JPH0397860A - 金属化フィルムの製造方法 - Google Patents
金属化フィルムの製造方法Info
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- JPH0397860A JPH0397860A JP23253889A JP23253889A JPH0397860A JP H0397860 A JPH0397860 A JP H0397860A JP 23253889 A JP23253889 A JP 23253889A JP 23253889 A JP23253889 A JP 23253889A JP H0397860 A JPH0397860 A JP H0397860A
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は電気機器，通信機器，制御機器等の電気回路用
素子のフィルムコンデンサ等に用いられる金属化フィル
ムの製造方法に関するものである。
素子のフィルムコンデンサ等に用いられる金属化フィル
ムの製造方法に関するものである。
従来の技術
近年、エレクトロニクス技術の進歩は著シク、エレクト
ロニクス技術を使用した電気機器，通信機器，制御機器
等は多機能化，小型化が進んでいる。従って、電気回路
を構或する回路素子の小型化が強く要望されている。
ロニクス技術を使用した電気機器，通信機器，制御機器
等は多機能化，小型化が進んでいる。従って、電気回路
を構或する回路素子の小型化が強く要望されている。
この中の回路素子の１つである蒸着電極型フィルムコン
デンサは、小型化を図るための一要因として誘電体とな
るフィルムの厚みを薄くしている。
デンサは、小型化を図るための一要因として誘電体とな
るフィルムの厚みを薄くしている。
コンデンサは電極層の形成のためにフィルムの表面に金
属薄膜層を形成する必要がある。従来から長尺のフィル
ムに金属薄膜層を形戒するのに巻取式真空蒸着法が多〈
用いられてきた。
属薄膜層を形成する必要がある。従来から長尺のフィル
ムに金属薄膜層を形戒するのに巻取式真空蒸着法が多〈
用いられてきた。
発明が解決しようとする課題
従来や・ら行なわれている蕩取式真７ｌ′！蒸着法は、
”ａｉ ｊＭ ｒ専膜層を１｛３或するときにフィルム
が焼けたり、；塾，′｛；化しないように蒸着ドラムの
温度をマイナス２０＝４０℃にも冷却していた。しかし
フィルムーゴンデンザの小型化を目的とした数ミクロン
厚以−１・のフ、イルムでは付着した金属原子の持つ潜
熱や落発ｌ原からの輻ｑ４熱によりフィルムが焼けたり
、カ劣化したりしてフ，イノレムコンデンサの材料に供
しｆ′；’＆い場合があった。叉、コンデンサ用のアル
ミニウム（Ａ＃）薄１摸層としては、耐湿特性を更に向
Ｌさせたい要望があった。
”ａｉ ｊＭ ｒ専膜層を１｛３或するときにフィルム
が焼けたり、；塾，′｛；化しないように蒸着ドラムの
温度をマイナス２０＝４０℃にも冷却していた。しかし
フィルムーゴンデンザの小型化を目的とした数ミクロン
厚以−１・のフ、イルムでは付着した金属原子の持つ潜
熱や落発ｌ原からの輻ｑ４熱によりフィルムが焼けたり
、カ劣化したりしてフ，イノレムコンデンサの材料に供
しｆ′；’＆い場合があった。叉、コンデンサ用のアル
ミニウム（Ａ＃）薄１摸層としては、耐湿特性を更に向
Ｌさせたい要望があった。
木允明は数ミクロン厚以下の極薄フィルムで、これらの
要望を満たす金属化フィルムを提供するものである。
要望を満たす金属化フィルムを提供するものである。
１課題を解ｌ１ｋするための手段
本発明は金属薄膜層を形成するときのフィルムの温度−
１二杯によるフィルムの熱劣化を防止するのに蒸着ドラ
Ｊ・の温度をマイナス２０〜４０℃にも１・゛げること
なく、蒸着ドラムの温度は５〜１５℃程度で７ずル・ノ
・を蒸着ドラムの外周表面に強く密着させて、フィルム
の温度上−４１を防＋Ｌ Ｌ．でフイノレムの．ハ劣化
