JPH0391756A - 製版方法 - Google Patents
製版方法Info
- Publication number
- JPH0391756A JPH0391756A JP1228736A JP22873689A JPH0391756A JP H0391756 A JPH0391756 A JP H0391756A JP 1228736 A JP1228736 A JP 1228736A JP 22873689 A JP22873689 A JP 22873689A JP H0391756 A JPH0391756 A JP H0391756A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensitivity
- substrate
- photosensitive agent
- resist
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 10
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000011651 chromium Substances 0.000 abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 4
- URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N Para-Xylene Chemical group CC1=CC=C(C)C=C1 URLKBWYHVLBVBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 16
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 2
- 244000062175 Fittonia argyroneura Species 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、写真製版技術の改良に関するものである。
液晶カラーディスプレイに使用されるカラーフィルター
は、透明なガラス基板上にレッド、グリーン、ブルーの
所i1rRGB三原色細線の精細パターンを形成するこ
とにようて製造されることが多い。精細パターンの形成
には凹版、又は凹版オフセット印刷法が採用されている
が、印刷に用いる金属製刷版は多くの場合、所定のパタ
ーンを有するガラス基板を原版として紫外線露光法等の
写真製版技術によって転写製造されている。
は、透明なガラス基板上にレッド、グリーン、ブルーの
所i1rRGB三原色細線の精細パターンを形成するこ
とにようて製造されることが多い。精細パターンの形成
には凹版、又は凹版オフセット印刷法が採用されている
が、印刷に用いる金属製刷版は多くの場合、所定のパタ
ーンを有するガラス基板を原版として紫外線露光法等の
写真製版技術によって転写製造されている。
しかしながら、従来の写真製版技術を用いる製版方法に
於いては、紫外線露光時に熱線(赤外線)の照射も一部
受けるため、原版が熱膨張率の小さいガラスで、パター
ンを転写すべき基板が熱膨張率の大きい金属等であると
、該基板は原版より膨張した状態でパターン転写される
結果、室温に冷却されると原版よりパターンが縮小する
と云う問題点があった。形成するパターンが従来の様に
301sオーダの位置精度の場合には、原版と基板との
素材による熱膨張率の差は大きな問題とならないが、近
年急速に需要が高まって来た、高い解像度が要求される
液晶カラーディスプレイに使用するカラーフィルターの
場合には、50j園と云う様に極めて細い画線を繰り返
し形成するので±5#一以下の厳しい位置精度が要求さ
れる。このため、原版と基板との素材による熱膨張率の
差が大きな問題となる。即ち、凹版、又は凹版オフセッ
ト印刷等に使用する刷版は、通常ペース部が鉄でパター
ン形或部が銅からなる積層板であるため、主にその熱膨
張率はベース部の鉄に支配され、露光時に5℃の温度上
昇があると、30cm角の基板の場合は端部で大略24
jii膨張する。一方、原版に低膨張ガラスを使用する
と111■しか膨張しないため、1III1だけ拡大さ
れたパターンが、21メ■膨張した基板上に転写される
ため、室温に冷却されると原版に対しては20Illだ
け縮小されることになり、5一一オーダーの位置精度が
要求されるカラーフィルターの製造には使用出来ないと
云う問題点があった。 従って、原版に描画したパターンを精度良く転写して刷
