え、
前記底板(11)にフィラメント(3)を固定するためのフィラメントホルダー(2)が設置され、前記第1の位置決め調整機構(12)は、前記フィラメントホルダー(2)の前記底板(11)での位置を調整するように、前記底板(11)に取り付けられ、
前記フィラメントホルダー(2)は第1の位置決め中心を有し、前記第2の位置決め調整機構(13)は前記フィラメント(3)のフィラメント先端が前記第1の位置決め中心に位置するように前記フィラメント(3)を調整し、
検出モジュールは、前記フィラメント(3)のフィラメント先端と前記フィラメントホルダー(2)の位置情報を収集して表示するように用いられ、前記第1の位置決め調整機構(12)と前記第2の位置決め調整機構(13)とは前記位置情報に基づいて前記フィラメントホルダー(2)と前記フィラメントの位置を対応調整する、ことを特徴とするフィラメント位置決めシステム。 - 前記底板(11)は第2の位置決め中心(14)を有し、前記第1の位置決め調整機構(12)は、前記フィラメントホルダー(2)の軸線が前記第2の位置決め中心(14)を貫通するようにフィラメントホルダー(2)を調整し、
前記第1の位置決め中心は前記第2の位置決め中心(14)の真上に位置する、ことを特徴とする請求項1に記載のフィラメント位置決めシステム。 - 前記第1の位置決め調整機構(12)は、前記第2の位置決め中心(14)を円心として放射状に均等に分布し、前記第2の位置決め中心(14)に接近又は離遠する方向に移動できることで、端部が前記フィラメントホルダー(2)に当接して前記フィラメントホルダー(2)を固定する複数の位置決めロッド(121)を備える、ことを特徴とする請求項2に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第1の位置決め調整機構(12)は、ナットが前記底板(11)に固定され、スクリューが前記ナットと嵌合して前記位置決めロッド(121)を形成する複数のスクリューナットユニットを備える、ことを特徴とする請求項3に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記フィラメントホルダー(2)は、フィラメント台座(21)と、フィラメント位置決め座(22)とを備え、前記フィラメント位置決め座(22)が前記フィラメント台座(21)に取り付けられ、前記フィラメント(3)が前記フィラメント位置決め座(22)に取り付けられる、ことを特徴とする請求項2に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記フィラメント位置決め座(22)の上端面は、中心が前記第1の位置決め中心であるグリッドキャップ孔を有する、ことを特徴とする請求項5に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第2の位置決め調整機構(13)は、前記フィラメント(3)と前記フィラメント位置決め座(22)との接続ねじを調整することで、前記フィラメント先端の位置を調整するための六角棒スパナを備える、ことを特徴とする請求項6に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記検出モジュールは、前記フィラメント先端と前記フィラメントホルダー(2)の位置画像情報を収集するための画像収集モジュール(41)と、前記画像収集モジュール(41)に接続され、前記位置画像情報を表示するための画像表示モジュール(42)とを備える、ことを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記画像収集モジュール(41)は前記第2の位置決め中心(14)の真上に位置する、ことを特徴とする請求項8に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記画像表示モジュール(42)は、位置画像及び前記フィラメント先端と前記第1の位置決め中心との距離情報を含む前記位置画像情報を受信して処理するコンピュータ端末である、ことを特徴とする請求項8に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記検出モジュールは位置画像グレースケールによって前記フィラメント先端と前記第1の位置決め中心の位置を識別するとともに、前記フィラメント先端の前記フィラメントホルダーの上端面での正投影と前記第1の位置決め中心との距離を計算する、ことを特徴とする請求項10に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記検出モジュールは、前記位置決めロッド(121)の前記フィラメントホルダー(2)に向く端面に固定され、且つ検出した圧力値を表示する前記画像表示モジュール(42)に接続される圧力センサーを更に備える、ことを特徴とする請求項10に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第1の位置決め調整機構(12)と前記第2の位置決め調整機構(13)とに接続され、前記第1の位置決め調整機構(12)及び/又は前記第2の位置決め調整機構(13)が調整作動するように駆動するための駆動ユニット(5)を更に備える、ことを特徴とする請求項12に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記駆動ユニット(5)は、前記第1の位置決め調整機構(12)に接続され、前記フィラメントホルダー(2)の位置を調整するように、前記第1の位置決め調整機構(12)が作動するように駆動するための第1の駆動ユニット(51)を備える、ことを特徴とする請求項13に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第1の駆動ユニット(51)は、第1のモーター又は油圧シリンダを備える、ことを特徴とする請求項14に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記駆動ユニット(5)は、前記第2の位置決め調整機構(13)に接続され、前記フィラメント先端の位置を調整するように、前記第2の位置決め調整機構(13)が作動するように駆動するための第2の駆動ユニット(