JPH04116771U - 加速度検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カンチレバータイプの加速度検出装置に於い
て、起歪体と処理回路部を一緒にする製造の容易化を図
る。 【構成】 回路基板３に穴部３１を設け、起歪体１の自
由端を穴部３１の領域に位置せしめて、起歪体の振動領
域を確保し、回路基板の他の部分に処理回路用の電子部
品２１，２２を組み込み、これをベースケース４上に載
置すると共に、カンケース５で封入し、リードピン６を
突設する。従って回路基板への起歪体及び電子部品の組
み込みが同時にでき、全体をケースで保護するため、ケ
ース収納が容易であり、且つ全体が小型化され、更にベ
ースケース４が起歪体１のストッパーとなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はカンチレバー型の加速度検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び考案が解決しようとする課題】

カンチレバータイプの加速度検出装置は、片持支持した起歪体の計測部表面に 、歪抵抗効果を奏する歪ゲージを付設し、起歪体の変動を所定の回路で電気的抵 抗の変化として検知し、この抵抗値の変化に基づいて起歪体に加わった応力を計 測し、非測定対象たる加速度を検出するものである。

【０００３】 また歪ゲージとしては金属箔や単結晶体を用いて起歪体上に接着したものや、 半導体ウエハー自体を起歪体としたもの、起歪体の表面に半導体薄膜を形成した もの等が知られている。この歪ゲージを用いた加速度検出装置は、微小抵抗変化 を検出する必要があり、変化値を増幅したりする処理回路部を備えている。しか し従来の加速度検出装置に在っては、処理回路部を起歪体と別に設けたり、或は 特開昭６３−８５６５号に示されているように同一の回路基板上に設置すると共 に、起歪体の基端を回路基板上に突設した台座に固着してなる。従って回路基板 に起歪体を突出装着し、更にケース体で保護した後、回路基板に各種電子部品を 組み込むため、起歪体組み込み部分が邪魔となって装置の製造が煩雑となり、逆 に回路基板に電子部品を組み込んだ後、起歪体にケースを被冠する場合でも電子 部品が邪魔になってしまう。

【０００４】 また加速度検出装置に在っては、起歪体の過動作を制限するため、ケース内に ダンバオイルを封入したり、ストッパーを設けたりしている。具体的には特開昭 ６２−１９０７７４号に示されているように起歪体の重り部の上下にストッパー 部材を配しているものが知られている。しかし態々ストッパー部材の組み込みが 必要となって、その製造が煩雑となってしまう。 そこで本考案は処理回路部の組み込みが容易であり、更にストッパー構成も簡 単に形成できる加速度検出装置を提案したものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る加速度検出装置は、歪ゲージを付設したカンチレバータイプの起 歪体と、歪ゲージの変化を検出し処理する処理回路部を備えた加速度検出装置に 於いて、処理回路部を組み込んだ回路基板の一部に穴部を設けると共に、起歪体 の自由端を穴部に突出せしめてその基端を回路基板に固着し、前記回路基板を所 定の保護ケース内に収納してなることを特徴とするものである。

【０００６】 また前記の加速度検出装置に於いて、保護ケースをベース板とカンケースとで 構成し、回路基板をベースケース上に載置して穴部底面をベースケースで開塞し て起歪体の過動作を制限するストッパー部としたことを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

回路基板に予め穴部を設けておき、起歪体に処理回路部を構成する電子部品と 一緒に回路基板に組み込むことができ、その全体をケースに収納するので、製作 が容易であると共に、起歪体の振動領域は穴部によって確保できる。更に回路基 板をベースケースに載置すると、穴部の底面を閉塞するベースケースは起歪体の 過動作を防止するストッパー部となる。