版を製造することの出来る製版方法の改良が求められて
いた。
於いては、紫外線露光時に熱線(赤外線)の照射も一部
受けるため、原版が熱膨張率の小さいガラスで、パター
ンを転写すべき基板が熱膨張率の大きい金属等であると
、該基板は原版より膨張した状態でパターン転写される
結果、室温に冷却されると原版よりパターンが縮小する
と云う問題点があった。形成するパターンが従来の様に
301sオーダの位置精度の場合には、原版と基板との
素材による熱膨張率の差は大きな問題とならないが、近
年急速に需要が高まって来た、高い解像度が要求される
液晶カラーディスプレイに使用するカラーフィルターの
場合には、50j園と云う様に極めて細い画線を繰り返
し形成するので±5#一以下の厳しい位置精度が要求さ
れる。このため、原版と基板との素材による熱膨張率の
差が大きな問題となる。即ち、凹版、又は凹版オフセッ
ト印刷等に使用する刷版は、通常ペース部が鉄でパター
ン形或部が銅からなる積層板であるため、主にその熱膨
張率はベース部の鉄に支配され、露光時に5℃の温度上
昇があると、30cm角の基板の場合は端部で大略24
jii膨張する。一方、原版に低膨張ガラスを使用する
と111■しか膨張しないため、1III1だけ拡大さ
れたパターンが、21メ■膨張した基板上に転写される
ため、室温に冷却されると原版に対しては20Illだ
け縮小されることになり、5一一オーダーの位置精度が
要求されるカラーフィルターの製造には使用出来ないと
云う問題点があった。 従って、原版に描画したパターンを精度良く転写して刷
版を製造することの出来る製版方法の改良が求められて
いた。
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した従来技術の課題を解決するためになさ
れたもので、低感度レジストと高感度感光剤とが2層に
塗布された基板を用い、原版のパターンを短時間露光に
より表層の高感度感光剤に転写し、該高感度感光剤を現
像●定着した後、高感度感光剤の透明部を介して下層の
低感度レジストを長時間部分露光させ、該低感度レジス
トにパターンを形成することを特徴とする製版方法であ
る。
れたもので、低感度レジストと高感度感光剤とが2層に
塗布された基板を用い、原版のパターンを短時間露光に
より表層の高感度感光剤に転写し、該高感度感光剤を現
像●定着した後、高感度感光剤の透明部を介して下層の
低感度レジストを長時間部分露光させ、該低感度レジス
トにパターンを形成することを特徴とする製版方法であ
る。
原版のパターンを基板表層の高感度感光剤に転写する工
程に於いては、露光時間が短いために原版及び基板の何
れも実質的に温度上昇することがない。従って、密着法
、投影法等の従来周知の手段によって原版のパターンは
表層の高感度感光剤に極めて精確に転写される。そして
、該高感度感光剤を現像●定着した後、高感度感光剤の
透明部を介して長時間に渡って紫外線等を照射すると、
下層の低感度レジストは表層の高感度感光剤の透明部を
臨む部位が露光され、不透明部を臨む部位が未露光部と
して残ることにより、高感度感光剤に形成された原版の
パターンに対応するパターンが形成される。この時、基
板は紫外線だけでなく熱線(赤外線)の照射も一部受け
て温度上昇し膨張するが、塗布された高感度感光剤と低
感度レジストは共に基板の膨張●収縮に追従して同じ割
合で膨張●収縮するため、低感度レジストに形成される
パターンは室温まで冷却されると原版に最初に描画され
たパターンと精確に一致する。 次に、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する
。尚、写真製版技術によって所定のパターンを転写する
技術は当業者に熟知されているので、発明の構成要件に
限って説明する。
程に於いては、露光時間が短いために原版及び基板の何
れも実質的に温度上昇することがない。従って、密着法
、投影法等の従来周知の手段によって原版のパターンは
表層の高感度感光剤に極めて精確に転写される。そして
、該高感度感光剤を現像●定着した後、高感度感光剤の
透明部を介して長時間に渡って紫外線等を照射すると、
下層の低感度レジストは表層の高感度感光剤の透明部を
臨む部位が露光され、不透明部を臨む部位が未露光部と
して残ることにより、高感度感光剤に形成された原版の
パターンに対応するパターンが形成される。この時、基
板は紫外線だけでなく熱線(赤外線)の照射も一部受け
て温度上昇し膨張するが、塗布された高感度感光剤と低
感度レジストは共に基板の膨張●収縮に追従して同じ割
合で膨張●収縮するため、低感度レジストに形成される