なしに金属薄膜層を形成するために、真空中で金属薄膜
屠を形成する［）１■のフイノレムに電子ビー１・を照
射すると共に蒸発源の如熱にも電子ビームを使って、フ
ィルムを電気的に帯電させて蒸着ドラムの外周表面に強
く密着させたものである。
１二杯によるフィルムの熱劣化を防止するのに蒸着ドラ
Ｊ・の温度をマイナス２０〜４０℃にも１・゛げること
なく、蒸着ドラムの温度は５〜１５℃程度で７ずル・ノ
・を蒸着ドラムの外周表面に強く密着させて、フィルム
の温度上−４１を防＋Ｌ Ｌ．でフイノレムの．ハ劣化
なしに金属薄膜層を形成するために、真空中で金属薄膜
屠を形成する［）１■のフイノレムに電子ビー１・を照
射すると共に蒸発源の如熱にも電子ビームを使って、フ
ィルムを電気的に帯電させて蒸着ドラムの外周表面に強
く密着させたものである。
作 用
−Ｅ記方法によれば、蒸１ｔドラム外周表面の両端に蒸
発金属が蒸着されるのを少なくするためのフィルム両端
のマージン部’ｙｔで強い密着の／こめ、フィルムが蒸
着ドラｌ・の外周表面から離れる部分で３μｍ以下の極
薄フィルムでも切断しないようにできる。
発金属が蒸着されるのを少なくするためのフィルム両端
のマージン部’ｙｔで強い密着の／こめ、フィルムが蒸
着ドラｌ・の外周表面から離れる部分で３μｍ以下の極
薄フィルムでも切断しないようにできる。
実施例
以１ζ実施例を掲げて本発明の詳．．細な説［１１１を
する。
する。
第１図に本発明のアルミニウム薄膜層を形成するための
巻取式真空蒸着機を示す。真空槽１ぱ仕切り板３により
フィルムの巻出し、巻取りのための上室２ ト７ １レ
ミニウムをフィノレｌ・表面に蒸着するための−Ｆ室２
３に分割されている。」二室２は開閉弁４ ， Ｊ；ｌ
ｊ気管５を経て図示されていない排気ポンプにより涌常
ぱ１０Ｐａ 以下に減圧されている。
巻取式真空蒸着機を示す。真空槽１ぱ仕切り板３により
フィルムの巻出し、巻取りのための上室２ ト７ １レ
ミニウムをフィノレｌ・表面に蒸着するための−Ｆ室２
３に分割されている。」二室２は開閉弁４ ， Ｊ；ｌ
ｊ気管５を経て図示されていない排気ポンプにより涌常
ぱ１０Ｐａ 以下に減圧されている。
十室２３は開閉ブＦ６，排気管７を経て図示されていな
い排気ポンプにより通常は１０Ｐａ以下に減圧されてい
る。厚さ３．０μｍ，幅５ ０ ５ ＭＭ ，長さ５
０ ０ ０ ｍのボリエナレンテレフタレート（以後Ｐ
ＥＴという）フィル゛ムを上室２の巻出し４１１８ニセ
ットシタ。ＰＥＴフィルム１０はフリー口／ｌ／１１を
経て１０℃に冷却された直径１２００ｎ，福６００朋の
蒸着用ドラム１４の外周に添って蒸＋７ｆ用ドラｌ、１
４と同期して走行（矢印Ａの方向）した後、フリーロー
ル１２を経て巻取り軸９に巻取られる。１３はアルミニ
ウム薄膜層が形成されｆｒ− Ｐ Ｅ Ｔフィルムを示
す。アルミニウム１了ハ而ス火物よりｌ戊るルツボ１６
に入れ、電子銃２１から！Ｊｔ出さ７−１．７！（＝電
子ビーム２２により加熱、溶解されてア１・レミニ−７
ム蒸気１８となって蒸発する。尚、電イビーム２２は図
示されていない偏向装置によりア７Ｌミニウｌ， １
７ ．．ｈでほぼ９０度偏向した。アルミニウム１７の
ＰＥＴフィルム１０への蒸着ハ、蒸発源からアルミニウ
ム１７を蒸発させて、ＰＥＴフィルム１０を１００ｍ／
ｔｉｎで走行させ、蒸気の初期入射部Ｂ側よりシャッタ
ー１５を徐々に開けるのと同時に、徐々に電子銃１９か
ら放出された電子ビーム２０をＰＥＴフィル人１０に連
続して照射して、シャソタ−１５を全開してアルミニウ
ム蒸気１８をＰＥＴフィルム１０表面に准債させる。
い排気ポンプにより通常は１０Ｐａ以下に減圧されてい
る。厚さ３．０μｍ，幅５ ０ ５ ＭＭ ，長さ５
０ ０ ０ ｍのボリエナレンテレフタレート（以後Ｐ
ＥＴという）フィル゛ムを上室２の巻出し４１１８ニセ
ットシタ。ＰＥＴフィルム１０はフリー口／ｌ／１１を
経て１０℃に冷却された直径１２００ｎ，福６００朋の
