JP4506122B2 - 塗布液供給装置 - Google Patents
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Description
。
により塗布状態の良否を判断して、表示部や警報機を制御する。
次に正常塗布と塗布異常時の作動油圧について図2のフローチャートを用いて説明する。
図1の本実施形態のダイヤフラムポンプ3による塗布液供給装置において、供給バルブ6が開放され吐出を開始すると所望の塗布膜厚に応じた液供給量で塗布ヘッド4に供給される。スリットコート中は塗布液が一定量で吐出されるために作動油側の圧力値も一定になる。定常塗布中は圧力変動が許容範囲内に収まる。この時の基板上に形成された膜厚は均一である(図5)。この場合は、制御部にて塗布正常と判断され塗布工程は終了し次の運転を続行する。
定常吐出ポンプの塗布液供給開始時に、作動油圧の加圧力が不足していると、塗布開始時の塗布液供給量が不足するため、先頭部が均一な膜厚を形成することが出来ない。この現象が生じた時に計測した作動油側の圧力値は、塗布液を塗布ヘッド4に供給するために供給バルブ6を開いた後の立ち上がりが鈍く定常圧になるまで時間がかかる。この時、制御部で比較演算する所望の圧力値と異なる結果であるため、制御部にて塗布異常と判断され異常信号を表示する。そして運転を停止させる(図6)。
ダイヤフラムポンプ3による塗布液供給装置において、連続運転を行っていると、消耗品であるダイヤフラムポンプ3内に使用するシール材の取付け不良や、バルブを接続する配管継手や配管が破損することによって圧力のリークが発生する場合がある。配管内の圧力がリークしている状態で塗布すると、供給バルブ6が開放されて液供給を開始すると、圧力のリークにより定常塗布中に圧力変動が大きくなることがある。作動油側の圧力センサから取り込まれる圧力値も許容範囲外の圧力変動を生じるため、制御部にて塗布異常と判断され異常信号を表示する。そして運転を停止させる(図7)。
することも可能である。
2 ダイヤフラム膜
3 ダイヤフラムポンプ
4 塗布ヘッド
5 フィルタ
6 供給バルブ
7 吸入バルブ
Claims (2)
- スリット状開口部からポンプを用いて一定量の塗布液を吐出しつつ塗布ヘッドが基板と相対移動するスリットコート式塗布装置に用いる塗布液供給装置であって、ポンプが作動油圧式のダイヤフラムポンプであり、ダイヤフラムポンプのダイヤフラムを駆動させる作動流体側の圧力を検出する圧力センサと、該圧力センサで検出した圧力値と予め記憶した所望の圧力値とを比較して、塗布液供給装置の塗布状態を判断する制御手段と、を具備した塗布液供給装置。
- 前記制御手段は、前記圧力センサで検出した圧力値が、前記所望の圧力値から定められた上限値以上あるいは下限値以下であるか否かを判断し、上限値以上あるいは下限値以下の場合には異常信号を表示することを特徴とする請求項1に記載の塗布液供給装置。
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