JPH04104997A - 結晶成長装置 - Google Patents
結晶成長装置Info
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- JPH04104997A JPH04104997A JP22364490A JP22364490A JPH04104997A JP H04104997 A JPH04104997 A JP H04104997A JP 22364490 A JP22364490 A JP 22364490A JP 22364490 A JP22364490 A JP 22364490A JP H04104997 A JPH04104997 A JP H04104997A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 148
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 55
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 41
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 29
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 3
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 2
- 238000002386 leaching Methods 0.000 description 2
- 230000005486 microgravity Effects 0.000 description 2
- 235000015842 Hesperis Nutrition 0.000 description 1
- 235000012633 Iberis amara Nutrition 0.000 description 1
- 206010067482 No adverse event Diseases 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B7/00—Single-crystal growth from solutions using solvents which are liquid at normal temperature, e.g. aqueous solutions
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
(産業上の利用分野)
この発明は、例えばロケット等による微小重力ないしは
無重力実験において汚染のない比較的大きな結晶をごく
短時間のうちにそしてより確実に成長させるのに利用さ
れる結晶成長装置に関するものである。 (従来の技術) 従来、この種の結晶成長装置としては、例えば第5図に
示すものがあった・ 第5図に基本構成を示す種結晶移送式の結晶成長装置t
71は、第5図(a)に示すように、溶液72を収容し
た溶液容器73の下部側に種結晶74を入れた種結晶室
75を設け、第5図(b)に示すように、種結晶74を
溶液72の中央部分に移送することによって溶液72に
種結晶74を接触させることにより結晶成長させるよう
にしたものであり、この結晶成長のようすは観察窓76
より観察するものとしている。 (発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような従来の種結晶移送式の結晶成
長装置71では、種結晶74を溶液72の中央部分に移
送するものとなっていたため、種結晶74の移送機構が
必要であると共に、この移送機構と溶液容器73との間
で溶液72のシール機構が必要であり、また、種結晶7
4の脱落の可能性があると共に、種結晶74を観察用光
学ビームに対して幾何学的に位置調整することが不可能
であるという課題を有していた。 (発明の目的) この発明は、このような従来の課題にかんがみてなされ
たもので、種結晶を移送させることなく固定したものと
することによって種結晶の移送機構や前記種結晶の移送
機構との間で溶液のシール機構を設ける必要がなく、種
結晶には位置変化が全くないものとすることによって結
晶の成長過程を観察する際に用いる観察用光学ビームの
幾何学的な位置調整が容易に可能であり、種結晶の固定
が著しく容易であって脱落のおそれがほとんどなく、汚
染のない比較的大きな結晶をごく短時間のうちに成長さ
せることが可能である結晶成長装置を提供することを目
的としている。
無重力実験において汚染のない比較的大きな結晶をごく
短時間のうちにそしてより確実に成長させるのに利用さ
れる結晶成長装置に関するものである。 (従来の技術) 従来、この種の結晶成長装置としては、例えば第5図に
示すものがあった・ 第5図に基本構成を示す種結晶移送式の結晶成長装置t