蒸着用ドラム１４の外周に添って蒸＋７ｆ用ドラｌ、１
４と同期して走行（矢印Ａの方向）した後、フリーロー
ル１２を経て巻取り軸９に巻取られる。１３はアルミニ
ウム薄膜層が形成されｆｒ− Ｐ Ｅ Ｔフィルムを示
す。アルミニウム１了ハ而ス火物よりｌ戊るルツボ１６
に入れ、電子銃２１から！Ｊｔ出さ７−１．７！（＝電
子ビーム２２により加熱、溶解されてア１・レミニ−７
ム蒸気１８となって蒸発する。尚、電イビーム２２は図
示されていない偏向装置によりア７Ｌミニウｌ， １
７ ．．ｈでほぼ９０度偏向した。アルミニウム１７の
ＰＥＴフィルム１０への蒸着ハ、蒸発源からアルミニウ
ム１７を蒸発させて、ＰＥＴフィルム１０を１００ｍ／
ｔｉｎで走行させ、蒸気の初期入射部Ｂ側よりシャッタ
ー１５を徐々に開けるのと同時に、徐々に電子銃１９か
ら放出された電子ビーム２０をＰＥＴフィル人１０に連
続して照射して、シャソタ−１５を全開してアルミニウ
ム蒸気１８をＰＥＴフィルム１０表面に准債させる。
電子銃１９はＰＥＴフィルム１０に電子ビーム２０を照
射することでＰＥＴフィルｌｘ １ ０ ｆ帯電させる
ためのもので、電子ビーム２０により帯電したＰＥＴフ
ィルム１０は蒸着用ドラ人１４の外周表面への密着力が
強くなり、ア１ｌレミニウｌ・蒸着時のＰＥＴフィノレ
ノ・１０に論えられる熱を素早〈蒸着用ドラム１４に伝
達してＰＥＴフィルムから熱を取り除きＰＦＴフィルム
１０の温度上昇を押さえてＰＥＴフィルム１０の熱劣化
をな〈した３、第２図に蒸着Ｔ程図を示す。、在取り軸
８から出た唱ＳＯＳ朋のＰＥＴフィノレＪ・１０は素着
用１・ヨム１４の外周に添って−Ｅ．ｆＦ用ドラム１４
ど同ｉｐ］ ｌ，？走行（矢印Ａの方向）した後、蒸着
用ドラム１４の下方に置かれた耐火物より戒るルツポ１
６内に入れられたア）ｖ■ニウム１７蒸発源からの蒸発
蒸気１８によりアルミニウム薄膜層が形戒されルトトモ
に、ＰＥＴフィルム１０のアルミニウム薄膜層が形威さ
れた部分の帯電量は、蒸発源からの輻射熱や、薄膜層に
よる導電層により低減される。アルミニウム薄膜層形戒
時，ＰＥＴフィルム１０へのアルミニウム蒸気１８の入
射は、ＰＥＴフィルム１０の両端マージンＣについて２
．５Ｈずつマスク３０によって妨げた。蒸着用ドラム１
４の外径とマスク３０の内径は、それぞれ１２００Ｉｌ
Ｍと１２１０ｆｌであり、蒸着用ドラム１４の外径とマ
スク３０の内径の差は１０ｆｆで、蒸着用ドラム１４の
外径とマスク３０の距離Ｄは６ｆｆである。
射することでＰＥＴフィルｌｘ １ ０ ｆ帯電させる
ためのもので、電子ビーム２０により帯電したＰＥＴフ
ィルム１０は蒸着用ドラ人１４の外周表面への密着力が
強くなり、ア１ｌレミニウｌ・蒸着時のＰＥＴフィノレ
ノ・１０に論えられる熱を素早〈蒸着用ドラム１４に伝
達してＰＥＴフィルムから熱を取り除きＰＦＴフィルム
１０の温度上昇を押さえてＰＥＴフィルム１０の熱劣化
をな〈した３、第２図に蒸着Ｔ程図を示す。、在取り軸
８から出た唱ＳＯＳ朋のＰＥＴフィノレＪ・１０は素着
用１・ヨム１４の外周に添って−Ｅ．ｆＦ用ドラム１４
ど同ｉｐ］ ｌ，？走行（矢印Ａの方向）した後、蒸着
用ドラム１４の下方に置かれた耐火物より戒るルツポ１
６内に入れられたア）ｖ■ニウム１７蒸発源からの蒸発
蒸気１８によりアルミニウム薄膜層が形戒されルトトモ
に、ＰＥＴフィルム１０のアルミニウム薄膜層が形威さ
れた部分の帯電量は、蒸発源からの輻射熱や、薄膜層に
よる導電層により低減される。アルミニウム薄膜層形戒
時，ＰＥＴフィルム１０へのアルミニウム蒸気１８の入
射は、ＰＥＴフィルム１０の両端マージンＣについて２
．５Ｈずつマスク３０によって妨げた。蒸着用ドラム１
４の外径とマスク３０の内径は、それぞれ１２００Ｉｌ
Ｍと１２１０ｆｌであり、蒸着用ドラム１４の外径とマ
スク３０の内径の差は１０ｆｆで、蒸着用ドラム１４の
外径とマスク３０の距離Ｄは６ｆｆである。
ＰＥＴフィルム１０への蒸着幅は、両端マスク３ｏ間の
