JPH0397291A - 電子部品用マザー基板 - Google Patents
電子部品用マザー基板Info
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- JPH0397291A JPH0397291A JP23404089A JP23404089A JPH0397291A JP H0397291 A JPH0397291 A JP H0397291A JP 23404089 A JP23404089 A JP 23404089A JP 23404089 A JP23404089 A JP 23404089A JP H0397291 A JPH0397291 A JP H0397291A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 50
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 abstract 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0097—Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards
Landscapes
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Combinations Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、複数個の電子部品の集合体であって、最終的
に電子部品毎に分割されて使用される電子部品用マザー
基板に関する. 従来の技術と課題 この種の電子部品用マザー基板としては、例えば、第8
図に示すチップ型圧電共振部品30を複数個設けている
電子部品用マザー基板35が知られている(第10図参
照)。圧電共振部品30は1個の共振子を備えている。
に電子部品毎に分割されて使用される電子部品用マザー
基板に関する. 従来の技術と課題 この種の電子部品用マザー基板としては、例えば、第8
図に示すチップ型圧電共振部品30を複数個設けている
電子部品用マザー基板35が知られている(第10図参
照)。圧電共振部品30は1個の共振子を備えている。
圧電体基板31は上下面に振動電極32a. 32bが
形成されている。さらに、電極32aは基板31の左辺
に形成されている引出し電極33aに接続され、電極3
2bは基板31の右辺に形成されている引出し電極33
bに接続されている。
形成されている。さらに、電極32aは基板31の左辺
に形成されている引出し電極33aに接続され、電極3
2bは基板31の右辺に形成されている引出し電極33
bに接続されている。
保護基板34は、内側に向いた面に振動空間形成用凹部
34aが設けられている。
34aが設けられている。
圧電体基板31及び保護基板34は板厚方向に重ねられ
、接着剤によって固着され、密閉された振動空間を形成
している。接着剤で固着された圧電共振部品30は、第
9図に示すようにその左右の両端部に外部入出力端子(
A),(B)がそれぞれ入出力引出し電極33a. 3
3bに接続された状態で形成されている。
、接着剤によって固着され、密閉された振動空間を形成
している。接着剤で固着された圧電共振部品30は、第
9図に示すようにその左右の両端部に外部入出力端子(
A),(B)がそれぞれ入出力引出し電極33a. 3
3bに接続された状態で形成されている。
ところで、これら基板31.34は、実際の量産工程で
は広面積のものを用い、接着後に所定寸法にカットする
。
は広面積のものを用い、接着後に所定寸法にカットする
。
第10図に実際の量産工程でのカット方法を示す。広面
積の基板31.34が接着されたマザー基板35は加工
用捨て板36に固定される。基板31.34は、振動電
極32a. 32bや凹部34a等が縦、横に整列配置
されている。図の場合、円盤型カツター37は時計方向
に回転すると共に、マザー基板35は手前側に向かって
移動する。カッター37は加工用捨て板36の上部を若
干切りながら、マザー基板35を力・/トしてゆく。こ
のとき、カッター37の刃の厚み分はカット代38とし
て必要であり、このため、基板31.34に形成される
振動電極32a, 32bや凹部34a等は予めカッタ
ー37の刃の厚み分だけ余分に離して配置しなければな
らず、その分1枚のマザー基板35から得られる圧電共
振部品30の数が少なくなるという問題があった。
積の基板31.34が接着されたマザー基板35は加工
用捨て板36に固定される。基板31.34は、振動電
極32a. 32bや凹部34a等が縦、横に整列配置
されている。図の場合、円盤型カツター37は時計方向
に回転すると共に、マザー基板35は手前側に向かって
移動する。カッター37は加工用捨て板36の上部を若
干切りながら、マザー基板35を力・/トしてゆく。こ
のとき、カッター37の刃の厚み分はカット代38とし
て必要であり、このため、基板31.34に形成される
振動電極32a, 32bや凹部34a等は予めカッタ
ー37の刃の厚み分だけ余分に離して配置しなければな