パターンは室温まで冷却されると原版に最初に描画され
たパターンと精確に一致する。 次に、本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する
。尚、写真製版技術によって所定のパターンを転写する
技術は当業者に熟知されているので、発明の構成要件に
限って説明する。
【実施例1】
第1図〜第3図が、透明な低膨張ガラス製の原版1に金
属クロム2によって描画された所定のパターンを、透明
なソーダガラス製の基板3に転写してサブマスター版を
作成した第1の実施例である。原版1と基板3とは従来
より一回り大きい50cm角に形成されており、基板3
は金属クロム2が蒸着された片面に、低感度レジスト(
例えばネガ型レジスト東京応化製PHER)4と銀糸写
真感剤の高感度感光剤5とがそれぞれ3JIll12I
!閣の厚さに塗布されて二層に被覆されている。暗室内
に於いて基板3の高感度感光剤5と原版lのパターン形
成面とを対峙して密着させ、原版1側に設けられた光源
6により0.5秒間の白色光照射を行い、原版1の金属
クロム2が存在しない部位を通過した光線によって基板
3の高感度感光剤5を部分露光させた。高感度感光剤5
をコダック社製D−85等によって現像すると、露光部
51が黒く、未露光部52が透明に現像されて、原版1
のパターンに対応するパターンが得られた。続いてこの
パターンを安定に維持するためコダック社製F24(非
硬膜定着液)を用いて定着処理を行った。この一次露光
に於いては露光時間が0.5秒と極めて短時間であった
ため、原版1、基板3共に実測し得る程の温度上昇はな
く、従って何れも全く膨張することがなかった。このた
め、原版1のパターンは基板3の高感度感光剤5に精確
に転写された。定着処理の後、暗室外に取り出して高感
度感光剤5の側から光源6Aによって、低感度レジスト
4の材質、機能等に対応して近紫外線、遠紫外線等の適
宜の波長の紫外線を所定時間(例えば60秒間)照射し
、高感度感光剤5の透明な未露光部52を通過した紫外
線によって低感度レジスト4を部分露光させた。この部
分露光により低感度レジスト4に於いては、高感度感光
剤5の未露光部52を臨む部位が露光部41となり、紫
外線を透過しない露光部51を臨む部位が未露光部42
となり、高感度感光剤5のパターンに対応するパターン
が転写形成された。光源6Aからは紫外線と共に熱線(
赤外線)も一部放射されるため、60秒間の長時間露光
となる二次露光に於いてはソーダガラスからなる基板3
は室温の22℃から25℃に昇温し、50cIlの両端
部で1411m膨張したが、低感度レジスト4と高感度
感光剤5も基板3の膨張に伴って同じ長さだけ膨張して
いたたために、高感度感光剤5を介して低感度レジスト
4に転写されたパターンは、基板3が25℃から室温の
22℃に冷却されて元の長さに戻ると、低感度レジスト
4も高感度感光剤6と共に元の大きさに収縮し、転写さ
れたパターンは原版1に描画されていたパターンの大き
さに一致した。この後、高感度感光剤5のゼラチン質を
アルカリ液(例えば3%NaOH溶液)を用いて溶解除
去し、更に低感度レジスト4をバラキシレン等で現像し
て未露光部42を除去すると、露光部41のみが残留し
た基板3が得られた。更に、金属クロム2の露出部をエ
ッチング除去し、最後に露光部41をトリクロルエチレ
ンで除去するト、原版1に癌画されていたパターンが精
確に転写されたサブマスター版が形成された。
属クロム2によって描画された所定のパターンを、透明
なソーダガラス製の基板3に転写してサブマスター版を
作成した第1の実施例である。原版1と基板3とは従来
より一回り大きい50cm角に形成されており、基板3
は金属クロム2が蒸着された片面に、低感度レジスト(
例えばネガ型レジスト東京応化製PHER)4と銀糸写
真感剤の高感度感光剤5とがそれぞれ3JIll12I
!閣の厚さに塗布されて二層に被覆されている。暗室内
に於いて基板3の高感度感光剤5と原版lのパターン形
成面とを対峙して密着させ、原版1側に設けられた光源
6により0.5秒間の白色光照射を行い、原版1の金属
クロム2が存在しない部位を通過した光線によって基板
3の高感度感光剤5を部分露光させた。高感度感光剤5
をコダック社製D−85等によって現像すると、露光部
51が黒く、未露光部52が透明に現像されて、原版1
のパターンに対応するパターンが得られた。続いてこの
パターンを安定に維持するためコダック社製F24(非
硬膜定着液)を用いて定着処理を行った。この一次露光
に於いては露光時間が0.5秒と極めて短時間であった