６００ｆｆにアルミニウムＡｌ薄膜層が形成され、両端
マージンＣぱ２．６ｆｌずつについてアルミニウム蒸着
量の少ない部分を作った。両端のマージンＣを作ること
は、ＰＥＴフィルム１ｏが両端のマスク３０間よう狭い
場合ＰＥＴフィルム１０の幅方向全面にアルミニウム薄
膜層が形威されると同時、蒸着用ドラム１４の外周表面
にもアルミニウム蒸気が付着堆積する。この蒸着用ドラ
ム１４の外周表面のアルミニウム蒸気の付着堆積は，Ｐ
ＥＴフィｌレム１０にアルミニウム薄膜層を形成してい
る規間中付着が累積されるもので、時間の経過と共に堆
積量が増加すると共に、蒸着用ドラム１４の外周表面か
ら自然剥離してＰＥＴフィｌレム１０に着いたり、ＰＥ
Ｔフィルム１０の端部にキズをつけたりしてＰＥＴフィ
ルム１０の切断の原因になったシする。さらに、蒸着用
ドラム１４の外周表面の保守の上からも、アルミニウム
蒸気を常時蒸着することは好捷しくなかった。反面、マ
ージンＣの幅が広すぎるとマージンＣに電子ビームによ
る帯電が残ジ、３μｍ以下のフィルムでは蒸着用ドラム
１４の外周表面から蒸着されたＰＥＴフィルムを剥がす
際に、マージンＣ部分が６蒸着用ドラム１４の外周表面
への強い密着でフィルムが切断されてし壕う。従って、
蒸着用ドラ？１４の外周表面へのアノレ■ニウム蒸着量
を極力防止すると共に、マージンＣの帯電量を減少させ
る必要があった。そこで、蒸着用ドラム１４の外周表面
とマスク３０間の空間にアｙｖミニウム蒸気が回り込み
、少量のアルミニウム蒸気がマージンＣに蒸着されるこ
とにより、マージンＣの帯電が減少することを見いだし
た。このとき蒸着用ドラム１４の外周表面とマヌク３０
間の距離と、マージンＣ幅との関係はマージンＣ幅を蒸
着用ドラム１４の外周表面とマスク３０間の距ＲＩＤか
ら０の範囲にすることが望１しく、更に、蒸着用ドラム
１４の外周表面とマスク３０間の距離は１０ｎ以下にす
ることが望ましかった。
６００ｆｆにアルミニウムＡｌ薄膜層が形成され、両端
マージンＣぱ２．６ｆｌずつについてアルミニウム蒸着
量の少ない部分を作った。両端のマージンＣを作ること
は、ＰＥＴフィルム１ｏが両端のマスク３０間よう狭い
場合ＰＥＴフィルム１０の幅方向全面にアルミニウム薄
膜層が形威されると同時、蒸着用ドラム１４の外周表面
にもアルミニウム蒸気が付着堆積する。この蒸着用ドラ
ム１４の外周表面のアルミニウム蒸気の付着堆積は，Ｐ
ＥＴフィｌレム１０にアルミニウム薄膜層を形成してい
る規間中付着が累積されるもので、時間の経過と共に堆
積量が増加すると共に、蒸着用ドラム１４の外周表面か
ら自然剥離してＰＥＴフィｌレム１０に着いたり、ＰＥ
Ｔフィルム１０の端部にキズをつけたりしてＰＥＴフィ
ルム１０の切断の原因になったシする。さらに、蒸着用
ドラム１４の外周表面の保守の上からも、アルミニウム
蒸気を常時蒸着することは好捷しくなかった。反面、マ
ージンＣの幅が広すぎるとマージンＣに電子ビームによ
る帯電が残ジ、３μｍ以下のフィルムでは蒸着用ドラム
１４の外周表面から蒸着されたＰＥＴフィルムを剥がす
際に、マージンＣ部分が６蒸着用ドラム１４の外周表面
への強い密着でフィルムが切断されてし壕う。従って、
蒸着用ドラ？１４の外周表面へのアノレ■ニウム蒸着量
を極力防止すると共に、マージンＣの帯電量を減少させ
る必要があった。そこで、蒸着用ドラム１４の外周表面
とマスク３０間の空間にアｙｖミニウム蒸気が回り込み
、少量のアルミニウム蒸気がマージンＣに蒸着されるこ
とにより、マージンＣの帯電が減少することを見いだし
た。このとき蒸着用ドラム１４の外周表面とマヌク３０
間の距離と、マージンＣ幅との関係はマージンＣ幅を蒸
着用ドラム１４の外周表面とマスク３０間の距ＲＩＤか
ら０の範囲にすることが望１しく、更に、蒸着用ドラム
１４の外周表面とマスク３０間の距離は１０ｎ以下にす
ることが望ましかった。
本実施例ではアルミニウム薄膜層は表面抵抗値２．６〜
３４Ω／口の範囲でＰＥＴフィルム１０の幅５００ｔｍ