71は、第5図(a)に示すように、溶液72を収容し
た溶液容器73の下部側に種結晶74を入れた種結晶室
75を設け、第5図(b)に示すように、種結晶74を
溶液72の中央部分に移送することによって溶液72に
種結晶74を接触させることにより結晶成長させるよう
にしたものであり、この結晶成長のようすは観察窓76
より観察するものとしている。 (発明が解決しようとする課題) しかしながら、このような従来の種結晶移送式の結晶成
長装置71では、種結晶74を溶液72の中央部分に移
送するものとなっていたため、種結晶74の移送機構が
必要であると共に、この移送機構と溶液容器73との間
で溶液72のシール機構が必要であり、また、種結晶7
4の脱落の可能性があると共に、種結晶74を観察用光
学ビームに対して幾何学的に位置調整することが不可能
であるという課題を有していた。 (発明の目的) この発明は、このような従来の課題にかんがみてなされ
たもので、種結晶を移送させることなく固定したものと
することによって種結晶の移送機構や前記種結晶の移送
機構との間で溶液のシール機構を設ける必要がなく、種
結晶には位置変化が全くないものとすることによって結
晶の成長過程を観察する際に用いる観察用光学ビームの
幾何学的な位置調整が容易に可能であり、種結晶の固定
が著しく容易であって脱落のおそれがほとんどなく、汚
染のない比較的大きな結晶をごく短時間のうちに成長さ
せることが可能である結晶成長装置を提供することを目
的としている。
【発明の構成】
(課題を解決するための手段)
この発明に係わる結晶成長装置は、光学観察窓を有する
結晶成長容器の内部に、当該結晶成長容器と離隔して空
間部分を形成し且つ前記結晶成長容器と離隔したままで
移動可能にすると共に内部に溶液を収容する隔壁を備え
、前記光学観察窓の内面に、透光性を有する接着剤で種
結晶を接着して前記種結晶を前記空間部分内で固定した
構成とし、一実施態様においては、前記接着剤が、前記
光学観察窓の光の屈折率と同等(同一ないしは近似)の
光の屈折率を有する構成としたことを特徴としており、
このような結晶成長装置の構成を前述した従来の課題を
解決するための手段としている。 この発明に係わる結晶成長装置は、結晶成長容器に光学
観察窓を有するものであるが、この光学観察窓は、結晶
成長容器の壁部のうち観察用光学ビームの光路となる部
分(例えば、直交する二軸方向の光路となる部分)のみ
に局所的に設けるようにしてもよく、また、結晶成長容
器の周面の大部分が光学観察窓と同一材質からなるもの
とじてもよく、結晶成長容器に有する光学観察窓の形態
はとくに細かくは限定されない。 そして、前記光学観察窓の内面に、透光性を有する接着
剤で種結晶を接着して前記種結晶を空間部分内で固定し
たものとしているが、この場合の接着剤としては、上記
したごとく透光性を有している必要があることから透明
度が高いことのほか、光の屈折率が光学観察窓(光学ガ
ラス等)の光の屈折率と同等(同一ないしは近似)のも
のであること、種結晶の接着時に光学観察窓と種結晶と
の間に気泡がほとんど混入しないこと、接着力が強く種
結晶の脱落がないこと、温度等の選択によって接着時間
をある程度調整できること、種結晶に対して接着による
悪影響がないこと、溶液に対する溶出・溶脱がないこと
、などがあげられ、このような要望を満たす接着剤とし
ては、エポキシ樹脂と硬化剤とを攪拌したのち接着に供
する二液性エポキシ樹脂が用いられ、この場合に重合硬
化後における接着剤の光の屈折率が前記光学観察窓の光
の屈折率と同等(同一ないしは近似)のものとなるよう
に調節された接着剤を用いることがとくに好ましいが、
接着剤の詳細についてはとくに限定されない。 (発明の作用) この発明に係わる結晶成長装置は、前述した構成を有し
ているものであるから、結晶成長容器と隔壁とが離隔し
ていることによって、結晶成長容器を光学観察窓兼用と
したときでも、隔壁を移動させたことによる光学観察窓
の光学的精度の低下が生じないものとなり、種結晶は光
学観察窓の内面に透光性を有する接着剤で接着して固定
されていることから、光学ビームによる結晶成長過程の
観察を高精度で行えるようになると共に、種結晶の固定
が著しく容易でかつ脱落のおそれがないものとなり、種
結晶を溶液中に移送するものではないため種結晶の移送
機構や前記種結晶の移送機構との間での溶液のシール機
構を設ける必要がなくなって、汚染のない比較的大きな
結晶がごく短時間のうちに成長することになる。 (実施例) $1図ないし第4図はこの発明に係わる結晶成長装置の
一実施例を示している。 第1図および第2図は、結晶成長開始前の状態を示し、
この結晶成長装置1は、上部フレーム2と、この上部フ
レーム2との間で0リング3を介在させた下部フレーム
4と、この下部フレーム4との間で0リング5を介在さ
せた底部フレーム6とを有し、下部フレーム4には光学
m察窓の部分が石英ガラスで製作された光学観察窓兼結