ため、原版1、基板3共に実測し得る程の温度上昇はな
く、従って何れも全く膨張することがなかった。このた
め、原版1のパターンは基板3の高感度感光剤5に精確
に転写された。定着処理の後、暗室外に取り出して高感
度感光剤5の側から光源6Aによって、低感度レジスト
4の材質、機能等に対応して近紫外線、遠紫外線等の適
宜の波長の紫外線を所定時間(例えば60秒間)照射し
、高感度感光剤5の透明な未露光部52を通過した紫外
線によって低感度レジスト4を部分露光させた。この部
分露光により低感度レジスト4に於いては、高感度感光
剤5の未露光部52を臨む部位が露光部41となり、紫
外線を透過しない露光部51を臨む部位が未露光部42
となり、高感度感光剤5のパターンに対応するパターン
が転写形成された。光源6Aからは紫外線と共に熱線(
赤外線)も一部放射されるため、60秒間の長時間露光
となる二次露光に於いてはソーダガラスからなる基板3
は室温の22℃から25℃に昇温し、50cIlの両端
部で1411m膨張したが、低感度レジスト4と高感度
感光剤5も基板3の膨張に伴って同じ長さだけ膨張して
いたたために、高感度感光剤5を介して低感度レジスト
4に転写されたパターンは、基板3が25℃から室温の
22℃に冷却されて元の長さに戻ると、低感度レジスト
4も高感度感光剤6と共に元の大きさに収縮し、転写さ
れたパターンは原版1に描画されていたパターンの大き
さに一致した。この後、高感度感光剤5のゼラチン質を
アルカリ液(例えば3%NaOH溶液)を用いて溶解除
去し、更に低感度レジスト4をバラキシレン等で現像し
て未露光部42を除去すると、露光部41のみが残留し
た基板3が得られた。更に、金属クロム2の露出部をエ
ッチング除去し、最後に露光部41をトリクロルエチレ
ンで除去するト、原版1に癌画されていたパターンが精
確に転写されたサブマスター版が形成された。
【実施例2】
第4図〜第7図が、実施例1で製版したサブマスター版
を原版1として印刷用の金属製凹版を製版した第2の実
施例である。金属製凹版はこの場合500nの厚さの鉄
31をペースとして、この上に10#Iの厚さにニッケ
ル層32が形成され、更に画線溝33aが刻設された銅
層33がIonの厚さに積層された構成の刷版であり、
か゜かる構成の刷版を製版するため、前記3層構成の金
属製基板3の片面に低感度レジスト(例えばネガ型ダイ
ナケム社製ラミナーGT,又は東京応化製}{PER)
4と高感度感光剤5とがそれぞれ5μ鵬、2nの厚さに
積層して塗布されている。実施例lと同様に一次露光及
び二次露光させたところ、一次露光に於いては原版1、
基板3共に温度上昇はなく、従って熱膨張もなかったが
、60秒間の二次露光時には、基板3が22℃から25
℃に加熱され3℃だけ昇温したため、主に鉄31の熱膨
張率に支配されて室温時に比較して基板3は50clI
角の端部で30jn+も膨張した。しかし、この時も高
感度感光剤5と低感度レジスト4が共に基板3の膨張と
同じ割合で膨張したため、実施例1の場合と同様、低感
度レジスト4には高感度感光剤5に転写されたパターン
が精確に転写された。従って、この場合も基板3が室温
に冷却された時には、低感度レジスト4に転写されたパ
ターンは高感度感光剤5に最初に転写された原版1のパ
ターンと同じ大きさであった。実施例1と同様にして高
感度感光剤5を除去した後、低感度レジスト4を現像し
て高感度感光剤5の露光部5lの下部に位置していた未
露光部42を除去し、銅層33の露出部をエッチングす
ると、エッチングはニッケル層32の所で停止し、深さ
10#■の画線溝33aが形成された。この後、低感度
レジスト4の露光部41を除去すると印刷インキを保有
するための画線溝33aが安定した深さと幅に形成され
た金属製の印刷用凹版となった。
を原版1として印刷用の金属製凹版を製版した第2の実
施例である。金属製凹版はこの場合500nの厚さの鉄
31をペースとして、この上に10#Iの厚さにニッケ
ル層32が形成され、更に画線溝33aが刻設された銅
層33がIonの厚さに積層された構成の刷版であり、
か゜かる構成の刷版を製版するため、前記3層構成の金
属製基板3の片面に低感度レジスト(例えばネガ型ダイ
ナケム社製ラミナーGT,又は東京応化製}{PER)
4と高感度感光剤5とがそれぞれ5μ鵬、2nの厚さに
積層して塗布されている。実施例lと同様に一次露光及
び二次露光させたところ、一次露光に於いては原版1、
基板3共に温度上昇はなく、従って熱膨張もなかったが
、60秒間の二次露光時には、基板3が22℃から25