に行なった。
３４Ω／口の範囲でＰＥＴフィルム１０の幅５００ｔｍ
に行なった。
表−１にフィルム厚，マージン幅による電子ビーム表面
処理、蒸着時のフィルム状況を示す。
処理、蒸着時のフィルム状況を示す。
表−１
このようにして作られた金属化フィルムは、（１）電子
ビームによるフィルムの表面処理、アルミニウムの加熱
、蒸発によりアルミニウム薄膜層とフィルムの付着力が
高く、又、高密度のアルミニウム薄膜層が得られる。
ビームによるフィルムの表面処理、アルミニウムの加熱
、蒸発によりアルミニウム薄膜層とフィルムの付着力が
高く、又、高密度のアルミニウム薄膜層が得られる。
（２）アルミニウム薄膜層形戒時のフィルム温度上昇が
少なくフィルムの劣化の極めて少ない金属化フィルムで
ある。
少なくフィルムの劣化の極めて少ない金属化フィルムで
ある。
（３）アルミニウム薄膜層の耐湿性が優れている。
上記アルミニウム金属化フィルムでフィルムコンデンサ
を製作して電気特性を調べた。
を製作して電気特性を調べた。
コンデンサ仕様
定格電圧：直流２５Ｖ
静電容量Ｃ：１０ｎＦ
（初 期）
静電容漬Ｃ：１０ｎＦ
誘電損失ｔａｎδ ：０．Ｏａ％
（１ＫＨｚ）
絶縁抵抗Ｉ Ｒ ： ２Ｘ１０ Ω
（耐湿負荷寿命試験１０００時間後）
条件 ６０℃
９０％ＲＨ
印加電圧 直流２５Ｖ
静電容低変化ＪＣ／Ｃ：→・０．６％
誘電損失ｔａｎδ：ｏ．１ｓ％
＜１ＫＨＺ）
絶縁抵抗ＩＲ：２Ｘ１０Ω
（耐湿負荷寿命試験２０００時間後）
静電容量変化１ｃ／Ｃ： −２．０％
誘電損失ｔａｎδ：０．３％
（ＩＫＨｚ）
絶縁抵抗ＩＲ：２Ｘ１０ Ｑ
Ｌ−１ １二の如く耐湿負荷寿命試験２０００時間後に
かいて、優れた電気特性を持つフィノレｌ、コンデンサ
が得られた。
かいて、優れた電気特性を持つフィノレｌ、コンデンサ
が得られた。
なお、本発明の詳細な説明に当たってｌｄ、Ｊ１体的な
材料や、寸法，形状を掲げて説明したが、これらに限定
されるものでなく、例えばフィルムもＰＥＴフィルムｐ
１外ニ、ｐ ｐ ｓ （ ポリフェニレ冫′スルファイ
ド）フィルム，ＰＰ（ポリプｌ：Ｉ ヒレン）フィルム
等の高分子フィノレｌ・でも可ｆＦで３）る３、発明の
効果 以上のように、本発明の金属化フィルムの製造方法は、 （１）３μｍ以下の甑薄フィ，・レムに安定し７て７７
・シミニウノ、薄膜層が形成でき、しかも、春取式の生
産性の高い機械であるのでＴ業性が人であろ１、（２）
耐湿性に優れたアノレミニウｌ・薄膜層の金Ｑ％化フィ
ルムが得られる。
材料や、寸法，形状を掲げて説明したが、これらに限定
されるものでなく、例えばフィルムもＰＥＴフィルムｐ
１外ニ、ｐ ｐ ｓ （ ポリフェニレ冫′スルファイ
ド）フィルム，ＰＰ（ポリプｌ：Ｉ ヒレン）フィルム
等の高分子フィノレｌ・でも可ｆＦで３）る３、発明の
効果 以上のように、本発明の金属化フィルムの製造方法は、 （１）３μｍ以下の甑薄フィ，・レムに安定し７て７７
・シミニウノ、薄膜層が形成でき、しかも、春取式の生
産性の高い機械であるのでＴ業性が人であろ１、（２）
耐湿性に優れたアノレミニウｌ・薄膜層の金Ｑ％化フィ
ルムが得られる。
（３） フィルムコンデンザ用金属化フィル・人１↓
」−２て優れた金属化フィルムが得られる。
」−２て優れた金属化フィルムが得られる。
等の特徴がある。
第１図は本発明に用いた巻取式真空蒸着法真空蒸着機の
全体構或図、第２図はフィルム両端のマージンＣと蒸着
ドラム１４とマスク３０との距離Ｄの関係及びアルミニ
ウｌ．蒸着丁稈を示す概略図である，３ １・・・・・・真空槽、８・・・・・・巻出し軸、９・
・・・・・巻取り軸、１ｏ・・・・・ＰＥＴフィルム、
１４・・・・・・蒸着用ドラム、１５・・・・・・シャ
ノター、１６・・・・・・ルツボ、１７・・・・・・ア
ルミニウム、１８・・・・・・蒸気、１９．２１・・・
・・・電子銃。
全体構或図、第２図はフィルム両端のマージンＣと蒸着
ドラム１４とマスク３０との距離Ｄの関係及びアルミニ