晶成長容器10を固定している。そして、この光学観察
窓兼結晶成長容器10は、その上端側が前記上部フレー
ム2の下端部により固定されている。 上記結晶成長容器10の内部には、当該結晶成長容器1
0と離隔して空間部分12を形成する隔壁13が設けで
ある。この隔壁13は、前記上部フレーム2との間で0
リング15が設けてあり、才た前記下部フレーム4との
間でOリング17が設けてあって、それぞれの部分での
シール性が良好なものとなるようにしである。 この隔壁13の内側には後述のごと〈隔壁13の上昇争
下降をガイドする隔壁案内用ブロック11が0リング1
6を介在させた状態で設けてあり、この隔壁13の内部
で且つ前記隔壁案内用ブロック11と下部フレーム4の
底部とで形成される容器部分には溶液20が収容してあ
り、上部側の溶液温度計測センサー21と下部側の溶液
温度計測センサー22を備えている。 また、下部フレーム4と底部フレーム6との間には溶液
容器25が設けてあり、この溶液容器25の内部と前記
隔壁13の内部とは溶液連通孔26で連通しである。 この溶液容器25内の底部には溶液体積(圧力)調整用
ダイヤフラム27が後に示す光学ビームの妨げにならな
い位置に設けてあり、このダイヤフラム27は適宜のベ
ローズやその他同様の機能を有するものと置換すること
が可能であって、このダイヤフラム27の上面は溶液2
0と接触していると共に、このダイヤフラム27の下面
は外気連通孔28を介して外気と連通しており、さらに
この溶液容器25にはその内部と連通ずる真空引き兼溶
液注入口29が設けである。なお、外気が真空である場
合には、このようなダイヤフラム27および外気連通孔
28をそなえた溶液容器25の構造には限らない。 また、下部フレーム4の底部側には、前記溶液20の温
度を調整するための溶液温度制御用ヒーターおよび/ま
たはクーラー(この実施例では温度制御用ヒーターのみ
であって、クーラーを設ける場合には例えばペルチェ素
子を用いることができる。〕31が設けてあり、この溶
液温度制御用ヒーター31による加熱によって溶液20
を過飽和の状態に維持させることができるようにしであ
ると共に、溶液容器25内の溶液温度を計測するための
溶液温度計測センサー32が設けである。 さらに、前記隔壁13の上端には内部にめねじ部を有す
るめねじブロック35が固定してあり、このめねじブロ
ック35には、前記隔壁案内用ブロック11に設けた軸
受11aと上部フレーム2の上端に固定した上端ブロッ
ク36に設けた軸受36aの間で回転可能に設けたおね
じ棒37がねじ込んである。 そして、このおねじ棒37の上端には隔壁引き上げ用ギ
ヤ38が固足しであると共にこの隔壁引き上げ用ギヤ3
8には隔壁引き上げ用モータ39のモータ軸39aに固
定したモータ側ギヤ40がかみ合わせてあって、隔壁引
き上げ用モータ39の回転によってめねじブロック35
が前記おねじ棒37に沿って隔壁13とともに上昇する
ようにしである。この際、隔壁13は隔壁案内用ブロッ
ク11によってガイドされており、上昇中にその下端側
ががたつくことはない。 一方、前記光学観察窓兼結晶成長容器10において、種
結晶50の接着部近傍には種結晶温度計測センサー51
が設けてあり、この種結晶温度計測センサー51が設け
られた空間部分12は真空引き口52を通して真空引き
されるようになっている。 また、種結晶50は、第3図に拡大して示すように、光
学観察窓兼結晶成長容器10の囚閤に、透光性を有する
接着剤4夕で接着することにより、この種結晶50を空
間部分12の内部で固定するようにしている。この実施
例において、前記接着剤4夕として、二液性エポキシ樹
脂よりなるものを用いた。さらに具体的には、樹脂と硬
化剤とをlO:1の比率で混合攪拌したものを用い、接
着面の乾燥を十分に行って接着時の気泡の発生を防ぐよ
うにしたのち、各接着面に前記混合攪拌した未硬化の接
着剤(42)を塗布して所望の重合硬化時間が得られる
温度に恒温保持して重合硬化させることにより接着する
。ここで用いた接着剤42は、透光性が要求される場合
に適したものであって、光の屈折率が1.54に調整さ
れたもの(商品名;ペトロポキシ154を使用)であっ
て、光学観察窓兼結晶成長容器10の光の屈折率と同等
の屈折率を有するものである。 さらに、前記種結晶50の近傍で且つ光学観察窓兼結晶
成長容器10の外側には、種結晶冷却用クーラー(例え
ば、ペルチェ素子)55が設けてあり、この種結晶冷却
用クーラー55によって種結晶50を過冷却の状態に維
持させることができるようにしであると共に、この種結
晶冷却用クーラー55には光学ビーム通過用孔55aが
形成してあって、この部分で第1図、第3図および第4
図に二点鎖線で示す種結晶正面および溶液観察用光学ビ
ーム61が通過しうるようにしであると共に、これと直
交する方向に第1図、第3図および第4図に一点鎖線で
示す種結晶側面および溶液観察用光学ビーム62が通過