52)を更に備える、ことを特徴とする請求項14に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第2の駆動ユニット(52)は、第2のモーターを含む、ことを特徴とする請求項15に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第2のモーターはステップモーター又はサーボモーターである、ことを特徴とする請求項17に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記第2のモーターの調整精度は100μmより小さい、ことを特徴とする請求項17に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記検出モジュールと前記駆動ユニット(5)とにそれぞれ電気的に接続され、前記検出モジュールにより送信された前記位置情報を受信するとともに、前記駆動ユニット(5)が前記第1の位置決め調整機構(12)及び/又は第2の位置決め調整機構(13)の作動を駆動するように制御する制御ユニット(6)を更に備える、ことを特徴とする請求項14に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 前記制御ユニット(6)は、コントローラ(62)とドライバ(61)を備え、
前記コントローラ(62)は前記コンピュータ端末に接続され、前記コンピュータ端末が送信した調整命令と調整パラメータを受信するとともに、信号を前記ドライバ(61)へ送信し、
前記ドライバ(61)は前記駆動ユニット(5)及び前記コントローラ(62)にそれぞれ接続され、前記信号を受信して前記駆動ユニット(5)が運動するように駆動する、ことを特徴とする請求項20に記載のフィラメント位置決めシステム。 - 前記調整命令は、フィラメント調整命令及び/又はフィラメントホルダー調整命令を含み、
前記フィラメント調整命令は前記フィラメント先端の第1の位置決め中心に対する位置を調整することに用いられ、
前記フィラメントホルダー調整命令は前記フィラメント台座(21)の第2の位置決め中心(14)に対する位置を調整するとともに、前記フィラメント台座(21)を固定することに用いられる、ことを特徴とする請求項21に記載のフィラメント位置決めシステム。 - 前記調整パラメータは、モーターの軸数、ホイールベース、回転角度及びフィードステップ数を含む、ことを特徴とする請求項22に記載のフィラメント位置決めシステム。
- 請求項1〜23のいずれか1項に記載のフィラメント位置決めシステム用のフィラメント位置決め方法であって、
フィラメントホルダー(2)とフィラメント(3)とをそれぞれ底板(11)とフィラメントホルダー(2)とに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダー(2)と前記フィラメント(3)の位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、第1の位置決め調整機構(12)が前記フィラメントホルダー(2)の位置を調整するように手動で駆動することで、前記フィラメントホルダー(2)を前記底板(11)に固定するステップと、
前記位置情報に基づいて、第2の位置決め調整機構(13)が前記フィラメント(3)を調整するように手動で駆動することで、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させるステップとを含む、ことを特徴とするフィラメント位置決め方法。 - 請求項13〜23のいずれか1項に記載のフィラメント位置決めシステム用のフィラメント位置決め方法であって、
フィラメントホルダー(2)とフィラメント(3)とをそれぞれ底板(11)とフィラメントホルダー(2)とに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダー(2)と前記フィラメント(3)の位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニット(5)を手動で駆動することで、前記駆動ユニット(5)は、第1の位置決め調整機構(12)が前記フィラメントホルダー(2)の位置を調整するように駆動することにより、前記フィラメントホルダー(2)の軸線が前記第2の位置決め中心(14)を貫通するようにするステップと、
前記位置情報に基づいて、前記駆動ユニット(5)を手動で駆動することで、前記駆動ユニット(5)は、前記第2の位置決め調整機構(13)が前記フィラメント(3)を調整するように駆動し、前記フィラメント先端を前記第1の位置決め中心に位置させるステップとを含む、ことを特徴とするフィラメント位置決め方法。 - 請求項20〜23のいずれか1項に記載のフィラメント位置決めシステム用のフィラメント位置決め方法であって、
フィラメントホルダー(2)とフィラメント(3)とをそれぞれ底板(11)とフィラメントホルダー(2)とに取り付けるステップと、
検出モジュールが前記フィラメントホルダー(2)と前記フィラメント(3)の位置情報を表示するステップと、
前記位置情報に基づいて、コンピュータ端末が調整パラメータを計算して調整命令を送信するステップと、
制御ユニット(6)が前記調整命令と調整パラメータを受信するステップと、
前記駆動ユニット(5)を駆動することで、前記駆動ユニットは、前記第1の位置決め調整機構(12)と第2の位置決め調整機構(13)が作動するように駆動することにより、前記フィラメントホルダー(2)の軸線が前記第2の位置決め中心(14)を貫通して前記フィラメント先端が前記第1の位置決め中心に位置するようにするステップとを含む、ことを特徴とするフィラメント位置決め方法。 - 前記位置情報は、フィラメント先端と第1の位置決め中心との位置画像情報及び距離情報、並びに前記フィラメントホルダー(2)の軸線の第2の位置決め中心(14)に対する距離情報を含む、ことを特徴とする請求項25に記載のフィラメント位置決め方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710785357.9 | 2017-09-04 | ||