ウｌ．蒸着丁稈を示す概略図である，３ １・・・・・・真空槽、８・・・・・・巻出し軸、９・
・・・・・巻取り軸、１ｏ・・・・・ＰＥＴフィルム、
１４・・・・・・蒸着用ドラム、１５・・・・・・シャ
ノター、１６・・・・・・ルツボ、１７・・・・・・ア
ルミニウム、１８・・・・・・蒸気、１９．２１・・・
・・・電子銃。
Claims (2)
- （１） 巻取式真空蒸着法を用いて得られる金属化フィ
ルムの製造方法において、フィルムに３μｍ以下の高分
子フィルムを用い、１０＾−＾２Ｐａ以下の真空中で、
フィルムの表面処理および蒸発源の加熱に電子ビームを
使い、フィルムへの金属薄膜層形成は、フィルムの両端
に金属薄膜層の極めて少ないマージン部を残して全面に
行ない、このフィルム両端のマージン幅は、蒸着用ドラ
ムの直径と、蒸着用ドラムと同心円上にあって、蒸着用
ドラムの外側にあるフィルム両端への蒸着を妨げるため
に、蒸着用ドラムの両端に設けられたマスクの内直径と
の差の２分の１から０の幅であり、蒸着用ドラム直径と
マスクの内直径の差は２０ｍｍ以下であることを特徴と
する金属化フィルムの製造方法。 - （２） 金属薄膜層はアルミニウム層であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の金属化フィルムの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232538A JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1232538A JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397860A true JPH0397860A (ja) | 1991-04-23 |
| JPH0765171B2 JPH0765171B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=16940899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1232538A Expired - Fee Related JPH0765171B2 (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | 金属化フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0765171B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018530U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-07 | ソニー株式会社 | 磁気テ−プ製造用蒸着装置 |
| JPS63310959A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
-
1989
- 1989-09-07 JP JP1232538A patent/JPH0765171B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6018530U (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-07 | ソニー株式会社 | 磁気テ−プ製造用蒸着装置 |
| JPS63310959A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 金属薄膜の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0765171B2 (ja) | 1995-07-12 |
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