しうるようにしてあり、種結晶50を透光性のある接着
剤49を用いて光学観察窓兼結晶成長容器10の内面に
固定することによって、光学ビーム61.62との幾何
学的な位置調整が可能となるようにしである。 次に、このような光学観察用窓を4面に有する構造をも
つ結晶成長装置1を用いてロケット搭載微小重力試験に
よって種結晶50を用いた溶液20の結晶成長を行う手
順について説明する。 まず、隔壁13が降下していて、隔壁13と上部フレー
ム2とがOリング15によってシールされ、隔壁13と
隔壁案内用ブロック11とが0リング16によってシー
ルされ、隔壁13と下部フレーム4とがOリング17に
よってシールされた状態において、真空引き兼溶液注入
口29を通して溶液容器25の内部および溶液連通孔2
6を介して隔壁13の内部の真空引きを行う、この真空
引きは、この後に供給される溶液(20)内に気泡が入
るのを防止するためである。この真空引き後に、同じく
真空引き兼溶液注入口29を通して溶液20の供給を行
い、溶液容器25の内部および溶液連通孔26を通して
隔壁13の内部に溶液20を充填する。 次に、光学観察窓兼結晶成長容器10の内面に種結晶5
0を前記した要領で接着剤49により接着する。このと
き、種結晶50の接着位置は、種結晶冷却用クーラー5
5に設けた光学ビーム通過用孔55aの位置に合わせる
。そして、種結晶50を接着した後、真空引き口52を
通して真空引きを行い、空間部分12を真空状態とし、
結晶成長の開始までの所定時間は隔壁13によって種結
晶50と溶液20とが隔離された状態に維持する。この
とき、空間部分12の真空引きを行うのは、後に隔壁1
3を上昇させた際に、溶液20内に気泡が入るのを防ぐ
ためである。 次いで、ロケットの打ち上げ後結晶成長を行うときにお
いて、隔壁引き上げ用モータ39を回転させ、モータ側
ギヤ40および隔壁引き上げ用ギヤ38を介しておねじ
棒37を回転させて、おねじ棒37とめねじブロック3
5とのかみ合いによりこのめねじブロック35をおねじ
棒37に沿って上昇させ、このめねじブロック35の上
昇と同時に隔壁13をも上昇させて@4図に示す状態と
する。 第4図に示すように、隔壁13が上昇することによって
、隔壁13内の溶液20は空間部分12内に流れて種結
晶50と接触する。このとき、隔壁13内の溶液20と
溶液容器25内の溶液20とは溶液連通孔26を介して
連通し、ダイヤフラム27の下面側と外気とは外気連通
孔28を介して連通しているので、溶液20の圧力と外
部との圧力差によってダイヤフラム27が移動すること
により、溶液容器25内の溶液20が溶液連通孔26を
通って前記空間部分12の容積にみあう分だけ隔壁13
内に流れる。 これとほぼ同時期において、種結晶冷却用クーラー55
によって種結晶50を急速冷却し、種結晶50の表面で
短時間のうちに結晶成長を行わせ、この結晶成長過程を
種結晶正面および溶液観察用光学ビーム61と種結晶側
面および溶液観察用光学ビーム62とによって二次元的
に観察する。 かくして、結晶成長を全自動でかつ確実に行わせること
ができ、結晶成長のその場観察が可能となる。 この実施例において、溶液20の中に浸漬された8液温
度計測センサー21.22は、隔壁13を上昇させる前
後において位置の変動がないため、光学観察(干渉法に
よる温度分布計測)の基準となる。また、溶液容器25
の底面に設けた溶液体積(圧力)調整用ダイヤフラム2
7は、溶液20に押されて安定したものとなり、例えば
ロケットの打ち上げ時の振動・衝撃に対しても溶液20
を乱すようなことはない。 したがって、この実施例によれば、種結晶50の接着に
、tXcI力が強く十分な機械的強度が得られる二液エ
ポキシ樹脂よりなる接着剤を用いているため、薄板状を
なす種結晶50の固定が著しく容易であると共に1種結
晶50の脱落のおそれも全くなく、種結晶50の接着面
は溶液と接触しないために、結晶成長は種結晶50の表
面から確実に発生するようになって、観察用光学ビーム
61.62による観察が最適条件のもとて良好に行える
ようになり、接着剤の透明度が高くかつその光の屈折率
が光学観察窓兼結晶成長容器10の光学観察窓の光の屈
折率と同等であるようにしているため光学観察において
良好な条件が得られるようになり、種結晶50に対する
接着による悪影響がないと共に溶液20に対する溶出・
溶脱のおそれもなく、汚染のない比較的大きな結晶をご
く短時間のうちに成長させることが可能になる。
結晶成長容器の内部に、当該結晶成長容器と離隔して空
間部分を形成し且つ前記結晶成長容器と離隔したままで
移動可能にすると共に内部に溶液を収容する隔壁を備え
、前記光学観察窓の内面に、透光性を有する接着剤で種
結晶を接着して前記種結晶を前記空間部分内で固定した
構成とし、一実施態様においては、前記接着剤が、前記
光学観察窓の光の屈折率と同等(同一ないしは近似)の
光の屈折率を有する構成としたことを特徴としており、
