JPH04105567U - レーザシヤツタ装置 - Google Patents

レーザシヤツタ装置

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JPH04105567U
JPH04105567U JP1461491U JP1461491U JPH04105567U JP H04105567 U JPH04105567 U JP H04105567U JP 1461491 U JP1461491 U JP 1461491U JP 1461491 U JP1461491 U JP 1461491U JP H04105567 U JPH04105567 U JP H04105567U
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JP
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laser
shutter
mirror
total reflection
support plate
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Application number
JP1461491U
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English (en)
Inventor
隆司 宮崎
Original Assignee
ミヤチテクノス株式会社
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Abstract

(57)【要約】 [目的]レーザ光を遮断するに際してレーザ光による部
品損傷のおそれがなく、したがって部品交換の必要がな
く、また周囲の装置や作業員等に危害を与えないレーザ
シャッタ装置を提供する。 [構成]シャッタ本体20のミラー支持板26の折曲し
た下端延長部26aに全反射ミラー12の左半分が貼着
取付される。シャッタ閉モードでは、ミラー支持板26
が垂直方向の位置姿勢となり、全反射ミラー12は開口
23と対向する位置、つまりレーザ光軸上に位置に所定
の角度でセットされる。このようにレーザ光軸上にセッ
トされた全反射ミラー12の斜め向かいの所定位置に、
レーザ光吸収器30が配置されている。しかして、シヤ
ッタ支持板22の開口23を通って来たレーザ光は、全
反射ミラー12で全反射し、水冷式レーザ光吸収器30
の受光面に入射し、ここで熱に変換され速やかに消失す
る。シャッタ開モードに切り換えられると、シャッタ駆
動部24が作動し、回転軸25を介してミラー支持板2
6を点線26’の位置まで回動せしめる。これにより、
全反射ミラー12はレーザ光軸上から退避する。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、レーザ光を遮断するためのレーザシャッタ装置に係り、特にレーザ 分岐システム等で用いられるレーザシャッタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザ分岐システムは、レーザ発振装置より出力されたレーザ光を複数のレー ザ光に分岐して異なるポジションへ向けるもので、たとえばレーザ溶接のマルチ ・ポジション加工等で利用されている。このようなシステムでは、あるポジショ ンでレーザ加工を行わない時でも他のポジションでレーザ加工を行うことがある ため、レーザ光源のレーザ発振装置自体を止めるわけにはいかない。そこで、各 分岐ユニット毎にレーザシャッタ装置を配置し、各分岐ユニットで独立的にレー ザ光を遮断するようにしている。
【0003】 従来のこの種レーザシャッタ装置は、遮光板をレーザ光路上に挿入してレーザ 光を遮断し、レーザ光を通すときは該遮光板をレーザ光路上から退避させるよう なものであった。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
しかし、従来のレーザシャッタ装置においては、遮光板でレーザ光を受け止め るため、そこにレーザエネルギが蓄積(集中)して遮光板が損傷しやすく、遮光 板を頻繁に交換しなければならなかった。また一方で、レーザ光の一部が遮光板 から反射して付近へ散乱し、それが作業員の手に当たったり目に入るおそれがあ り、危険であった。
【0005】 本考案は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、レーザ光による部品損傷の おそれがなく、したがって部品交換の必要がなく、また安全性にも配慮したレー ザシャッタ装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、本考案のレーザシャッタ装置は、ミラーを備え、 シャッタ閉モードではミラーを所定の角度でレーザ光軸上に配置し、シャッタ開 モードではミラーをレーザ光軸上から退避させるシャッタ本体と、シャッタ閉モ ードにおいてミラーより反射されたレーザ光を受光するよう所定位置に配置され たレーザ光吸収手段とを具備する構成とした。 また、レーザ光吸収効果を高めるため、レーザ光吸収手段に冷却手段を設ける 構成とした。
【0007】
【作用】
シャッタ閉モードに切り換えられると、レーザ光軸上にミラーが所定の角度で セットされる。そうすると、レーザ光源側から来たレーザ光は、先ずミラーに入 射してから所定方向へ反射して所定位置のレーザ光吸収手段に入射し、ここで熱 に変換され消滅する。ミラーは、レーザ光を吸収しないので、焼損することはな い。また、レーザ光で反射したレーザ光は、所定位置のレーザ光吸収手段へ導か れるので、周囲の装置や作業員に危害を与えるおそれはない。
【0008】 レーザ光吸収手段に冷却手段を設けた場合は、レーザエネルギの熱が冷却媒体 に速やかに吸収されるので、レーザ光吸収(消滅)効率が高く、レーザ光吸収手 段の受光部の耐久性も向上する。
【0009】
【実施例】
以下、添付図を参照して本考案の一実施例を説明する。図1はこの実施例によ るレーザシャッタ装置を備えたレーザ装置の要部を示す平面図、図2は分岐ユニ ットの構成を示す側面図、図3は実施例のレーザシャッタ装置の構成を示す斜視 図、図4は実施例におけるレーザ光吸収器の構成を示す正面図である。
【0010】 図1において、1はレーザ発振装置、2は共振ミラー、3はハーフミラー、4 はパワー調整フィルタ、5は光入射ユニット、6は光ファイバ、10は本実施例 によるレーザシャッタ装置である。これらのうち、ハーフミラー3、レーザシャ ッタ装置10、パワー調整フィルタ4および光入射ユニット5が1つの分岐ユニ ットを構成する。
