KR0122874Y1 - 진공도 측정장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 식각이 진행되는 동안에 페닝 게이지로의 폴리머의 유입을 방지하기 위해, 식각 장비의 공정방의 높은 진공도하에서 압력을 리딩하는 페닝게이지를 이용한 진공도 측정장치에 있어서, 공정방과 페닝게이지 사이에 형성된 측정관에 설치된 에어동작밸브와, 에어 동작 밸브로부터 측정관과 별도로 형성된 에어 튜브와, 에어 튜브의 끝단에 형성되어 공정방으로의 반응가스 유입여부를 알리는 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브를 포함하여 이루어져, 페닝게이지로의 폴리머의 유입을 방지하여 페닝게이지의 수명과 정확도를 향상시킨 것을 특징으로 한다.

Description

진공도 측정장치

제1도는 본 고안의 진공도 측정장치의 장치 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 공정방 11 : 터보펌프

12 : 러핑펌프 15 : 측정관

20 : 페닝게이지 30 : 에어 동작 밸브

31 : 에어 튜브 32 : 솔레노이드 밸브

40 : 메인 장비 41 : 타임 릴레이

본 고안은 진공도 측정장치에 관한 것으로, 특히 진공도 측정장치인 페닝게이지의 센싱부에 폴리머가 증착되는 것을 방지하여 정확한 진공도를 측정하기에 적당하도록 한 진공도 측정장치에 관한 것이다.

종래에는 공정방(chamber)에서 식각작업이 이루어지는 동안, 진공도 측정하기 위한 측정관이 계속해서 오픈되어 있으므로, 식각작업이 진행되는 동안 부산물이나 잉여가스 등이 진공펌프 등에 의해 펌핑되면서, 측정관을 통하여 페닝게이지로 폴리머가 유입되어, 센서부에 폴리머가 증착되게 된다. 이 과정이 반복되면서 페닝게이지 센서부위에 폴리머가 증착되어 결국 페닝 게이지 전체가 동작을 하지 않아 교환을 해야 되는 경우가 많았다.

페닝게이지는 공정방에서의 높은 진공도(1×10^-4Torr이하)를 리딩하는 장치로서, 식각이 이루어지는 시기에는 전혀 동작을 하지 않고 공정방의 압력을 리딩하는 캐패시턴스 마노메터(capacitance manometer)게이지가 공정방 압력을 리딩하게 된다.

따라서, 종래기술은 식각공정을 진행하는 동안, 전혀 동작을 하지 않는 페닝게이지로 폴리머가 계속유입되므로, 이 페닝 게이지의 센싱부위에 증착되어 장시간 사용할 경우, 이 게이지의 역할을 제대로 못하게되고, 새로운 것으로의 교환이 불가피하였다.

그래서, 본 고안은 식각이 진행되는 동안에 페닝 게이지로의 폴리머의 유입을 방지하기 위해, 식각 장비의 공정방의 높은 진공도하에서 압력을 리딩하는 페닝게이지를 이용한 진공도 측정장치에 있어서, 공정방과 페닝게이지 사이에 형성된 측정관에 설치된 에어동작밸브와, 에어 동작 밸브를 동작시키기 위한 에어 튜브와, 에어 튜브에 형성되고, 에어공급을 제어하기 위하여 공정방으로의 반응가스 유입여부를 알리는 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브를 포함하여 이루어진다.

따라서, 본 고안의 진공도 측정장치는 식각장비로부터 공정방으로의 반응가스 유입에 관한 정보를 가지는 신호를 입력받아, 반응가스가 유입될 경우에는 솔레노이드 밸브에서 장비로부터 신호를 인가받아 측정관에 형성된 에어 동작 밸브를 클로즈시키고, 반응가스의 유입이 끝난 경우에는 솔레노이드 밸브에서 장비로부터 신호를 인가받아 측정관에 형성된 에어 동작 밸브를 오픈시키도록 하여 식각작업시 발생하는 폴리머의 페닝게이지로의 유입을 방지하도록 동작된다.

제1도는 본 고안의 진공도 측정장치의 실시예에 관한 도면으로, 페닝게이지로(20)의 측정관(15)에 에어 동작 밸브(30)를 설치하고, 에어 동작 밸브(30)를 동작시키기 위한 에어공급용 에어 튜브(31)와, 에어 튜브(31)상에 솔레노이드 밸브(32)를 형성시켰다. 솔레노이드 밸브(32)는 메인장비(40)의 반응가스 유입신호를 인가 받는데, 이 경우에 유입을 알리는 유입신호는 별도로 형성시킨 타임 릴레이(41)를 거치도록 배선을 하였다.

따라서, 이와 같은 진공도 측정장치는 반응가스가 공정방(10)내부로 유입이 되면, 터보 펌프(11) 및 러핑펌프(12) 등이 동작하여 펌핑이 일어나는데, 이때, 메인장비(40)로부터 가스 유입여부를 알리는 신호가 인가되어, 일단 타임 릴레이(41)를 통해 미리 셋팅된 시간후, 솔레노이드 밸브(32)가 동작하여, 에어 동작밸브(30)를 클로즈시키게 된다. 한편, 유입되던 반응가스의 유입이 멈춰지면, 메인장비(40)로부터 가스공급중단의 신호가 인가되는데, 이 신호는 타임 릴레이(41)를 거치지 않고 바로 솔레노이드 밸브(32)를 동작시켜, 에어 동작 밸브(30)를 오픈시켜서, 페닝게이지(20)가 진공도를 측정할 수 있도록 하고 있다.

이때, 반응 가스 유입시에는 바로 반응가스가 측정관으로 유입되지 못하므로 타임 릴레이를 통하여 페닝게이지가 동작을 계속할 수 있도록 일정시간 지연하여 에어 동작 밸브를 클로즈 시키는 것이다.

즉, 본 고안은 장비에서 가스 유입신호의 온/오프 될 때, 이 신호를 솔레노이드 밸브에 연결하여 에어튜브를 이용하여 에어 오퍼레이션 밸브에 인가하여 가스가 챔버로 들어간 후, 타임릴레이를 이용하여 약 20초후에 에어오퍼레이션 밸브를 클로즈 한다. 식각공정이 끝나는 동시에 가스 유입신호가 오프신호를 받아 에어 오퍼레이션 밸브를 열어준다.

본 고안으로 페닝게이지의 센서부 등에 축적되는 폴리머로 인한 페닝게이지의 오동작을 막을 수 있어, 정확한 측정이 가능하며, 현재 3-4개월정도에 1개씩 페닝게이지를 교환하여야 하는데, 본 고안을 적용할 경우, 약 1년정도 사용가능함을 특징으로 한다.

Claims (2)

1. 식각 장비의 공정방의 높은 진공도하에서 압력을 리딩하는 페닝게이지를 이용한 진공도 측정장치에 있어서, 상기 공정방과 상기 페닝게이지 사이에 형성된 측정관에 설치된 에어동작밸브와, 상기 에어 동작 밸브를 동작시키기 위한 에어공급용 에어 튜브와, 상기 에어 튜브를 형성되고 에어공급을 제어하기 위하여 상기 공정방으로의 반응가스 유입여부를 알리는 신호에 따라 동작되는 솔레노이드 밸브를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공도 측정장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 공정방으로의 반응가스 유입시에만, 신호를 상기 솔레노이드 밸브와 연결되어 설치된 타임 릴레이를 거쳐 상기 솔레노이드 밸브를 동작시키는 것을 특징으로 하는 진공도 측정장치.