このような結晶成長装置の構成を前述した従来の課題を
解決するための手段としている。 この発明に係わる結晶成長装置は、結晶成長容器に光学
観察窓を有するものであるが、この光学観察窓は、結晶
成長容器の壁部のうち観察用光学ビームの光路となる部
分(例えば、直交する二軸方向の光路となる部分)のみ
に局所的に設けるようにしてもよく、また、結晶成長容
器の周面の大部分が光学観察窓と同一材質からなるもの
とじてもよく、結晶成長容器に有する光学観察窓の形態
はとくに細かくは限定されない。 そして、前記光学観察窓の内面に、透光性を有する接着
剤で種結晶を接着して前記種結晶を空間部分内で固定し
たものとしているが、この場合の接着剤としては、上記
したごとく透光性を有している必要があることから透明
度が高いことのほか、光の屈折率が光学観察窓(光学ガ
ラス等)の光の屈折率と同等(同一ないしは近似)のも
のであること、種結晶の接着時に光学観察窓と種結晶と
の間に気泡がほとんど混入しないこと、接着力が強く種
結晶の脱落がないこと、温度等の選択によって接着時間
をある程度調整できること、種結晶に対して接着による
悪影響がないこと、溶液に対する溶出・溶脱がないこと
、などがあげられ、このような要望を満たす接着剤とし
ては、エポキシ樹脂と硬化剤とを攪拌したのち接着に供
する二液性エポキシ樹脂が用いられ、この場合に重合硬
化後における接着剤の光の屈折率が前記光学観察窓の光
の屈折率と同等(同一ないしは近似)のものとなるよう
に調節された接着剤を用いることがとくに好ましいが、
接着剤の詳細についてはとくに限定されない。 (発明の作用) この発明に係わる結晶成長装置は、前述した構成を有し
ているものであるから、結晶成長容器と隔壁とが離隔し
ていることによって、結晶成長容器を光学観察窓兼用と
したときでも、隔壁を移動させたことによる光学観察窓
の光学的精度の低下が生じないものとなり、種結晶は光
学観察窓の内面に透光性を有する接着剤で接着して固定
されていることから、光学ビームによる結晶成長過程の
観察を高精度で行えるようになると共に、種結晶の固定
が著しく容易でかつ脱落のおそれがないものとなり、種
結晶を溶液中に移送するものではないため種結晶の移送
機構や前記種結晶の移送機構との間での溶液のシール機
構を設ける必要がなくなって、汚染のない比較的大きな
結晶がごく短時間のうちに成長することになる。 (実施例) $1図ないし第4図はこの発明に係わる結晶成長装置の
一実施例を示している。 第1図および第2図は、結晶成長開始前の状態を示し、
この結晶成長装置1は、上部フレーム2と、この上部フ
レーム2との間で0リング3を介在させた下部フレーム
4と、この下部フレーム4との間で0リング5を介在さ
せた底部フレーム6とを有し、下部フレーム4には光学
m察窓の部分が石英ガラスで製作された光学観察窓兼結
晶成長容器10を固定している。そして、この光学観察
窓兼結晶成長容器10は、その上端側が前記上部フレー
ム2の下端部により固定されている。 上記結晶成長容器10の内部には、当該結晶成長容器1
0と離隔して空間部分12を形成する隔壁13が設けで
ある。この隔壁13は、前記上部フレーム2との間で0
リング15が設けてあり、才た前記下部フレーム4との
間でOリング17が設けてあって、それぞれの部分での
シール性が良好なものとなるようにしである。 この隔壁13の内側には後述のごと〈隔壁13の上昇争
下降をガイドする隔壁案内用ブロック11が0リング1
6を介在させた状態で設けてあり、この隔壁13の内部
で且つ前記隔壁案内用ブロック11と下部フレーム4の
底部とで形成される容器部分には溶液20が収容してあ
り、上部側の溶液温度計測センサー21と下部側の溶液
温度計測センサー22を備えている。 また、下部フレーム4と底部フレーム6との間には溶液
容器25が設けてあり、この溶液容器25の内部と前記
隔壁13の内部とは溶液連通孔26で連通しである。 この溶液容器25内の底部には溶液体積(圧力)調整用
ダイヤフラム27が後に示す光学ビームの妨げにならな
い位置に設けてあり、このダイヤフラム27は適宜のベ
ローズやその他同様の機能を有するものと置換すること
が可能であって、このダイヤフラム27の上面は溶液2
0と接触していると共に、このダイヤフラム27の下面
は外気連通孔28を介して外気と連通しており、さらに
この溶液容器25にはその内部と連通ずる真空引き兼溶
液注入口29が設けである。なお、外気が真空である場
合には、このようなダイヤフラム27および外気連通孔
28をそなえた溶液容器25の構造には限らない。 また、下部フレーム4の底部側には、前記溶液20の温
度を調整するための溶液温度制御用ヒーターおよび/ま
たはクーラー(この実施例では温度制御用ヒーターのみ
であって、クーラーを設ける場合には例えばペルチェ素
子を用いることができる。〕31が設けてあり、この溶
液温度制御用ヒーター31による加熱によって溶液20