らず、その分1枚のマザー基板35から得られる圧電共
振部品30の数が少なくなるという問題があった。
また、マザー基板3Sを構成する保護基板34が硬いた
め、カブト作業自体に要する時間が長いという問題点も
あった。分割された圧電共振部品30は加工用捨て板3
6から外され、カット面が研磨された後、外部入出力端
子(A),(B)が形成される。
め、カブト作業自体に要する時間が長いという問題点も
あった。分割された圧電共振部品30は加工用捨て板3
6から外され、カット面が研磨された後、外部入出力端
子(A),(B)が形成される。
以]二の問題から、本発明の課題は、効率の良いカツ}
・作業ができ、かつ、有効な材料取りができる電子部品
用マザー基板を提供することにある。
・作業ができ、かつ、有効な材料取りができる電子部品
用マザー基板を提供することにある。
課題を解決するための手段
以上の課題を解決するため、本発明に係る電子部品用マ
ザー基板は、機械的強度が高い保護基板と、複数個の電
子部品が設けられている機械的強度が低い本体基板とが
、板厚方向に重ねられて一体構造を成し、前記電子部品
毎に分割するための破断加工用溝・孔列が少なくとも前
記保護基板の片面に形威されていることを特徴とする。
ザー基板は、機械的強度が高い保護基板と、複数個の電
子部品が設けられている機械的強度が低い本体基板とが
、板厚方向に重ねられて一体構造を成し、前記電子部品
毎に分割するための破断加工用溝・孔列が少なくとも前
記保護基板の片面に形威されていることを特徴とする。
また、電子部品毎に分割するための破断加工用貫通孔列
がレーザビームによって保護基板と本体基板とに同時形
成されていることを特徴とする。
がレーザビームによって保護基板と本体基板とに同時形
成されていることを特徴とする。
作用
以上の構成において、電子部品用マザー基板は専用治具
あるいは手折りによって破断加工用溝・孔列に沿って簡
単に電子部品毎に分割され、従来のカッターによる分割
と比較して著しく効率が良くなる。
あるいは手折りによって破断加工用溝・孔列に沿って簡
単に電子部品毎に分割され、従来のカッターによる分割
と比較して著しく効率が良くなる。
また、破断による分割であるため、カット代はほぼ無視
できる程度になる。
できる程度になる。
なお、分割された電子部品は破断面が研磨された後、外
部端子が形成され、完或品になる。
部端子が形成され、完或品になる。
夫巖珂
以下、本発明に係る電子部品用マザー基板の実施例をそ
の製造方法と共に説明する。本実施例ではチップ型圧電
共振部品が複数個設けられている圧電共振部品用マザー
基板について説明する。
の製造方法と共に説明する。本実施例ではチップ型圧電
共振部品が複数個設けられている圧電共振部品用マザー
基板について説明する。
[第1実施例コ
第1図にチップ型圧電共振部品を複数個設けているマザ
ー基板1の外観を示す。圧電体基板2には第8図で示し
た振動電極32a, 32b等が縦、横に整列配置して
いる。圧電体基板2はBa’IiOsの圧電セラミック
ス基板等が使用される。その曲げ強度は一般的には10
00Kg/ Cm2以下である。
ー基板1の外観を示す。圧電体基板2には第8図で示し
た振動電極32a, 32b等が縦、横に整列配置して
いる。圧電体基板2はBa’IiOsの圧電セラミック
ス基板等が使用される。その曲げ強度は一般的には10
00Kg/ Cm2以下である。
保護基板3には第8図で示した振動空間形成用凹部34
aが内側に向いた面に縦、横に整列配置して設けられて
いる。保護基板3はアルミナ磁器基板等が使用される。
aが内側に向いた面に縦、横に整列配置して設けられて
いる。保護基板3はアルミナ磁器基板等が使用される。
その曲げ強度は一般的には3000kg/ cm2以上
である。
である。
圧電体基板2及び保護基板3は板厚方向に重ねられ、接
着剤によって固着されマザー基板1を形成する。従って
、このマザー基板1は圧電共振部品4が縦、横に整列配
置した集合体となる。ここで、保巡基板3は一般に高強
度、高硬度の材料が使用されるので、このままでは分割
が難しく、また不規則にしか分割できない。そこで、分
割しやすいように破断加工用溝5を保護基板3の外向き
表面上に形成し、その形成位置は圧電共振部品4の外形
線に一致する位置とした。なお、溝5は2枚の保諧基板
3のうち1枚だけに設けるだけでは不充分なので両方の
保護基板に対向して形成されている。この破断加工用溝
5は保護基板3がグリーンシ一ト、即ら、未焼成の状態
のときに設けてもよいし、焼成後の状態のときに設けて
もよい。
着剤によって固着されマザー基板1を形成する。従って
、このマザー基板1は圧電共振部品4が縦、横に整列配
置した集合体となる。ここで、保巡基板3は一般に高強
度、高硬度の材料が使用されるので、このままでは分割
が難しく、また不規則にしか分割できない。そこで、分
割しやすいように破断加工用溝5を保護基板3の外向き
表面上に形成し、その形成位置は圧電共振部品4の外形
線に一致する位置とした。なお、溝5は2枚の保諧基板
3のうち1枚だけに設けるだけでは不充分なので両方の
