JPH04106800U - 電子線照射装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は電子線照射装置に関する。

（従来の技術） 周知のように電子線照射装置は、電子線照射源
を内蔵する真空室と、電子線が照射される被処理
物が通過する照射室とによって、主として構成さ
れている。

照射室をウェブ、バッチ兼用の構成とする場合、 照射室内部には、ウェブを搬送するロールを設置
するとともに、バッチ用のコンベアを設置するよ
うにしている。

このような構成において、ウェブを搬送する場
合、ロールを上昇させてその表面をウェブが転接
するようにしている。その場合照射室のウェブ出
口からのＸ線の漏洩を少なくするため、ロールの
昇降と連動して昇降する遮蔽板を、ウェブの裏面
に合い対して設置するのを普通としている。

（考案が解決しようとする課題） しかし従来の構成では、ウェブ表面にＸ線をコ
リメートするための遮蔽板がないため、ウェブ出
口からは若干のＸ線が漏洩する。

これを回避するためにウェブ表面に前記したよ
うな遮蔽板を設置すればよいが、その遮蔽板がバ
ッチ処理による搬送の際に邪魔になってはならな
いため、ウェブの表面に接近して設置することが
できない。

すなわちその遮蔽板とウェブの表面との間には、 広い隙間が必要となるため、その隙間からＸ線が
漏洩していくのは、どうしても避けることができ
ない。

この考案は、ウェブ表面からのＸ線の漏洩を、 バッチ処理の際に邪魔にならないような遮蔽板に
よって防止することを目的とする。

（課題を解決する手段） この考案は、ウェブを搬送するロールの昇降に
連動して昇降する、搬送されるウェブの上面に向
かいあう位置にある上遮蔽板と、同じく下面に向
かい合う位置にある下遮蔽板を設けたことを特徴
とする。

（作用） ロールをウェブの搬送位置まで上昇させたとき
は、これに連動して下遮蔽板は上昇し、また上遮
蔽板は下降する。これによって両遮蔽板間の間隔
は狭くなり、またその間をウェブが通過する。

バッチ処理の際には、ロールはバッチ搬送位置
よりも下降される。これに連動して下遮蔽板は下
降し、上遮蔽板は上昇して、バッチ搬送位置より
も上方に位置するようになる。

これによってウェブ搬送の際は、両遮蔽板の間
隔を十分に狭くすることができ、漏洩Ｘ線を極力
低減させることができるようになる。そしてその
上遮蔽板はバッチ処理の際には上方に動かされる
ので、なんら邪魔な存在にはならない。

（実施例） この考案の実施例を図によって説明する。１は
電子線照射源２を内蔵する真空室、３は電子線照
射源２からの電子線が照射される被処理物が通過
する照射室である。照射室３の両側には予備室４
が配置されてあり、そこにはバッチ処理の際に、 トレーを搬送するコンベア５が配置されてある。

６はトレーの出入口を開閉する扉、７は予備室４
のウェブ出口、８はウェブ出口７を開閉する扉で
ある。

照射室３の内部には、バッチ処理の際に使用す
るコンベア９が設置されてあり、図示しない駆動
源によって矢印方向に駆動されるようになってい
る。コンベア７にはトレーが載せられ、そのトレ
ーに被処理物が載せられて搬送される。その搬送
過程で電子線が照射される。

別にウェブ処理のために、ウェブ１０が添接す
るロール１１を設置する。ロール１１は上下方向
に昇降自在とされている。

そのためにウェブ１０の幅方向に沿って延びる
支点軸１２を用意し、その両端に揺動金具１３を
固定する。揺動金具１３にロール１１が回転自在
に指示されている。

また揺動金具１３は、アーム１４を介してシリ
ンダー１５のシリンダー軸１６に連結されてあり、 シリンダー１５の動作にしたがって、支点軸１２
を中心として揺動される。

揺動金具１３が第１図、第２図に示す位置に揺
動したとき、ロール１１はコンベア９より上部に
まで移動されるようになっている。これによって
ロール１１に添接するウェブ１０と、コンベア９
に載せられるトレー上の被処理物とは、電子線照
射源２から等距離に位置するようになる。

揺動金具１３が第３図に示す位置に揺動された
とき、ロール１１はコンベア９よりも下部にまで
移動されるようになっている。これによってロー
ル１１はバッチ処理時のコンベア９の移動路から
外れるので、バッチ処理の際にはなんら邪魔には
ならない。

揺動金具１３には下遮蔽板１７が取り付けられ
てあり、ロール１１とともに上下に揺動する。ロ
ール１１が上方に移動したとき、ウェブ１０の下
面に向かい合うことによって、Ｘ線が出口７から
外部に漏洩するのを防止する。

なお１８は固定されてある遮蔽板、１９はガイ
ド用のロール、２０は不活性ガス供給口である。

この考案にしたがい、揺動金具１３の上端に上
遮蔽板２１を取り付ける。この上遮蔽板２１は第
１図、第２図に示すように、ウェブ処理のために
ロール１１が上方に移動したとき、下降してウエ
ブ１０に接近する。これによってウエブ１０の上
面からのＸ線の漏洩が防止される。

バッチ処理の際には、揺動金具１３がシリンダ
１５によって反時計方向に回動される。この回動
によってロール１１が下遮蔽板１７とともに下降
するが、そのとき同時に上遮蔽板２１は上昇する。

この上昇によって上遮蔽板２１はバッチ処理には
邪魔にならない個所に位置するようになる。

（考案の効果） 以上詳述したようにこの考案によれば、ウエブ
表面からのＸ線の漏洩を防止することができると
ともに、ウエブ搬送用のロールの昇降に連動して
上遮蔽物を昇降するようにしたので、バッチ処理
の際になんら邪魔になることはないといった効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図は要部の拡大正面図、第２図は同じく動作状態
が異なる場合の拡大正面図である。 １……真空室、２……電子線照射源、３……照
射室、９……コンベア、１０……ウェブ、１１…
…ロール、１３……揺動金具、１７……下遮蔽
板、２１……上遮蔽板。

補正平４．５．１８
図面の簡単な説明を次のように補正する。 図面の簡単な説明
　第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図は要部の拡大正面図、第３図は同じく動作状態
が異なる場合の拡大正面図である。 １……真空室、２……電子線照射源、３……照
射室、９……コンベア、１０……ウェブ、１１…
…ロール、１３……揺動金員、１７……下遮蔽
板、２１……上遮蔽板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 電子線照射源を内蔵する真空室と、電子線を被
   処理物に照射する照射室とを備えてなる電子線照
   射装置において、 前記照射室の内部にバッチ処理用のコンベア
   と、ウェブ搬送用のロールとを設けるとともに、 前記ロールを昇降自在に支持する揺動金具に、前
   記ウェブの下面および上面に向かい合う下遮蔽板
   および上遮蔽板を設け、ウェブ処理の際、前記上
   下両遮蔽板を、バッチ処理時の邪魔にならない位
   置より前記ウェブの上下各面に接近する方向に前
   記揺動金具の回動によつて移動自在としてなる
   電子線照射装置。