を過飽和の状態に維持させることができるようにしであ
ると共に、溶液容器25内の溶液温度を計測するための
溶液温度計測センサー32が設けである。 さらに、前記隔壁13の上端には内部にめねじ部を有す
るめねじブロック35が固定してあり、このめねじブロ
ック35には、前記隔壁案内用ブロック11に設けた軸
受11aと上部フレーム2の上端に固定した上端ブロッ
ク36に設けた軸受36aの間で回転可能に設けたおね
じ棒37がねじ込んである。 そして、このおねじ棒37の上端には隔壁引き上げ用ギ
ヤ38が固足しであると共にこの隔壁引き上げ用ギヤ3
8には隔壁引き上げ用モータ39のモータ軸39aに固
定したモータ側ギヤ40がかみ合わせてあって、隔壁引
き上げ用モータ39の回転によってめねじブロック35
が前記おねじ棒37に沿って隔壁13とともに上昇する
ようにしである。この際、隔壁13は隔壁案内用ブロッ
ク11によってガイドされており、上昇中にその下端側
ががたつくことはない。 一方、前記光学観察窓兼結晶成長容器10において、種
結晶50の接着部近傍には種結晶温度計測センサー51
が設けてあり、この種結晶温度計測センサー51が設け
られた空間部分12は真空引き口52を通して真空引き
されるようになっている。 また、種結晶50は、第3図に拡大して示すように、光
学観察窓兼結晶成長容器10の囚閤に、透光性を有する
接着剤4夕で接着することにより、この種結晶50を空
間部分12の内部で固定するようにしている。この実施
例において、前記接着剤4夕として、二液性エポキシ樹
脂よりなるものを用いた。さらに具体的には、樹脂と硬
化剤とをlO:1の比率で混合攪拌したものを用い、接
着面の乾燥を十分に行って接着時の気泡の発生を防ぐよ
うにしたのち、各接着面に前記混合攪拌した未硬化の接
着剤(42)を塗布して所望の重合硬化時間が得られる
温度に恒温保持して重合硬化させることにより接着する
。ここで用いた接着剤42は、透光性が要求される場合
に適したものであって、光の屈折率が1.54に調整さ
れたもの(商品名;ペトロポキシ154を使用)であっ
て、光学観察窓兼結晶成長容器10の光の屈折率と同等
の屈折率を有するものである。 さらに、前記種結晶50の近傍で且つ光学観察窓兼結晶
成長容器10の外側には、種結晶冷却用クーラー(例え
ば、ペルチェ素子)55が設けてあり、この種結晶冷却
用クーラー55によって種結晶50を過冷却の状態に維
持させることができるようにしであると共に、この種結
晶冷却用クーラー55には光学ビーム通過用孔55aが
形成してあって、この部分で第1図、第3図および第4
図に二点鎖線で示す種結晶正面および溶液観察用光学ビ
ーム61が通過しうるようにしであると共に、これと直
交する方向に第1図、第3図および第4図に一点鎖線で
示す種結晶側面および溶液観察用光学ビーム62が通過
しうるようにしてあり、種結晶50を透光性のある接着
剤49を用いて光学観察窓兼結晶成長容器10の内面に
固定することによって、光学ビーム61.62との幾何
学的な位置調整が可能となるようにしである。 次に、このような光学観察用窓を4面に有する構造をも
つ結晶成長装置1を用いてロケット搭載微小重力試験に
よって種結晶50を用いた溶液20の結晶成長を行う手
順について説明する。 まず、隔壁13が降下していて、隔壁13と上部フレー
ム2とがOリング15によってシールされ、隔壁13と
隔壁案内用ブロック11とが0リング16によってシー
ルされ、隔壁13と下部フレーム4とがOリング17に
よってシールされた状態において、真空引き兼溶液注入
口29を通して溶液容器25の内部および溶液連通孔2
6を介して隔壁13の内部の真空引きを行う、この真空
引きは、この後に供給される溶液(20)内に気泡が入
るのを防止するためである。この真空引き後に、同じく
真空引き兼溶液注入口29を通して溶液20の供給を行
い、溶液容器25の内部および溶液連通孔26を通して
隔壁13の内部に溶液20を充填する。 次に、光学観察窓兼結晶成長容器10の内面に種結晶5
0を前記した要領で接着剤49により接着する。このと
き、種結晶50の接着位置は、種結晶冷却用クーラー5
5に設けた光学ビーム通過用孔55aの位置に合わせる
。そして、種結晶50を接着した後、真空引き口52を
通して真空引きを行い、空間部分12を真空状態とし、
結晶成長の開始までの所定時間は隔壁13によって種結
晶50と溶液20とが隔離された状態に維持する。この
とき、空間部分12の真空引きを行うのは、後に隔壁1
3を上昇させた際に、溶液20内に気泡が入るのを防ぐ
ためである。 次いで、ロケットの打ち上げ後結晶成長を行うときにお
いて、隔壁引き上げ用モータ39を回転させ、モータ側
ギヤ40および隔壁引き上げ用ギヤ38を介しておねじ
棒37を回転させて、おねじ棒37とめねじブロック3
5とのかみ合いによりこのめねじブロック35をおねじ
棒37に沿って上昇させ、このめねじブロック35の上