保護基板に対向して形成されている。この破断加工用溝
5は保護基板3がグリーンシ一ト、即ら、未焼成の状態
のときに設けてもよいし、焼成後の状態のときに設けて
もよい。
こうして得られたマザー基板1は、専用治具あるいは手
折りによって破断加工用溝5に沿って簡単に圧電共振部
品4毎に分割される。しかも、破断による分割であるた
め、カット代は無いに等しい。分割された圧電共振部品
4は破断面6が研磨された後、第9図に示すように、外
部入出力端子(A).(B)が形成される。
折りによって破断加工用溝5に沿って簡単に圧電共振部
品4毎に分割される。しかも、破断による分割であるた
め、カット代は無いに等しい。分割された圧電共振部品
4は破断面6が研磨された後、第9図に示すように、外
部入出力端子(A).(B)が形成される。
なお、破断加工用溝の形成位置、形状は任意であって、
例えば、第3図、第4図に示すものであってもよい。第
3図は、破断加工用溝5が保護基板3の両面に対向して
形成されたものである。より小さな力で分割できること
を目的としたものである。第4図は保護基板3の上面に
破断加工用溝5を対置して形成したものである。
例えば、第3図、第4図に示すものであってもよい。第
3図は、破断加工用溝5が保護基板3の両面に対向して
形成されたものである。より小さな力で分割できること
を目的としたものである。第4図は保護基板3の上面に
破断加工用溝5を対置して形成したものである。
[第2実施例]
第5図は、マザー基板1にパルスレーザビームにより略
円錐形状の破断加工用孔7を任意のピッチで形成したも
のである。即ち、圧電体基板2及び保護基板3が接着剤
によって固着されたマザー基板1の上下両側の対向する
位置にレーザビームを照射して圧電体基板2に達する破
断加工用孔7を形成したものである。孔7は圧電共振部
品4の外形線上にその中心を置き、任意のピッチで形成
される。孔7のピッチは、後で専用治具あるいは手折り
により分割できる距離とする。
円錐形状の破断加工用孔7を任意のピッチで形成したも
のである。即ち、圧電体基板2及び保護基板3が接着剤
によって固着されたマザー基板1の上下両側の対向する
位置にレーザビームを照射して圧電体基板2に達する破
断加工用孔7を形成したものである。孔7は圧電共振部
品4の外形線上にその中心を置き、任意のピッチで形成
される。孔7のピッチは、後で専用治具あるいは手折り
により分割できる距離とする。
なお、破断加工用孔列の形成位置、形状は任意であって
、例えば、第6図に示すものであってもよい。第6図は
破断加工用孔8の軸を傾けて外形が種々の形状の圧電共
振部品9.9’.9″を得るものである。
、例えば、第6図に示すものであってもよい。第6図は
破断加工用孔8の軸を傾けて外形が種々の形状の圧電共
振部品9.9’.9″を得るものである。
[第3実施例]
第7図は、マザー基板1にパルスレーザビームにより略
円錐形状の破断加工用貫通孔10を任意のピッチで形成
したものである.貫通孔10のピッチは、後で専用治具
あるいは手折りにより分割できる距離とする。マザー基
板1の上側から照射されたレーザビームは、保護基板3
及び圧電体基板2を貫通し、破断加工用貫通孔10を形
成する。この場合、第2実施例と比較してカット代が若
干大きくなる。
円錐形状の破断加工用貫通孔10を任意のピッチで形成
したものである.貫通孔10のピッチは、後で専用治具
あるいは手折りにより分割できる距離とする。マザー基
板1の上側から照射されたレーザビームは、保護基板3
及び圧電体基板2を貫通し、破断加工用貫通孔10を形
成する。この場合、第2実施例と比較してカット代が若
干大きくなる。
[他の実施例]
なお、本発明に係る電子部品用マザー基板は前記実施例
に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変
形することができる。
に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変
形することができる。
第1実施例では、2枚の保護基板3.3にのみ溝5を形
成したものを示したが、圧電体基板にも溝を形成してお
けば分割の際に加える破断力が小さくてもよいので電子
部品自体に与える機械的ストレスが小さくてすむと共に
、分割の精度も良くなる。
成したものを示したが、圧電体基板にも溝を形成してお
けば分割の際に加える破断力が小さくてもよいので電子
部品自体に与える機械的ストレスが小さくてすむと共に
、分割の精度も良くなる。
また、実施例では、保護基板が2枚の場合を示したが、
保護基板が1枚の場合、あるいは3枚以上の場合であっ
てもかまわない。
保護基板が1枚の場合、あるいは3枚以上の場合であっ
てもかまわない。
登里慰僧ゑ
本発明は、高強度、高硬度の材料が使用される保護基板
に破断加工用溝・孔列を形成することにより、電子部品
用マザー基板が専用治具あるいは手折りによって簡単に
電子部品毎に分割されるので、効率の良いカット作業が
でき、量産対応に適した電子部品用マザー基板が供給さ
れる。しかも、破断による分割であるため、カット代は
ほとんどなく、材料を有効に使うことができ、電子部品
のコストダウンを図れる.