【０００８】

【実施例】

次に本考案の実施例について説明する。 図１及び図２は第一実施例を示すもので、この実施例の加速度検出装置は起歪 体１、処理回路部２、回路基板３、ベースケース４、カンケース５、リードピン ６で構成され、起歪体１は例えばステンレス鋼等で形成した基板１１の表面に絶 縁被膜を形成した後、周知の半導体薄膜製造技術を以て、基部に歪ゲージ１２、 リード部１３を各々形成してなる。処理回路部２は歪ゲージ１２の抵抗値変化を 検出し、これを増幅して出力するもで、回路基板３上に電子部品２１，２２を組 み込むと共にリード配線２３を施したものである。回路基板３は前記処理回路部 ２を組み込むと共に、予め穴部３１を形成しておき、起歪体１の基端部を穴部３ １の周縁部分に固着し、起歪体１のリード部１３と処理回路部２を電気的に接続 する。この起歪体１及び処理回路部２を組み込んだ回路基板３を、ケースで保護 するもので、ケース部材となるベースケース４は樹脂又はセラミックス製で、前 記回路基板３を載置すると共に、リードピン６を突設し、リードピン６と処理回 路部２とをリード線６１で接続し、ベースケース４上をカンケース５で覆うもの である。

【０００９】 従って起歪体１の自由端は穴部３１に於いて振動動作が可能であるので、この 振動による歪ゲージ１２の抵抗変化を処理回路部２で増幅し、リードピン６から 所定の信号を出力するものである。更にベースケース４が穴部３１の底面となる ため、起歪体１の過動作を制するストッパーの働きをなすものである。この様に 起歪体１及び処理回路部２を回路基板３に同時に組み込むことができ、且つ両者 を組み込んだ回路基板３の全体を保護ケースで被覆するので、加速度検出装置の 種々の機器への実装が容易になると共に、装置自体を小型化できる。

【００１０】 また図３は第二実施例を示すもので、これは穴部３１の底面にゲル状のシリコ ン３２を注入してなるもので、起歪体１の過動作の際のストッパー機能並びにダ ンパ機能を発揮させることができる。 尚本考案は前記実施例の限定されるものでなく、回路基板に穴部を設け、この 穴部によって起歪体１の振動領域を確保し、且つ回路基板に処理回路部用の電子 部品を組み込むものであれば、穴部や電子部品の組み込む位置や起歪体の種類は 任意であると共に、ベースケースやカンケースの材質や密封構造も任意である。

【００１１】

【考案の効果】

本案は以上のように穴部を有する回路基板に、起歪体に処理回路部を組み込み 、この回路基板に保護ケースに収納してなる加速度検出装置で、起歪体と処理回 路利用の電子部品を同時に組み込むことができ、同装置の製造が容易となったも のであり、且つ装置の小型化が達成される。更に前記の回路基板をベースケース 上に載置して組み込むようにする、穴部底面に位置するベースケースが起歪体の ストッパーとなるもので、ストッパーの組み込みが必要としなくなる等の利点を 有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施例のカンケースを除去した状態の斜視
図である。

【図２】同断面図である。

【図３】第二実施例の断面図である。

【符号の説明】

１ 起歪体 １１ 基板 １２ 歪ゲージ １３ リード線 ２ 処理回路部 ２１，２２ 電子部品 ２３ リード配線 ３ 回路基板 ３１ 穴部 ４ ベースケース ５ カンケース ６ リードピン ６１ リード線

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 歪ゲージを付設したカンチレバータイプ
   の起歪体と、歪ゲージの変化を検出し処理する処理回路
   部を備えた加速度検出装置に於いて、処理回路部を組み
   込んだ回路基板の一部に穴部を設けると共に、起歪体の
   自由端を穴部に突出せしめてその基端を回路基板に固着
   し、前記回路基板を所定の保護ケース内に収納してなる
   ことを特徴とする加速度検出装置。
2. 【請求項２】 請求項第１項記載の加速度検出装置に於
   いて、保護ケースをベース板とカンケースとで構成し、
   回路基板をベースケース上に載置して穴部底面をベース
   ケースで開塞して起歪体の過動作を制限するストッパー
   部としたことを特徴とする加速度検出装置。
3. 【請求項３】 請求項第２項記載の加速度検出装置に於
   いて、穴部内にゲル状シリコンを注入してなることを特
   徴とする加速度検出装置。