℃に加熱され3℃だけ昇温したため、主に鉄31の熱膨
張率に支配されて室温時に比較して基板3は50clI
角の端部で30jn+も膨張した。しかし、この時も高
感度感光剤5と低感度レジスト4が共に基板3の膨張と
同じ割合で膨張したため、実施例1の場合と同様、低感
度レジスト4には高感度感光剤5に転写されたパターン
が精確に転写された。従って、この場合も基板3が室温
に冷却された時には、低感度レジスト4に転写されたパ
ターンは高感度感光剤5に最初に転写された原版1のパ
ターンと同じ大きさであった。実施例1と同様にして高
感度感光剤5を除去した後、低感度レジスト4を現像し
て高感度感光剤5の露光部5lの下部に位置していた未
露光部42を除去し、銅層33の露出部をエッチングす
ると、エッチングはニッケル層32の所で停止し、深さ
10#■の画線溝33aが形成された。この後、低感度
レジスト4の露光部41を除去すると印刷インキを保有
するための画線溝33aが安定した深さと幅に形成され
た金属製の印刷用凹版となった。
【実施例3】
第8図〜第10図が、実施例tで製版したサブマスター
版を原版1とし、一般にPS版と称されている基材を用
いて金属製平版を製造した第3の実施例である。従って
、この場合は基板3が240gmの厚さのアルミニュウ
ムであり、低感度レジスト4が5111厚の有機溶剤現
像タイプの版材である。低感度レジスト4の上に塗布さ
れた高感度感光剤5を前記実施例に従って一次露光させ
た。続いて、1分30秒間の二次露光を行い、低感度レ
ジスト4の版材を部分露光させた。一次露光に於いては
前記実施例と同様に原版l1基板3共に温度上昇はなく
、従って熱膨張もなかったので、精確に原版1のパター
ンが高感度感光剤5に転写された。1分30秒間の二次
露光に於いては、基板3が22℃から28℃に加熱され
、室温時に比較して5001角の端部で100jmも膨
張したが、この時も高感度感光剤5と低感度レジスト4
が共に基板3の膨張と同じ割合で膨張したため、前記実
施例の場合と同様、低感度レジスト4には高感度感光剤
5に転写されたパターンが精確に転写された。従って、
この場合も基板3が室温に冷却された時には、低感度レ
ジスト4に転写されたパターンは高感度感光剤5に最初
に転写された原版工のパターンと同じ大きさであった。 前記実施例と同様の手段で高感度感光剤5を除去した後
、低感度レジスト4を現像し、露光部41を残して未露
光部42を除去すると、発水性を有する低感度レジスト
4と親水性を有する基板(即ちアルミニュウム)3とが
パターン状に精確に形成されて、精細パターン等の印刷
に適用可能な平版となった。 以上、実施例に示した高感度感光剤の低感度感光剤上へ
の塗工については、両者の接着性を改善するために、そ
れぞれにプライマー処理を行って両層を形成した。
版を原版1とし、一般にPS版と称されている基材を用
いて金属製平版を製造した第3の実施例である。従って
、この場合は基板3が240gmの厚さのアルミニュウ
ムであり、低感度レジスト4が5111厚の有機溶剤現
像タイプの版材である。低感度レジスト4の上に塗布さ
れた高感度感光剤5を前記実施例に従って一次露光させ
た。続いて、1分30秒間の二次露光を行い、低感度レ
ジスト4の版材を部分露光させた。一次露光に於いては
前記実施例と同様に原版l1基板3共に温度上昇はなく
、従って熱膨張もなかったので、精確に原版1のパター
ンが高感度感光剤5に転写された。1分30秒間の二次
露光に於いては、基板3が22℃から28℃に加熱され
、室温時に比較して5001角の端部で100jmも膨
張したが、この時も高感度感光剤5と低感度レジスト4
が共に基板3の膨張と同じ割合で膨張したため、前記実
施例の場合と同様、低感度レジスト4には高感度感光剤
5に転写されたパターンが精確に転写された。従って、
この場合も基板3が室温に冷却された時には、低感度レ
ジスト4に転写されたパターンは高感度感光剤5に最初
に転写された原版工のパターンと同じ大きさであった。 前記実施例と同様の手段で高感度感光剤5を除去した後
、低感度レジスト4を現像し、露光部41を残して未露
光部42を除去すると、発水性を有する低感度レジスト
4と親水性を有する基板(即ちアルミニュウム)3とが
パターン状に精確に形成されて、精細パターン等の印刷
に適用可能な平版となった。 以上、実施例に示した高感度感光剤の低感度感光剤上へ
の塗工については、両者の接着性を改善するために、そ
れぞれにプライマー処理を行って両層を形成した。
以上説明した様に本発明になる製版方法に於いては、パ
ターンを転写すべき基板の表層部に高感度感光剤を塗布