【0011】 レーザ発振装置1より出力されたレーザ光LBは、一対の共振ミラー2(他方 の共振ミラーは図示せず)の間で反射を繰り返し共振増幅ののち共振ミラー2よ り出射してハーフミラー3に入射し、ここで一部のレーザ光LB0 が所定の方向 に反射され、残りのレーザ光LB1 は透過して隣の分岐ユニット(図示せず)へ 進行する。
【0012】 ハーフミラー3で反射されたレーザ光LB0 は、レーザシャッタ装置10に入 射し、シャッタ閉モード時はここで遮断され、シャッタ開モード時はここを通過 してパワー調整フィルタ4側へ進行するようになっている。このレーザシャッタ 装置10は、全反射ミラー12を備え、シャッタ閉モードではレーザ光軸上に全 反射ミラー12を所定の角度で配置し、シャッタ開モードでは全反射ミラー12 をレーザ光軸上から退避させるシャッタ本体20と、シャッタ閉モードにおいて 全反射ミラー12より反射されたレーザ光LBO を受光するよう所定位置に配置 されたレーザ光吸収器30とで構成される。
【0013】 シャッタ本体20において、分岐ユニット台7(図2でのみ図示)上に立設さ れたシヤッタ支持板22の中央部にレーザ光LBO を通すための楕円形の開口2 3が形成され、この開口23の上方にロータリ・ソレノイド等の駆動手段を内蔵 したシャッタ駆動部24が取付される。このシャッタ駆動部24の回転軸25に ミラー支持板26が取付される。このミラー支持板26の下端部はL状に形成さ れていて開口23と対向し、このL状端部の延長部26aは所定角度折曲してお り、この折曲した延長部26aの片面(図2、図3では裏面)に八角形の全反射 ミラー12の左半分が貼着取付される。
【0014】 シャッタ閉モードでは、図2および図3に示すようにミラー支持板26が垂直 方向の姿勢をとり、全反射ミラー12は開口23と対向する位置に、つまりレー ザ光軸上の位置に所定の角度でセットされる。シャッタ開モードに切り換えられ ると、シャッタ駆動部24が作動して回転軸25を所定角度だけ回転駆動し、こ れによりミラー支持板26が図3の鎖線26’で示す位置状態まで回動し、全反 射ミラー12はレーザ光軸上から退避する。そして、再びシャッタ閉モードに切 り換えられると、上記と反対方向にミラー支持板26が鎖線26’の位置から実 線の位置まで回動することにより、全反射ミラー12はレーザ光軸上に所定の角 度でセットされる。
【0015】 さて、レーザ光軸上にセットされた全反射ミラー12の斜め向かいの所定位置 に、レーザ光吸収器30が配設される。このレーザ光吸収器30を支持する支持 板36は、シャッタ支持板22の下端部にネジ38で固着されている。しかして シャッタ閉モード時、ハーフミラー3からシャッタ支持板22の開口23を通っ て来たレーザ光LBO は、全反射ミラー12で全反射し、レーザ光吸収器30の 受光面に入射するようになっている。
【0016】 図4に示すように、このレーザ光吸収器30の受光面には同心円状に多数の溝 Gが形成され、入射したレーザ光はこれらの溝Gの中に閉じ込められ熱に変換さ れる。さらに、このレーザ光吸収器30には冷却水供給管32、冷却水排出管3 4を介して水冷装置(図示せず)より冷却水が供給され、この冷却水によってレ ーザ光の熱エネルギが速やかに消失する。
【0017】 このように、本実施例によるシャッタ閉モードにおいては、ハーフミラー3か らのレーザ光LB0 を、全反射ミラー12によって全反射せしめて、所定位置の レーザ光吸収器30へ導き、ここで冷却機構により不使用レーザ光LBO を速や かに消滅せしめるようにした。このような機構によれば、レーザ光LBO を受け る全反射ミラー12は、レーザ光LBO を吸収しないので、レーザエネルギによ って焼損するおそれはない。また、全反射ミラー12で反射したレーザ光LBO は全てレーザ光吸収器30に送られここで消滅するため、周囲の装置に害を与え ることはなく、作業員も安心して保守・点検を行うことができる。また、本実施 例では、レーザ光吸収器30の受光面で熱に変換されたレーザエネルギが冷却水 に速やかに吸収されるので、レーザ光吸収(消滅)効率が高く、受光部の耐久性 もよくなっている。
【0018】 なお、図1および図3において、28、29はミラー支持板26の位置を検出 するためのセンサである。図3に示すように、ミラー支持板26の右側上端部は 切断除去されていて、シャッタ閉モードの状態では、上部のセンサ28がミラー 支持板26を検知せず、下部のセンサ29がミラー支持板26の中間部を検知す る。しかし、鎖線26’で示すようなシャッタ閉モードの時は、反対に、上部の センサ28がミラー支持板26の上端部を検知し、下部のセンサ29はミラー支 持板26を検知しない。また、何らかの原因でミラー支持板26がシャッタ駆動 部24の回転軸25から脱落したとき等には、両センサ28,29はそれぞれミ ラー支持板26を検出しない。このように、両センサ28,29のいずれもミラ ー支持板26を検出しない場合は、全反射ミラー12がはたしてレーザ光軸上に セットされているのかどうか判別できないため、異常事態と判定され、警告信号 ないし警報が発生されるようになっている。
【0019】
【考案の効果】
本考案は、上述したような構成を有することにより、以下のような効果を奏す る。
【0020】 レーザ光軸上にミラーを所定の角度で配置し、そこで反射したレーザ光を所定 位置のレーザ光吸収手段に導いて消滅するようにしたので、レーザ光を遮断する に際して、レーザエネルギによる部品(特にミラーの)焼損のおそれはなく、し たがって部品交換の必要がなく、また周囲の装置や作業員に危害を与えるおそれ もない。
【0021】 また、レーザ光吸収手段に冷却手段を設けることで、レーザエネルギの熱を冷 却媒体によって速やかに吸収・消滅することができるので、レーザ光吸収(消滅 )効率を高めるとともに、レーザ光吸収手段の受光部の耐久性を向上することが できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例によるレーザシャッタ装置を
備えたレーザ装置の要部を示す平面図である。
【図2】実施例のレーザ装置における分岐ユニットの構
成を示す側面図である。
【図3】実施例のレーザシャッタ装置の構成を示す斜視
図である。
【図4】実施例におけるレーザ光吸収器の構成を示す正
面図である。
【符号の説明】
3 ハーフミラー 10 レーザシャッタ装置 12 全反射ミラー 20 シャッタ本体 24 シャッタ駆動部 26 ミラー支持板 30 レーザ光吸収器 32 冷却水供給管 34 冷却水排出管