CN201710785357.9A CN107452578B (zh) | 2017-09-04 | 2017-09-04 | 一种灯丝定位系统及灯丝定位方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6422561B1 true JP6422561B1 (ja) | 2018-11-14 |
JP2019046777A JP2019046777A (ja) | 2019-03-22 |
Family
ID=60494736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017236668A Expired - Fee Related JP6422561B1 (ja) | 2017-09-04 | 2017-12-11 | フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10607805B2 (ja) |
JP (1) | JP6422561B1 (ja) |
CN (1) | CN107452578B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110223900B (zh) * | 2019-05-09 | 2021-07-30 | 广东省韶关市质量计量监督检测所 | 一种利用体视显微镜对中扫描电镜钨灯丝的操作方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5061754U (ja) * | 1973-10-08 | 1975-06-06 | ||
JPS54136170A (en) * | 1978-04-14 | 1979-10-23 | Hitachi Ltd | Field radiation electronic gun |
JPS55151738A (en) * | 1979-05-17 | 1980-11-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Electron gun |
JPS6430153A (en) * | 1987-06-26 | 1989-02-01 | Siemens Ag | Beam generating system of particle beam accelerator |
JPH04121936A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム軸合せ装置 |
JPH04328230A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-17 | Shimadzu Corp | 電子銃 |
JPH0656950U (ja) * | 1993-01-13 | 1994-08-05 | 日本電子株式会社 | 電子銃の軸調整機構 |
JP2005026026A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Horiba Ltd | 電界放出型電子銃 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5678052A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-26 | Toshiba Corp | Electron beam device |
JPS6196643A (ja) * | 1984-10-18 | 1986-05-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透過型電子顕微鏡 |
JP3645389B2 (ja) * | 1997-01-13 | 2005-05-11 | 富士写真フイルム株式会社 | 光源位置調整方法および光源装置 |
JP3720711B2 (ja) * | 2001-01-22 | 2005-11-30 | 株式会社日立製作所 | 電子線光軸補正方法 |
WO2003029921A2 (en) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Methods and systems for three-dimensional motion control and tracking of a mechanically unattached magnetic probe |
US7572504B2 (en) * | 2005-06-03 | 2009-08-11 | The Procter + Gamble Company | Fibrous structures comprising a polymer structure |
WO2009147894A1 (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
DE112010004286B4 (de) * | 2009-11-06 | 2021-01-28 | Hitachi High-Tech Corporation | Ladungsteilchenmikroskop |
JP2013251225A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビームの軸合わせ方法および荷電粒子ビーム装置 |
EP2801997B1 (en) * | 2013-05-06 | 2016-03-09 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Electron beam wafer inspection system and method for operation thereof |
CN204204789U (zh) * | 2014-07-10 | 2015-03-11 | 武汉钢铁(集团)公司 | 一种电子枪灯丝安装辅助装置 |
JP6378360B2 (ja) * | 2014-11-26 | 2018-08-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | イオンビーム装置 |
CN104882348B (zh) * | 2015-06-02 | 2016-04-20 | 国家纳米科学中心 | 一种灯丝定位系统、灯丝定位方法及应用 |