しているため、短時間の露光で原版から基板にパターン
転写することが出来る。このため、原版と基板とが異な
る素材で出来、熱膨張率に大きな差がある場合にも、原
版、基板共にパターン転写時には膨張することがないた
め、原版のパターンは基板表層部の高感度感光剤に精確
に転写される。従って、本発明になる製版方法によれば
、原版と熱膨張率が著しく異なる基板にパターンを転写
する場合にも極めて精確に転写することが出来る利点が
ある。尚、原版のパターンが精確に転写された高感度感
光剤を介して下層の低感度レジストにパターンを転写す
る際には、露光時間が長くなって基板が熱膨張すること
があっても、前記高感度感光剤も基板と共に膨張してい
るので、室温まで冷却されると高感度感光剤に短時間露
光で最初に転写された原版のパターンと精確に一致する
パターンが、低感度レジストに転写される。特に、本発
明の製版方法は原版が大きくても瞬時に高感度感光剤に
精確にパターン転写することが可能であるため、大型カ
ラーフィルターを印刷形成するための刷版を、製造する
工程に適用して実用的な効果を奏することが出来る。
ターンを転写すべき基板の表層部に高感度感光剤を塗布
しているため、短時間の露光で原版から基板にパターン
転写することが出来る。このため、原版と基板とが異な
る素材で出来、熱膨張率に大きな差がある場合にも、原
版、基板共にパターン転写時には膨張することがないた
め、原版のパターンは基板表層部の高感度感光剤に精確
に転写される。従って、本発明になる製版方法によれば
、原版と熱膨張率が著しく異なる基板にパターンを転写
する場合にも極めて精確に転写することが出来る利点が
ある。尚、原版のパターンが精確に転写された高感度感
光剤を介して下層の低感度レジストにパターンを転写す
る際には、露光時間が長くなって基板が熱膨張すること
があっても、前記高感度感光剤も基板と共に膨張してい
るので、室温まで冷却されると高感度感光剤に短時間露
光で最初に転写された原版のパターンと精確に一致する
パターンが、低感度レジストに転写される。特に、本発
明の製版方法は原版が大きくても瞬時に高感度感光剤に
精確にパターン転写することが可能であるため、大型カ
ラーフィルターを印刷形成するための刷版を、製造する
工程に適用して実用的な効果を奏することが出来る。
第1図〜第3図はガラス基板製のサブマスター版を製造
した実施例1に係わる説明図、第4図〜第7図は金属製
凹版を製造した実施例2に係わる説明図、第8図〜第1
0図は金属製平版を製造した実施例3に係わる説明図で
ある。 1・・・原版、 2・・・金属クロム、 3・・・基板、 31・・・鉄、 32・・・ニッケル層、 33・・・銅層、 33a・・・画線溝、 4・・・低感度レジスト、 5・・・高感度感光剤、 6、6A・・・光源。
した実施例1に係わる説明図、第4図〜第7図は金属製
凹版を製造した実施例2に係わる説明図、第8図〜第1
0図は金属製平版を製造した実施例3に係わる説明図で
ある。 1・・・原版、 2・・・金属クロム、 3・・・基板、 31・・・鉄、 32・・・ニッケル層、 33・・・銅層、 33a・・・画線溝、 4・・・低感度レジスト、 5・・・高感度感光剤、 6、6A・・・光源。
Claims (1)
- 低感度レジストと高感度感光剤とが2層に塗布された基
板を用い、原版のパターンを短時間露光により表層の高
感度感光剤に転写し、該高感度感光剤を現像・定着した
後、高感度感光剤の透明部を介して下層の低感度レジス
トを長時間部分露光させ、該低感度レジストにパターン
を形成することを特徴とする製版方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1228736A JPH0391756A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 製版方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1228736A JPH0391756A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 製版方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0391756A true JPH0391756A (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=16881014