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ミラーを備え、シャッタ閉モードでは前
    記ミラーを所定の角度でレーザ光軸上に挿入し、シャッ
    タ開モードでは前記ミラーを前記レーザ光軸上から退避
    させるシャッタ本体と、前記シャッタ閉モードにおいて
    前記ミラーより反射されたレーザ光を受光するよう所定
    位置に配置されたレーザ光吸収手段とを具備することを
    特徴とするレーザシャッタ装置。
  2. 【請求項2】 前記レーザ光吸収手段は冷却手段を有す
    ることを特徴とするレーザシャッタ装置。
JP1461491U 1991-02-21 1991-02-21 レーザシヤツタ装置 Pending JPH04105567U (ja)

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JP1461491U JPH04105567U (ja) 1991-02-21 1991-02-21 レーザシヤツタ装置

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5863187A (ja) * 1981-10-09 1983-04-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザエネルギ−開閉装置
JPS58166783A (ja) * 1982-03-26 1983-10-01 Nippon Sekigaisen Kogyo Kk レ−ザ照射装置
JPH01148485A (ja) * 1987-12-02 1989-06-09 Tokyo Electron Ltd 半導体製造装置
JPH02281678A (ja) * 1989-03-27 1990-11-19 General Electric Co <Ge> コヒーレント高エネルギ連続波レーザ・ビームを多重化する装置と方法

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