に破断加工用溝・孔列を形成することにより、電子部品
用マザー基板が専用治具あるいは手折りによって簡単に
電子部品毎に分割されるので、効率の良いカット作業が
でき、量産対応に適した電子部品用マザー基板が供給さ
れる。しかも、破断による分割であるため、カット代は
ほとんどなく、材料を有効に使うことができ、電子部品
のコストダウンを図れる.
第1図は本発明の第1実施例である電子部品用マザー基
板の外観を示す斜視図、第2図は電子部品用マザー基板
の破断状逍を説明する垂直断面図である。第3図、第4
図は第1実施例の変形例を示す垂直断面図である。第5
図は第2実施例である電子部品用マザー基板の外観を示
す斜視図である。第6図は第2実施例の変形例を示す垂
直断面図である。第715!:Iは第3実施例である電
子部品用マザー基板の垂直断面図である。第8図は電子
部品の分解斜視図、第9図はその外観を示す斜視図であ
る。第10図は従来の電子部品用マザー基板のカットの
方法を説明する斜視図である.1・・・電子部品用マザ
ー基板(圧電共振部品用マザー基板)、2・・・本体基
板(圧電体基板)、3・・・保護基板、4・・・電子部
品(圧電共振部品)、5・・・破断加工用溝、7.8・
・・破断加工用孔、9 .9’.9”・・・電子部品(
圧電共振部品)、 10・・一破断加工用貫 通孔。
板の外観を示す斜視図、第2図は電子部品用マザー基板
の破断状逍を説明する垂直断面図である。第3図、第4
図は第1実施例の変形例を示す垂直断面図である。第5
図は第2実施例である電子部品用マザー基板の外観を示
す斜視図である。第6図は第2実施例の変形例を示す垂
直断面図である。第715!:Iは第3実施例である電
子部品用マザー基板の垂直断面図である。第8図は電子
部品の分解斜視図、第9図はその外観を示す斜視図であ
る。第10図は従来の電子部品用マザー基板のカットの
方法を説明する斜視図である.1・・・電子部品用マザ
ー基板(圧電共振部品用マザー基板)、2・・・本体基
板(圧電体基板)、3・・・保護基板、4・・・電子部
品(圧電共振部品)、5・・・破断加工用溝、7.8・
・・破断加工用孔、9 .9’.9”・・・電子部品(
圧電共振部品)、 10・・一破断加工用貫 通孔。
Claims (2)
- 1.機械的強度が高い保護基板と、複数個の電子部品が
設けられている機械的強度が低い本体基板とが、板厚方
向に重ねられて一体構造を成し、前記電子部品毎に分割
するための破断加工用溝・孔列が少なくとも前記保護基
板の片面に形成されていることを特徴とする電子部品用
マザー基板。 - 2.機械的強度が高い保護基板と、複数個の電子部品が
設けられている機械的強度が低い本体基板とが、板厚方
向に重ねられて一体構造を成し、前記電子部品毎に分割
するための破断加工用貫通孔列がレーザビームにより前
記保護基板と本体基板とに同時形成されていることを特
徴とする電子部品用マザー基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23404089A JPH0397291A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 電子部品用マザー基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23404089A JPH0397291A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 電子部品用マザー基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0397291A true JPH0397291A (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=16964628
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23404089A Pending JPH0397291A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 電子部品用マザー基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0397291A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1272020A1 (en) * | 2000-11-27 | 2003-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing ceramic multi-layer substrate, and unbaked composite laminated body |
JP2007142620A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モジュールとその製造方法 |
JP2008206173A (ja) * | 2008-03-21 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波モジュールとその製造方法 |
-
1989
- 1989-09-09 JP JP23404089A patent/JPH0397291A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1272020A1 (en) * | 2000-11-27 | 2003-01-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing ceramic multi-layer substrate, and unbaked composite laminated body |
EP1272020A4 (en) * | 2000-11-27 | 2007-07-04 | Murata Manufacturing Co | PROCESS FOR MANUFACTURING CERAMIC MULTILAYER SUBSTRATE, AND NON-COOKED COMPOSITE LAMINATE BODY |
US7569177B2 (en) | 2000-11-27 | 2009-08-04 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of producing ceramic multilayer substrates, and green composite laminate |
JP2007142620A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | モジュールとその製造方法 |
JP2008206173A (ja) * | 2008-03-21 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高周波モジュールとその製造方法 |
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