昇と同時に隔壁13をも上昇させて@4図に示す状態と
する。 第4図に示すように、隔壁13が上昇することによって
、隔壁13内の溶液20は空間部分12内に流れて種結
晶50と接触する。このとき、隔壁13内の溶液20と
溶液容器25内の溶液20とは溶液連通孔26を介して
連通し、ダイヤフラム27の下面側と外気とは外気連通
孔28を介して連通しているので、溶液20の圧力と外
部との圧力差によってダイヤフラム27が移動すること
により、溶液容器25内の溶液20が溶液連通孔26を
通って前記空間部分12の容積にみあう分だけ隔壁13
内に流れる。 これとほぼ同時期において、種結晶冷却用クーラー55
によって種結晶50を急速冷却し、種結晶50の表面で
短時間のうちに結晶成長を行わせ、この結晶成長過程を
種結晶正面および溶液観察用光学ビーム61と種結晶側
面および溶液観察用光学ビーム62とによって二次元的
に観察する。 かくして、結晶成長を全自動でかつ確実に行わせること
ができ、結晶成長のその場観察が可能となる。 この実施例において、溶液20の中に浸漬された8液温
度計測センサー21.22は、隔壁13を上昇させる前
後において位置の変動がないため、光学観察(干渉法に
よる温度分布計測)の基準となる。また、溶液容器25
の底面に設けた溶液体積(圧力)調整用ダイヤフラム2
7は、溶液20に押されて安定したものとなり、例えば
ロケットの打ち上げ時の振動・衝撃に対しても溶液20
を乱すようなことはない。 したがって、この実施例によれば、種結晶50の接着に
、tXcI力が強く十分な機械的強度が得られる二液エ
ポキシ樹脂よりなる接着剤を用いているため、薄板状を
なす種結晶50の固定が著しく容易であると共に1種結
晶50の脱落のおそれも全くなく、種結晶50の接着面
は溶液と接触しないために、結晶成長は種結晶50の表
面から確実に発生するようになって、観察用光学ビーム
61.62による観察が最適条件のもとて良好に行える
ようになり、接着剤の透明度が高くかつその光の屈折率
が光学観察窓兼結晶成長容器10の光学観察窓の光の屈
折率と同等であるようにしているため光学観察において
良好な条件が得られるようになり、種結晶50に対する
接着による悪影響がないと共に溶液20に対する溶出・
溶脱のおそれもなく、汚染のない比較的大きな結晶をご
く短時間のうちに成長させることが可能になる。
この発明に係わる結晶成長装置は、光学観察窓を有する
結晶成長容器の内部に、当該結晶成長容器と離隔して空
間部分を形成し且つ前記結晶成長容器と離隔したままで
移動可能にすると共に内部に溶液を収容する隔壁を備え
、前記光学観W!窓の内面に、透光性を有する接着剤で
種結晶を接着して前記種結晶を前記空間部分内で固定し
た構成としたから、結晶成長を行わせるまでは種結晶と
溶液とを隔離した状態としておくことができ、この隔離
した状態を所定時間維持したのち結晶成長を行わせると
きには隔壁を移動させることによって種結晶と溶液とを
接触させることができ、隔壁の移動の際には隔壁と結晶
成長容器とが離隔しているため、結晶成長容器を光学観
察窓兼用としたときでも、隔壁を移動させたことによる
光学観察窓の光学的精度の低下を生じないものとするこ
とが可能であり1種結晶は光学観察窓の内面に透光性を
有する接着剤で接着固定されていることから、光学ビー
ムによる結晶成長過程のその場観察を高精度で行うこと
ができるようになると共に、種結晶の固定が著しく容易
であってかつまた接着後の脱落のおそれがないものとな
り、種結晶を溶液中に移送するものではないため種結晶
の移送機構や溶液のシール機構を設ける必要がなくなっ
て、汚染のない比較的大きな結晶をごく短時間のうちに
そしてまたその場観察のもとで成長させることが可能で
あるという著しく優れた効果がもたらされる。
結晶成長容器の内部に、当該結晶成長容器と離隔して空
間部分を形成し且つ前記結晶成長容器と離隔したままで
移動可能にすると共に内部に溶液を収容する隔壁を備え
、前記光学観W!窓の内面に、透光性を有する接着剤で
種結晶を接着して前記種結晶を前記空間部分内で固定し
た構成としたから、結晶成長を行わせるまでは種結晶と
溶液とを隔離した状態としておくことができ、この隔離
した状態を所定時間維持したのち結晶成長を行わせると
きには隔壁を移動させることによって種結晶と溶液とを
接触させることができ、隔壁の移動の際には隔壁と結晶
成長容器とが離隔しているため、結晶成長容器を光学観
察窓兼用としたときでも、隔壁を移動させたことによる
光学観察窓の光学的精度の低下を生じないものとするこ
とが可能であり1種結晶は光学観察窓の内面に透光性を
有する接着剤で接着固定されていることから、光学ビー
ムによる結晶成長過程のその場観察を高精度で行うこと
ができるようになると共に、種結晶の固定が著しく容易
であってかつまた接着後の脱落のおそれがないものとな
り、種結晶を溶液中に移送するものではないため種結晶
の移送機構や溶液のシール機構を設ける必要がなくなっ