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1228736A Pending JPH0391756A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 製版方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0391756A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5971054A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
JPS59180560A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Fujitsu Ltd | ホトマスク |
-
1989
- 1989-09-04 JP JP1228736A patent/JPH0391756A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5971054A (ja) * | 1982-10-18 | 1984-04-21 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
JPS59180560A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Fujitsu Ltd | ホトマスク |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5245470A (en) | Polarizing exposure apparatus using a polarizer and method for fabrication of a polarizing mask by using a polarizing exposure apparatus | |
US4174219A (en) | Method of making a negative exposure mask | |
TW511149B (en) | Photomask and method for manufacturing the same | |
JP2723476B2 (ja) | 位相反転マスクの製造方法 | |
US3507592A (en) | Method of fabricating photomasks | |
JPH0391756A (ja) | 製版方法 | |
KR100526527B1 (ko) | 포토마스크와 그를 이용한 마스크 패턴 형성 방법 | |
JPH0943860A (ja) | 両面パターニング法 | |
JPS59226305A (ja) | 光学フイルタの製造方法 | |
JPS59141230A (ja) | パタ−ン形成方法 | |
GB2244349A (en) | Method for manufacturing a mask | |
KR20120071794A (ko) | 액정표시장치용 고정세 인쇄판 및 그의 제조 방법 | |
JPH04216553A (ja) | 半導体製造用マスク | |
JP2001235616A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法およびそれに用いるフォトマスク | |
JPS6148704B2 (ja) | ||
JP3031728B2 (ja) | レチクルおよび露光装置 | |
JPH0547623A (ja) | 光露光によるレジストマスクパターン形成方法 | |
US957596A (en) | Process for producing printing-plates. | |
JP2626234B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH05134387A (ja) | 位相シフトマスクの構造、露光方式、露光装置及び半導体装置 | |
SU447110A1 (ru) | Способ получени линейных изображений | |
JPH04143765A (ja) | 微細パターン膜形成方法 | |
KR930008141B1 (ko) | 다층감광막 사진식각방법 | |
TW473821B (en) | Microlithography process to reduce the proximity effect | |
JPH085828A (ja) | タイトル表示形成方法 |