JPH04106627U - 液体流量変動検出機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体レジスト塗布工程において、１枚のウ
ェーハに滴下するレジスト量の変動を検出するためのも
のである。 【構成】 液体流量変動検出機構は、レジスト配管内圧
を電気信号に変換する圧電素子１１，圧電素子からの信
号を実滴下量のパラメータに変換する積分回路１２，積
分回路によって処理されたパラメータと、あらかじめ設
定された値（適正滴下量に相当する値）を比較するため
の比較回路１３により構成される。 【効果】 レジスト配管系での漏れ，ポンプの動作不良
等があると、レジスト配管内圧の変動が生じ、積分回路
により処理された代数が変動するため、あらかじめ設定
された値との差が生じ、滴下量変動が検出できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は液体（ゾル状体も含む）流量変動検出機構に関し、半導体製造工程 の１つであるレジスト塗布工程のレジスト滴下量変動検出に好適するものである 。

【０００２】

【従来の技術】

従来のレジスト滴下量変動検出はレジスト圧送用ポンプの動作時間と動作スト ロークにより管理されており、実滴下量を検出する機構は設けられていない。図 ３は従来のレジスト定量滴下機構配管図を示す。図において、１はレジスト容器 ，２は逆止弁，３はレジスト圧送用のベローズポンプである。上記ベローズポン プ３はポンプ駆動用エアシリンダ４とポンプの動作ストローク検出用センサ５を 有している。

【０００３】 ポンプにより圧送されたレジストは、フィルタ６，逆止弁７，滴下完了と同時 に、エア圧でレジスト配管８の容積を変化させ、レジスト配管内の残圧を吸収す るためのサックションバルブ９を通過しノズル１０から滴下される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記のようにベローズポンプ３の動作時間とストロークだけの管理 では、ベローズポンプ３とノズル１０の間でレジスト漏れや配管折れが発生した 場合、滴下量が変動するにもかかわらず（適正滴下量に対し±０．５ccの精度が 必要）異常を検出できず、レジスト塗布の製品不良が発生するという問題がある 。

【０００５】 そこで、本考案は上述の問題を解決するために提案されたものであり、レジス ト漏れや配管折れが発生した場合に発生する滴下量変動を検出する機構を提供す ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

この考案は、上記の課題を解決するために従来のレジスト配管系統のポンプま たはレジスト配管またはノズルに圧電素子を装着するとともに、圧電素子からの 電圧信号を積分処理するための積分回路，および積分結果をあらかじめ設定して おいた適正値と比較するための比較回路を組み込んだことを特徴とするものであ る。

【０００７】

【作用】

上記の構成において、ポンプまたはレジスト配管またはノズルに装着された圧 電素子はレジスト圧送用ベローズポンプによって圧送されたレジスト圧により、 レジストが滴下される間、圧力を受け電圧を発生する。この電圧は積分回路によ り滴下時間で積分され、その結果があらかじめ定められた適正滴下量に相当する 値と比較回路により比較される。この結果が等しくない場合は滴下量が変動した こととなり、流量変動を検出することができる。

【０００８】

【実施例】

以下、この考案の実施例について図面を参照して説明する。図１はこの考案の 一実施例の液体流量変動検出方法を採用したレジスト定量滴下機構配管図を示す 。図においてノズル１０に装着された圧電素子１１はレジスト圧により素子表面 に取り付けられた金属プレートに生じた歪量を光電センサで検出し、レジスト圧 を電圧に変換するものである。圧電素子１１が出力された電圧信号を処理する積 分回路１２，比較回路１３，および比較回路１３での処理により、流量変動が検 出された際、警報を発するブザー１４を有する他は、図３と同様であるので、同 一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する。

【０００９】 上記の構成によれば、ノズル１０に圧電素子１１を装着したことにより、レジ スト配管８の折れ，破れによるレジスト配管内圧の変動を電圧信号としてとらえ ることができる。図２（ａ）はこの電圧信号を積分回路１２においてレジスト滴 下時間で積分することにより、決定される実滴下量のパラメータＳを示す。図２ （ｂ）はあらかじめ設定された適正滴下量に相当するパラメータＳ1 を示す。比 較回路１３でパラメータＳと代数Ｓ1 とを比較することにより、滴下量変動を検 出することができる。

【００１０】 なお、上記実施例では比較回路１３で滴下量変動が検出されたとき、ブザー１ ４で警報を発する場合について説明したが、比較回路の結果をベローズポンプ制 御にフィードバックし、滴下量が常に一定になるような制御を行ってもよい。

【００１１】

【考案の効果】

この考案は以上のように、レジスト定量滴下機構に圧電素子，積分回路，比較 回路を設けたことによって、実滴下量をパラメータにおきかえることができ、こ のパラメータを比較回路によってあらかしめ設定された値（適正滴下量に相当す る値）と比較することにより、滴下量変動を検出することができる。この機構を 採用すれば、滴下量の変動をリアルタイムでとらえることができるので、滴下量 変動による製品不良を未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この考案の一実施例の液体流量変動検出方法
を採用したレジスト滴下機構配管図

【図２】（ａ） 積分回路で決定される実滴下量のパラ
メータＳの意味を表すグラフ （ｂ） 適正滴下量のパラメータＳ1 の意味を表すグラ
フ

【図３】 従来の流量変動検出ができないレジスト滴下
機構配管図

【符号の説明】

ｔ レジスト滴下時間 ｖ 圧電素子出力電圧 ｈ 電圧差 Ｓ 実滴下量パラメータ Ｓ1 適正滴下量パラメータ １ レジスト容器 ２，７ 逆止弁 ３ ベローズポンプ ４ シリンダ ５ ストローク検出用センサ ６ フィルタ ８ レジスト配管 ９ サックションバルプ １０ ノズル １１ 圧電素子 １２ 積分回路 １３ 比較回路 １４ ブザー

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】液体容器，圧送用ポンプ，ノズルから構成
   される液体定量滴下機構において、配管内に圧電素子を
   設け、流量の変動を検出することを特徴とする液体流量
   変動検出機構。