て、汚染のない比較的大きな結晶をごく短時間のうちに
そしてまたその場観察のもとで成長させることが可能で
あるという著しく優れた効果がもたらされる。
第1図および第2図はこの発明に係わる結晶成長装置の
一実施例を示す側面方向からの縦断面説明図および正面
方向からの□部分縦断面説明図、第3図は第1図に示し
た結晶成長装置において種結晶の接着固定部分を拡大し
て示す断面説明図、第4図は第1図に示した結晶成長装
置において結晶成長を開始した後の状態を示す側面方向
からの縦断面説明図、第5図(a)(b)は従来の結晶
成長装置の一例を示す各々結晶成長開始前後の概略説明
図である。 1・・・結晶成長装置、10・・・光学観察窓兼結晶成
長容器、12・・・空間部分、13・・・隔壁、20・
・・溶液、49・・・接着剤、50・・・種結晶。
一実施例を示す側面方向からの縦断面説明図および正面
方向からの□部分縦断面説明図、第3図は第1図に示し
た結晶成長装置において種結晶の接着固定部分を拡大し
て示す断面説明図、第4図は第1図に示した結晶成長装
置において結晶成長を開始した後の状態を示す側面方向
からの縦断面説明図、第5図(a)(b)は従来の結晶
成長装置の一例を示す各々結晶成長開始前後の概略説明
図である。 1・・・結晶成長装置、10・・・光学観察窓兼結晶成
長容器、12・・・空間部分、13・・・隔壁、20・
・・溶液、49・・・接着剤、50・・・種結晶。
Claims (2)
- (1)光学観察窓を有する結晶成長容器の内部に、当該
結晶成長容器と離隔して空間部分を形成し且つ前記結晶
成長容器と離隔したままで移動可能にすると共に内部に
溶液を収容する隔壁を備え、前記光学観察窓の内面に、
透光性を有する接着剤で種結晶を接着して前記種結晶を
前記空間部分内で固定したことを特徴とする結晶成長装
置。 - (2)接着剤は、光学観察窓の光の屈折率と同等の光の
屈折率を有する請求項第1項に記載の結晶成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2223644A JP2749979B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2223644A JP2749979B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 結晶成長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04104997A true JPH04104997A (ja) | 1992-04-07 |
JP2749979B2 JP2749979B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=16801417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2223644A Expired - Fee Related JP2749979B2 (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 結晶成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2749979B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105568359A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-05-11 | 济南晶艺光电技术有限公司 | 水溶液晶体一体化生长炉 |
CN115433999A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-12-06 | 四川大学 | 一种生长全无机非铅钙钛矿单晶的方法 |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP2223644A patent/JP2749979B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN105568359A (zh) * | 2016-01-27 | 2016-05-11 | 济南晶艺光电技术有限公司 | 水溶液晶体一体化生长炉 |
CN115433999A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-12-06 | 四川大学 | 一种生长全无机非铅钙钛矿单晶的方法 |
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---|---|
JP2749979B2 (ja) | 1998-05-13 |
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