-
2017
- 2017-09-04 CN CN201710785357.9A patent/CN107452578B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2017-12-07 US US15/834,152 patent/US10607805B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2017-12-11 JP JP2017236668A patent/JP6422561B1/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5061754U (ja) * | 1973-10-08 | 1975-06-06 | ||
JPS54136170A (en) * | 1978-04-14 | 1979-10-23 | Hitachi Ltd | Field radiation electronic gun |
JPS55151738A (en) * | 1979-05-17 | 1980-11-26 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Electron gun |
JPS6430153A (en) * | 1987-06-26 | 1989-02-01 | Siemens Ag | Beam generating system of particle beam accelerator |
JPH04121936A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム軸合せ装置 |
JPH04328230A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-17 | Shimadzu Corp | 電子銃 |
JPH0656950U (ja) * | 1993-01-13 | 1994-08-05 | 日本電子株式会社 | 電子銃の軸調整機構 |
JP2005026026A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Horiba Ltd | 電界放出型電子銃 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10607805B2 (en) | 2020-03-31 |
CN107452578A (zh) | 2017-12-08 |
CN107452578B (zh) | 2018-06-22 |
US20190074156A1 (en) | 2019-03-07 |
JP2019046777A (ja) | 2019-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10811218B2 (en) | Tilting parameters calculating device, sample stage, charged particle beam device, and program | |
JP6588278B2 (ja) | 走査プローブ顕微鏡および走査プローブ顕微鏡の光軸調整方法 | |
US20080291466A1 (en) | Method and device for non-contact oscillation measurements | |
JP6422561B1 (ja) | フィラメント位置決めシステム及びフィラメント位置決め方法 | |
JP5852474B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
CN201429588Y (zh) | 大型工件焊缝自动超声扫查器 | |
WO2009157346A1 (ja) | 細胞操作観察装置 | |
JPWO2005010502A1 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の探針交換方法 | |
CN108983455A (zh) | 一种高精度视觉检测实时定位压接装置及方法 | |
US9478389B2 (en) | Scanning electron microscope | |
CN110500986A (zh) | 确定转台旋转中心线位置的方法、系统及光孔作业系统 | |
CN207381362U (zh) | 一种灯丝定位系统 | |
CN101603949A (zh) | 大型工件焊缝自动超声扫查器 | |
CN103213941B (zh) | 基于三目光学体视显微镜的焊盘引线结构 | |
CN112014252B (zh) | 一种用于小径管的布氏硬度现场测量装置 | |
CN202101945U (zh) | 电机磁瓦外观品质光电检测仪 | |
CN110673319B (zh) | 一种可自动调光源的显微镜激光修复系统及装置 | |
KR101613573B1 (ko) | 용접 자동화 시스템 및 이를 이용한 용접 제어 방법 | |
WO2009157345A1 (ja) | 細胞操作観察装置 | |
CN208240609U (zh) | 一种自动升降扫描电镜样品座系统 | |
CN104882348B (zh) | 一种灯丝定位系统、灯丝定位方法及应用 | |
JPH1092356A (ja) | 集束イオンビームの光軸調整方法および集束イオンビーム装置 | |
JP5566778B2 (ja) | 荷電粒子線装置、試料台ホルダー及び試料断面作製方法 | |
JPH10134746A (ja) | 集束イオンビームの光軸調整方法および集束イオンビーム装置 | |
CN110962126A (zh) | 一种配电间智能机器人的作业方法及作业系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181002 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6422561 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |